CN111638572A - 一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法 - Google Patents
一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111638572A CN111638572A CN201911201173.9A CN201911201173A CN111638572A CN 111638572 A CN111638572 A CN 111638572A CN 201911201173 A CN201911201173 A CN 201911201173A CN 111638572 A CN111638572 A CN 111638572A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- silicon
- silicon oxide
- oxide layer
- hydrogenated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 64
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 10
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims abstract description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 17
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 5
- QYKABQMBXCBINA-UHFFFAOYSA-N 4-(oxan-2-yloxy)benzaldehyde Chemical compound C1=CC(C=O)=CC=C1OC1OCCCC1 QYKABQMBXCBINA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 abstract description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052990 silicon hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/281—Interference filters designed for the infrared light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/28—Interference filters
- G02B5/285—Interference filters comprising deposited thin solid films
- G02B5/286—Interference filters comprising deposited thin solid films having four or fewer layers, e.g. for achieving a colour effect
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
本发明公开了一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法,包括基底,所述基底一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,所述基底另一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,每一面所述氧化硅层和氢化硅层的总层数均设置为20‑40层,每一面所述氧化硅层的厚度设置为1300‑2000nm,每一面所述氢化硅层的厚度设置为400‑800nm。本发明,得到滤光片可以使氢化硅的折射率达到控3.8‑4.5,二氧化硅的折射率达到1.4‑1.6,可以满足大角度小偏移的要求;采用的膜系方案,波长定位准确,陡度好;空间层采用高折射率的氢化硅材料,耦合层则用低折射率的二氧化硅材料,这样角度效应引起的偏移量比用低折射率材料要小。
Description
技术领域
本发明涉及滤光片技术领域,具体是一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法。
背景技术
目前在可见及近红外波段的窄带滤光片,是由常用的镀膜材料二氧化钛和二氧化硅交替组成的多层膜,两种材料的折射率分别为2.4和1.46,其折射率比值在1.64,测试其光谱透射率会发现,在0度和30度的条件下,波长的偏移量在30nm左右(在波长900nm附近),随着3D摄像技术的发展,要求对应的滤光片在大角度使用时中心波长(940nm)的偏移量越小越好,同时对其余波段的光予以截止,以免杂散光引起干扰。这样,常规的二氧化钛/二氧化硅组合就无法满足要求;为此我们提出一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法,以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种3D结构光940nm窄带滤光片,包括基底,所述基底一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,所述基底另一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,每一面所述氧化硅层和氢化硅层的总层数均设置为20-40层。
优选的,所述氧化硅层设置为二氧化硅层,所述氢化硅层设置为四氢化硅层。
优选的,每一面所述氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,每一面所述氢化硅层的厚度设置为400-800nm。
优选的,所述基底设置为AF32玻璃或D263T玻璃。
优选的,一种3D结构光940nm窄带滤光片的制备方法,包括以下步骤:
步骤一:选择基底材料:基底材料选择AF32玻璃或D263T玻璃;
步骤二:在基底材料的一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在20-40层之间,氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,氢化硅层的厚度设置为400-800nm;
步骤三:在基底材料的另一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在20-40层之间,氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,氢化硅层的厚度设置为400-800nm。
优选的,步骤二和步骤三中所述的蒸镀方法采用溅射镀膜,并加离子束辅助。
优选的,步骤二和步骤三中在蒸镀所述氧化硅层时需要充入氧气,在蒸镀所述氢化硅层时需要充入氢气。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:得到滤光片可以使氢化硅的折射率达到控3.8-4.5,二氧化硅的折射率达到1.4-1.6,可以满足大角度小偏移的要求;采用的膜系方案,波长定位准确,陡度好;空间层采用高折射率的氢化硅材料,耦合层则用低折射率的二氧化硅材料,这样角度效应引起的偏移量比用低折射率材料要小。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明的溅射镀膜的流程图。
图2为本发明实施例2制备的滤光片在0度和30度的条件下进行光谱透射率测试图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
请参阅图1,本发明实施例中,一种3D结构光940nm窄带滤光片,包括基底,所述基底一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,所述基底另一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,每一面所述氧化硅层和氢化硅层的总层数均设置为20-40层。
优选的,所述氧化硅层设置为二氧化硅层,所述氢化硅层设置为四氢化硅层。
优选的,每一面所述氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,每一面所述氢化硅层的厚度设置为400-800nm。
优选的,所述基底设置为AF32玻璃或D263T玻璃。
一种3D结构光940nm窄带滤光片的制备方法,包括以下步骤:
步骤一:选择基底材料:基底材料选择AF32玻璃或D263T玻璃;
步骤二:在基底材料的一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在20-40层之间,氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,氢化硅层的厚度设置为400-800nm;
步骤三:在基底材料的另一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在20-40层之间,氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,氢化硅层的厚度设置为400-800nm。
优选的,步骤二和步骤三中所述的蒸镀方法采用溅射镀膜,并加离子束辅助。
优选的,步骤二和步骤三中在蒸镀所述氧化硅层时需要充入氧气,在蒸镀所述氢化硅层时需要充入氢气。
本实施例得到的膜系结构如下:
G|(HL)^n SIH4(LH)^n L[(HL)^n+1SIH4(LH)^n+1L]^p(HL)^n SIH4(LH)^n|air
G:玻璃基底;H:高折射率材料;L:低折射率材料;n、s、p均为自然数;
两种材料的折射率选取有讲究,从数值上看,折射率值都要高,而且相差也较大;这里H:4.41,L:1.48其比值为2.97;溅射参数如下:
中心监波长为942nm;
可以实现:
0度:T>90%@930-950nm T<1%@380-910nm T<%@970-1100nm
30度:T>90%@920-942nm T<1%@380-910nm T<%@970-1100nm。
实施例2
请参阅图1和图2,本发明实施例中,一种3D结构光940nm窄带滤光片,包括基底,所述基底一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,所述基底另一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,每一面所述氧化硅层和氢化硅层的总层数均设置为27层。
优选的,所述氧化硅层设置为二氧化硅层,所述氢化硅层设置为四氢化硅层。
优选的,每一面最外层所述氧化硅层的厚度设置为100nm,100nm为最外层为了防止氢化硅层与空气中成分反应。
优选的,所述基底设置为AF32玻璃或D263T玻璃。
一种3D结构光940nm窄带滤光片的制备方法,包括以下步骤:
步骤一:选择基底材料:基底材料选择AF32玻璃或D263T玻璃;
步骤二:在基底材料的一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在27层之间,最外层的氧化硅层的厚度设置为100nm;
步骤三:在基底材料的另一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在27层之间,最外层的氧化硅层的厚度设置为100nm。
优选的,步骤二和步骤三中所述的蒸镀方法采用溅射镀膜,并加离子束辅助。
优选的,步骤二和步骤三中在蒸镀所述氧化硅层时需要充入氧气,在蒸镀所述氢化硅层时需要充入氢气。
本发明的工作原理是:制备的滤光片在0度和30度的条件下进行光谱透射率测试,可以看出,理论设计偏移量(透过率50%处)短波方向为9.7nm,长波方向为9.9nm,均小于10nm;完全满足实际要求。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种3D结构光940nm窄带滤光片,包括基底,其特征在于:所述基底一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,所述基底另一面交替蒸镀有氧化硅层和氢化硅层,每一面所述氧化硅层和氢化硅层的总层数均设置为20-40层。
2.根据权利要求1所述的一种3D结构光940nm窄带滤光片,其特征在于:所述氧化硅层设置为二氧化硅层,所述氢化硅层设置为四氢化硅层。
3.根据权利要求1或2所述的一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法,其特征在于:每一面所述氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,每一面所述氢化硅层的厚度设置为400-800nm。
4.根据权利要求1所述的一种3D结构光940nm窄带滤光片,其特征在于:所述基底设置为AF32玻璃或D263T玻璃。
5.根据权利要求1所述的一种3D结构光940nm窄带滤光片的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
步骤一:选择基底材料:基底材料选择AF32玻璃或D263T玻璃;
步骤二:在基底材料的一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在20-40层之间,氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,氢化硅层的厚度设置为400-800nm;
步骤三:在基底材料的另一面不同条件交替蒸镀氧化硅层和氢化硅层,膜层在20-40层之间,氧化硅层的厚度设置为1300-2000nm,氢化硅层的厚度设置为400-800nm。
6.根据权利要求5所述的一种3D结构光940nm窄带滤光片的制备方法,其特征在于:步骤二和步骤三中所述的蒸镀方法采用溅射镀膜,并加离子束辅助。
7.根据权利要求5所述的一种3D结构光940nm窄带滤光片的制备方法,其特征在于:步骤二和步骤三中在蒸镀所述氧化硅层时需要充入氧气,在蒸镀所述氢化硅层时需要充入氢气。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911201173.9A CN111638572B (zh) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911201173.9A CN111638572B (zh) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111638572A true CN111638572A (zh) | 2020-09-08 |
CN111638572B CN111638572B (zh) | 2021-03-05 |
Family
ID=72329342
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911201173.9A Active CN111638572B (zh) | 2019-11-29 | 2019-11-29 | 一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111638572B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112666645A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-04-16 | 苏州京浜光电科技股份有限公司 | 一种红外光滤光片及其制备工艺 |
CN113800782A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-17 | 台州星星光电科技有限公司 | 一种对激光雷达红外光透过的哑黑镀膜玻璃面板 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5418019A (en) * | 1994-05-25 | 1995-05-23 | Georgia Tech Research Corporation | Method for low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of an oxide and nitride antireflection coating on silicon |
JP2007090786A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Nikon Corp | 積層方法及びその積層方法を用いて作製された光学部品 |
CN201725051U (zh) * | 2010-07-06 | 2011-01-26 | 北京金吉奥梦科技有限公司 | 一种用于人脸识别的光学装置及滤光片 |
US20180067245A1 (en) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | Apple Inc. | Infrared-Transparent Window Coatings for Electronic Device Sensors |
CN107841712A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-03-27 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 高折射率氢化硅薄膜的制备方法、高折射率氢化硅薄膜、滤光叠层和滤光片 |
CN108121026A (zh) * | 2016-11-30 | 2018-06-05 | 唯亚威解决方案股份有限公司 | 硅锗基光学滤波器 |
CN108873135A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-11-23 | 信阳舜宇光学有限公司 | 一种近红外窄带滤光片及红外成像系统 |
CN109239827A (zh) * | 2018-11-10 | 2019-01-18 | 深圳市都乐精密制造有限公司 | 用于人脸识别系统的低角度偏移光学薄膜滤光片 |
CN109655954A (zh) * | 2019-03-05 | 2019-04-19 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 滤光片及其制备方法、指纹识别模组及电子设备 |
CN109932774A (zh) * | 2017-12-19 | 2019-06-25 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种红外窄带滤光膜及红外识别系统 |
CN110082849A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-02 | 信阳舜宇光学有限公司 | 近红外窄带滤光片及制作方法 |
CN110109208A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-09 | 信阳舜宇光学有限公司 | 近红外带通滤光片及光学传感系统 |
CN110109209A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-09 | 信阳舜宇光学有限公司 | 滤光片以及制造滤光片的方法 |
CN110133783A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-16 | 东莞市微科光电科技有限公司 | 一种红外窄带滤光片制造方法 |
CN209400726U (zh) * | 2019-03-05 | 2019-09-17 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 滤光片、指纹识别模组及电子设备 |
CN110426768A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-11-08 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 一种红外双波峰镀膜滤光片及镀膜工艺 |
CN110456437A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-11-15 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 红外三波峰镀膜工艺 |
-
2019
- 2019-11-29 CN CN201911201173.9A patent/CN111638572B/zh active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5418019A (en) * | 1994-05-25 | 1995-05-23 | Georgia Tech Research Corporation | Method for low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of an oxide and nitride antireflection coating on silicon |
JP2007090786A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Nikon Corp | 積層方法及びその積層方法を用いて作製された光学部品 |
CN201725051U (zh) * | 2010-07-06 | 2011-01-26 | 北京金吉奥梦科技有限公司 | 一种用于人脸识别的光学装置及滤光片 |
US20180067245A1 (en) * | 2016-09-02 | 2018-03-08 | Apple Inc. | Infrared-Transparent Window Coatings for Electronic Device Sensors |
CN108121026A (zh) * | 2016-11-30 | 2018-06-05 | 唯亚威解决方案股份有限公司 | 硅锗基光学滤波器 |
CN107841712A (zh) * | 2017-11-01 | 2018-03-27 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 高折射率氢化硅薄膜的制备方法、高折射率氢化硅薄膜、滤光叠层和滤光片 |
CN109932774A (zh) * | 2017-12-19 | 2019-06-25 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种红外窄带滤光膜及红外识别系统 |
CN108873135A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-11-23 | 信阳舜宇光学有限公司 | 一种近红外窄带滤光片及红外成像系统 |
CN109239827A (zh) * | 2018-11-10 | 2019-01-18 | 深圳市都乐精密制造有限公司 | 用于人脸识别系统的低角度偏移光学薄膜滤光片 |
CN109655954A (zh) * | 2019-03-05 | 2019-04-19 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 滤光片及其制备方法、指纹识别模组及电子设备 |
CN209400726U (zh) * | 2019-03-05 | 2019-09-17 | 浙江水晶光电科技股份有限公司 | 滤光片、指纹识别模组及电子设备 |
CN110133783A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-16 | 东莞市微科光电科技有限公司 | 一种红外窄带滤光片制造方法 |
CN110082849A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-02 | 信阳舜宇光学有限公司 | 近红外窄带滤光片及制作方法 |
CN110109208A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-09 | 信阳舜宇光学有限公司 | 近红外带通滤光片及光学传感系统 |
CN110109209A (zh) * | 2019-06-05 | 2019-08-09 | 信阳舜宇光学有限公司 | 滤光片以及制造滤光片的方法 |
CN110426768A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-11-08 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 一种红外双波峰镀膜滤光片及镀膜工艺 |
CN110456437A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-11-15 | 杭州美迪凯光电科技股份有限公司 | 红外三波峰镀膜工艺 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
HIDEHIKO YODA ET.AL.: "a-Si:H SiO2 multilayer films fabricated by radio-frequency magnetron sputtering for optical filters", 《APPLIED OPTICS》 * |
LAIRSON, B. ET.AL.: "Reduced angle-shift infrared bandpass filter coatings", 《PROCEEDINGS OF SPIE》 * |
有毅等: "一维Si/SiO2光子晶体在近红外波段滤波特性研究", 《太原理工大学学报》 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112666645A (zh) * | 2021-01-20 | 2021-04-16 | 苏州京浜光电科技股份有限公司 | 一种红外光滤光片及其制备工艺 |
CN113800782A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-17 | 台州星星光电科技有限公司 | 一种对激光雷达红外光透过的哑黑镀膜玻璃面板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111638572B (zh) | 2021-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108680981B (zh) | 一种深紫外窄带滤光片制备方法 | |
CN107209306A (zh) | 具有改进的透射率的近红外光学干涉滤波器 | |
CN111638572B (zh) | 一种3D结构光940nm窄带滤光片及其制备方法 | |
EP3982169A1 (en) | Near-infrared bandpass filter and optical sensing system | |
CN110133783B (zh) | 一种红外窄带滤光片制造方法 | |
CN108169832B (zh) | 一种2.75~2.95μm透过中波红外滤光片及其制备方法 | |
JP2007171735A (ja) | 広帯域反射防止膜 | |
JP2022531155A (ja) | 光学フィルター | |
CN105093852B (zh) | 紫外光刻机曝光系统用精密介质膜反射镜及其镀制方法 | |
CN105137514A (zh) | 4.2~4.45μm透过中波红外滤光片及制备方法 | |
WO2020103206A1 (zh) | 一种偏振无关的滤光片 | |
CN111766655B (zh) | 一种超宽通带短波通滤光膜及其制备方法 | |
CN106896450A (zh) | 一种基于棱镜耦合的多通带极窄带光学滤波器 | |
CN103885108A (zh) | 衰减带通滤光片及其制备方法 | |
CN116609872A (zh) | 光学滤波器 | |
CN108614313B (zh) | 可调的降低光学表面反射率的方法 | |
CN103926642B (zh) | 红外截止滤光膜 | |
CN215932186U (zh) | 一种低角度低飘移氢化硅镀膜窄带滤光片 | |
CN209624816U (zh) | 一种基于金纳米颗粒的波长可调谐窄带滤光片 | |
CN105137517B (zh) | 一种远紫外宽带反射式介质滤光片及其制备方法 | |
CN113109898B (zh) | 一种氢化复合物薄膜的制备方法和滤光器 | |
CN216210007U (zh) | 一种中心波长为350±3nm超窄带滤光片 | |
CN214252637U (zh) | 一种隔热增透膜 | |
CN219225125U (zh) | 一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构 | |
CN221595312U (zh) | 一种紫外高透而可见光截止的滤光片 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |