CN111380477A - 一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法 - Google Patents

一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111380477A
CN111380477A CN202010084050.8A CN202010084050A CN111380477A CN 111380477 A CN111380477 A CN 111380477A CN 202010084050 A CN202010084050 A CN 202010084050A CN 111380477 A CN111380477 A CN 111380477A
Authority
CN
China
Prior art keywords
component
size
dimensional stability
light beam
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010084050.8A
Other languages
English (en)
Inventor
宋宇峰
丁学锋
刘文辉
陈宇强
刘阳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan University of Science and Technology
Original Assignee
Hunan University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan University of Science and Technology filed Critical Hunan University of Science and Technology
Priority to CN202010084050.8A priority Critical patent/CN111380477A/zh
Publication of CN111380477A publication Critical patent/CN111380477A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/161Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N17/00Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Ecology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biodiversity & Conservation Biology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

本发明提供一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法,能够对构件在多场环境下的尺寸稳定性进行实时、在线的检测,检测准确度高、操作方便。该多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,包括尺寸检测装置和多场装置,多场装置包括用于夹持构件并对构件提供加载力的夹持元件、用于对构件提供温度场的调温元件、用于对构件提供磁场的磁性元件和壳体,夹持元件、调温元件和磁性元件均位于壳体内;当构件夹持在夹持元件上时,尺寸检测装置能够对构件的尺寸进行检测。

Description

一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法
技术领域
本发明涉及尺寸检测领域,具体地涉及一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法。
背景技术
尺寸稳定性是指材料或构件在受机械力、应力、热、磁场或其他外界条件作用下,其外形尺寸不发生变化的性能。应用于航空航天、精密仪器、医疗器械等领域的构件往往需要较高的尺寸稳定性,以维持设备、装置在运转过程中的精度。因此,在构件进行安装使用之前,需要对构件或者用于制备构件的材料进行尺寸稳定性检测。现有的构件尺寸稳定性检测通常采用间接、离线的方式,例如首先测量构件的原始尺寸,然后将构件在一定的温度、应力场或磁场下放置一段时间(模拟构件的使用环境),再将构件取出、测量最终尺寸,最后将最终尺寸与原始尺寸进行对比。由于最终尺寸的测量脱离了影响构件尺寸的环境,这种检测尺寸稳定性的方式精度和准确性均无法保证。另外,在实际使用过程中,构件尺寸的变化可能是多种因素共同影响的结果,其中温度、磁场、应力对构件尺寸的影响最大,而现有的构件尺寸稳定性检测装置只能进行单场、单因素尺寸稳定性的检测,无法对构件的实际使用环境进行有效的模拟,也就是说,无法在多场环境下对构件的尺寸稳定性进行检测。
发明内容
针对上述问题,本发明提供一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,能够对构件在多场环境下的尺寸稳定性进行实时、在线的检测,检测准确度高、操作方便。
一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于,包括尺寸检测装置和多场装置,多场装置包括壳体、用于夹持构件并对构件提供加载力的夹持元件、用于对构件提供温度场的调温元件和用于对构件提供磁场的磁性元件,夹持元件、调温元件和磁性元件均位于壳体内;当构件夹持在夹持元件上时,尺寸检测装置能够对构件的尺寸进行检测。
进一步,尺寸检测装置包括用于发射激光的激光器,用于将激光转换成平行光束的扩束器,用于将平行光束分为第一光束和第二光束的分光棱镜,用于反射第二光束的反光镜,用于检测光干涉波、并将光干涉波传输至处理器的光检测器,以及用于接收光干涉波并根据光干涉波计算构件尺寸的处理器,光检测器与处理器电连接;使用尺寸检测装置时,第一光束照射至构件表面并被反射,之后与被反光镜反射的第二光束发生干涉,光检测器检测第一光束与第二光束之间的光干涉波。优选的,处理器接收光干涉波后,将第一光束的波从光干涉波中分离,第一光束的波的位移量等于构件尺寸的变化量。优选的,使用尺寸检测装置时,第一光束与构件表面垂直,第二光束与反射镜的反射面垂直。构件表面指的是构件对第一光束进行反射的面。
进一步,壳体上设有可开闭的透明窗口,当窗口打开时,构件能够通过所述窗口放入壳体;当窗口闭合时,壳体封闭、并且第一光束能够透过窗口照射至构件表面。
进一步,夹持元件包括相互对位的固定夹头和移动夹头,固定夹头与壳体固定连接,移动夹头与壳体移动连接,移动夹头具有用于接触构件的夹持面,夹持面上设有压力传感器;当夹持元件夹持构件时,构件夹持于固定夹头和移动夹头之间、压力传感器位于构件和夹持面之间。优选的,夹持元件对构件提供的加载力范围为0~200MPa。
进一步,调温元件避开夹持元件和磁性元件、与壳体内壁固定连接,调温元件包括用于升高构件温度的加热元件和用于降低构件温度的降温元件。优选的,降温元件是能够容纳冷却液体的螺旋管道,加热元件是电热丝或电热棒;加热元件避开螺旋管道设置。优选的,调温元件调节构件温度的范围是-50℃至200℃。优选的,壳体内设有用于检测温度的温度传感器。
进一步,磁性元件与壳体移动连接;或者,磁性元件与壳体可拆卸连接。优选的,磁性元件提供的磁场强度为0~1T。优选的,固定夹头上固定有用于检测磁场强度的磁场强度检测仪。
本发明还提供一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统的检测方法,依次包括以下步骤:
步骤一、将构件夹持在夹持元件上,启动尺寸检测装置,尺寸检测装置对构件尺寸进行检测,并将此时的构件尺寸记为初始尺寸L0
步骤二、调节夹持元件、调温元件和磁性元件,使构件所受的加载力、温度和磁场分别达到指定值,将加载力达到加载力指定值、温度达到温度指定值并且磁场达到磁场指定值的时间记为起始时间t0
步骤三、尺寸检测装置每隔一时间定值对构件尺寸进行检测,并将时间为t时、构件尺寸记为实时尺寸Lt
步骤四、计算初始尺寸与实时尺寸的绝对差值|Lt-L0|,|Lt-L0|值越大、构件尺寸稳定性越小;或者,绘制实时尺寸Lt随时间的变化曲线Lt-t,Lt随时间t的变化的幅度越大,构件尺寸稳定性越小。时间为t指的是与起始时间之间的间隔为t。启动尺寸检测装置指的是启动激光器、光检测器和处理器。
本发明的有益效果:
1、多场装置能够对构件实际使用环境的温度、磁场以及构件所受的应力场进行模拟,尺寸检测装置与多场装置结合能够在单场或多场环境下对构件的尺寸稳定性进行实时、在线的检测,检测准确度高、操作方便。
2、尺寸检测装置基于光学干涉理论,对构件尺寸稳定性的检测精度高达亚微米级,与现有方法相比可提高一个数量级以上,极大降低检测误差。
附图说明
图1是本发明一个实施例中尺寸检测装置和多场装置的相对位置示意图。
图2是本发明一个实施例中构件尺寸变化前后第一光束的变化示意图。
图3是本发明一个实施例中多场装置各部件的示意图。
图4是本发明一个实施例中壳体的示意图。
图5是本发明一个实施例中加热元件在壳体内壁分布的示意图。
图6是本发明一个实施例中降温元件的示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行进一步的详细说明。
一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,例如图1和图3所示,包括尺寸检测装置1和多场装置2。多场装置2包括壳体3、用于夹持构件并对构件提供加载力的夹持元件4、用于对构件提供温度场的调温元件5和用于对构件提供磁场的磁性元件6。夹持元件4、调温元件5和磁性元件6均位于壳体3内。当构件夹持在夹持元件4上时,尺寸检测装置1能够对构件7的尺寸进行检测。通过多场装置对构件的实际使用环境进行模拟,在模拟的过程中,尺寸检测装置能够实时地对构件尺寸进行检测,而无需将构件从多场环境中取出。另外,由于多场装置和尺寸检测装置是相对独立的两个装置,在检测过程中,构件实际使用环境的模拟与构件尺寸的检测之间互不干涉,并且在使用过程中,可以根据实际的操作空间对尺寸检测装置和多场装置的位置进行调整,从而增加检测的便捷性,提高检测的精确度。
尺寸检测装置
尺寸检测装置利用光学干涉理论、对构件尺寸进行在线检测。
尺寸检测装置1包括用于发射激光的激光器101,用于将激光转换成平行光束的扩束器102,用于将平行光束分为第一光束1011和第二光束1012的分光棱镜103,用于反射第二光束的反光镜104,用于检测光干涉波、并将光干涉波传输至处理器的光检测器105,以及用于接收光干涉波并根据光干涉波计算构件尺寸的处理器106,光检测器105与处理器106电连接。使用尺寸检测装置时,第一光束照射至构件表面并被反射,之后与被反光镜反射的第二光束之间发生干涉,光检测器检测第一光束与第二光束之间的光干涉波。
下面通过具体实例对本发明中构件尺寸的计算原理进行说明。本发明中,构件分别与夹持元件接触的两端之间的连线所在的方向为横向、与横向垂直的方向为纵向。当夹持于夹持件上的构件横向尺寸发生变化时,由于构件的体积固定,构件纵向尺寸必然发生变化,在这种情况下,第一光束照射至构件表面并被构件表面反射的光程发生变化,从而导致第一光束与第二光束之间的干涉波发生变化。例如图2所示的板状构件,在被拉长(横向尺寸增加)后,板状构件从7-1状态变化为7-2状态,板状构件变薄(纵向尺寸减小),第一光束照射至构件表面、后被反射的光程从1011-1变为1011-2,也就是第一光束的光程增加,导致第一光束和第二光束的干涉波发生改变。由于在尺寸检测过程中,第二光束不发生变化,干涉波的改变完全源自于第一光束光程的改变、也就是第一光束的波的位移,而第一光束波的位移是由构件纵向尺寸的变化导致的。因此,光检测器检测到光干涉波之后,将第一光束的波从光干涉波中分离出来,第一光束的波的位移量就等于构件纵向尺寸的变化量。例如,第一光束的波发生的位移量为a,那么对应地,构件在纵向尺寸上的变化量也是a。在本实施例中,激光器采用氦氖激光器,氦氖激光器所发射的激光的波长为0.63μm。因而,该方法测量精度可达亚微米级,能精确反映构件的尺寸稳定性。另外,通过第一光束的波的位移方向,可以判断构件在纵向尺寸的变化方向。若第一光束的波朝y轴的正轴方向位移,那么说明构件变薄,例如图2所示;若第一光束的波朝y轴的负轴方向位移,那么说明构件变厚。
在本实施例中,如图1所示,第一光束照射至构件表面并与构件表面垂直,第一光束的入射光和反射光位于同一直线上;第二光束与反射镜的反射面垂直,第二光束的入射光和反射光位于同一直线上,因此第一光束的反射光和第二光束的反射光发生干涉的位置固定,方便光检测器对光干涉条纹进行检测。在本实施例中,激光器、扩束器和分光棱镜位于一条直线上,反光镜、分光棱镜和光检测器位于一条直线上,上述的两条直线相互垂直,如图1所示。
激光器101、扩束器102、分光棱镜103、反光镜104、光检测器105和处理器106均可以固定在同一平台上。固定的方式可以是通过螺钉固定或者通过粘接剂固定。
多场装置
多场装置提供加载力、温度场和磁场,能够对构件使用状态下的多场环境进行模拟。多场装置包括壳体、夹持元件、调温元件和磁性元件。
壳体
夹持元件、加热元件和磁性元件均容纳于壳体内,当待测构件夹持在夹持元件上时,构件也容纳于壳体内。壳体使待测构件处于相对密封的环境内,减少除多场装置之外的其他外界因素对构件的尺寸稳定性产生的影响,提高检测的准确度。
在本实施例中,如图1所示,壳体3上设有可开闭的透明窗口301,当窗口打开时,构件能够通过所述窗口放入壳体;当窗口闭合时,壳体封闭、并且第一光束能够透过窗口照射至构件表面。进行尺寸检测时,窗口面向尺寸检测装置,如图1所示。
夹持元件
夹持元件用于夹持构件并对构件提供加载力,模拟构件所受应力场。
夹持元件4包括相互对位的固定夹头401和移动夹头402,如图1和图3所示,固定夹头401与壳体3固定连接,移动夹头402与壳体3移动连接,当夹持元件4夹持构件7时,构件7夹持于固定夹头401和移动夹头402之间。在本实施例中,如图4所示,固定夹头401通过第一连杆403与壳体固定连接,第一连杆403的两端分别与固定夹头401和壳体内壁固定连接。移动夹头403通过第二连杆404与壳体移动连接,第二连杆404与第一连杆403位于同一直线上。第二连杆404的两端分别与移动夹头402和把手405固定连接,移动夹头402位于壳体3内、把手405位于壳体3之外,第二连杆404表面设有外螺纹;壳体3上设有用于第二连杆404贯穿的通孔302,如图5所示,通孔302内壁设有与所述外螺纹匹配的内螺纹。通过旋转把手,第二连杆与壳体发生相对移动。例如当顺时针旋转把手时、第二连杆插入壳体,带动移动夹头朝向固定夹头移动,从而对构件提供加载力;当逆时针旋转把手时、第二连杆脱出壳体,从而能够将构件从固定夹头和移动夹头之间取出。在本实施例中,固定夹头401与壳体的连接处、移动夹头402与壳体的连接处位于壳体相对的两个侧壁上。
在本实施中,移动夹头402具有用于接触构件7的夹持面4021,夹持面4021上设有压力传感器4022;当夹持元件4夹持构件7时,压力传感器4022位于构件7和夹持面4021之间。使用夹持元件夹持构件时,移动夹头朝固定夹头移动,当固定夹头与移动夹头之间的距离小于构件的尺寸时,夹持元件能够将构件夹持在固定夹头和移动夹头之间、并对构件提供加载力。当构件夹持在夹持元件上之后,移动夹头朝固定夹头移动的距离越大,构件受到的加载力越大,根据作用力等于反作用力的原理,压力传感器所受的压力与构件所受的加载力大小相等,压力传感器所受压力的大小反应构件所受加载力的大小。壳体外壁设有用于显示压力传感器所受压力的显示屏(未示出),显示屏与压力传感器4022电连接。压力传感器能够检测构件所承受的加载力的大小,并且显示在显示屏上。
在本实施例中,夹持元件对构件提供的加载力范围为0~200MPa。
调温元件
调温元件用于对构件提供温度场,对壳体内的温度进行调节。
在本实施例中,如图3和图4所示,调温元件5避开夹持元件4和磁性元件6、与壳体3内壁固定连接,调温元件5包括用于升高构件温度的加热元件501和用于降低构件温度的降温元件502。在本实施例中,降温元件是能够容纳冷却液体的螺旋管道,如图3、图5和图6所示,加热元件是电热丝或电热棒;加热元件避开螺旋管道设置。螺旋管道具有出口和入口,出口和入口分别设有机械泵。在需要对构件进行降温时,入口处的机械泵将冷却液体泵入螺旋管道,通过热交换作用、对构件降温;在不需要对构件进行降温时,出口处的机械泵将冷却液体泵出螺旋管道。冷却液体可以是水、油或液氮。
