CN111560637A - 晶圆电镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆电镀设备。该晶圆电镀设备包括：电镀液槽，所述电镀液槽设置有搅拌装置，用于搅拌电镀液；盖子，所述盖子盖接在所述电镀液槽上；晶圆，所述晶圆可旋转地安装在所述盖子上；和第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述晶圆传动连接，用于驱动所述晶圆周向旋转。本发明提供的晶圆电镀设备中，电镀过程中，搅拌装置可搅拌电镀液槽中的电镀液，电镀液分布均匀，第一驱动机构可驱动晶圆旋转，金属离子可更均匀地电镀在晶圆表面，避免由于电势线不均匀分布导致金属离子不均匀电镀在晶圆表面，使用方便，电镀效果好。

Description

晶圆电镀设备

技术领域

本发明涉及一种晶圆电镀设备。

背景技术

有些集成电路零部件生产过程中需要电镀，而且对电镀的精度要求非常高。现有技术中的晶圆电镀设备，电镀液及的电势线分布不均匀，其分布差异较大，导致电镀效果差，金属离子不能均匀电镀在晶圆表面。

发明内容

本发明的第一个目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆电镀设备。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

根据本发明的第一方面，提供了一种晶圆电镀设备。该晶圆电镀设备包括：

电镀液槽，所述电镀液槽设置有搅拌装置，用于搅拌电镀液；

盖子，所述盖子盖接在所述电镀液槽上；

晶圆，所述晶圆可旋转地安装在所述盖子上；和

第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述晶圆传动连接，用于驱动所述晶圆周向旋转。

可选地，所述盖子包括晶圆夹持件，所述第一驱动机构包括第一传动轴；

所述晶圆周向固定在所述晶圆夹持件上，所述晶圆夹持件周向固定在所述第一传动轴上；

所述第一驱动机构与所述第一传动轴传动连接，用于带动所述第一传动轴旋转，从而带动所述晶圆夹持机构和所述晶圆旋转。

可选地，所述盖子还包括安装座，所述安装座可盖接在所述电镀液槽上；所述第一驱动机构安装在所述安装座上。

可选地，所述第一驱动机构包括第一旋转电机、第一主动轮和第一从动轮；

所述第一旋转电机的第一输出轴周向固定在所述第一主动轮上，用于带动所述第一主动轮旋转；

所述第一主动轮通过传动带带动所述第一从动轮旋转；

所述第一从动轮周向固定在所述第一传动轴上，用于带动所述第一传动轴旋转。

可选地，所述晶圆夹持件上设置有晶圆容置槽，所述晶圆固定安装在所述晶圆容置槽中。

可选地，所述搅拌装置包括：

第三驱动机构；和

可转动的承载装置；所述可转动的承载装置上安装有搅拌件；

其中，所述第三驱动机构与所述承载装置传动连接。

可选地，所述搅拌件包括第一搅拌件，所述第一搅拌件可转动地安装在所述承载装置上；

所述搅拌装置还包括第四驱动机构，所述第四驱动机构与所述第一搅拌件传动连接。

可选地，所述第四驱动机构为内齿轮；所述内齿轮通过偶数个行星齿轮与所述第一搅拌件传动连接。

可选地，所述内齿轮与所述第二行星齿轮相啮合，所述第二行星齿轮与第一行星齿轮与相啮合；

所述承载装置上固定设置有第一安装架；

所述第一安装架上安装有可转动的第一行星齿轮轴，所述第一行星齿轮及所述第一搅拌件安装于所述第一行星齿轮轴上；

所述第一安装架上安装有第二行星齿轮轴，所述第二行星齿轮可转动地安装于所述第二行星齿轮轴上。

可选地，所述搅拌件还包括第二搅拌件，所述内齿轮分别驱动所述第一搅拌件和所述第二搅拌件自转。

可选地，所述内齿轮通过奇数个行星齿轮与所述第二搅拌件传动连接。

可选地，所述承载装置上固定设置有第二安装架；

所述第二安装架上安装有可转动的第三行星齿轮轴；所述第三行星齿轮及所述第二搅拌件安装于第三行星齿轮轴上；

所述第二安装架上安装有第四行星齿轮轴；所述第四行星齿轮可转动地安装于所述第四行星齿轮轴上；

所述第二安装架上安装有第五行星齿轮轴；所述第五行星齿可转动地安装于所述第五行星齿轮轴上。

可选地，所述承载装置具有一中空部，所述第一安装架与所述第二安装架设置于中空部；第一安装架与第二安装架相向延伸。

可选地，所述承载装置为外齿轮；所述第三驱动机构的第三输出轴上安装有主动齿轮；

所述主动齿轮与中间齿轮相啮合，所述中间齿轮与所述承载装置的外齿轮相啮合；或者，所述主动齿轮直接与所述承载装置相啮合。

可选地，所述第一驱动机构还与所述搅拌件传动连接；

所述第一驱动机构驱动所述晶圆周向旋转，并带动所述搅拌件周向旋转。

与现有技术相比，本发明提供的晶圆电镀设备中，电镀过程中，搅拌装置可搅拌电镀液槽中的电镀液，电镀液分布均匀，第一驱动机构可驱动晶圆旋转，金属离子可更均匀地电镀在晶圆表面，避免由于电势线不均匀分布导致金属离子不均匀电镀在晶圆表面，使用方便，电镀效果好。

附图说明

图1为本发明一种实施例提供的晶圆电镀设备的结构示意图。

图2为图1中的盖子的结构示意图。

图3为图2的仰视图。

图4为沿图3中A-A方向的剖视图。

图5为图2盖子除去部分安装座后的结构示意图。

图6为图1中的搅拌装置的局部结构示意图。

图7为图6去除壳体后的示意图。

图8为图7另一视角的示意图。

图9为图8的俯视图。

图10为图8中的承载装置的结构示意图。

图11为图1中的电镀液槽的结构示意图。

图12为图11的俯视图。

图13为沿图12中B-B方向的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细的描述：

根据是发明的一种实施例，提供了一种晶圆电镀设备。如图1所示，晶圆电镀设备包括电镀液槽、盖子7和晶圆78。电镀液槽的槽壁为绝缘材质，电镀液槽用于容纳电镀液。电镀液槽的底部设置有导电材质，为阳极。例如，阳极可以是阳极网状结构。

盖子7可盖接在电镀液槽上。例如盖子7可转动地安装在电镀槽上。盖子7为绝缘材质。晶圆78可旋转地安装在盖子7上。晶圆78为导电材质，为阴极。盖子7包括第一驱动机构。第一驱动机构与晶圆78传动连接，用于带动晶圆78旋转。

电镀液槽设置有搅拌装置，用于搅拌电镀液槽中的电镀液。搅拌装置为绝缘材质。

当盖子7盖接在电镀液槽上时，阳极与阴极晶圆78相对间隔设置。当晶圆电镀设备接入电源时，晶圆电镀设备的阳极与阴极晶圆78产生电势差，电镀液槽中电镀液的金属离子可游至晶圆78，可将可将金属电镀在晶圆78上。

本实施例的电镀过程中，搅拌装置可搅拌电镀液槽中的电镀液，电镀液分布均匀，第一驱动机构可驱动晶圆78旋转，金属离子可更均匀地电镀在晶圆78表面，避免由于电势线不均匀分布导致金属离子不均匀电镀在晶圆78表面，使用方便，电镀效果好。

晶圆78安装在盖子7上的结构可根据需要选择设置。本实施例中，如图2至图4所示，盖子7可包括晶圆夹持件72，用于固定晶圆78。晶圆夹持件72为绝缘材质。晶圆78固定安装在晶圆夹持件72上。晶圆78相对于晶圆夹持件72周向固定。更优选地，晶圆夹持件72上可设置有晶圆容置槽，晶圆78固定安装在晶圆容置槽中。晶圆78与晶圆夹持件72可同步周向转动。

盖子7还可包括安装座70。安装座70为绝缘材质。安装座70盖接在电镀液槽上。安装座70可拆卸地安装在电镀液槽上，例如安装座70可转动连接在电镀液槽上。第一驱动机构安装在安装座70上。

如图2至图5所示，第一驱动机构可包括第一传动轴89。第一传动轴89为绝缘材质。晶圆夹持件72周向固定在第一传动轴89上。第一驱动机构能带动第一传动轴89旋转，从而带动晶圆夹持机构旋转。如此，晶圆夹持件72可旋转地安装在盖子7的安装座70上。

第一驱动机构包括第一旋转电机80、第一主动轮82、第一从动轮83。例如旋转电机的壳体可固定安装在安装座70上。第一旋转电机80的第一输出轴81周向固定在第一主动轮82上，用于带动第一主动轮82旋转。例如，第一主动轮82与第一输出轴81可同轴固定。第一主动轮82通过传动带84带动第一从动轮83旋转。例如，第一主动轮82可与传动带84相啮合，第一从动轮83可与传动带84相啮合。第一从动轮83周向固定在第一传动轴89上，用于带动第一传动轴89旋转。例如，第一传动轴89可与第一从动轮83同轴固定。

当第一驱动机构工作时可驱动第一输出轴81和第一主动轮82旋转，从而第一主动轮82通过传动带84带动第一从动轮83旋转，进而带动第一传动轴89、晶圆夹持机构及晶圆78同步旋转。

盖子7还可以包括第二驱动机构。晶圆78固定安装在晶圆夹持件72上，晶圆78可相对于晶圆夹持件72轴向固定。第二驱动机构与晶圆夹持件72传动连接，用于驱动晶圆夹持件72及其上的晶圆78沿轴向往复移动。

第二驱动机构可带动阴极晶圆78沿轴向移动，可实现调节阴极晶圆78的位置，可根据需要调节阳极与阴极晶圆78之间的距离，从而调节阳极与阴极晶圆78之间的电势差，可获得较佳的电镀效果，电镀精度高。

第二驱动机构与晶圆夹持件72的传动连接结构可根据需要设置，只要使第二驱动机构能驱动晶圆夹持件72沿轴向移动即可。本实施例中，如图2至图5所示，晶圆夹持件72可轴向固定在第一传动轴89上。第二驱动机构可与第一传动轴89传动连接，用于带动第一传动轴89沿轴向移动，从而带动晶圆夹持件72及晶圆78沿轴向移动。

第二驱动机构可包括第二旋转电机90、第二主动轮92、第二从动轮94和轴承座95。第二从动轮94轴向固定在安装座70上。更优选地，安装座70上可设置有轴向固定件74，轴向固定件74上设置有两个轴向间隔设置的阻挡件740；第二从动轮94轴向固定在两个阻挡件740之间。

轴承座95周向固定在安装座70上。轴承座95套设在第一传动轴89上，且轴承座95与第一传动轴89之间设置有轴承98，如此第一传动轴89可相对于轴承座95周向旋转。轴承座95相对于第一传动轴89轴向固定，可同步轴向移动。

第二旋转电机90的第二输出轴91周向固定在第二主动轮92上，第二旋转电机90的第二输出轴91可带动第二主动轮92旋转。例如，第二输出轴91与第二主动轮92可同轴固定。

第二主动轮92与第二从动轮94相啮合，用于带动第二从动轮94旋转。第二主动轮92和第二从动轮94可均设置为齿轮结构，为两齿轮之间的相互啮合，第二从动轮94设置有内螺纹，轴承座95设置有外螺纹。第二从动轮94的内螺纹套设在轴承座95上的外螺纹。由于第二从动轮94相对于安装座70轴向固定。轴承座95相对于安装座70周向固定，当通过第二从动轮94的内螺纹与轴承座95的外螺纹的配合作用时，轴承座95仅被允许沿轴向移动。当第二主动轮92带动第二从动轮94转动时，通过第二从动轮94的内螺纹与轴承座95的外螺纹的配合作用，可使轴承座95沿轴向移动。

第二旋转电机90可安装在安装座70上。例如，第二旋转电机90的壳体可固定安装在安装座70上。

如图5所示，轴承座95上可固定连接有顶固定板96。顶固定板96上设置有第一导向件97。安装座70上设置有第二导向件76。第二导向件76与第一导向件97的形状可相匹配地设置。第二导向件76与第一导向件97相配合以实现导向作用，从而限定轴承座95沿轴向移动。

进一步地，第一导向件97的数量可设置有至少有两个。第二导向件76的数量与第一导向件97的数量相等，且分别对应。第二导向件76与对应第一导向件97相配合，从而周向固定轴承座95。如此，轴向座被周向固定，当第二主动轮92带动第二从动轮94转动时，第二从动轮94的内螺纹与轴承座95的外螺纹相互配合作用时，轴承座95由于被周向固定从而不能旋转，轴承座95仅能沿轴向移动。

例如，第一导向件97可设置为导向柱，第二导向件76为导向孔；导向柱插设至导向孔中。又例如，第一导向件97可设置为导向孔，第二导向件76设置为导向柱；导向柱插设至导向孔中。

需要说明的是，轴向座也可通过其他方式被周向固定，本申请并不对其进行唯一限定。

当第二驱动机构工作时，第二旋转电机90的第二输出轴91带动第二主动轮92旋转，第二主动轮92带动第二从动轮94旋转，第二从动轮94通过螺纹配合作用套设带动轴承座95和第一传动轴89沿轴向移动，进而带动晶圆夹持件72沿轴向移动。

如图6至图9所示，搅拌装置可包括壳体3、第三驱动机构1和可转动的承载装置4。壳体3设置有凹槽31。壳体3为绝缘材质。第三驱动机构1包括第三输出轴11。第三驱动机构1的第三输出轴11上安装有主动齿轮20。主动齿轮20为外齿轮。主动齿轮20设置于凹槽31内。例如，第三输出轴11与主动齿轮20可同轴设置，以同步转动。

承载装置4设置于凹槽31内。承载装置4为绝缘材质。承载装置4上安装有搅拌件。搅拌件为绝缘材质。承载装置4为外齿轮。主动齿轮20与中间齿轮22相啮合，中间齿轮22与承载装置4的外齿轮相啮合。第三驱动机构1通过第三输出轴11可带动承载装置4及其上的搅拌件转动，从而实现搅拌件的公转。此外，在其他实施例中，承载装置4也可直接与主动齿轮20相啮合。

搅拌件安装在承载装置4上的具体结构可根据需要设置。本实施例中，承载装置4上固定设置有安装架。搅拌件可旋转地在安装架上。第三驱动机构驱动承载装置4转动，从而带动搅拌件公转，并且带动搅拌件自转。

具体地，如图9所示，承载装置4中部为中空结构。承载装置4上设置有第一安装架41和第二安装架42。第一安装架41和第二安装架42均为绝缘材质。第一安装架41与第二安装架42在承载装置4的中空部相向延伸。

搅拌件可包括第一搅拌件66。搅拌装置还包括驱动第一搅拌件66旋转的第四驱动机构。第四驱动机构与第一搅拌件66传动连接，用于驱动第一搅拌件66自转。

如图所示的示例中，第四驱动机构可设置为内齿轮5。第一安装架41上安装有可转动的第一行星齿轮轴611。第一行星齿轮轴611上套设安装有第一行星齿轮61和第一搅拌件66。第一行星齿轮轴611和第一行星齿轮61均为绝缘材质。第一行星齿轮61和第一搅拌件66可实现同步转动。例如第一行星齿轮61和第一搅拌件66可同轴设置。

第一安装架41上设置有第二行星齿轮轴621。第二行星齿轮轴621上安装有可转动的第二行星齿轮62。第二行星齿轮轴621和第二行星齿轮62均为绝缘材质。第一行星齿轮61与第二行星齿轮62均为外齿轮，且第一行星齿轮61与第二行星齿轮62相互啮合。第二行星齿轮62与内齿轮5相啮合。承载装置4的内齿轮5可通过第二行星齿轮62带动第一行星齿轮轴611及第一搅拌件66自转。

搅拌件还可包括第一搅拌件68。第二安装架42上安装有可转动的第三行星齿轮轴631。第二安装架42上还设置有第四行星齿轮轴641及可第五行星齿轮轴651。第三行星齿轮轴631上套设安装有第三行星齿轮63和第一搅拌件68。第四行星齿轮轴641上套设安装有可转动的第四行星齿轮64。第五行星齿轮轴651上套设安装有可转动的第五行星齿轮65。第三行星齿轮63、第四行星齿轮64及第五行星齿轮65均为外齿轮。第三行星齿轮63、第四行星齿轮64及第五行星齿轮65依次啮合。第五行星齿轮65与内齿轮5啮合。承载装置4的内齿轮5可依次通过第五行星齿轮65、第四行星齿轮64带动第三行星齿轮63及第一搅拌件68自转。

内齿轮5设置于承载装置4上方并同时与第二行星齿轮62和第五行星齿轮65相啮合。内齿轮5设置于凹槽31内。例如，内齿轮5可设置在承载装置4中空结构的内周面上。

第三驱动机构1可设置为伺服电机。使用时，启动第三驱动机构1，其第三输出轴11驱动主动齿轮20旋转，并将驱动力传递至承载装置4，驱动承载装置4转动。驱动承载装置4带动第一搅拌件66及第一搅拌件68转动，实现公转。

驱动承载装置4同时带动第二行星齿轮62及第五行星齿轮65沿内齿轮5圆周方向移动。第二行星齿轮62及第五行星齿轮65沿内齿轮5圆周方向移动过程中，由于内齿轮5固定不动，第二行星齿轮62及第五行星齿轮65受到内齿轮5的内齿驱动而分别绕第二行星齿轮轴621和第五行星齿轮轴651转动。转动的第二行星齿轮62驱动第一行星齿轮61转动，带动第一行星齿轮轴611和第一搅拌件66自转。第一搅拌件66自转是以第一行星齿轮轴611为轴旋转。转动的第五行星齿轮65驱动第四行星齿轮64及第三行星齿轮63转动，进而带动第三行星齿轮轴631及第一搅拌件68自转。第一搅拌件68自转是以第三行星齿轮轴631为轴旋转。第三行星齿轮轴631、第三行星齿轮63、第四行星齿轮轴641、第四行星齿轮64、第五行星齿轮轴651、第五行星齿轮65均为绝缘材质。如此，利用一个主动的第四驱动机构，通过合理地设计传动装置，第一搅拌件66和第一搅拌件68自身可分别实现自转。

如图8所示的示例中，第一搅拌件66的转动方向与第一搅拌件68的转动方向相反设置。例如，当第三驱动机构1驱动承载装置4顺时针转动时，第一搅拌件66可被带动沿逆时针方向转动，第一搅拌件68可被带动沿顺时针方向转动。又例如，当第三驱动机构1驱动承载装置4逆时针转动时，第一搅拌件66可被带动沿顺时针方向转动，第一搅拌件68可被带动沿逆时针方向转动。

本实施例中的内齿轮5通过第二行星齿轮621和第一行星齿轮611共两个行星齿轮与第一搅拌件66传动连接。此外，内齿轮5可通过其他偶数个行星齿轮与第一搅拌件66传动连接。

本实施例中的内齿轮5通过第五行星齿轮65、第四行星齿轮64和第三行星齿轮63共三个行星齿轮与第一搅拌件68传动连接。此外，内齿轮5可通过其他奇数个行星齿轮与第一搅拌件68传动连接。

由于内齿轮5可通过其他偶数个行星齿轮与第一搅拌件66传动连接，内齿轮5可通过其他奇数个行星齿轮与第一搅拌件68传动连接，第一搅拌件66的转动方向与第一搅拌件68的转动方向总是相反。

此外，在其他一些实施例中，可以使用中空的同步带轮代替承载装置4。第三驱动机构1通过同步带驱动承载装置4转动。本实施例中，搅拌件可包括多个搅拌桨。其中每个搅拌桨可以是线性杆状结构，或者T字形结构，或者方体结构等。多个搅拌桨可在圆周方向上间隔排布。如图所示的示例中，第一搅拌件81及第二搅拌件82均包括四个大致呈方形结构的搅拌桨，四个搅拌桨整体大致呈十字形状排布。

此外，在其他一些示例中，搅拌件也可包括一个搅拌桨。其中每个搅拌桨可以是线性杆状结构，或者T字形结构，或者方体结构等。

此外，在其他一些示例中，搅拌件可包括一个或者多个叶轮。叶轮可设置为弧形或者直线形结构。当搅拌件包括多个叶轮时，多个叶轮可交叉分布，例如多个叶轮可设置成2片交叉的叶子或者3片交叉的叶子或者丁字形状的叶子等。

作为优选的实施例，晶圆78的旋转方向与承载装置4的转动方向相反设置，如此晶圆78的旋转方向与搅拌件的公转方向相反。晶圆78的旋转方向与至少一个搅拌件的自转方向可相反设置。此外，晶圆78的旋转方向与承载装置4的转动方向也可相同设置。

此外，在其他一些实施例中，第一驱动机构也可与搅拌件传动连接。第一驱动机构驱动晶圆78周向旋转，并带动搅拌件自转。如此，第一驱动机构可同时驱动晶圆78和搅拌件自转。本实施例中，如图10至图12所示，电镀槽液上可设置有喷头32。喷头32设置成用于向晶圆78表面喷水。喷头32为绝缘材质。例如，喷头32可设置成管结构。电镀液槽的内壁设置有收集槽30。

当喷头32向晶圆78表面喷水时，第一驱动机构驱动晶圆78旋转，使晶圆78表面的喷水甩出并收集在收集槽30中。

如此，通过设置喷头32和收集槽30，可清洗晶圆78表面，避免晶圆78表面带有不必要的杂质，晶圆78表面仅镀有所需的金属离子，晶圆78的电镀效果更佳。

如图12所示，收集槽30可设置有开口300。开口300与晶圆78在径向上位置相对。晶圆78在旋转时，其上的清水可被甩出至收集槽30中，避免晶圆78表面的喷水进入至电镀液槽中与电镀液混合，导致电镀液的稀释。

为使收集槽30能收集晶圆78旋转时甩出的水，收集槽30由开口300沿轴向朝电镀液槽内部延伸设置。如此，收集槽30能独立地收集晶圆78旋转时甩出的水，收集的水不会流出至与电镀液槽中的电镀液混合。

一种具体实施方式中，如图所示，当喷头32向晶圆78表面喷水时，第一驱动机构驱动晶圆78旋转，喷在晶圆78表面的水可沿圆周的切线方向甩出并收集在收集槽30中，避免落入电镀液槽中导致电镀液的稀释。

本实施例中，第二驱动机构可驱动晶圆夹持件72和晶圆78沿轴向移动，并能带动晶圆78从电镀位置沿轴向移动至清洗位置。

当第二驱动机构带动晶圆78轴向移动至电镀位置时，晶圆78浸在电镀液槽的电镀液中，可实现对晶圆78电镀。

当第二驱动机构带动晶圆78轴向移动至清洗位置时，晶圆78沿轴向移动至脱离电镀液槽的电镀液，此时晶圆78可位于电镀液的液面上方，可被喷头32喷水清洗。

本发明中，电镀过程中，搅拌装置可搅拌电镀液槽中的电镀液，电镀液分布均匀，第一驱动机构可驱动晶圆旋转，金属离子可更均匀地电镀在晶圆表面，避免由于电势线不均匀分布导致金属离子不均匀电镀在晶圆表面，使用方便，电镀效果好。

第二驱动机构可带动阴极晶圆沿轴向移动，可实现调节阴极晶圆的位置，可根据需要调节阳极与阴极晶圆之间的距离，从而调节阳极与阴极晶圆之间的电势差，可获得较佳的电镀效果，电镀精度高。

通过设置喷头和收集槽，可清洗晶圆表面，避免晶圆表面带有不必要的杂质，晶圆表面仅镀有所需的金属离子，晶圆的电镀效果更佳。

本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。

Claims (15)

1.晶圆电镀设备，其特征在于，包括：

电镀液槽，所述电镀液槽设置有搅拌装置，用于搅拌电镀液；

盖子，所述盖子盖接在所述电镀液槽上；

晶圆，所述晶圆可旋转地安装在所述盖子上；和

第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述晶圆传动连接，用于驱动所述晶圆周向旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述盖子包括晶圆夹持件，所述第一驱动机构包括第一传动轴；

所述晶圆周向固定在所述晶圆夹持件上，所述晶圆夹持件周向固定在所述第一传动轴上；

所述第一驱动机构与所述第一传动轴传动连接，用于带动所述第一传动轴旋转，从而带动所述晶圆夹持机构和所述晶圆旋转。

3.根据权利要求2所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述盖子还包括安装座，所述安装座可盖接在所述电镀液槽上；所述第一驱动机构安装在所述安装座上。

4.根据权利要求2所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第一驱动机构包括第一旋转电机、第一主动轮和第一从动轮；

所述第一旋转电机的第一输出轴周向固定在所述第一主动轮上，用于带动所述第一主动轮旋转；

所述第一主动轮通过传动带带动所述第一从动轮旋转；

所述第一从动轮周向固定在所述第一传动轴上，用于带动所述第一传动轴旋转。

5.根据权利要求2所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述晶圆夹持件上设置有晶圆容置槽，所述晶圆固定安装在所述晶圆容置槽中。

6.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于，所述搅拌装置包括：第三驱动机构；和

可转动的承载装置；所述可转动的承载装置上安装有搅拌件；

其中，所述第三驱动机构与所述承载装置传动连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述搅拌件包括第一搅拌件，所述第一搅拌件可转动地安装在所述承载装置上；

所述搅拌装置还包括第四驱动机构，所述第四驱动机构与所述第一搅拌件传动连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第四驱动机构为内齿轮；所述内齿轮通过偶数个行星齿轮与所述第一搅拌件传动连接。

9.根据权利要求8所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述内齿轮与所述第二行星齿轮相啮合，所述第二行星齿轮与第一行星齿轮与相啮合；

所述承载装置上固定设置有第一安装架；

所述第一安装架上安装有可转动的第一行星齿轮轴，所述第一行星齿轮及所述第一搅拌件安装于所述第一行星齿轮轴上；

所述第一安装架上安装有第二行星齿轮轴，所述第二行星齿轮可转动地安装于所述第二行星齿轮轴上。

10.根据权利要求9所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述搅拌件还包括第二搅拌件，所述内齿轮分别驱动所述第一搅拌件和所述第二搅拌件自转。

11.根据权利要求10所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述内齿轮通过奇数个行星齿轮与所述第二搅拌件传动连接。

12.根据权利要求11所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述承载装置上固定设置有第二安装架；

所述第二安装架上安装有可转动的第三行星齿轮轴；所述第三行星齿轮及所述第二搅拌件安装于第三行星齿轮轴上；

所述第二安装架上安装有第四行星齿轮轴；所述第四行星齿轮可转动地安装于所述第四行星齿轮轴上；

所述第二安装架上安装有第五行星齿轮轴；所述第五行星齿可转动地安装于所述第五行星齿轮轴上。

13.根据权利要求12所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述承载装置具有一中空部，所述第一安装架与所述第二安装架设置于中空部；第一安装架与第二安装架相向延伸。

14.根据权利要求6权利要求所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述承载装置为外齿轮；所述第三驱动机构的第三输出轴上安装有主动齿轮；

所述主动齿轮与中间齿轮相啮合，所述中间齿轮与所述承载装置的外齿轮相啮合；或者，所述主动齿轮直接与所述承载装置相啮合。

15.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第一驱动机构还与所述搅拌件传动连接；

所述第一驱动机构驱动所述晶圆周向旋转，并带动所述搅拌件周向旋转。

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