CN111586959A - 一种电子帘加速器双窗引出辐照装置 - Google Patents

一种电子帘加速器双窗引出辐照装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111586959A
CN111586959A CN202010456062.9A CN202010456062A CN111586959A CN 111586959 A CN111586959 A CN 111586959A CN 202010456062 A CN202010456062 A CN 202010456062A CN 111586959 A CN111586959 A CN 111586959A
Authority
CN
China
Prior art keywords
window
flange
grid
irradiation device
sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010456062.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111586959B (zh
Inventor
徐清泉
施宏
黄芳芳
杜芳琪
汤德芳
李海锋
宣润泉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
China Tobacco Zhejiang Industrial Co Ltd
Original Assignee
China Tobacco Zhejiang Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by China Tobacco Zhejiang Industrial Co Ltd filed Critical China Tobacco Zhejiang Industrial Co Ltd
Priority to CN202010456062.9A priority Critical patent/CN111586959B/zh
Publication of CN111586959A publication Critical patent/CN111586959A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111586959B publication Critical patent/CN111586959B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/001Arrangements for beam delivery or irradiation
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00Irradiation devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

本发明公开了一种电子帘加速器双窗引出辐照装置,属于工业辐照加工设备技术领域,包括设有至少两个窗口的金属支架,金属支架包括上下叠置的格栅法兰和密封法兰,格栅法兰内设有水冷通道,格栅法兰的窗口周围设有用于安装钛膜的密封结构。使用多个窗口结构以增加引出窗面积,在窗口周围设置密封结构来保证密封,可采用10微米厚的钛箔密封真空,以减少束流沉积和能量损失。在格栅法兰内设置水冷通道以保证格栅散热。可提高束流的引出强度,并在提高辐照生产速度的同事,保证产品的质量。

