CN111545835B - 一种激光辅助式微振切削装置 - Google Patents
一种激光辅助式微振切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111545835B CN111545835B CN202010397011.3A CN202010397011A CN111545835B CN 111545835 B CN111545835 B CN 111545835B CN 202010397011 A CN202010397011 A CN 202010397011A CN 111545835 B CN111545835 B CN 111545835B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vibration
- micro
- flexible
- cutting
- cutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 44
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 7
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 13
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 8
- 238000004093 laser heating Methods 0.000 description 2
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D79/00—Methods, machines, or devices not covered elsewhere, for working metal by removal of material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P25/00—Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress
- B23P25/003—Auxiliary treatment of workpieces, before or during machining operations, to facilitate the action of the tool or the attainment of a desired final condition of the work, e.g. relief of internal stress immediately preceding a cutting tool
- B23P25/006—Heating the workpiece by laser during machining
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明涉及一种激光辅助式微振切削装置,包括柔性微振机构、压电驱动器和压电驱动器固紧支架。所述柔性微振机构包括U形底座、四个类弹簧直板柔性铰链组、纵向位移放大机构、双向扫描振镜和装刀基座。所述压电驱动器固紧支架通过螺钉与柔性微振机构U形底座一端固接,两个压电驱动器通过螺钉预紧,通过双向扫描振镜调整聚焦激光束落到刀尖前方一定距离处,切削过程中可以使得聚焦激光束与刀具同频同向振动,从而保证刀具切削材料状态的一致性。本发明结构简单易于实现,能够有效提高切削精度,尤其适用于难加工材料(如硬脆材料、高温合金等)表面微结构高精、高效制造,可以显著提高切削用量可调阈值,增加面向不同尺度微结构表面的加工柔性。
Description
技术领域
本发明属于微纳与超精密制造领域,具体涉及一种激光辅助式微振切削装置。
背景技术
近年来,工程陶瓷、复合材料、高温合金、钛合金等先进工程材料因其具有强度高、耐磨损、抗腐蚀、热稳定性好等优良特性,在机械、化工、航空航天、核工业等领域获得了广泛应用。采用常规方法加工这些材料时,由于硬度高、强度大、塑性低等特点,使得切削力和切削温度非常高,刀具磨损严重,加工质量差,加工几何形状受限,而激光加热辅助切削技术的发展为这类难加工材料的高效精密加工提供了一种行之有效的途径。
激光加热辅助切削是通过激光照射提高工件的局部温度改变应去除材料的性能,使激光照射部分软化再进行切削的方法。目前,针对加热软化法激光辅助切削难加工材料方面,已有学者开展了广泛研究,但多是直接利用激光照射工件表面并结合传统加工方法进行的加工,虽然一定程度上获得了更高的加工精度,但该类方法依然存在不足,比如增加了加工现场狭小空间的占用比重不利于操作人员进行操作,同时在复杂微纳结构创成方面依然很受限制。对于微纳结构表面的机械创成方法,目前主要依赖于振动场辅助、织构化刀具和纳米压印等方法,但在难加工材料(硬脆材料、高温合金等)微纳结构表面创成方面,均存在一定的局限性,比如刀具磨损严重、微纳结构特征尺寸精度不高、加工尺度较小等问题。专利(CN110340669A)提出了一种基于激光原位辅助的快刀伺服加工硬脆材料自由曲面的方法,虽然它一定程度上提高了快刀伺服加工硬脆材料塑性区选择的灵活性,但该方法在复杂微纳结构表面创成方面仍显不足,由于其无法实现激光光束与刀具同频同向振动,从而无法始终保持被切去材料状态的一致性,一定程度上影响微纳米尺度特征加工精度的一致性,限制了其在复杂微纳结构高效精密创成方面的应用。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种激光辅助式微振切削装置,以解决针对难加工材料复杂微纳结构创成方面现有机械加工方法和激光辅助式加工技术中存在的不足,如加工尺寸精度低、面向不同微纳结构加工柔度低,以及激光辅助式加工无法实现激光光束与刀具同频同向振动,进而无法始终保持被切去材料状态的一致性等问题。
为解决上述技术问题,本发明采用下述技术方案:
一种激光辅助式微振切削装置,包括柔性微振机构、压电驱动器和压电驱动器固紧支架。
所述激光辅助式微振切削装置中,柔性微振机构通过U形底座与机床固接,U形底座一侧的支撑臂设计有对称的缺口用于装配驱动器固紧支架,在缺口处利用螺钉将驱动器固紧支架与支撑臂紧固,利用螺钉通过压电驱动器固紧支架中间的螺纹孔对压电驱动器进行预紧,通过控制输入信号以实现装刀基座x方向的左右振动,U形底座两侧的两支撑臂分别与四个类弹簧直板形柔性铰链组的一端相连接,四个类弹簧直板形柔性铰链组的另一端与纵向位移放大机构相连接,纵向位移放大机构的输出端与双向扫描振镜和装刀基座相连接,柔性微振机构内侧纵向位移放大机构部分装配有一个压电驱动器,并利用螺钉预紧,通过控制输入信号并基于纵向位移放大机构把横向位移转变成纵向位移,以实现输出端y方向的上下振动。
所述的纵向位移放大机构采用杠杆和半桥式位移放大原理对y方向上的位移进行放大,压电驱动器以点接触的接触方式与一侧的杠杆接触,杠杆的底部采用直圆形柔性铰链作为导向,杠杆的输出端与半桥式位移放大机构输入端组合为一体,半桥式位移放大机构采用直板形柔性铰链作为导向,半桥式位移放大机构输出端与双向扫描振镜和装刀基座连接,并通过直板形柔性铰链进行导向,杠杆底部直圆型柔性铰链与上方半桥式位移放大机构组合将压电驱动器提供的水平力变为竖直力作用于双向扫描振镜和装刀基座,实现双向扫描振镜和装刀基座的上下微振。
所述双向扫描振镜和装刀基座为一整体结构,装刀基座位于双向扫描振镜底座的前方,双向扫描振镜包括一上一下两个垂直配置的反射镜,两个反射镜能够通过双向扫描振镜控制系统实现上下位置的微调和90度角的旋转。
所述的双向扫描振镜能够通过主动调整把侧向射入的聚焦激光束导向刀具前刀面前方一定距离处。
所述的激光辅助式微振切削装置可以通过主动控制两个压电驱动器的输入信号,实现聚焦激光束和刀具在同一平面内同频同向振动,进而保证刀具切削材料状态的一致性。
本发明与现有技术相比的有益效果是:该装置可以实现聚焦激光束和刀具在同一平面内同频同向振动,保证刀具切削材料状态的一致性,进而提高加工精度。此外,该装置可以适用于不同超精密机床,能够有效释放机床内部的有限加工空间,利用机床运动轴和激光辅助式微振切削装置中两压电驱动器的协调动作,可以实现对难加工材料的大尺寸复杂表面微结构高效高质加工,同时也可以显著提高切削用量的可调阈值,减小刀具磨损,增加面向不同尺度微结构表面的加工柔性。
附图说明
图1为激光辅助式微振切削装置轴测示意图1。
图2为激光辅助式微振切削装置轴测示意图2。
图3为柔性微振机构正视图。
图4为压电驱动器固紧支架示意图。
图5为光路导向原理示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明。
如图1所示,所述的一种激光辅助式微振切削装置,包括柔性微振机构1、压电驱动器2和压电驱动器固紧支架3。
如图1、图2、图3和图4所示,所述激光辅助式微振切削装置中,柔性微振机构1通过U形底座与机床固接,U形底座与101支撑臂对称的支撑臂上前后设计有两个对称的缺口,利用螺钉通过前后两个301孔把压电驱动器固紧支架3与U形底座固紧,利用螺钉通过压电驱动器固紧支架3中间的螺纹孔302对压电驱动器201进行预紧,通过控制输入信号以实现装刀基座105沿x方向的左右振动,U形底座两侧的两支撑臂分别与四个类弹簧直板形柔性铰链组102的一端相连接,四个类弹簧直板形柔性铰链组102的另一端与纵向位移放大机构相连接,纵向位移放大机构的输出端与双向扫描振镜104和装刀基座105相连接,柔性微振机构内侧纵向位移放大机构部分装配有一个压电驱动器202,并利用螺钉预紧,通过控制输入信号并基于纵向位移放大机构把横向位移转变成纵向位移,以实现输出端y方向的上下振动。
所述的纵向位移放大机构采用杠杆和半桥式位移放大原理对y方向上的位移进行放大,压电驱动器202通过螺钉预紧于一侧的杠杆臂,并以点接触的接触方式与另一侧的杠杆臂接触,纵向位移放大机构两侧杠杆的底部分别采用两个直圆形柔性铰链107作为导向,杠杆的输出端与半桥式位移放大机构输入端组合为一体,半桥式位移放大机构采用对称分布的八个直板形柔性铰链106作为导向,半桥式位移放大机构输出端与双向扫描振镜104和装刀基座105连接,并通过左右对称分布的直板形柔性铰链103进行导向,杠杆底部直圆型柔性铰链107与上方半桥式位移放大机构组合将压电驱动器202提供的水平力变为竖直力作用于双向扫描振镜104和装刀基座105,实现双向扫描振镜104和装刀基座105的上下微振。
所述双向扫描振镜104和装刀基座105为一整体结构,装刀基座105位于双向扫描振镜104底座的前方,双向扫描振镜104包括一上一下两个垂直配置的反射镜,两个反射镜能够通过双向扫描振镜控制系统实现上下位置的微调和90度角的旋转。
如图5所示为本发明的光路导向原理示意图,所述的双向扫描振镜104能够通过主动调整把侧向射入的聚焦激光束导向刀具前刀面前方一定距离A处,在xOy平面内,B点表示金刚石刀具的刀尖圆弧中点的投影,可以通过双向扫描振镜104的主动调整来微调AB两点之间的距离h的大小,所述的激光辅助式微振切削装置可以通过主动控制两个压电驱动器2的输入信号,实现聚焦激光束A点和刀具刀尖圆弧中心点投影B点在同一平面xOy内同频同向振动,进而保证刀具切削材料状态的一致性。
Claims (2)
1.一种激光辅助式微振切削装置,其特征在于:包括柔性微振机构、压电驱动器和压电驱动器固紧支架,所述柔性微振机构包括U形底座、四个类弹簧直板柔性铰链组、纵向位移放大机构、双向扫描振镜和装刀基座;所述柔性微振机构为一体式柔顺运动机构,利用柔性微振机构的U形底座与机床固接,U形底座左右两支撑臂分别与四个类弹簧直板形柔性铰链组一端连接,四个类弹簧直板形柔性铰链组另一端分别与纵向位移放大机构左右两侧面连接,纵向位移放大机构输出端与双向扫描振镜和装刀基座连接,柔性微振机构内侧纵向位移放大机构部分装配有一个压电驱动器,并利用螺钉预紧,通过控制输入信号并基于纵向位移放大机构把横向输入位移转变成纵向输出位移,以实现沿装刀基座y方向的上下振动,柔性微振机构U形底座一端设计有对称的两个缺口,用以装配压电驱动器固紧支架,利用螺钉通过压电驱动器固紧支架中间的螺纹孔对压电驱动器进行预紧,通过控制输入信号以实现装刀基座x方向的左右振动;所述双向扫描振镜和装刀基座为一整体结构,双向扫描振镜包括两个垂直配置的反射镜,能够实现两个反射镜上下位置的微调,并能实现反射镜的90度旋转;所述的一种激光辅助式微振切削装置,可以通过双向扫描振镜的主动调整,把侧向射入的聚焦激光束导向刀具前刀面前方一定距离处,所述激光辅助式微振切削装置可以通过主动控制两个压电驱动器的输入信号,实现聚焦激光束和刀具在同一平面内同频同向振动,进而保证刀具切削材料状态的一致性;
所述纵向位移放大机构的结构是:纵向位移放大机构采用杠杆和半桥式位移放大原理实现沿y轴方向位移的放大,杠杆底部采用直圆形柔性铰链作为导向,半桥式位移放大机构采用直板形柔性铰链作为导向,半桥式位移放大机构输出端与双向扫描振镜和装刀基座连接,并通过直板形柔性铰链进行导向,杠杆底部直圆型柔性铰链与上方半桥式位移放大机构组合,将靠近杠杆底部直圆形柔性铰链一侧的压电驱动器提供的水平力变为竖直力,通过输出端作用于双向扫描振镜和装刀基座,实现双向扫描振镜和装刀基座的上下微振。
2.根据权利要求1所述的一种激光辅助式微振切削装置,其特征在于:该装置可以安装在不同超精密机床上,利用机床运动轴和激光辅助式微振切削装置中两压电驱动器的协调动作,可以实现对难加工材料的高精密切削,尤其适用于大尺寸复杂表面微结构的高效高质加工,同时也可以显著提高切削用量的可调阈值,减小刀具磨损,增加面向不同尺度微结构表面的加工柔性。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010397011.3A CN111545835B (zh) | 2020-05-12 | 2020-05-12 | 一种激光辅助式微振切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010397011.3A CN111545835B (zh) | 2020-05-12 | 2020-05-12 | 一种激光辅助式微振切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111545835A CN111545835A (zh) | 2020-08-18 |
CN111545835B true CN111545835B (zh) | 2022-06-07 |
Family
ID=71997657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010397011.3A Active CN111545835B (zh) | 2020-05-12 | 2020-05-12 | 一种激光辅助式微振切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111545835B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115609767B (zh) * | 2022-11-03 | 2024-10-11 | 华中科技大学 | 一种多模式激光辅助超精密切削装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1077405A (zh) * | 1992-04-13 | 1993-10-20 | 石赓儒 | 聚光加热切削工艺及其聚光装置 |
CN102785025A (zh) * | 2012-06-21 | 2012-11-21 | 西安交通大学 | 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法 |
CN103464828A (zh) * | 2013-08-26 | 2013-12-25 | 南京钢铁股份有限公司 | 一种刀片式板坯除毛刺机 |
CN204381833U (zh) * | 2014-12-31 | 2015-06-10 | 华中科技大学 | 一种高温合金机加工的辅助装置 |
CN108526912A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-09-14 | 长春理工大学 | 激光辅助卧式三维超声椭圆振动铣床设备及其工作方法 |
WO2019076392A1 (de) * | 2017-10-18 | 2019-04-25 | Innolite Gmbh | Verfahren für die drehbearbeitung von werkstücken und vorrichtung insbesondere für die durchführung eines derartigen verfahrens |
CN110480188A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-22 | 燕山大学 | 一种纳米孪晶金刚石微刀具快速成型的加工方法 |
-
2020
- 2020-05-12 CN CN202010397011.3A patent/CN111545835B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1077405A (zh) * | 1992-04-13 | 1993-10-20 | 石赓儒 | 聚光加热切削工艺及其聚光装置 |
CN102785025A (zh) * | 2012-06-21 | 2012-11-21 | 西安交通大学 | 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法 |
CN103464828A (zh) * | 2013-08-26 | 2013-12-25 | 南京钢铁股份有限公司 | 一种刀片式板坯除毛刺机 |
CN204381833U (zh) * | 2014-12-31 | 2015-06-10 | 华中科技大学 | 一种高温合金机加工的辅助装置 |
WO2019076392A1 (de) * | 2017-10-18 | 2019-04-25 | Innolite Gmbh | Verfahren für die drehbearbeitung von werkstücken und vorrichtung insbesondere für die durchführung eines derartigen verfahrens |
CN108526912A (zh) * | 2018-04-25 | 2018-09-14 | 长春理工大学 | 激光辅助卧式三维超声椭圆振动铣床设备及其工作方法 |
CN110480188A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-22 | 燕山大学 | 一种纳米孪晶金刚石微刀具快速成型的加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111545835A (zh) | 2020-08-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107378655B (zh) | 多维旋转超声展成加工机构及其加工方法 | |
CN104071974B (zh) | 一种用于玻璃切割的激光设备及切割方法 | |
CN106271493A (zh) | 一种激光预制微织构辅助超声铣削工艺方法及加工系统 | |
CN112207430A (zh) | 一种五轴激光铣削加工机床 | |
CN203610672U (zh) | 一种用于精密车床的三维椭圆金刚石振动切削装置 | |
CN108526912A (zh) | 激光辅助卧式三维超声椭圆振动铣床设备及其工作方法 | |
CN111545835B (zh) | 一种激光辅助式微振切削装置 | |
CN113305571B (zh) | 超声振动辅助激光调控磨削与在线修整装置及方法 | |
CN103567464A (zh) | 激光加热辅助微车削装置及方法 | |
CN112935555B (zh) | 基于光束调制的复合型精密激光抛光方法及加工系统 | |
CN110170756B (zh) | 一种金属板材激光裁剪机械 | |
CN110449995A (zh) | 一种用于自由曲面磨削的激光辅助磨削加工装置及方法 | |
CN114770234B (zh) | 一种激光复合超声辅助磨削机床及加工方法 | |
CN111375900A (zh) | 一种基于三维整形焦斑的复杂型面刀具激光加工方法 | |
KR20190063539A (ko) | 레이저를 이용한 태양전지 모듈용 유리표면 가공 장치 | |
CN111864010A (zh) | 一种用于太阳能电池片无损激光裂片机构 | |
CN203960048U (zh) | 一种用于玻璃切割的激光设备 | |
CN211803832U (zh) | 一种激光辅助慢刀伺服车削加工装置 | |
CN111037344A (zh) | 一种磁场辅助的超精密加工装置和方法 | |
CN213827472U (zh) | 一种激光车削加工机床 | |
CN220427200U (zh) | 一种不锈钢水表箱激光切割装置 | |
CN213827473U (zh) | 一种五轴激光铣削加工机床 | |
CN117250907A (zh) | 一种实时调节同步激光辅助加工中重要参数的装置及方法 | |
CN111375899A (zh) | 一种大曲率曲面激光加工成型方法 | |
CN107414284A (zh) | 一种准分子激光辅助微铣削加工方法与装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |