CN111669886A - 一种新型宽幅等离子表面处理装置 - Google Patents

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刘善石
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    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
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Abstract

本发明公开了一种新型宽幅等离子表面处理装置,包括封闭的箱体和工作台,所述箱体自上向下依次分为进气区、电离区和出气区,所述进气区上设有工作气体进气孔,进气区内设置混气腔,所述电离区中间设有电极,电极设置于箱体中间的电极腔内,电极的两端连接外部高压电源装置,所述电极为一横向放置的圆柱状长电极,其外部包覆一陶瓷绝缘件,所述电极腔和电极之间设有供工作气体通过的间隙,电极腔上端设有进气通道连接进气区的混气腔,电极腔下端设有等离子通道连接出气区,所述出气区口设有与等离子通道连接的等离子出口,本发明的新型宽幅等离子表面处理装置具有以下优点:由于长条电极的设置使其处理宽度加大,解决了单一喷嘴生产效率低的的问题,同时采用技术介质放电,把结构变得非常简单,另外电极周围布满通孔,通气来降低电极放电时产生的高热量。

Description

一种新型宽幅等离子表面处理装置
技术领域
本发明涉及等离子处理技术领域,特别涉及一种新型宽幅等离子表面处理装置。
背景技术
等离子表面处理技术,它可以增加表面张力,精细清洁,去除静电,活化表面等功能,广泛应用于玻璃、金属、线缆、橡胶、塑料、糊盒、糊箱、橡胶表面改性处理,现有的等离子表面处理装置,一般分为2种:一种是单一喷头处理宽度窄,另一种是多个电极喷头组成的宽幅等离子表面处理装置,等离子电极分布太多,结构复杂,单个电极出问题会影响整个等离子处理装置的运行。
发明内容
为了克服上述缺陷,本发明提供了一种新型宽幅等离子表面处理装置,在保证处理宽度加大的同时,结构也非常简单。
本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型宽幅等离子表面处理装置,包括封闭的箱体和工作台,所述箱体自上向下依次分为进气区、电离区和出气区,所述进气区上设有工作气体进气孔,进气区内设置混气腔,所述电离区中间设有电极,电极设置于箱体中间的电极腔内,电极的一端连接外部高压电源装置,所述电极为一横向放置的长电极,其外部包覆一陶瓷绝缘件,所述电极腔和电极之间设有供工作气体通过的间隙,电极腔上端设有进气通道连接进气区的混气腔,电极腔下端设有等离子通道连接出气区,所述出气区口设有与等离子通道连接的等离子出口。
作为本发明的进一步改进,所述电极由两条横截面呈半圆形的长电极组合而成,两条长电极之间设有弹簧,弹簧两端抵紧两条长电极,使得长电极与陶瓷绝缘件紧密配合,能保证电极和陶瓷的充分接触。
作为本发明的进一步改进,所述每个长电极上设有若干通气孔用于冷却电极。
作为本发明的进一步改进,所述电极中间呈中空设置,进一步提高冷却效果
作为本发明的进一步改进,所述箱体的下部和工作台的下部设置长条排气孔,长条排气孔外接抽风机,使产生的废气直接排出,做到环保、安全、无异味。
本发明的有益效果是:本发明的新型宽幅等离子表面处理装置具有以下优点:由于长条电极的设置使其处理宽度加大,解决了单一喷嘴生产效率低的的问题,同时采用技术介质放电,把结构变得非常简单,另外电极周围布满通孔,通气来降低电极放电时产生的高热量。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明电极结构示意图;
图3为本图1的侧视图;
图中标示:1-箱体;2-工作台;3- 进气区;4-电离区;5-出气区;6-工作气体进气孔;7-混气腔;8-电极;9-电极腔;10-陶瓷绝缘件;11-进气通道;12-等离子出口;13-通气孔;14-等离子放电区域。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。
图1出示了本发明一种新型宽幅等离子表面处理装置的一种实施方式,包括封闭的箱体1和工作台2,所述箱体1自上向下依次分为进气区3、电离区4和出气区5,所述进气区3上设有工作气体进气孔6,进气区3内设置混气腔7,所述电离区4中间设有电极8,电极8设置于箱体1中间的电极腔9内,电极8的一端连接外部高压电源装置,所述电极8为一横向放置的圆柱状长电极,其外部包覆一陶瓷绝缘件10,所述电极腔9和电极8之间设有供工作气体流通的间隙,电极腔9上端设有进气通道11连接进气区的混气腔7,电极腔9下端设有等离子通道连接出气区5,所述出气区5口设有与等离子通道连接的等离子出口12。
如图2所示,所述电极8由两条横截面呈半圆形的长电极组合而成,两条长电极之间设有弹簧,弹簧两端抵紧两条长电极,使得长电极与陶瓷绝缘件10紧密配合,能保证电极和陶瓷的充分接触。
所述每个长电极上设有若干通气孔13用于冷却电极。
所述电极8中间呈中空设置,进一步提高冷却效果。
所述箱体1的下部和工作台2的下部设置长条排气孔,长条排气孔外接抽风机,使产生的废气直接排出,做到环保、安全、无异味。
本实施例的工作原理:电极8通入高压后获得能量,与放电间隙中的气体分子或原子发生非弹性碰撞并传递几乎全部的能量,从而激励气体产生电极雪崩,生成大量空间电荷,它们聚集在雪崩头部形成电场并叠加在外电场上同时对电子作用,雪崩中的部分高能电子将进一步得到加速向阳极方向逃逸,由逃逸电子形成的击穿通道使电子电荷有比电子迁移更快的速度,从而形成了往返于电极间的两个电场波,这样一个导电通道能非常快的通过放电间隙,如图3所示形成大量细丝状的脉冲微放电,均匀、稳定的充满整个放电间隙;电离的气体通过等离子通道形成一个较宽的等离子放电区域14,由等离子出口喷出低温等离子体,对产品表面进行表面活化。

Claims (5)

1.一种新型宽幅等离子表面处理装置,其特征在于:包括封闭的箱体(1)和工作台(2),所述箱体(1)自上向下依次分为进气区(3)、电离区(4)和出气区(5),所述进气区(3)上设有工作气体进气孔(6),进气区(3)内设置混气腔(7),所述电离区(4)中间设有电极(8),电极(8)设置于箱体(1)中间的电极腔(9)内,电极(8)的一端连接外部高压电源装置,所述电极(8)为一横向放置的长电极,其外部包覆一陶瓷绝缘件(10),所述电极腔(9)和电极(8)之间设有供工作气体流通的间隙,电极腔(9)上端设有进气通道(11)连接进气区的混气腔(7),电极腔(9)下端设有等离子通道连接出气区(5),所述出气区(5)口设有与等离子通道连接的等离子出口(12)。
2.根据权利要求1所述的一种新型宽幅等离子表面处理装置,其特征在于:所述电极(8)由两条横截面呈半圆形的长电极组合而成,两条长电极之间设有弹簧,弹簧两端抵紧两条长电极,使得长电极与陶瓷绝缘件(10)紧密配合,能保证电极和陶瓷的充分接触。
3.根据权利要求2所述的一种新型宽幅等离子表面处理装置,其特征在于:所述每个长电极上设有若干通气孔(13)用于冷却电极。
4.根据权利要求1所述的一种新型宽幅等离子表面处理装置,其特征在于:所述电极(8)中间呈中空设置,进一步提高冷却效果。
5.根据权利要求1所述的一种新型宽幅等离子表面处理装置,其特征在于:所述箱体(1)的下部和工作台(2)的下部设置长条排气孔,长条排气孔外接抽风机。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114286488A (zh) * 2021-12-30 2022-04-05 南京工业大学 一种基于气路模块化的大气压大尺度dbd材料改性装置
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