CN111474391B - 高速探针卡装置及其矩形探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种高速探针卡装置及其矩形探针，矩形探针定义有长度方向且外表面包含平行长度方向的两宽侧面与两窄侧面。矩形探针包含中间段、相连于中间段两端第一连接段与第二连接段、分别相连于第一连接段与第二连接段的第一接触段与第二接触段及行程结构。行程结构形成于中间段、第一接触段及第二接触段的至少其一，并包含：纵向穿孔及两横向沟槽。纵向穿孔贯穿两宽侧面且平行于长度方向。两横向沟槽分别凹设于两宽侧面、并自纵向穿孔分别延伸至两窄侧面。两横向沟槽能分别朝彼此远离的方向移动，以缩短矩形探针的长度并续有回弹力。

Description

高速探针卡装置及其矩形探针

技术领域

本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种高速探针卡装置及其矩形探针。

背景技术

半导体芯片进行测试时，测试设备是通过一探针卡装置而与待测物电性连接，并通过信号传输及信号分析，以获得待测物的测试结果。现有的探针卡装置设有对应待测物的电性接点而排列的多个探针，以通过上述多个探针同时点接触待测物的相对应电性接点。

然而，现有探针卡装置在面临高速信号传输的相关测试时，现有探针卡装置的多个探针需在进行测试前就先变形来蓄有回弹力，所以现有探针的长度较长，因而不利于高速信号的传输。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种高速探针卡装置及其矩形探针，能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种高速探针卡装置，包括一上导板、一下导板及多个矩形探针。上导板形成有多个上开孔；下导板形成有多个下开孔，所述下导板平行于所述上导板，并且多个所述下开孔的位置分别对应于多个所述上开孔的位置；多个矩形探针，分别穿设于所述上导板的多个所述上开孔、并分别穿过所述下导板的多个所述下开孔；其中，每个所述矩形探针呈长形并定义有一长度方向，每个所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，并且每个所述矩形探针包含一中间段、一第一连接段、一第二连接段、一第一接触段、一第二接触段及至少一行程结构。中间段位于所述上导板与所述下导板之间；一第一连接段自所述中间段一端延伸所形成并穿设于相对应的所述上开孔内；一第二连接段，自所述中间段另一端延伸所形成并穿设于相对应的所述下开孔内；一第一接触段，自所述第一连接段延伸所形成且穿出相对应的所述上开孔；一第二接触段，自所述第二连接段延伸所形成且穿出相对应的所述下开孔；至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有一纵向穿孔、两个横向沟槽。纵向穿孔贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；其中，当所述高速探针卡装置的多个所述矩形探针压抵于一待测物时，每个所述矩形探针的至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使每个所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力。

优选地，于至少一所述行程结构中，每个所述横向沟槽的深度不大于所述矩形探针的厚度的50％，并且每个所述横向沟槽连通于所述纵向穿孔的中央部位。

优选地，于至少一所述行程结构中，所述纵向穿孔的长度至少为所述纵向穿孔的宽度的两倍，所述纵向穿孔的所述宽度不大于任一个所述宽侧面的宽度的30％。

优选地，于每个所述矩形探针中，至少一所述行程结构的数量进一步限定为多个，并且多个所述行程结构是沿所述长度方向间隔地形成于所述中间段上。

优选地，于每个所述矩形探针的彼此相邻两个所述行程结构中，位于相同所述宽侧面但分属于不同所述行程结构的两个所述横向沟槽分别连通于两个所述窄侧面。

优选地，每个所述矩形探针包含有一绝缘层；于每个所述矩形探针中，所述绝缘层包覆于形成有至少一所述行程结构的所述部位。

优选地，所述上导板及所述下导板未有相对错位设置，每个所述矩形探针呈直线状并定位于所述上导板及所述下导板的至少其中之一，多个所述下开孔的位置分别沿所述长度方向对应于多个所述上开孔的位置；每个所述矩形探针的长度介于2～6.5毫米(mm)。

优选地，每个所述矩形探针的所述第一连接段及邻近所述第一连接段的所述中间段部位的至少其中之一形成有一固持结构，并且每个所述矩形探针是以所述固持结构定位于所述上导板。

优选地，所述高速探针卡装置进一步包括：一间隔板，夹持于所述上导板与所述下导板之间，并且所述间隔板形成有连通于多个所述上开孔与多个所述下开孔的一容置空间；一转接板，固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，每个所述矩形探针定位于邻近所述转接板的所述上导板；其中，多个所述矩形探针的所述第二接触段是用来压抵于所述待测物。

本发明实施例也公开一种矩形探针，呈长形并定义有一长度方向，并且所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，所述矩形探针包括一中间段、一第一连接段与一第二连接段、一第一接触段、一第二接触段及至少一行程结构。一第一连接段与一第二连接段分别自所述中间段的相反两端延伸所形成；一第一接触段，自所述第一连接段朝远离所述中间段方向延伸所形成；一第二接触段，自所述第二连接段朝远离所述中间段方向延伸所形成；至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有一纵向穿孔及两个横向沟槽。纵向穿孔贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；其中，当所述矩形探针压抵于一待测物时，至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力。

综上所述，本发明实施例所公开的高速探针卡装置，其通过在矩形探针上设有行程结构来蓄有回弹力，并使得矩形探针不必在压抵于待测物之前就需形成有弯曲状的弹力部，所以矩形探针的长度相较于现有导电探针的长度来说，可以明显地缩短，据以使所述高速探针卡装置及其矩形探针能够利于高速信号的传输。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的高速探针卡装置的剖视示意图。

图2为本发明实施例一的矩形探针的立体示意图。

图3A为本发明实施例一的高速探针卡装置的另一方式剖视示意图。

图3B为本发明实施例一的高速探针卡装置的又一方式剖视示意图。

图4为本发明实施例一的矩形探针于受力时的立体示意图。

图5为图4的侧视示意图。

图6为图2的中间段在设有行程结构的位形成绝缘层的立体示意图。

图7为本发明实施例二的高速探针卡装置的剖视示意图。

图8为本发明实施例二的矩形探针的立体示意图。

图9为本发明实施例二的矩形探针于受力时的立体示意图。

图10为本发明实施例三的高速探针卡装置的剖视示意图(一)。

图11为本发明实施例三的高速探针卡装置的剖视示意图(二)。

具体实施方式

请参阅图1至图11所示，其为本发明的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本发明的实施方式，以便于了解本发明的内容，而非用来局限本发明的保护范围。

[实施例一]

如图1至图6所示，其为本发明的实施例一。如图1所示，本实施例公开一种高速探针卡装置1000，其包括有一探针头100(probe head)以及抵接于上述探针头100一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板200(space transformer)，并且所述探针头100的另一侧(如：图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物(图未示出，如：半导体晶片)。

需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现高速探针卡装置1000的局部构造，以便于清楚地呈现高速探针卡装置1000的各个组件构造与连接关系，但本发明并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。

如图1所示，所述探针头100包含有一上导板1(upper die)、一下导板2(lowerdie)、夹持于上导板1与下导板2之间的一间隔板3及多个矩形探针4。需说明的是，于本发明未示出的其他实施例中，所述探针头100的间隔板3也可以省略或是其他构件取代。再者，所述矩形探针4也可以搭配其他构件或是单独地应用。

所述间隔板3夹持于所述上导板1与下导板2之间，以使上导板1与下导板2能够彼此平行地间隔设置，但本发明不受限于此。其中，所述上导板1形成有多个上开孔11，所述下导板2形成有多个下开孔21，并且所述多个下开孔21的位置分别对应于多个上开孔11的位置。所述间隔板3形成有连通于多个上开孔11与多个下开孔21的一容置空间31。再者，所述间隔板3于本实施例中可以是环形构造、并夹持于上导板1及下导板2的相对应外围部位，由于所述间隔板3与本发明的改良重点的相关性较低，所以下述不详加说明间隔板3的细部构造。

需说明的是，所述上导板1及下导板2于本实施例中未有相对错位设置(也就是，每个下开孔21的位置分别沿矩形探针4的长度方向D对应于多个上开孔11的位置)，并且所述每个矩形探针4是定位于所述上导板1及下导板2的至少其中之一(如图1所示，矩形探针4是以定位于邻近转接板200的上导板1来说明)，以使所述每个矩形探针4呈直线状，但本发明不以此为限。

如图1和图2所示，所述多个矩形探针4分别穿设于所述上导板1的多个上开孔11、并分别穿过所述下导板2的多个下开孔21。其中，每个矩形探针4呈长形并定义有一长度方向D，每个矩形探针4的一外表面包含有平行于所述长度方向D的两个宽侧面4a与两个窄侧面4b。由于本实施例探针头100的多个矩形探针4构造皆大致相同，所以附图及下述说明是以单个矩形探针4为例，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述探针头100的多个矩形探针4也可以是具有彼此相异的构造。

所述矩形探针4于本实施例中为可导电且具有可挠性的直线状构造，并且矩形探针4的横剖面大致呈矩形。需说明的是，本实施例高速探针卡装置1000是限定使用矩形探针4，其可以是由微机电系统(MEMS)技术所制造，所以本实施例是排除制造工序截然不同的圆形探针。换句话说，本实施例的矩形探针4相较于圆形探针来说，由于两者的制造工序截然不同，所以并未有彼此参考的动机存在。

其中，所述矩形探针4包含有一中间段41、分别自上述中间段41的相反两端延伸所形成的一第一连接段42与一第二连接段43、自所述第一连接段42朝远离所述中间段41方向延伸所形成的一第一接触段44及自所述第二连接段43朝远离所述中间段41方向延伸所形成的一第二接触段45。

换个角度来看，沿所述转接板200朝向待测物的一直线方向(如：图1中的由上往下)，所述矩形探针4依序形成有第一接触段44、第一连接段42、中间段41、第二连接段43及第二接触段45。其中，所述第一接触段44穿出上导板1的相对应上开孔11并且顶抵于转接板200的相对应导电接点(也就是，转接板200固定于每个矩形探针4的第一接触段44)；所述第一连接段42穿设于上导板1的相对应上开孔11内；所述中间段41位于上导板1与下导板2之间(也就是，中间段41位于间隔板3的容置空间31内)；所述第二连接段43穿设于下导板2的相对应下开孔21内；所述第二接触段45穿出下导板2的相对应下开孔21并且用来可分离地顶抵(或压抵)于待测物的相对应导电接点(图中未示出)。

再者，所述矩形探针4在第一连接段42及其邻近第一连接段42的所述中间段41部位形成有一固持结构46，并且矩形探针4是以所述固持结构46定位于上导板1。其中，所述固持结构46于本实施例的图1和图2中包含有形成在第一连接段42的一缺口461以及形成在邻近第一连接段42的所述中间段41部位的一弹臂462。所述矩形探针4在植针的过程中，上述固持结构46能穿过相对应的下开孔21，但所述缺口461会卡持于上导板1(如：相对应上开孔11的局部内壁收容于缺口461内)，而所述弹臂462会抵持于上导板1的内表面，以使矩形探针4定位于上导板1，但本发明不受限于此。

举例来说，如图3A所示，所述固持结构46也可以是形成在矩形探针4的第一连接段42，并且固持结构46例如是突出部463、并与相对应上开孔11呈干涉配合，据以使矩形探针4以所述固持结构46定位于该上导板1。依上所载，所述矩形探针4可以在第一连接段42及邻近第一连接段42的所述中间段41部位的至少其中之一形成有固持结构46。

再者，如图3B所示，所述上导板1也可以采用彼此错位设置的双导板，并且上述双导板对应于第一连接段42各形成有一个上开孔11，以使所述矩形探针4的第一连接段42能够被所述双导板的的两个上开孔11卡持，据以使矩形探针4定位于上导板1。

此外，所述矩形探针4于本实施例中是以具备相同外径的第一接触段44、第一连接段42、中间段41、第二连接段43及第二接触段45来说明，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一接触段44与第二接触段45各能够形成尖锐状结构或其他构造。

更进一步地说，如图2、图4及图5所示，所述矩形探针4于中间段41还形成有一行程结构47，并且上述行程结构47包含有一纵向穿孔471及连通于上述纵向穿孔471的两个横向沟槽472。其中，所述纵向穿孔471贯穿两个宽侧面4a且平行于长度方向D，而所述两个横向沟槽472分别凹设于上述两个宽侧面4a、并分别位于所述纵向穿孔471的两侧。上述两个横向沟槽472于本实施例中是位于垂直所述长度方向D的一平面上。

再者，所述两个横向沟槽472是自所述纵向穿孔471分别延伸至上述两个窄侧面4b，并且每个横向沟槽472于本实施例中是连通于所述纵向穿孔471的中央部位(如：所述中央部位相当于矩形探针4的中间段41在长度方向D上的30～70％处)。其中，所述纵向穿孔471的长度L471至少为所述纵向穿孔471的宽度W471的两倍，所述纵向穿孔471的所述宽度W471不大于任一个所述宽侧面4a的宽度W4a的30％，而每个所述横向沟槽472的深度T472不大于所述矩形探针4的厚度T4的50％。

依上所述，当所述高速探针卡装置1000的多个矩形探针4压抵于待测物时，所述每个矩形探针4的行程结构47的两个横向沟槽472分别朝彼此远离的方向(如：图4中的向左移动与向右移动)移动，以使每个矩形探针4形成有上述行程结构47的一部位(如：下述两个弹力臂411)在所述长度方向D上的长度缩短、并续有一回弹力。也就是说，当所述高速探针卡装置1000的多个矩形探针4离开上述待测物时，每个矩形探针4会通过行程结构47释放回弹力，而使每个矩形探针4回复成直线状。

据此，本实施例高速探针卡装置1000的每个矩形探针4通过设有上述行程结构47来蓄有回弹力，并使得矩形探针4不必在压抵于待测物之前就需形成有弯曲状的弹力部，所以矩形探针4的长度相较于现有导电探针的长度来说，可以明显地缩短，据以使所述高速探针卡装置1000及其矩形探针4能够利于高速信号的传输。也就是说，所述矩形探针4具有较短的长度，以有效地降低其电感值，而本实施例的矩形探针4的长度L4较佳是介于2～6.5毫米(mm)，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述矩形探针4的长度L4也可以是1～10毫米。

更详细地说，上述形成有该行程结构47的矩形探针4的该部位包含有两个弹力臂411，并且每个弹力臂411的大致中央处凹设有上述横向沟槽472，据以能在一直线位置与一弯曲位置之间作动。也就是说，当所述矩形探针4压抵于上述待测物时，每个弹力臂411处于弯曲位置；当所述矩形探针4未压抵于待测物时，每个弹力臂411处于直线位置。

其中，由于本实施例的所述两个弹力臂411是对应于纵向穿孔471呈镜像对称设置，所以附图及下述说明是以单个弹力臂411为例，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述两个弹力臂411的外型也可以存有差异。

当所述弹力臂411处于直线位置时，弹力臂411于长度方向D上具有一第一长度D1。当所述弹力臂411处于弯曲位置时，弹力臂411的内缘形成有大于0度且小于180度的一夹角α，并且所述夹角α较佳为一锐角，以使所述弹力臂411于长度方向D上具有一第二长度D2。其中，L2＝L1sin(α/2)，180°>α>0。也就是说，当所述矩形探针4压抵于待测物时，矩形探针4形成有行程结构47的该部位在所述长度方向D上所缩短的长度为L1(1-sin(α/2))。

需额外说明的是，为避免所述多个矩形探针4的行程结构47相互接触，每个矩形探针4较佳是包含有一绝缘层48，并且每个矩形探针4的绝缘层48是包覆于形成有所述行程结构47的该部位(也就是，上述两个弹力臂411的外表面)。

[实施例二]

如图7至图9所示，其为本发明的实施例二，本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例相较于上述实施例一的差异主要如下：

于本实施例中，每个矩形探针4所形成的上述行程结构47数量进一步限定为多个，并且所述每个矩形探针4的多个行程结构47是沿所述长度方向D间隔地形成于所述中间段41上。也就是说，依据实施例一和实施例二所公开的技术内容，本发明每个矩形探针4所包含的行程结构47数量可以是至少一个。

其中，上述多个行程结构47的纵向穿孔471较佳是沿着平行长度方向D的一直线进行排列，但本发明不受限于此。再者，于每个矩形探针4的彼此相邻两个行程结构47中，位于相同所述宽侧面4a但分属于不同所述行程结构47的两个所述横向沟槽472分别连通于两个所述窄侧面4b；也就是说，于本实施例每个矩形探针4的彼此相邻两个行程结构47中，位于相同所述宽侧面4a但分属于不同所述行程结构47的两个所述横向沟槽472不适合连通于相同的窄侧面4b。

据此，本实施例矩形探针4能够通过增加行程结构47的数量，以有效地缩短横向沟槽472的移动距离，使得多个矩形探针4之间的距离能够被缩小，进而能够提高所述高速探针卡装置1000的矩形探针4的设置密度。

[实施例三]

如图10和图11所示，其为本发明的实施例三，本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处则不再加以赘述，而本实施例相较于上述实施例一的差异主要如下：

于本实施例中，所述矩形探针4的行程结构47可以是形成于所述第一接触段44或第二接触段45，但上述行程结构47的纵向穿孔471未连通至第一接触段44或第二接触段45的末端缘。进一步地说，如图10所示，所述行程结构47形成在第一接触段44，以使第一接触段44包含有两个弹力臂441；如图11所示，所述行程结构47形成在第二接触段45，以使第二接触段45包含有两个弹力臂451。

也就是说，依据实施例一至实施例三所公开的技术内容，本发明每个矩形探针4所包含的行程结构47，可以是形成于所述中间段41、第一接触段44及第二接触段45的至少其中之一。换个角度来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述矩形探针4的中间段41、第一接触段44及第二接触段45也可以各形成有所述行程结构47。

[本发明实施例的技术效果]

综上所述，本发明实施例所公开的高速探针卡装置，其通过在矩形探针上设有行程结构来蓄有回弹力，并使得矩形探针不必在压抵于待测物之前就需形成有弯曲状的弹力部，所以矩形探针的长度相较于现有导电探针的长度来说，可以明显地缩短，据以使所述高速探针卡装置及其矩形探针能够利于高速信号的传输。进一步地说，所述上导板及下导板可以是未有相对错位设置，并且每个矩形探针呈直线状并定位于所述上导板及下导板的至少其中之一，据以使每个矩形探针的长度可以是介于2～6.5毫米。

再者，本发明实施例所公开的矩形探针，其能够通过增加行程结构的数量，以有效地缩短横向沟槽的移动距离，使得多个矩形探针之间的距离能够被缩小，进而能够提高所述高速探针卡装置的矩形探针的设置密度。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种高速探针卡装置，其特征在于，所述高速探针卡装置包括：

一上导板，形成有多个上开孔；

一下导板，形成有多个下开孔，所述下导板平行于所述上导板，并且多个所述下开孔的位置分别对应于多个所述上开孔的位置；以及

多个矩形探针，分别穿设于所述上导板的多个所述上开孔、并分别穿过所述下导板的多个所述下开孔；其中，每个所述矩形探针呈直线状并定义有一长度方向，每个所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，并且每个所述矩形探针包含：

一中间段，位于所述上导板与所述下导板之间；

一第一连接段，自所述中间段一端延伸所形成并穿设于相对应的所述上开孔内；

一第二连接段，自所述中间段另一端延伸所形成并穿设于相对应的所述下开孔内；

一第一接触段，自所述第一连接段延伸所形成且穿出相对应的所述上开孔；

一第二接触段，自所述第二连接段延伸所形成且穿出相对应的所述下开孔；及

至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有：

一纵向穿孔，贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；及

两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；

其中，当所述高速探针卡装置的多个所述矩形探针压抵于一待测物时，每个所述矩形探针的至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使每个所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力；当所述高速探针卡装置的多个所述矩形探针离开所述待测物时，每个所述矩形探针通过至少一所述行程结构释放所述回弹力，而使每个所述矩形探针回复成直线状。

2.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，于至少一所述行程结构中，每个所述横向沟槽的深度不大于所述矩形探针的厚度的50％，并且每个所述横向沟槽连通于所述纵向穿孔的中央部位。

3.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，于至少一所述行程结构中，所述纵向穿孔的长度至少为所述纵向穿孔的宽度的两倍，所述纵向穿孔的所述宽度不大于任一个所述宽侧面的宽度的30％。

4.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，至少一所述行程结构的数量进一步限定为多个，并且多个所述行程结构是沿所述长度方向间隔地形成于所述中间段上。

5.依据权利要求4所述的高速探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针的彼此相邻两个所述行程结构中，位于相同所述宽侧面但分属于不同所述行程结构的两个所述横向沟槽分别连通于两个所述窄侧面。

6.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，每个所述矩形探针包含有一绝缘层；于每个所述矩形探针中，所述绝缘层包覆于形成有至少一所述行程结构的所述部位。

7.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，所述上导板及所述下导板未有相对错位设置，每个所述矩形探针定位于所述上导板及所述下导板的至少其中之一，多个所述下开孔的位置分别沿所述长度方向对应于多个所述上开孔的位置；每个所述矩形探针的长度介于2～6.5毫米。

8.依据权利要求7所述的高速探针卡装置，其特征在于，每个所述矩形探针的所述第一连接段及邻近所述第一连接段的所述中间段部位的至少其中之一形成有一固持结构，并且每个所述矩形探针是以所述固持结构定位于所述上导板。

9.依据权利要求1所述的高速探针卡装置，其特征在于，所述高速探针卡装置进一步包括：

一间隔板，夹持于所述上导板与所述下导板之间，并且所述间隔板形成有连通于多个所述上开孔与多个所述下开孔的一容置空间；及

一转接板，固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，每个所述矩形探针定位于邻近所述转接板的所述上导板；

其中，多个所述矩形探针的所述第二接触段是用来压抵于所述待测物。

10.一种矩形探针，其特征在于，所述矩形探针呈直线状并定义有一长度方向，并且所述矩形探针的一外表面包含有平行于所述长度方向的两个宽侧面与两个窄侧面，所述矩形探针包括：

一中间段；

一第一连接段与一第二连接段，分别自所述中间段的相反两端延伸所形成；

一第一接触段，自所述第一连接段朝远离所述中间段方向延伸所形成；

一第二接触段，自所述第二连接段朝远离所述中间段方向延伸所形成；及

至少一行程结构，形成于所述中间段、所述第一接触段及所述第二接触段的至少其中之一，并且至少一所述行程结构包含有：

一纵向穿孔，贯穿两个所述宽侧面且平行于所述长度方向；及

两个横向沟槽，分别凹设于两个所述宽侧面、并分别位于所述纵向穿孔的两侧，并且两个所述横向沟槽自所述纵向穿孔分别延伸至两个所述窄侧面；其中，两个所述横向沟槽位于垂直所述长度方向的一平面上；

其中，当所述矩形探针压抵于一待测物时，至少一所述行程结构的两个所述横向沟槽分别朝彼此远离的方向移动，以使所述矩形探针形成有至少一所述行程结构的一部位在所述长度方向上的长度缩短、并续有一回弹力；当所述矩形探针离开所述待测物时，所述矩形探针通过至少一所述行程结构释放所述回弹力，而使每所述矩形探针回复成直线状。

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