Description

一种电子帘加速器双窗引出辐照装置
技术领域
本发明涉及工业辐照加工设备技术领域,具体地说,涉及一种电子帘加速器双窗引出辐照装置。
背景技术
电子加速器辐照是电线电缆缠绕在电子加速器辐照装置上,由其上方电子加速器产生电子束对产品进行辐照;通过调节电子加速器的束流强度和电子加速器辐照装置的运行速度来控制产品剂量要求。
由于国内现有加速器束流强度较低,大多设计为尺寸较短的单窗引出方式,如公告号为CN205194350U的中国专利文献公开的一种低能电子加速器辐照系统,包括低能电子加速器、屏蔽室和束下传输装置,屏蔽室位于低能电子加速器的下方;屏蔽室的顶部设置有与低能电子加速器的底部出束装置相配合的辐照窗口;屏蔽室内壁上还设置有温度测量装置和报警开关,屏蔽室外壁上设置有声光报警器;束下传输装置包括传输电机和传输件。以及公告号为CN206758142U的中国专利文献公开的一种电子加速器辐照装置,包括低能电子加速器、屏蔽室和束下传输装置,屏蔽室位于低能电子加速器的下方;屏蔽室的顶部设置有与低能电子加速器的底部出束装置相配合的辐照窗口;束下传输装置包括传输电机和输送带,传输电机为输送带提供传输动力;屏蔽室上还设置有与输送带相配合的入料窗口和出料窗口,入料窗口和出料窗口顶部分别装有PVC门帘;屏蔽室顶部设置有温度测量装置和冷却装置,温度测量装置和冷却装置均位于辐照区和出料窗口之间的区域。
以上两专利的辐照窗口均为单窗设计,当遇到束流比较高的情况下,钛膜所能承受的水平小于钛膜表面束流密度,容易对装置造成损坏。
发明内容
本发明的目的为提供一种电子帘加速器双窗引出辐照装置,能够大大提高束流引出强度,并提高辐照生产速度,并且能够保证产品的质量。
为了实现上述目的,本发明提供的电子帘加速器双窗引出辐照装置,安装在电子帘加速器的辐照窗体上,包括设有至少两个窗口的金属支架,所述金属支架包括上下叠置的格栅法兰和密封法兰,所述格栅法兰内设有水冷通道,所述格栅法兰的窗口周围设有用于安装钛膜的密封结构。
上述技术方案中,使用多个窗口结构以增加引出窗面积,在窗口周围设置密封结构来保证密封,可采用10微米厚的钛箔密封真空,以减少束流沉积和能量损失。在格栅法兰内设置水冷通道以保证格栅散热。可提高束流的引出强度,并在提高辐照生产速度的同事,保证产品的质量。
作为优选,格栅法兰的窗口内设有用于支撑钛膜的格栅齿。为了节省材料,格栅齿的间距通过计算在保证符合承压的前提下尽量增大尺寸。
作为优选,密封结构为设置在所述的格栅法兰和密封法兰之间的O型密封圈,所述格栅法兰上设有用于容纳所述O型密封圈的安装槽,所述的钛膜的边缘位于所述O型密封圈与所述密封法兰之间。通过安装槽可以提高密封圈的安装稳定性。
作为优选,O型密封圈为氟橡胶密封胶条,所述氟橡胶密封胶条置于所述的安装槽内,具有密封胶条的另一侧朝向所述的钛膜。安装时,首先将氟橡胶密封胶条放置到安装槽内,然后将钛膜放置到窗口上,最后将密封法兰压在钛膜上固定。
作为优选,格栅法兰和密封法兰之间通过螺钉连接,且在所述窗口的周围均设有所述螺钉。可进一步提高安装稳定性。
作为优选,格栅法兰的上下两侧设有用于定位的安装条,所述安装条在于辐照窗体贴合的面上设有若干弹片。由于格栅法兰通常由铜制成,在安装时,将本发明的辐照装置放置到电子帘加速器的窗体上,安装条贴合在窗体内,通过气缸贴紧,并采用真空设备抽取负压,最终与真空腔体密封。这样导致铜制的安装条紧贴在窗体内,即使解除真空环境也难以拆卸,通过设置弹片可以避免这种情况的出现。
作为优选,弹片沿所述安装条的长度方向布置。
为了方便安装,作为优选,水冷通道沿所述窗口的边沿布置,所述水冷通道的进水口和出水口位于所述格栅法兰的同一侧面上。
作为优选,相邻两窗口的水冷通道相互串联或独立设置。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
本发明的电子帘加速器双窗引出辐照装置,可以满足在大束流,辐照宽度有限的情况下,而且在电子帘加速器在EB固化工艺中大束流,高速度运行的市场要求。实现大束流的电子帘加速器,增大辐照面积来减小单位面积钛箔的束流密度。大大提高束流强度,提高生产速度。
附图说明
图1为本发明实施例中电子帘加速器双窗引出辐照装置的轴测图;
图2为本发明实施例中电子帘加速器双窗引出辐照装置的主视图;
图3为本发明实施例中电子帘加速器双窗引出辐照装置的俯视图的局部剖视图;
图4为本发明实施例中电子帘加速器双窗引出辐照装置的侧视图的局部剖视图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,以下结合实施例及其附图对本发明作进一步说明。
实施例
参见图1至图4,本实施例的电子帘加速器双窗引出辐照装置用于安装在电子帘加速器的辐照窗体上,其包括设有两个窗口的金属支架,金属支架包括上下叠置的格栅法兰100和密封法兰200,格栅法兰100和密封法兰200由无氧铜制成,可以有效防止铜在电子束的轰击下氧化,而造成真空腔体的污染。
格栅法兰100内设有水冷通道101。格栅法兰100的窗口周围设有用于安装钛膜的密封结构。格栅法兰100的窗口内设有用于支撑钛膜的格栅齿102。格栅齿102有规则的排列在格栅法兰100内,由于电子束流会打在格栅齿102上以及两个窗口中间的位置,所以在格栅法兰内有水道来冷却。
为了节省材料,格栅齿102的间距通过计算在保证符合承压的前提下尽量增大尺寸。本实施例的格栅齿102是以倾斜角度为7.5度,齿间距5mm均布。本实施例使用两个窗口结构以增加引出窗面积,在窗口周围设置密封结构来保证密封,采用10微米厚的钛箔密封真空,以减少束流沉积和能量损失。在格栅法兰100内设置水冷通道101以保证格栅齿102散热。可提高束流的引出强度,并在提高辐照生产速度的同事,保证产品的质量。
本实施例的密封结构为设置在格栅法兰100和密封法兰200之间的O型密封圈,格栅法兰100上设有用于容纳O型密封圈的安装槽103,钛膜的边缘位于O型密封圈与密封法兰200之间。通过安装槽103可以提高密封圈的安装稳定性。
本实施例的O型密封圈为氟橡胶密封胶条,氟橡胶密封胶条置于安装槽103内,具有粘性的一侧朝向钛膜。安装时,首先将氟橡胶密封胶条放置到安装槽103内,然后将钛膜放置到窗口上,最后将密封法兰200压在钛膜上,利用M6*16的内六角螺钉300对密封法兰200和格栅法兰100进行固定,且在所述窗口的周围均设有内六角螺钉300,可进一步提高安装稳定性。
本实施例的格栅法兰100的上下两侧设有用于定位的安装条400,安装条400在于辐照窗体贴合的面上设有若干弹片500,弹片500沿安装条400的长度方向布置。弹片500的一端通过M4*6的十字盘头螺钉600进行固定。由于格栅法兰100由无氧铜制成,在安装时,将本实施例的辐照装置放置到电子帘加速器的窗体上,安装条400贴合在窗体内,通过气缸贴紧,并采用真空设备抽取负压,最终与真空腔体密封。这样导致铜制的安装条400紧贴在窗体内,即使解除真空环境也难以拆卸,通过设置弹片500可以避免这种情况的出现,在格栅法兰100的上下两侧各安装6个弹片500,与加速器真空腔体密面贴紧,更换钛箔的时候能够很容易的把格栅法兰100与真空腔体剥离。
通过真空密封不需要螺钉与真空腔体紧固,真空密封靠真空腔体负压密封,这样可以有效加快更换钛箔速度,窗体上也不需要设计螺孔,可以缩小整个加速器的大小,节约场地。
为了方便安装,本实施例的水冷通道沿窗口的边沿布置,水冷通道的进水口和出水口位于格栅法兰100的同一侧面上,进水口和出水口均设有水管接头700,通过水管接头700与外界冷却水连接。相邻两窗口的水冷通道可根据具体使用情况设置成相互串联或独立设置。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种电子帘加速器双窗引出辐照装置,安装在电子帘加速器的辐照窗体上,其特征在于,包括设有至少两个窗口的金属支架,所述金属支架包括上下叠置的格栅法兰和密封法兰,所述格栅法兰内设有水冷通道,所述格栅法兰的窗口周围设有用于安装钛膜的密封结构。
2.根据权利要求1所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的格栅法兰的窗口内设有用于支撑钛膜的格栅齿。
3.根据权利要求1所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的密封结构为设置在所述的格栅法兰和密封法兰之间的O型密封圈,所述格栅法兰上设有用于容纳所述O型密封圈的安装槽,所述的钛膜的边缘位于所述O型密封圈与所述密封法兰之间。
4.根据权利要求3所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的O型密封圈为氟橡胶密封胶条,所述氟橡胶密封胶条置于所述的安装槽内,具有密封胶条的另一侧朝向所述的钛膜。
5.根据权利要求1所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的格栅法兰和密封法兰之间通过螺钉连接,且在所述窗口的周围均设有所述螺钉。
6.根据权利要求1所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的格栅法兰的上下两侧设有用于定位的安装条,所述安装条在于辐照窗体贴合的面上设有若干弹片。
7.根据权利要求6所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的弹片沿所述安装条的长度方向布置。
8.根据权利要求1所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,所述的水冷通道沿所述窗口的边沿布置,所述水冷通道的进水口和出水口位于所述格栅法兰的同一侧面上。
9.根据权利要求8所述的电子帘加速器双窗引出辐照装置,其特征在于,相邻两窗口的水冷通道相互串联或独立设置。
CN202010456062.9A 2020-05-26 2020-05-26 一种电子帘加速器双窗引出辐照装置 Active CN111586959B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010456062.9A CN111586959B (zh) 2020-05-26 2020-05-26 一种电子帘加速器双窗引出辐照装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010456062.9A CN111586959B (zh) 2020-05-26 2020-05-26 一种电子帘加速器双窗引出辐照装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111586959A true CN111586959A (zh) 2020-08-25
CN111586959B CN111586959B (zh) 2022-08-30

Family

ID=72111009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010456062.9A Active CN111586959B (zh) 2020-05-26 2020-05-26 一种电子帘加速器双窗引出辐照装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111586959B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113115507A (zh) * 2021-05-11 2021-07-13 上海高鹰科技有限公司 一种电子帘加速器束流引出窗结构
CN115835469A (zh) * 2022-11-16 2023-03-21 中国科学院近代物理研究所 一种用于强流超导直线加速器和高功率靶的束窗系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5561342A (en) * 1992-06-15 1996-10-01 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Electron beam exit window
CN2735711Y (zh) * 2004-09-24 2005-10-19 中国科学院上海应用物理研究所 工业用电子加速器引出窗
CN2788891Y (zh) * 2005-05-13 2006-06-21 中国工程物理研究院环保工程研究中心 烟气脱硫脱硝用电子加速器引出窗
US20110012495A1 (en) * 2009-07-20 2011-01-20 Advanced Electron Beams, Inc. Emitter Exit Window
CN206948700U (zh) * 2017-05-09 2018-01-30 无锡爱邦辐射技术有限公司 低能电子加速器用束流引出窗
CN109719648A (zh) * 2019-01-31 2019-05-07 苏州联讯仪器有限公司 激光芯片用自适应夹具
US20190287693A1 (en) * 2016-11-09 2019-09-19 Hitachi Zosen Corporation Electron beam irradiating device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5561342A (en) * 1992-06-15 1996-10-01 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. Electron beam exit window
CN2735711Y (zh) * 2004-09-24 2005-10-19 中国科学院上海应用物理研究所 工业用电子加速器引出窗
CN2788891Y (zh) * 2005-05-13 2006-06-21 中国工程物理研究院环保工程研究中心 烟气脱硫脱硝用电子加速器引出窗
US20110012495A1 (en) * 2009-07-20 2011-01-20 Advanced Electron Beams, Inc. Emitter Exit Window
US20190287693A1 (en) * 2016-11-09 2019-09-19 Hitachi Zosen Corporation Electron beam irradiating device
CN206948700U (zh) * 2017-05-09 2018-01-30 无锡爱邦辐射技术有限公司 低能电子加速器用束流引出窗
CN109719648A (zh) * 2019-01-31 2019-05-07 苏州联讯仪器有限公司 激光芯片用自适应夹具

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113115507A (zh) * 2021-05-11 2021-07-13 上海高鹰科技有限公司 一种电子帘加速器束流引出窗结构
CN115835469A (zh) * 2022-11-16 2023-03-21 中国科学院近代物理研究所 一种用于强流超导直线加速器和高功率靶的束窗系统
CN115835469B (zh) * 2022-11-16 2023-09-12 中国科学院近代物理研究所 一种用于强流超导直线加速器和高功率靶的束窗系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN111586959B (zh) 2022-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111586959B (zh) 一种电子帘加速器双窗引出辐照装置
DE102011081749B4 (de) Substratbehandlungsanlage
CN101835339B (zh) 常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器
CN211656495U (zh) 一种用于电子加速器引出窗的格栅
JP2008019470A (ja) プラズマ処理装置の給電構造
CN211359428U (zh) 一种新型板材双面涂油机
CN207243464U (zh) 一种集成化臭氧放电装置
CN212728771U (zh) 一种改进的zj17卷烟机烟丝料斗滤网装置
CN205029628U (zh) 一种散热区被独立分分开的层压组件
CN209991796U (zh) 一种新型高温热处理炉电极装置
CN217643823U (zh) 气源直流离子风棒
CN207040066U (zh) 一种用于网络机柜的玻璃门
CN215955764U (zh) 具有电磁兼容屏蔽分区结构的保护系统柜
CN105692561A (zh) 大型板式臭氧发生装置
CN219052318U (zh) 一种微波等离子清洗装置
CN218039092U (zh) 真空镀膜设备
CN213548000U (zh) 一种便携式无线电监测设备
CN213771342U (zh) 一种板式臭氧发生器放电室
CN217606787U (zh) 面板镀膜设备
CN221074017U (zh) 一种新型遮光通风装置
CN219643414U (zh) 一种带有气流导向结构的低压开关柜
CN210926646U (zh) 一种防潮通风性能较好的电力柜
CN218631800U (zh) 一种便于装配的微型断路器
CN113430583A (zh) 一种一体化离子膜复合阳极板和制造方法
CN217241240U (zh) 一种型材电源箱结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant