CN111510843B - Mems麦克风的修调装置及其修调方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法，每个MEMS麦克风根据偏置电压和增益提供输出信号，该修调方法包括：将第一配置数据烧录至第一组MEMS麦克风，以便于第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的偏置电压和增益被第一配置数据配置；对于第一组MEMS麦克风，根据每个MEMS麦克风提供的输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；根据第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据；以及将第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，其中，对于第二组MEMS麦克风中的每个MEMS麦克风，偏置电压和增益被第二配置数据配置，以便于该MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。

Description

MEMS麦克风的修调装置及其修调方法
技术领域
本发明涉及修调技术，更具体地，涉及一种MEMS麦克风的修调装置及其修调方法。
背景技术
硅麦克风是基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)技术制造的麦克风，跟传统的驻极体电容麦克风(Electret Capacitance Microphone，ECM)的聚合材料振动膜相比，MEMS麦克风在不同温度下的性能都十分稳定，其敏感性不会受温度、振动、湿度和时间的影响。但是，MEMS麦克风需要专用集成电路芯片(Application SpecificIntegrated Circuit，ASIC)提供的外部偏置，而ECM没有这种偏置。有效的偏置将使MEMS麦克风在整个操作温度范围内都可保持稳定的声学和电气参数，还支持具有不同敏感性的麦克风设计。随着时代的进步和技术的发展，应用端对MEMS麦克风的灵敏度要求精度越来越高，例如，以往大部分产品只要求标准灵敏度正负3dB即可满足要求。现在，例如智能手机和智能音箱等，却需要保证标准灵敏度为正负1dB甚至正负0.5dB这样的高要求。像ASIC晶圆这类纯电路芯片是很容易做到电性能高度一致性的，但是MEMS晶圆无法做到ASIC晶圆那样的一致性，MEMS单体间会存在一定差异，这样将MEMS和ASIC组装起来就会存在一定波动误差，如果需要是每颗MEMS麦克风的灵敏度高度一致，那么我们就需要为每颗MEMS传感器烧录修调一颗定制的ASIC芯片以达到标准灵敏度，烧录的两个重要参数分别是VBIAS(MEMS偏置电压)和GAIN(ASIC输出增益)。
因此，希望进一步改进修调方法与修调装置，从而使得每颗MEMS麦克风的灵敏度高度一致。
发明内容
本发明的目的是提供一种改进的修调方法与修调装置，以解决现有技术中无法使MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的技术问题。
根据本发明的一方面，提供了一种修调方法，每个所述MEMS麦克风根据偏置电压和增益提供输出信号，所述修调方法包括：将第一配置数据烧录至第一组MEMS麦克风，以便于所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的所述偏置电压和所述增益被第一配置数据配置；对于所述第一组MEMS麦克风，根据每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据；以及将所述第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，其中，对于所述第二组MEMS麦克风中的每个所述MEMS麦克风，所述偏置电压和所述增益被所述第二配置数据配置，以便于该MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。
优选地，还包括：对于所述第二组MEMS麦克风，根据每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；以及根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对所述第二组MEMS麦克风进行分选。
优选地，所述预设范围包括多个预设区间，根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对所述第二组MEMS麦克风进行分选的步骤包括：根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间对所述第二组MEMS麦克风进行分选。
优选地，还包括获得MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表，根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据步骤包括：根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度获得所述第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值；计算所述灵敏度特征值与所述第一组MEMS麦克风中所述MEMS麦克风的增益值之差，以便于获得增益值归零后的所述灵敏度特征值；根据增益值归零后的所述灵敏度特征值分别与对照表中的增益值之和获得多个理论灵敏度；以及计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内，所述第二组配置数据包括所述第一数据，所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置。
优选地，根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度获得所述第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值的步骤包括：根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度计算所述第一组MEMS麦克风的灵敏度的均值或中位数或众数，以便于将所述均值或所述中位数或所述众数作为所述灵敏度特征值。
根据本发明的另一方面，提供了一种修调装置，每个所述MEMS麦克风根据偏置电压和增益提供输出信号，所述修调装置包括：测试模块，用于根据第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；以及控制模块，用于将第一配置数据烧录至所述第一组MEMS麦克风，以便于所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的所述偏置电压和所述增益被第一配置数据配置；还用于根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据；还用于将所述第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，其中，对于所述第二组MEMS麦克风中的每个所述MEMS麦克风，所述偏置电压和所述增益被所述第二配置数据配置，以便于该MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内。
优选地，还包括分选模块，用于根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对所述第二组MEMS麦克风进行分选，其中，所述测试模块还用于，根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度。
优选地，所述预设范围包括多个预设区间，所述控制模块还用于根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间产生相应分选信号并发送至所述分选模块。
优选地，所述控制模块包括：存储单元，用于存储多个第一数据以及所述MEMS麦克风的增益值与多个所述第一数据的对照表；计算单元，用于根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度获得所述第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值；用于计算所述灵敏度特征值与所述第一组MEMS麦克风中所述MEMS麦克风的增益值之差，以便于获得增益值归零后的所述灵敏度特征值；用于根据增益值归零后的所述灵敏度特征值分别与对照表中的增益值之和获得多个理论灵敏度；用于计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值；以及判断单元，用于根据每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内，所述第二组配置数据包括所述第一数据，所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置。
优选地，所述计算单元根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度计算所述第一组MEMS麦克风的灵敏度的均值或中位数或众数，以便于将所述均值或所述中位数或所述众数作为所述灵敏度特征值。
根据本发明实施例的MEMS麦克风的修调方法与修调装置，通过检测出第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度，并根据第一组MEMS麦克风的灵敏度为第二组MEMS麦克风选择相匹配的偏置电压和增益，从而使得第二组MEMS麦克风的灵敏度处于预设范围内。与现有技术相比，本申请对不同组的MEMS麦克风配置了对应的偏置电压和增益，从而使得MEMS麦克风的灵敏度均在预设范围内，达到了使得所有被修调后的MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的效果。
进一步的，通过检测出修调后的MEMS麦克风的灵敏度，对修调后的MEMS麦克风进行分选，从而可以在预设范围之内，使得MEMS麦克风根据灵敏度得到更加细致的区分。
进一步的，通过预先设置第一数据与增益值的对照表，使得在获得第一组MEMS麦克风的灵敏度后直接根据对照表选择要配置的增益值，并将第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，在大大提高了修调效率。
此外，在调修每个MEMS麦克风时仅进行了一次烧录，进一步提高了修调效率。
附图说明
通过以下参照附图对本发明实施例的描述，本发明的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。
图1示出了本发明实施例的MEMS麦克风的结构示意图。
图2示出了本发明实施例的MEMS麦克风的修调装置的结构示意图。
图3示出了本发明实施例的MEMS麦克风的修调方法的流程图。
具体实施方式
以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。为了简明起见，可以在一幅图中描述经过数个步骤后获得的半导体结构。
应当理解，在描述器件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将器件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。
如果为了描述直接位于另一层、另一个区域上面的情形，本文将采用“直接在……上面”或“在……上面并与之邻接”的表述方式。
在下文中描述了本发明的许多特定的细节，例如器件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本发明。
本发明可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。
图1示出了本发明实施例的MEMS麦克风的结构示意图。
如图1所示，MEMS麦克风100包括MEMS传感器110与ASIC芯片120。其中，ASIC芯片120向MEMS传感器110提供偏置电压VBIAS，MEMS传感器110接收偏置电压VBIAS后对外部环境作出响应产生感测信号，并将感测信号提供给ASIC芯片120，ASIC芯片120根据配置的增益值对感测信号进行缩放，最终产生输出信号Vout。
图2示出了本发明实施例的MEMS麦克风的修调装置的结构示意图。
如图2所示，MEMS麦克风的修调装置200包括：控制模块210、测试模块220以及分选模块230。其中，控制模块210包括配置单元、信号发生单元、存储单元、计算单元、判断单元。在本实施例中，控制模块210例如采用上位机测试控制软件实现，测试模块220例如采用MEMS麦克风测试机实现，分选模块230例如采用MEMS麦克风分选机实现。然而本发明实施例并不限于此，本领域技术人员可以根据需要对各个模块的实现方式进行其他设置。
本实施例提供的MEMS麦克风的修调装置200为自动修调装置，在修调时不需人为介入。在下文中，将会结合图3对MEMS麦克风的修调装置200的工作原理进行详细说明。
图3示出了本发明实施例的MEMS麦克风的修调方法的流程图。
如图3所示，在步骤S01中，获得MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表。
在该步骤中，需要预先确定MEMS麦克风的目标灵敏度、一系列增益值以及不同增益值相对应的第一数据。当前一组MEMS麦克风的灵敏度分布整体偏移目标灵敏度时，通过调节增益值就可以将后一组MEMS麦克风的灵敏度调整至目标灵敏度。在实际的调修过程中，MEMS麦克风的灵敏度会在一定范围内接近这个目标灵敏度，因此需要设置一个预设范围，目标灵敏度位于这个预设范围内。
表1 MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表
第一数据 A B C D E F G H I J
增益(dB) 0 0.5 -2.5 1.5 2 -1 -4.5 3.5 4 -3
第一数据 K L M N O P Q R S T
增益(dB) 5 -0.5 2.5 -1.5 -2 1 4.5 -3.5 -4 3
作为一具体实施例，通过控制模块210的存储单元存储第一数据、第二数据以及表1，其中，第一数据用于配置MEMS麦克风的增益值，第二数据用于配置MEMS麦克风的偏置电压，表1列出了MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照关系。在表1中一共列举了20个对照组，每个增益值都有唯一确定的第一数据与之对应。在表1中，增益的取值范围在-4.5dB至5dB之间，每隔0.5dB设置一个档位，其中，表1中的增益值排列顺序不做限定。
然而，本发明实施例并不限于此，本领域技术人员可以根据实际需要对MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表进行其他设置，例如增益值的取值范围、对照组的个数等均可以根据实际产品进行设置。
在具体的实施例中，例如将目标灵敏度S设定为-42dB，在目标灵敏度S的基础上加减0.5dB，得到的预设范围是-42dB±0.5dB，即-42.5dB至-41.5dB。
然而，本发明实施例并不限于此，本领域技术人员可以根据实际的产品设置目标灵敏度S以及预设范围宽度，例如将目标灵敏度S设置为-40dB，将预设范围设置为-40dB±1dB等。
在步骤S02中，将第一配置数据烧录至第一组MEMS麦克风。
在本实施例中，第一配置数据包括第一数据与第二数据，用于配置第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的偏置电压和增益。控制模块210的配置单元将第一配置数据烧录至第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的ASIC芯片120中，被第一数据配置的增益值将会替换ASIC芯片120中的初始增益。其中，烧录方式例如为一次性编程(One TimeProgramable，OTP)烧录。在本实施例中，向每个MEMS麦克风中烧录的第二数据相同，使得每个MEMS麦克风被配置的偏置电压VBIAS相同。需要注意的是，MEMS麦克风初始增益是ASIC芯片的固有特性。
在步骤S03中，对于第一组MEMS麦克风，根据每个MEMS麦克风提供的输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度。
在该步骤中，测试模块220根据第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的输出信号Vout1获得该MEMS麦克风的灵敏度S1后，将每个灵敏度S1提供至控制模块210。其中，第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风根据被配置的偏置电压VBIAS与增益产生输出信号Vout1。
在本实施例中，将第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风置于测试环境中，该测试环境例如是94dB声压级(1Pa)条件下，使用1kHz频率的声音信号进行激励的测量的环境。MEMS麦克风根据偏置电压VBIAS与增益提供输出信号Vout1，该输出信号Vout1视作相应MEMS麦克风对已知声压级的响应，每个MEMS麦克风的灵敏度S1可视为该MEMS麦克风对已知声压级的回应能力。
在本实施例中，每完成一个MEMS麦克风的烧录就可以进行该MEMS麦克风的灵敏度测试，记录灵敏度S1，直至将第一组MEMS麦克风均测试完毕。
在步骤S04中，根据第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据。其中，第二配置数据包括第一数据与第二数据，用于配置第二组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的偏置电压和增益。
在该步骤中，控制模块210的计算单元需要根据第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度S1获得第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值。然后计算灵敏度特征值与第一组MEMS麦克风中MEMS麦克风的增益值之差，以便于获得增益值归零后的灵敏度特征值St。然后根据增益值归零后的灵敏度特征值St分别与对照表中的增益值之和获得多个理论灵敏度S2，并计算每个理论灵敏度S2与目标灵敏度S的差值。控制模块210的判断单元用于根据每个理论灵敏度S2与目标灵敏度S的差值判断出最接近目标灵敏度S的理论灵敏度S2，以便于选择该理论灵敏度S2对应的第一数据，以作为第二配置数据中的第一数据。第二配置数据中的第二数据与第一配置数据中的第二数据相同，以使得每个MEMS麦克风被配置的偏置电压VBIAS相同。
在本实施例中，控制模块210的计算单元根据第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度S1计算第一组MEMS麦克风的所有灵敏度S1的均值或中位数或众数，以便于将均值或中位数或众数作为所述灵敏度特征值。
在一些具体的实施例中，例如将第一组MEMS麦克风的所有灵敏度S1的均值作为灵敏度特征值，得到的灵敏度特征值为-43.98dB，减去第一组MEMS麦克风中的增益1dB后，得到增益归零后的灵敏度特征值为-44.98dB，依次将-44.98dB与表1中所有的增益值分别求和，在增益值为3时，判断出得到的理论灵敏度S2(-41.98dB)与目标灵敏度S(-42dB)最接近，因此选择增益为3dB对应的第一数据作为第二配置数据中的第一数据。在修调后，第二组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度应当为-41.98dB，位于预设范围-42dB±0.5dB之内。
然而，本发明实施例并不限于此，增益归零后的灵敏度特征值St可以大于目标灵敏度，例如增益归零后的灵敏度特征值St为-40dB等等，也可以适用于本发明的上述修调方案。
在步骤S05中，将第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风。
在该步骤中，控制模块210的配置单元将第二数据与上一步选出第一数据作为第二配置数据一起烧录至第二组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的ASIC芯片120中，被第一数据配置的增益值将会替换ASIC芯片120中的初始增益。在一些具体实施例中，烧录方式例如为OTP烧录，烧录的第一数据为OTP烧录码值“T”。在测试环境中，第二组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风根据被配置的偏置电压VBIAS与增益值产生第二输出信号Vout2。需要注意的是，在采用OTP方法向ASIC芯片120烧录第一数据前，ASIC芯片120中的第一数据内容为空，因此增益值的可调空间很大。此外，第一数据内容为空不代表ASIC芯片120的初始增益值为零，换句话说，初始增益值与ASIC芯片120中的第一数据内容是否为空并无关系，因为初始增益值是ASIC芯片的固有特性。
在步骤S06中，对于第二组MEMS麦克风，根据每个MEMS麦克风提供的输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度。
在该步骤中，测试模块220根据第二组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风提供的输出信号Vout2获得该MEMS麦克风的灵敏度S3后，将每个灵敏度S3提供至控制模块210。在本实施例中，灵敏度S3的检测方法与第一组MEMS麦克风的灵敏度S1的检测方法相同，此处不再赘述。
在步骤S07中，根据第二组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度对第二组MEMS麦克风进行分选。
在该步骤中，控制模块210的信号发生单元根据灵敏度S3对应的预设区间产生相应分选信号并发送至分选模块230，从而使得分选模块230根据分选信号对第二组MEMS麦克风进行分选。
在一些具体的实施例中，当预设范围是-42dB±0.5dB时，可以将预设范围分为如下几个预设区间：-42.5dB至-42.4dB、-42.4dB至-42.3dB、-42.3dB至-42.2dB、-42.2dB至-42.1dB、-42.1dB至-42.0dB、-42.0dB至-41.9dB、-41.9dB至-41.8dB、-41.8dB至-41.7dB、-43.7dB至-42.6dB、以及-41.6dB至-41.5dB。其中，灵敏度为-41.98dB的MEMS麦克风将会被分选至-42.0dB至-41.9dB这一预设区间。
然而，本发明实施例并不限于此，本领域技术人员可以根据实际需要对预设区间的划分进行其他设置。此外，在获得第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度S1后，也可以按照上述分选方法对第一组MEMS麦克风进行分选。
在本实施例中，检测到的第二组MEMS麦克风的灵敏度将会作为下一组MEMS麦克风的调修参考，即循环步骤S02至S07，前一组的MEMS麦克风作为第一组MEMS麦克风，后一组的MEMS麦克风作为第二组MEMS麦克风。本领域技术人员可以根据需要对每组MEMS麦克风的数量自行设置。
根据本发明实施例的MEMS麦克风的修调方法与修调装置，通过检测出第一组MEMS麦克风中每个MEMS麦克风的灵敏度，并根据第一组MEMS麦克风的灵敏度为第二组MEMS麦克风选择相匹配的偏置电压和增益，从而使得第二组MEMS麦克风的灵敏度处于预设范围内。与现有技术相比，本申请对不同组的MEMS麦克风配置了对应的偏置电压和增益，从而使得MEMS麦克风的灵敏度均在预设范围内，达到了使得所有被修调后的MEMS麦克风的灵敏度达到高度一致的效果。
进一步的，通过检测出修调后的MEMS麦克风的灵敏度，对修调后的MEMS麦克风进行分选，从而可以在预设范围之内，使得MEMS麦克风根据灵敏度得到更加细致的区分。
进一步的，通过预先设置灵敏度差值与增益值的对照表，使得在获得第一组MEMS麦克风的灵敏度后直接根据对照表选择要配置在第二组MEMS麦克风中的偏置电压与增益值，在大大提高了修调效率。
此外，本发明的修调方法与修调装置通过前一组的MEMS麦克风的灵敏度对后一组的MEMS麦克风的灵敏度进行预判，并在调修在后组的MEMS麦克风时仅进行了一次烧录，为了兼顾修调效率与产品的一致性，每组的MEMS麦克风个数还可以根据实际需要自行调整。
在以上的描述中，对于各层的构图、蚀刻等技术细节并没有做出详细的说明。但是本领域技术人员应当理解，可以通过各种技术手段，来形成所需形状的层、区域等。另外，为了形成同一结构，本领域技术人员还可以设计出与以上描述的方法并不完全相同的方法。另外，尽管在以上分别描述了各实施例，但是这并不意味着各个实施例中的措施不能有利地结合使用。
以上对本发明的实施例进行了描述。但是，这些实施例仅仅是为了说明的目的，而并非为了限制本发明的范围。本发明的范围由所附权利要求及其等价物限定。不脱离本发明的范围，本领域技术人员可以做出多种替代和修改，这些替代和修改都应落在本发明的范围之内。

Claims (8)

1.一种MEMS麦克风的修调方法，每个所述MEMS麦克风根据偏置电压和增益提供输出信号，其特征在于，所述修调方法包括：
将第一配置数据烧录至第一组MEMS麦克风，以便于所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的所述偏置电压和所述增益被第一配置数据配置；
对于所述第一组MEMS麦克风，根据每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；
根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据；以及
将所述第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，
其中，对于所述第二组MEMS麦克风中的每个所述MEMS麦克风，所述偏置电压和所述增益被所述第二配置数据配置，以便于该MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内，
所述修调方法还包括：获得MEMS麦克风的增益值与第一数据的对照表，
根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据的步骤包括：
根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度获得所述第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值；
计算所述灵敏度特征值与所述第一组MEMS麦克风中所述MEMS麦克风的增益值之差，以便于获得增益值归零后的所述灵敏度特征值；
根据增益值归零后的所述灵敏度特征值分别与对照表中的增益值之和获得多个理论灵敏度；以及
计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值，以便于判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，
其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内，所述第二配置数据包括所述第一数据，所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置。
2.根据权利要求1所述的修调方法，其特征在于，还包括：
对于所述第二组MEMS麦克风，根据每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；以及
根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对所述第二组MEMS麦克风进行分选。
3.根据权利要求2所述的修调方法，其特征在于，所述预设范围包括多个预设区间，根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对所述第二组MEMS麦克风进行分选的步骤包括：根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间对所述第二组MEMS麦克风进行分选。
4.根据权利要求1所述的修调方法，其特征在于，根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度获得所述第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值的步骤包括：根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度计算所述第一组MEMS麦克风的灵敏度的均值或中位数或众数，以便于将所述均值或所述中位数或所述众数作为所述灵敏度特征值。
5.一种MEMS麦克风的修调装置，每个所述MEMS麦克风根据偏置电压和增益提供输出信号，其特征在于，所述修调装置包括：
测试模块，用于根据第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度；以及
控制模块，用于将第一配置数据烧录至所述第一组MEMS麦克风，以便于所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的所述偏置电压和所述增益被第一配置数据配置；还用于根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度选择相匹配的第二配置数据；还用于将所述第二配置数据烧录至第二组MEMS麦克风，
其中，对于所述第二组MEMS麦克风中的每个所述MEMS麦克风，所述偏置电压和所述增益被所述第二配置数据配置，以便于该MEMS麦克风的灵敏度被配置于预设范围内，
所述控制模块包括：
存储单元，用于存储多个第一数据以及所述MEMS麦克风的增益值与多个所述第一数据的对照表；
计算单元，用于根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度获得所述第一组MEMS麦克风的灵敏度特征值；用于计算所述灵敏度特征值与所述第一组MEMS麦克风中所述MEMS麦克风的增益值之差，以便于获得增益值归零后的所述灵敏度特征值；用于根据增益值归零后的所述灵敏度特征值分别与对照表中的增益值之和获得多个理论灵敏度；用于计算每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值；以及
判断单元，用于根据每个所述理论灵敏度与目标灵敏度的差值判断出最接近所述目标灵敏度的所述理论灵敏度，并选择该理论灵敏度对应的所述第一数据，
其中，所述目标灵敏度位于所述预设范围之内，所述第二配置数据包括所述第一数据，所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的增益值被所述第一数据配置。
6.根据权利要求5所述的修调装置，其特征在于，还包括分选模块，用于根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对所述第二组MEMS麦克风进行分选，
其中，所述测试模块还用于根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风提供的所述输出信号获得该MEMS麦克风的灵敏度。
7.根据权利要求6所述的修调装置，其特征在于，所述预设范围包括多个预设区间，所述控制模块还用于根据所述第二组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度对应的所述预设区间产生相应分选信号并发送至所述分选模块。
8.根据权利要求5所述的修调装置，其特征在于，所述计算单元根据所述第一组MEMS麦克风中每个所述MEMS麦克风的灵敏度计算所述第一组MEMS麦克风的灵敏度的均值或中位数或众数，以便于将所述均值或所述中位数或所述众数作为所述灵敏度特征值。
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