CN111473192B - 一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置及其屏蔽方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置及其屏蔽方法。本发明采用一级至三级热辐射屏蔽盘，一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘实现一级热辐射屏蔽，二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘实现二级热辐射屏蔽，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘实现三级热辐射屏蔽，从而热辐射屏蔽盘有效地逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响，并且本发明在不破坏真空的前提下完成装卸，具有良好的导热性和机械稳定性。

Description

一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置及其屏蔽方法

技术领域

本发明涉及真空设备仪器领域，具体涉及一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置及其屏蔽方法。

背景技术

目前，在利用超高真空低温物性测量装置对样品进行测量时，需要长时间而且稳定地维持测量环境的低温和超高真空状态来获取样品的性质。但是，按照热辐射理论，任何物体都会不停地向周围空间发出热辐射，且热辐射的能量与绝对温度(单位：开尔文(K)，与摄氏温标的换算关系：开氏度(K)＝摄氏度(℃)+273.15)的4次方成正比。因此，外界环境中的300K(27℃)热辐射对低温测量环境(如0.3K)的维持具有严重的影响。

现有的热辐射屏蔽装置在进行拆卸时不但要破坏测量环境的真空状态，还要将测量环境的温度恢复到室温。因此，这对于快速测量和原位测量存在很大的制约。

发明内容

针对以上现有技术中存在的问题，本发明提出了一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置及其屏蔽方法，该装置不但可以有效隔绝室温热辐射，而且能够在超高真空环境内自由装卸。

本发明的一个目的在于提出一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置。

本发明的热辐射屏蔽装置针对的制冷机为湿式制冷机，关于中轴线呈中心对称结构，制冷机的内部为超高真空环境，制冷机包括外壁、一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘；外壁为柱体的侧面，环形的一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘从下至上共轴套装在一起，冷盘的内部形成空腔，共轴的一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘的内径为阶梯状从下至上依次变小，从而制冷机内部的空腔分为三段：第一空腔、第二空腔和第三空腔；第一至第三空腔的直径依次变小；一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘的温度依次降低，一级冷盘位于制冷机的最外层，第三空腔之上为样品台，一级冷盘的温度为90～120K、二级冷盘的温度为30～90K和三级冷盘的温度为4～30K。

本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置关于中轴线呈中心对称结构设置在湿式制冷机的空腔内，热辐射屏蔽装置包括：一级热辐射屏蔽盘、二级热辐射屏蔽盘、三级热辐射屏蔽盘、制冷机定位挂钩、制冷机导向杆、屏蔽盘定位卡扣、导热柱、弹性热连接结构、导热辫、卡装式簧片、支撑组件、绝热连接杆、旋转结构、对接管、锁扣槽、操作杆和锁扣销；其中，在制冷机的一级冷盘的底壁设置多个呈中心对称的制冷机定位挂钩和制冷机导向杆；水平的一级热辐射屏蔽盘位于制冷机的一级冷盘下；与制冷机定位挂钩相对应，在一级热辐射屏蔽盘的上表面边缘位于一级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的屏蔽盘定位卡扣，屏蔽盘定位卡扣与制冷机定位挂钩的形状互补，并且与制冷机导向杆相对应，在一级热辐射屏蔽盘的上表面边缘位于一级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的定位孔；水平的二级热辐射屏蔽盘位于制冷机的二级冷盘下；在二级热辐射屏蔽盘的上表面边缘位于二级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的导热柱，每一个导热柱通过一个弹性热连接结构安装在二级热辐射屏蔽盘上，每一个导热柱对应一个导热辫，每一个导热辫的一端通过弹性热连接结构连接导热柱，另一端连接至二级热辐射屏蔽盘的中心区域的表面；水平的三级热辐射屏蔽盘位于制冷机的第三空腔内，三级热辐射屏蔽盘的侧壁上设置环形的卡装式簧片，卡装式簧片的外边缘抵在三级冷盘的内壁上；一级热辐射屏蔽盘与二级热辐射屏蔽盘之间通过多个呈中心对称的支撑组件固定连接；二级热辐射屏蔽盘的上表面中心安装旋转结构，旋转结构的上表面固定安装竖直的绝热连接杆的底端，绝热连接杆的顶端固定在三级热辐射屏蔽盘的下表面中心，绝热连接杆平行与中轴线，旋转结构能够绕中轴线旋转，旋转结构使得二级热辐射屏蔽盘以及与之固定连接的一级热辐射屏蔽盘能够绕着中轴线旋转；在一级热辐射屏蔽盘的下表面中心固定安装竖直方向的对接管，对接管为内部中空的管状结构，轴线位于中轴线上，在对接管的底端设置多个呈中心对称的锁扣槽；操作杆为柱状，与锁扣槽相对应，在操作杆的顶端具有多个呈中心对称的锁扣销；操作杆的顶端沿竖直方向从对接管的底部伸入，锁扣销沿着锁扣槽，将操作杆与对接管相对位置固定，操作杆的底端置于外界环境，通过操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内，三级热辐射屏蔽盘位于三级冷盘内，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘的内壁紧密接触，完成良好的热学连接；并且，导热柱抵在制冷机二级冷盘的底壁上，导热柱在弹性热连接结构的弹力作用下，导热柱的顶部与二级冷盘紧密接触，从而二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；旋转操作杆，从而使得位于一级热辐射屏蔽盘的上表面的屏蔽盘定位卡扣旋入制冷机定位挂钩内锁定，从而实现一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；在旋转操作杆时，与对接管固定连接的一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘随之一起旋转，同时在旋转结构作用下三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘依旧保持之前紧密接触的状态，并且二级热辐射屏蔽盘只是相对于二级冷盘旋转，与二级冷盘仍然保持紧密接触，至此，热辐射屏蔽装置安装完毕，进入工作状态；在工作状态时，一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触实现热传导，从而使一级热辐射屏蔽盘及时被一级冷盘冷却，实现一级热辐射屏蔽；二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触实现热传导，并进一步通过弹性热连接结构和导热辫与二级热辐射屏蔽盘的中心区域进行热学连接，对中心区域进行冷却，从而使二级热辐射屏蔽盘整体及时被二级冷盘冷却，实现二级热辐射屏蔽；三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘紧密接触，快速达到热平衡并得到降温，从而使三级热辐射屏蔽盘及时被三级冷盘冷却，实现三级热辐射屏蔽，保障样品台维持低温；热辐射屏蔽盘逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响。

三级热辐射屏蔽盘包括板状的平板屏蔽盘和屏蔽盘侧壁，竖直的屏蔽盘侧壁位于水平的平板屏蔽盘的外边缘，二者连接为一整体；卡装式簧片包括连接为一体的弹片卡扣结构和弹片弹力结构，弹片卡扣结构通过螺丝固定连接屏蔽盘侧壁，弹片弹力结构与三级冷盘的内壁通过弹片的弹力作用进行活动连接，从而实现与三级冷盘的热学连接。三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘的内壁间的较大接触面积和适度的弹性，使得三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘间能够快速达到热平衡并得到降温。

三级热辐射屏蔽盘包括一个或多个，多个三级热辐射屏蔽盘沿中轴线方向共轴平行排列，每一个三级热辐射屏蔽盘的侧壁均通过卡装式簧片与三级冷盘的内壁实现紧密接触，相邻的三级热辐射屏蔽盘之间采用级内连接杆固定连接，级内连接杆平行于中轴线。级内连接杆的顶端和底端分别通过级内支撑座固定在上一个三级热辐射屏蔽盘的下表面和下一个三级热辐射屏蔽盘的上表面。级内支撑座上设置有安装孔，螺丝通过安装孔固定安装在三级热辐射屏蔽盘的表面，并且在级内支撑座与三级热辐射屏蔽盘相接触的表面留有通气槽，方便残存气体排除，进而保证系统的超高真空状态。

旋转结构实现一级和二级热辐射屏蔽盘相对三级热辐射屏蔽盘旋转；旋转结构包括旋转结构固定盘、旋转结构转子和旋转结构定子；其中，水平的旋转结构固定盘与旋转结构转子固定连接为一体结构，旋转结构固定盘的上表面通过支撑座与绝热连接杆的底端固定连接，从而实现与三级热辐射屏蔽盘的稳定支撑和减少热量传递；旋转结构定子通过螺丝固定安装在二级热辐射屏蔽盘的上表面，旋转结构转子卡在旋转结构定子的内部，使得旋转结构沿着中轴线方向固定，而沿着二级热辐射屏蔽盘的平面能够绕中轴线转动，从而实现二级热辐射屏蔽盘及其以下部分的转动。

导热柱通过弹性热连接结构安装在二级热辐射屏蔽盘的表面，并实现热传导。弹性热连接结构包括固定压块、导热柱凸台、弹簧、套筒、套筒凸台和中空螺杆；其中，固定压块的中心开设有贯穿的通孔，在通孔的上表面边缘开设有环形的套筒限位槽；套筒为中空的筒形，套筒的外侧壁设置有与之连接为一体的套筒凸台，套筒穿过固定压块中心的通孔，并且通过套筒凸台嵌在套筒限位槽中，从而竖直的固定安装在固定压块内；导热柱的中下部的外侧壁设置有连接为一体的环形的导热柱凸台，弹簧外套在共轴的导热柱的下部，弹簧的顶端抵在导热柱凸台的下表面；导热柱的中下部和弹簧位于共轴的套筒内；套筒的底部内壁具有内螺纹，中空螺杆具有外螺纹，中空螺杆与套筒的底部螺纹连接，弹簧的底端抵在中空螺杆的顶端，此时弹簧处在压缩状态，在弹簧弹力的作用下，导热柱顶部与二级冷盘的底部良好接触并实现热学连接，导热柱凸台保持导热柱始终在套筒内部，同时保证位于导热柱的底部与中空螺杆之间的弹簧有一定的弹性活动距离；中空螺杆的内部中空，导热辫的一端穿过中空螺杆的内部和弹簧的内部连接到导热柱凸台的底部，导热辫的另一端通过线鼻子由螺丝固定在二级热辐射屏蔽盘的底部中心。固定压块通过螺丝与二级热辐射屏蔽盘固定连接，从而实现良好的热学连接。固定压块压紧套筒凸台将套筒整体固定在二级热辐射屏蔽盘的底部。

一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，是实现良好热辐射屏蔽的重要组成结构，同时是作为支撑整体热辐射屏蔽装置的关键部件。一级热辐射屏蔽盘上表面的边缘具有环形的凹槽，与制冷机定位挂钩相对应的多个呈中心对称的屏蔽盘定位卡扣设置在环形的凹槽内，使得一级热辐射屏蔽盘与一级冷盘贴得更紧密。在制冷机的一级冷盘之下设置多个呈中心对称的竖直方向的制冷机导向杆，与制冷机导向杆相对应，在一级热辐射屏蔽盘的凹槽内设置有多个呈中心对称的定位孔，定位孔为圆弧状的通孔，圆弧所对应的角度就是热辐射屏蔽装置可旋转的范围，当操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内时，微调操纵杆的旋转角度，使得制冷机导向杆进入对应定位孔，接着旋转操纵杆，确保屏蔽盘定位卡扣与制冷机定位挂钩在水平方向错开，之后继续缓慢上升，屏蔽盘定位卡扣高于制冷机定位挂钩，从而使一级冷盘底部的制冷机定位挂钩进入一级热辐射屏蔽盘的凹槽内，在三级和二级热辐射屏蔽盘分别与三级冷盘和二级冷盘实现热学连接后，再反方向旋转操纵杆，使得屏蔽盘定位卡扣挂在制冷机定位挂钩上；因此，通过转动实现屏蔽盘定位卡扣精准运动到一级冷盘底部的对应的制冷机定位挂钩上，并且屏蔽盘定位卡扣的前端锁扣销落在互补结构的制冷机挂钩的凹槽内，这不但保证了整个装置能够稳定悬挂在制冷机内部并能够进行自由装卸，而且实现了一级冷盘与一级热辐射屏蔽盘的热学连接。

屏蔽盘定位卡扣后端底部固定连接螺杆，螺杆具有外螺纹，一级热辐射屏蔽盘的凹槽内具有孔洞，螺杆的底端伸入至孔洞内，并通过垫片和螺母与一级热辐射屏蔽盘固定连接。

每一组支撑组件包括三角支撑座、支撑杆和顶部支撑座；其中，顶部支撑座的上表面固定连接二级热辐射屏蔽盘的下表面，顶部支撑座的下表面固定连接多根支撑杆的顶端，多根支撑杆的底端固定在三角支撑座的上表面，三角支撑座的下表面固定安装在一级热辐射屏蔽盘的上表面；三角支撑座和顶部支撑座分别通过螺丝与一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘固定连接；多个支撑杆的顶部聚集在一起，底部分散开固定在三角支撑座的上表面，从而实现对其上侧部件的有效支撑。

对接管的底部设置有多个呈中心对称的锁扣槽，锁扣槽为两个连续的直角凹槽，与每一个锁扣槽相对应，操作杆顶端的具有多个呈中心对称的锁扣销，沿着锁扣槽上连续的直角凹槽，卡入锁扣槽的顶端，从而实现操作杆与对接管的对接。

支撑杆、绝热连接杆和级内连接杆采用非磁性的中空不锈钢管，从而增加支撑强度并减少热量传递。一级热辐射屏蔽盘、二级热辐射屏蔽盘、三级热辐射屏蔽盘、导热柱、弹性热连接结构以及导热辫均采用与超高真空兼容的并且在低温下具有良好导热特性的非磁性材料，选用无氧铜，而且加工后进行表面镀金来提高热辐射的反射系数；卡装式簧片选用低温下仍具有良好弹性的铍铜。每一部件的材料选取对装置的装卸和低温下的性能具有至关重要的作用。

本发明的另一个目的在于提出一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的热辐射屏蔽方法。

本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的热辐射屏蔽方法，包括以下步骤：

1)操作杆的顶端沿竖直方向从对接管的底部伸入，锁扣销沿着锁扣槽，将操作杆与对接管相对位置固定，操作杆的底端置于外界环境；

2)通过操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内，微调操纵杆的旋转角度，使得制冷机导向杆进入对应的定位孔，接着旋转操纵杆继续缓慢上升，从而使一级冷盘底部的制冷机定位挂钩进入一级热辐射屏蔽盘的凹槽内；

3)三级热辐射屏蔽盘位于三级冷盘内，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘的内壁紧密接触，完成良好的热学连接；

4)并且，导热柱抵在制冷机二级冷盘的底壁上，导热柱在弹性热连接结构的弹力作用下，导热柱的顶部与二级冷盘紧密接触，从而二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；

5)反向旋转操作杆，从而使得位于一级热辐射屏蔽盘的上表面的屏蔽盘定位卡扣旋入制冷机定位挂钩内锁定，从而实现一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；

6)在旋转操作杆时，与对接管固定连接的一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘随之一起旋转，同时在旋转结构作用下三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘依旧保持之前紧密接触的状态，并且二级热辐射屏蔽盘只是相对于二级冷盘旋转，与二级冷盘仍然保持紧密接触，至此，热辐射屏蔽装置安装完毕，进入工作状态；

7)在工作状态时，一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触实现热传导，从而使一级热辐射屏蔽盘及时被一级冷盘冷却，实现一级热辐射屏蔽；

8)二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触实现热传导，并进一步通过弹性热连接结构和导热辫与二级热辐射屏蔽盘的中心区域进行热学连接，对中心区域进行冷却，从而使二级热辐射屏蔽盘整体及时被二级冷盘冷却，实现二级热辐射屏蔽；

9)三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘紧密接触，快速达到热平衡并得到降温，从而使三级热辐射屏蔽盘及时被三级冷盘冷却，实现三级热辐射屏蔽，保障样品台维持低温；热辐射屏蔽盘逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响。

本发明的优点：

本发明采用一级至三级热辐射屏蔽盘，一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘实现一级热辐射屏蔽，二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘实现二级热辐射屏蔽，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘实现三级热辐射屏蔽，从而热辐射屏蔽盘有效地逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响，并且本发明在不破坏真空的前提下完成装卸，具有良好的导热性和机械稳定性。

附图说明

图1为制冷机的示意图；

图2为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例放置在制冷机中的示意图；

图3为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的示意图；

图4为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的三级热辐射屏蔽盘的细节图；

图5为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的卡装式簧片的示意图；

图6为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的三级热辐射屏蔽盘的示意图；

图7为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的三级热辐射屏蔽盘的级间连接的示意图；

图8为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的二级热辐射屏蔽盘的示意图；

图9为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的导热柱和弹性热连接结构的示意图；

图10为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的旋转结构的示意图

图11为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的一级热辐射屏蔽盘的示意图；

图12为本发明的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的一个实施例的屏蔽盘定位卡扣的示意图。

具体实施方式

下面结合附图，通过具体实施例，进一步阐述本发明。

如图1所示，本实施例放置在湿式制冷机中，关于中轴线呈中心对称结构，制冷机的内部为超高真空环境，制冷机包括外壁、一级冷盘01、二级冷盘02和三级冷盘03；外壁07为柱体的侧面，环形的一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘从下至上共轴套装在一起，冷盘的内部形成空腔，共轴的一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘的内径为阶梯状从下至上依次变小，从而制冷机内部的空腔分为三段：第一空腔04、第二空腔05和第三空腔06；第一至第三空腔的直径依次变小；一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘的温度依次降低，一级冷盘位于制冷机的最外层，三级冷盘之上为样品台08。在本实施例中，一级冷盘的温度为90K、二级冷盘的温度为30K和三级冷盘具有梯度，温度分别为15K和4K。

如图2和3所示，本实施例的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置关于中轴线呈中心对称结构设置在湿式制冷机的空腔内，热辐射屏蔽装置包括：一级热辐射屏蔽盘1、二级热辐射屏蔽盘2、三级热辐射屏蔽盘3、卡装式簧片4、导热柱51、弹性热连接结构6、导热辫52、制冷机定位挂钩11、制冷机导向杆12、屏蔽盘定位卡扣13、绝热连接杆85、旋转结构7、支撑组件8、对接管9、锁扣槽91、操作杆和锁扣销；其中，在制冷机的一级冷盘的底壁设置多个呈中心对称的制冷机定位挂钩11和制冷机导向杆12；水平的一级热辐射屏蔽盘1位于制冷机的一级冷盘下；与制冷机定位挂钩11相对应，在一级热辐射屏蔽盘1的上表面边缘位于一级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的屏蔽盘定位卡扣13，屏蔽盘定位卡扣13与制冷机定位挂钩11的形状互补，并且与制冷机导向杆12相对应，在一级热辐射屏蔽盘1的上表面边缘位于一级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的定位孔；水平的二级热辐射屏蔽盘2位于制冷机的二级冷盘之下；在二级热辐射屏蔽盘2的上表面边缘位于二级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的导热柱51，每一个导热柱51通过一个弹性热连接结构6安装在二级热辐射屏蔽盘2上，每一个导热柱51对应一个导热辫52，每一个导热辫52的一端通过弹性热连接结构6连接导热柱51，另一端连接至二级热辐射屏蔽盘2的中心区域的表面；水平的三级热辐射屏蔽盘3位于制冷机的第三空腔内，三级热辐射屏蔽盘3的侧壁上设置环形的卡装式簧片4，卡装式簧片4的外边缘抵在三级冷盘的内壁上；一级热辐射屏蔽盘1与二级热辐射屏蔽盘2之间通过多个呈中心对称的支撑组件8固定连接；二级热辐射屏蔽盘2的上表面中心安装旋转结构7，旋转结构7的上表面固定安装竖直的绝热连接杆85的底端，绝热连接杆85的顶端固定在三级热辐射屏蔽盘3的下表面中心，三根绝热连接杆85平行于中轴线并且关于中轴线对称分布，旋转结构7能够绕中轴线旋转，旋转结构7使得二级热辐射屏蔽盘2以及与之固定连接的一级热辐射屏蔽盘1能够绕着中轴线旋转；在一级热辐射屏蔽盘1的下表面中心固定安装竖直方向的对接管9，对接管9为内部中空的管状结构，轴线位于中轴线上，在对接管9的底端设置多个呈中心对称的锁扣槽91；操作杆为柱状，与锁扣槽91相对应，在操作杆的顶端具有多个呈中心对称的锁扣销；操作杆的顶端沿竖直方向从对接管9的底部伸入，锁扣销沿着锁扣槽91，将操作杆与对接管9相对位置固定，操作杆的底端置于外界环境，通过操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内。

如图4所示，三级热辐射屏蔽盘3包括：板状的平板屏蔽盘31和屏蔽盘侧壁32，竖直的屏蔽盘侧壁位于水平的平板屏蔽盘的外边缘，二者连接为一整体；如图5所示，卡装式簧片4包括连接为一体的弹片卡扣结构41和弹片弹力结构42，弹片卡扣结构通过螺丝固定连接屏蔽盘侧壁，弹片弹力结构与三级冷盘的内壁通过弹片的弹力作用进行活动连接，从而实现与三级冷盘的热学连接。三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘的内壁间的较大接触面积和适度的弹性，使得三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘间能够快速达到热平衡并得到降温。

本实施例中，如图6所示，三级热辐射屏蔽盘包括两个，分别对应4K冷盘和15K冷盘，两个三级热辐射屏蔽盘沿中轴线方向共轴平行排列，每一个三级热辐射屏蔽盘的侧壁均通过卡装式簧片与三级冷盘的内壁实现紧密接触，两个三级热辐射屏蔽盘之间采用三根级内连接杆33固定连接，级内连接杆呈中心对称分布且平行于中轴线。如图7所示，级内连接杆的顶端和底端分别通过级内支撑座34固定在上一个三级热辐射屏蔽盘的下表面和下一个三级热辐射屏蔽盘的上表面。级内支撑座上设置有安装孔35，螺丝通过安装孔固定安装在三级热辐射屏蔽盘的表面，并且在级内支撑座与三级热辐射屏蔽盘相接触的表面留有通气槽36，方便残存气体排除，进而保证系统的超高真空状态。

如图8所示，导热柱通过弹性热连接结构安装在二级热辐射屏蔽盘的表面，并实现热传导。如图9所示，弹性热连接结构6包括：固定压块61、导热柱凸台53、弹簧62、套筒63、套筒凸台64和中空螺杆65；其中，固定压块61的中心开设有贯穿的通孔，在通孔的上表面边缘开设有环形的套筒63限位槽；套筒63为中空的筒形，套筒63的外侧壁设置有与之连接为一体的套筒凸台64，套筒63穿过固定压块61中心的通孔，并且通过套筒凸台64嵌在套筒63限位槽中，从而竖直的固定安装在固定压块61内；导热柱的中下部的外侧壁设置有连接为一体的环形的导热柱凸台53，弹簧62外套在共轴的导热柱的下部，弹簧62的顶端抵在导热柱凸台53的下表面；导热柱的中下部和弹簧62位于共轴的套筒63内；套筒63的底部内壁具有内螺纹，中空螺杆65具有外螺纹，中空螺杆65与套筒63的底部螺纹连接，弹簧62的底端抵在中空螺杆65的顶端，在弹簧62弹力的作用下，导热柱顶部与二级冷盘的底部良好接触并实现热学连接，导热柱凸台53保持导热柱始终在套筒63内部，同时保证位于导热柱的底部与中空螺杆65之间的弹簧62有一定的弹性活动距离；中空螺杆65的内部中空，导热辫的一端穿过中空螺杆65的内部和弹簧62的内部连接到导热柱凸台53的底部，导热辫的另一端通过线鼻子54由螺丝固定在二级热辐射屏蔽盘的底部中心。固定压块61通过螺丝与二级热辐射屏蔽盘固定连接，从而实现良好的热学连接。固定压块61压紧套筒凸台64将套筒63整体固定在二级热辐射屏蔽盘的底部。

如图10所示，旋转结构7包括：旋转结构固定盘71、旋转结构转子72和旋转结构定子73；其中，水平的旋转结构固定盘71与旋转结构转子72固定连接为一体结构，旋转结构固定盘71的上表面通过支撑座与绝热连接杆的底端固定连接，从而实现与三级热辐射屏蔽盘的稳定支撑和减少热量传递；旋转结构定子73通过螺丝固定安装在二级热辐射屏蔽盘的上表面，旋转结构转子72卡在旋转结构定子73的内部，使得旋转结构沿着中轴线方向固定，而沿着二级热辐射屏蔽盘的平面能够绕中轴线转动，从而实现二级热辐射屏蔽盘及其以下部分的转动。

一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，是实现良好热辐射屏蔽的重要组成结构，同时是作为支撑整体热辐射屏蔽装置的关键部件。如图11所示，一级热辐射屏蔽盘的边缘具有环形的凹槽14，与制冷机定位挂钩相对应的多个呈中心对称的屏蔽盘定位卡扣设置在环形的凹槽内，使得一级热辐射屏蔽盘与一级冷盘贴得更紧密。在制冷机的第一空腔的顶壁上且位于一级冷盘之下设置多个呈中心对称的竖直方向的制冷机导向杆，与制冷机导向杆12相对应，在一级热辐射屏蔽盘的凹槽内设置有多个呈中心对称的定位孔15，当操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内时，微调操纵杆的旋转角度，使得导向杆进入对应定位孔，接着顺时针旋转操纵杆2～3度后继续缓慢上升，从而使二级冷盘底部的制冷机定位挂钩进入一级热辐射屏蔽盘的凹槽内，在三级和二级热辐射屏蔽盘分别与三级冷盘和二级冷盘实现热学连接后，再逆时针旋转操纵杆2～3度，使得屏蔽盘定位卡扣挂在制冷机定位挂钩上；因此，通过转动实现屏蔽盘定位卡扣精准运动到一级冷盘底部的对应的制冷机定位挂钩上，并且屏蔽盘定位卡扣的前端锁扣销落在互补结构的制冷机挂钩的凹槽内，这不但保证了整个装置能够稳定悬挂在制冷机内部并能够进行自由装卸，而且实现了一级冷盘与一级热辐射屏蔽盘的热连接。

如图11所示，每一组支撑组件8包括：三角支撑座81、支撑杆82和顶部支撑座83；其中，顶部支撑座83的上表面固定连接二级热辐射屏蔽盘的下表面，顶部支撑座83的下表面固定连接多根支撑杆82的顶端，多根支撑杆82的底端固定在三角支撑座81的上表面，三角支撑座81的下表面固定安装在一级热辐射屏蔽盘的上表面；三角支撑座81和顶部支撑座83分别通过螺丝与一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘固定连接；多个支撑杆82的顶部聚集在一起，底部分散开固定在三角支撑座81的上表面，从而实现对其上侧部件的有效支撑。

如图12所示，屏蔽盘定位卡扣后端底部固定连接螺杆16，螺杆具有外螺纹，一级热辐射屏蔽盘的凹槽内具有孔洞，螺杆的底端伸入至孔洞内，并通过垫片17和螺母18与一级热辐射屏蔽盘固定连接。

对接管的底部设置有多个呈中心对称的锁扣槽，锁扣槽为两个连续的直角凹槽，与每一个锁口槽相对应，操作杆顶端的具有多个呈中心对称的锁扣销，沿着锁扣槽上连续的直角凹槽，卡入锁扣槽的顶端，从而实现操作杆与对接管的对接。

支撑杆、绝热连接杆和级内连接杆采用非磁性的中空不锈钢管；一级热辐射屏蔽盘、二级热辐射屏蔽盘、三级热辐射屏蔽盘、导热柱、弹性热连接结构以及导热辫均采用无氧铜；卡装式簧片采用铍铜。

本实施例的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的热辐射屏蔽方法，包括以下步骤：

1)操作杆的顶端沿竖直方向从对接管的底部伸入，锁扣销沿着锁扣槽，将操作杆与对接管相对位置固定，操作杆的底端置于外界环境；

2)通过操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内，微调操纵杆的旋转角度，使得导向杆进入对应定位孔，接着顺时针旋转操纵杆2～3度，保证屏蔽盘定位卡扣与制冷机定位挂钩在水平方向错开，后继续缓慢上升，屏蔽盘定位卡扣高于制冷机定位挂钩，从而使二级冷盘底部的制冷机定位挂钩进入一级热辐射屏蔽盘的凹槽内；

3)三级热辐射屏蔽盘位于三级冷盘内，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘的内壁紧密接触，完成良好的热学连接；

4)并且，导热柱抵在制冷机二级冷盘的底壁上，导热柱在弹性热连接结构的弹力作用下，导热柱的顶部与二级冷盘紧密接触，从而二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；

5)逆时针旋转操纵杆2～3度，从而使得位于一级热辐射屏蔽盘的上表面的屏蔽盘定位卡扣旋入制冷机定位挂钩内锁定，从而实现一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；

6)在旋转操作杆时，与对接管固定连接的一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘随之一起旋转，同时在旋转结构作用下三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘依旧保持之前紧密接触的状态，并且二级热辐射屏蔽盘只是相对于二级冷盘旋转，与二级冷盘仍然保持紧密接触，至此，热辐射屏蔽装置安装完毕，进入工作状态；

7)在工作状态时，一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触实现热传导，从而使一级热辐射屏蔽盘及时被一级冷盘冷却，实现一级热辐射屏蔽；

8)二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触实现热传导，并进一步通过弹性热连接结构和导热辫与二级热辐射屏蔽盘的中心区域进行热学连接，对中心区域进行冷却，从而使二级热辐射屏蔽盘整体及时被二级冷盘冷却，实现二级热辐射屏蔽；

9)三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘紧密接触，快速达到热平衡并得到降温，从而使三级热辐射屏蔽盘及时被三级冷盘冷却，实现三级热辐射屏蔽，保障样品台维持低温；热辐射屏蔽盘逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响。

最后需要注意的是，公布实施例的目的在于帮助进一步理解本发明，但是本领域的技术人员可以理解：在不脱离本发明及所附的权利要求的精神和范围内，各种替换和修改都是可能的。因此，本发明不应局限于实施例所公开的内容，本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种超高真空兼容的热辐射屏蔽装置，所述热辐射屏蔽装置针对的制冷机为湿式制冷机，关于中轴线呈中心对称结构，制冷机的内部为超高真空环境，制冷机包括外壁、一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘；外壁为柱体的侧面，环形的一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘从下至上共轴套装在一起，冷盘的内部形成空腔，共轴的一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘的内径为阶梯状从下至上依次变小，从而制冷机内部的空腔分为三段：第一空腔、第二空腔和第三空腔；第一至第三空腔的直径依次变小；一级冷盘、二级冷盘和三级冷盘的温度依次降低，一级冷盘位于制冷机的最外层，第三空腔之上为样品台，所述热辐射屏蔽装置关于中轴线呈中心对称结构设置在湿式制冷机的空腔内，其特征在于，所述热辐射屏蔽装置包括：一级热辐射屏蔽盘、二级热辐射屏蔽盘、三级热辐射屏蔽盘、制冷机定位挂钩、制冷机导向杆、屏蔽盘定位卡扣、导热柱、弹性热连接结构、导热辫、卡装式簧片、支撑组件、绝热连接杆、旋转结构、对接管、锁扣槽、操作杆和锁扣销；其中，在制冷机的一级冷盘的底壁设置多个呈中心对称的制冷机定位挂钩和制冷机导向杆；水平的一级热辐射屏蔽盘位于制冷机的一级冷盘下；与制冷机定位挂钩相对应，在一级热辐射屏蔽盘的上表面边缘位于一级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的屏蔽盘定位卡扣，屏蔽盘定位卡扣与制冷机定位挂钩的形状互补，并且与制冷机导向杆相对应，在一级热辐射屏蔽盘的上表面边缘位于一级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的定位孔；水平的二级热辐射屏蔽盘位于制冷机的二级冷盘下；在二级热辐射屏蔽盘的上表面边缘位于二级冷盘之下的区域设置有多个呈中心对称的导热柱，每一个导热柱通过一个弹性热连接结构安装在二级热辐射屏蔽盘上，每一个导热柱对应一个导热辫，每一个导热辫的一端通过弹性热连接结构连接导热柱，另一端连接至二级热辐射屏蔽盘的中心区域的表面；水平的三级热辐射屏蔽盘位于制冷机的第三空腔内，三级热辐射屏蔽盘的侧壁上设置环形的卡装式簧片，卡装式簧片的外边缘抵在三级冷盘的内壁上；一级热辐射屏蔽盘与二级热辐射屏蔽盘之间通过多个呈中心对称的支撑组件固定连接；二级热辐射屏蔽盘的上表面中心安装旋转结构，旋转结构的上表面固定安装竖直的绝热连接杆的底端，绝热连接杆的顶端固定在三级热辐射屏蔽盘的下表面中心，绝热连接杆平行与中轴线，旋转结构能够绕中轴线旋转，旋转结构使得二级热辐射屏蔽盘以及与之固定连接的一级热辐射屏蔽盘能够绕着中轴线旋转；在一级热辐射屏蔽盘的下表面中心固定安装竖直方向的对接管，对接管为内部中空的管状结构，对接管轴线位于中轴线上，在对接管的底端设置多个呈中心对称的锁扣槽；操作杆为柱状，与锁扣槽相对应，在操作杆的顶端具有多个呈中心对称的锁扣销；操作杆的顶端沿竖直方向从对接管的底部伸入，锁扣销沿着锁扣槽，将操作杆与对接管相对位置固定，操作杆的底端置于外界环境，通过操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内，三级热辐射屏蔽盘位于三级冷盘内，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘的内壁紧密接触，完成良好的热学连接；并且，导热柱抵在制冷机二级冷盘的底壁上，导热柱在弹性热连接结构的弹力作用下，导热柱的顶部与二级冷盘紧密接触，从而二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；旋转操作杆，从而使得位于一级热辐射屏蔽盘的上表面的屏蔽盘定位卡扣旋入制冷机定位挂钩内锁定，从而实现一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；在旋转操作杆时，与对接管固定连接的一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘随之一起旋转，同时在旋转结构作用下三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘依旧保持之前紧密接触的状态，并且二级热辐射屏蔽盘只是相对于二级冷盘旋转，与二级冷盘仍然保持紧密接触，至此，热辐射屏蔽装置安装完毕，进入工作状态；在工作状态时，一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触实现热传导，从而使一级热辐射屏蔽盘及时被一级冷盘冷却，实现一级热辐射屏蔽；二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触实现热传导，并进一步通过弹性热连接结构和导热辫与二级热辐射屏蔽盘的中心区域进行热学连接，对中心区域进行冷却，从而使二级热辐射屏蔽盘整体及时被二级冷盘冷却，实现二级热辐射屏蔽；三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘紧密接触，快速达到热平衡并得到降温，从而使三级热辐射屏蔽盘及时被三级冷盘冷却，实现三级热辐射屏蔽，保障样品台维持低温；热辐射屏蔽盘逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响。

2.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述三级热辐射屏蔽盘包括板状的平板屏蔽盘和屏蔽盘侧壁，竖直的屏蔽盘侧壁位于水平的平板屏蔽盘的外边缘，二者连接为一整体；卡装式簧片包括连接为一体的弹片卡扣结构和弹片弹力结构，弹片卡扣结构通过螺丝固定连接屏蔽盘侧壁，弹片弹力结构与三级冷盘的内壁通过弹片的弹力作用进行活动连接。

3.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述三级热辐射屏蔽盘包括一个或多个三级热辐射屏蔽盘，多个三级热辐射屏蔽盘沿中轴线方向共轴平行排列，每一个三级热辐射屏蔽盘的侧壁均通过卡装式簧片与三级冷盘的内壁实现紧密接触，相邻的三级热辐射屏蔽盘之间采用级内连接杆固定连接，级内连接杆平行于中轴线。

4.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述旋转结构包括：旋转结构固定盘、旋转结构转子和旋转结构定子；其中，水平的旋转结构固定盘与旋转结构转子固定连接为一体结构，旋转结构固定盘的上表面通过支撑座与绝热连接杆的底端固定连接，从而实现与三级热辐射屏蔽盘的稳定支撑和减少热量传递；旋转结构定子通过螺丝固定安装在二级热辐射屏蔽盘的上表面，旋转结构转子卡在旋转结构定子的内部，使得旋转结构沿着中轴线方向固定，而沿着二级热辐射屏蔽盘的平面能够绕中轴线转动，从而实现二级热辐射屏蔽盘及其以下部分的转动。

5.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述弹性热连接结构包括：固定压块、导热柱凸台、弹簧、套筒、套筒凸台和中空螺杆；其中，固定压块的中心开设有贯穿的通孔，在通孔的上表面边缘开设有环形的套筒限位槽；套筒为中空的筒形，套筒的外侧壁设置有与之连接为一体的套筒凸台，套筒穿过固定压块中心的通孔，并且通过套筒凸台嵌在套筒限位槽中，从而竖直的固定安装在固定压块内；导热柱的中下部的外侧壁设置有连接为一体的环形的导热柱凸台，弹簧外套在共轴的导热柱的下部，弹簧的顶端抵在导热柱凸台的下表面；导热柱的中下部和弹簧位于共轴的套筒内；套筒的底部内壁具有内螺纹，中空螺杆具有外螺纹，中空螺杆与套筒的底部螺纹连接，弹簧的底端抵在中空螺杆的顶端，在弹簧弹力的作用下，导热柱顶部与二级冷盘的底部良好接触并实现热学连接，导热柱凸台保持导热柱始终在套筒内部，同时保证位于导热柱的底部与中空螺杆之间的弹簧有一定的弹性活动距离；中空螺杆的内部中空，导热辫的一端穿过中空螺杆的内部和弹簧的内部连接到导热柱凸台的底部，导热辫的另一端通过线鼻子由螺丝固定在二级热辐射屏蔽盘的底部中心。

6.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述一级热辐射屏蔽盘的边缘具有环形的凹槽，与制冷机定位挂钩相对应的多个呈中心对称的屏蔽盘定位卡扣设置在环形的凹槽内，使得一级热辐射屏蔽盘与一级冷盘贴得更紧密；并且与制冷机导向杆相对应，在一级热辐射屏蔽盘的凹槽内设置有多个呈中心对称的定位孔。

7.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽盘定位卡扣后端底部固定连接螺杆，螺杆具有外螺纹，一级热辐射屏蔽盘的凹槽内具有孔洞，螺杆的底端伸入至孔洞内，并通过垫片和螺母与一级热辐射屏蔽盘固定连接。

8.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述支撑组件包括：三角支撑座、支撑杆和顶部支撑座；其中，顶部支撑座的上表面固定连接二级热辐射屏蔽盘的下表面，顶部支撑座的下表面固定连接多根支撑杆的顶端，多根支撑杆的底端固定在三角支撑座的上表面，三角支撑座的下表面固定安装在一级热辐射屏蔽盘的上表面；三角支撑座和顶部支撑座分别通过螺丝与一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘固定连接；多个支撑杆的顶部聚集在一起，底部分散开固定在三角支撑座的上表面，从而实现对其上侧部件的有效支撑。

9.如权利要求1所述的热辐射屏蔽装置，其特征在于，所述对接管的底部设置有多个呈中心对称的锁扣槽，锁扣槽为两个连续的直角凹槽，与每一个锁扣槽相对应，操作杆顶端的具有多个呈中心对称的锁扣销，沿着锁扣槽上连续的直角凹槽，卡入锁扣槽的顶端，从而实现操作杆与对接管的对接。

10.一种如权利要求1所述的超高真空兼容的热辐射屏蔽装置的热辐射屏蔽方法，其特征在于，所述热辐射屏蔽方法包括以下步骤：

1)操作杆的顶端沿竖直方向从对接管的底部伸入，锁扣销沿着锁扣槽，将操作杆与对接管相对位置固定，操作杆的底端置于外界环境；

2)通过操纵操作杆将热辐射屏蔽装置沿着中轴线从制冷机的底部从下至上置入制冷机的空腔内，微调操纵杆的旋转角度，使得制冷机导向杆进入对应的定位孔，接着旋转操纵杆继续缓慢上升，从而使一级冷盘底部的制冷机定位挂钩进入一级热辐射屏蔽盘的凹槽内；

3)三级热辐射屏蔽盘位于三级冷盘内，三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘的内壁紧密接触，完成良好的热学连接；

4)并且，导热柱抵在制冷机二级冷盘的底壁上，导热柱在弹性热连接结构的弹力作用下，导热柱的顶部与二级冷盘紧密接触，从而二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；

5)反向旋转操作杆，从而使得位于一级热辐射屏蔽盘的上表面的屏蔽盘定位卡扣旋入制冷机定位挂钩内锁定，从而实现一级热辐射屏蔽盘通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触，完成良好的热学连接；

6)在旋转操作杆时，与对接管固定连接的一级热辐射屏蔽盘和二级热辐射屏蔽盘随之一起旋转，同时在旋转结构作用下三级热辐射屏蔽盘与三级冷盘依旧保持之前紧密接触的状态，并且二级热辐射屏蔽盘只是相对于二级冷盘旋转，与二级冷盘仍然保持紧密接触，至此，热辐射屏蔽装置安装完毕，进入工作状态；

7)在工作状态时，一级热辐射屏蔽盘距离外界环境最近，通过屏蔽盘定位卡扣和制冷机定位挂钩与一级冷盘紧密接触实现热传导，从而使一级热辐射屏蔽盘及时被一级冷盘冷却，实现一级热辐射屏蔽；

8)二级热辐射屏蔽盘通过导热柱与二级冷盘紧密接触实现热传导，并进一步通过弹性热连接结构和导热辫与二级热辐射屏蔽盘的中心区域进行热学连接，对中心区域进行冷却，从而使二级热辐射屏蔽盘整体及时被二级冷盘冷却，实现二级热辐射屏蔽；

9)三级热辐射屏蔽盘通过卡装式簧片在弹力作用下与三级冷盘紧密接触，快速达到热平衡并得到降温，从而使三级热辐射屏蔽盘及时被三级冷盘冷却，实现三级热辐射屏蔽，保障样品台维持低温；热辐射屏蔽盘逐级逐层相继进行热辐射屏蔽，最终使得样品台几乎不受外界热辐射的影响。

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