在本实施例中,调温元件调节构件温度的范围是-50℃至200℃。
壳体3内设有用于检测温度的温度传感器9。所述温度传感器9与设于壳体外壁的显示屏(未示出)电连接。如此,温度传感器检测壳体内的温度能够通过显示屏显示。如图3所示,壳体3从内壁向壳体外依次设有保温层303和隔热层304,例如图4所示,从而增加壳体的保温效果。
磁性元件
磁性元件用于对构件提供磁场。为了防止磁性元件在使用过程中与其他元件相互作用、影响检测效果,尺寸检测装置、夹持元件和调温元件均用非磁性材料制备而成,本发明的尺寸稳定性检测装置用于检测非磁性材料制备而成的构件。在本实施例中,磁性元件提供的磁场强度为0~1T。
在本实施例中,磁性元件6与壳体3移动连接。如此,通过移动磁性元件可以调节磁性元件与构件之间的距离,从而调节构件所受的磁场强度。一般而言,磁性元件与构件的距离与构件所受的磁场强度呈反比。例如图3所示,壳体上设有第三连杆601,第三连杆601的一端与设有铁片6011、并且第三连杆设有铁片的一端位于壳体内,第三连杆601的另一端设有把手6012;第三连杆601表面设有外螺纹,壳体上设有用于第三连杆贯穿的通孔305,通孔305内壁设有与所述外螺纹匹配的内螺纹,如图5所示。例如,通过顺时针旋转把手、使第三连杆插入壳体内,从而使磁性元件与构件之间的距离减小,从而构件所受的磁场强度增加;通过逆时针旋转把手、是第三连杆脱出壳体,从而使磁性元件与构件之间的距离增大,从而构件所受的磁场强度减小。
在另一些实施方式中,磁性元件6与壳体3可拆卸连接。例如,壳体内壁固定有铁片,通过铁片将磁性元件可拆卸地固定于壳体内壁。在这种情况下,磁性元件可以有两个以上,两个以上磁性元件能够提供不同磁场强度。由于磁性元件与构件之间的距离固定,通过更替不同的磁性元件,对构件提供不同强度的磁场。
在优选的实施方式中,当构件夹持在夹持元件上时,铁片与构件对中,如图3所示。与构件对中指的是,位于构件的中轴线上。构件的中轴线指的是构件与固定夹头的接触端、构件与移动夹头的接触端之间的连线的中轴线。
在一些实施方式中,磁性元件是永磁体。例如钐钴磁体或钕铁硼磁体。
在一些实施方式中,壳体内设有用于检测磁场强度的磁场强度检测仪10,磁场强度检测仪10固定在固定夹头上、并避开固定夹头与构件的接触面设置。磁场强度检测仪具有用于显示所测磁场强度的显示屏,通过磁场强度检测仪可以检测构件周围磁场强度的大小。
构件尺寸稳定性在线检测系统的检测方法,依次包括以下步骤:
步骤一、将构件夹持在夹持元件上,关闭壳体窗口,启动尺寸检测装置,尺寸检测装置对构件尺寸进行检测,并将此时的构件尺寸记为初始尺寸L0
步骤二、调节夹持元件、调温元件和磁性元件,使构件所受的加载力、温度和磁场分别达到指定值,将加载力达到加载力指定值、温度达到温度指定值并且磁场达到磁场指定值的时间记为起始时间t0
步骤三、尺寸检测装置继续对构件尺寸进行检测,并将时间为t时、构件尺寸记为实时尺寸Lt。时间为t指的是与起始时间t0之间的间隔为t。
步骤四、计算初始尺寸与实时尺寸的绝对差值|Lt-L0|,|Lt-L0|值越大、构件尺寸稳定性越小;或者,绘制实时尺寸Lt随时间的变化曲线Lt-t,Lt随时间t的变化的幅度越大,构件尺寸稳定性越小。由于本装置对构件使用的多场环境进行模拟,指定值可以根据实际需要进行设定。
在本实施例中,启动尺寸检测装置是指打开激光器、光检测器和处理器。尺寸检测装置检测构件尺寸的具体过程是:调节光检测器,使光检测器每隔一时间定值检测光干涉波并将光干涉波传输至处理器;处理器接收光干涉波,根据光干涉波计算构件尺寸并记录构件尺寸。光检测器可以每隔1s、2s、5s、10s……或任意设定的时间检测光干涉波,并将光干涉波传输至处理器。
调节夹持元件、使构件所受的加载力达到指定值的具体步骤是:将构件夹持于夹持元件,然后观察压力传感器的示数,若压力传感器的示数等于加载力指定值,则停止调节移动夹头;若压力传感器的示数小于加载力指定值,则调节移动夹头向固定夹头移动;若压力传感器的示数大于加载力指定值,则调节移动夹头背对固定夹头移动。压力传感器的示数可以通过设于壳体外壁的显示屏读取。
调节调温元件、使构件所受温度达到指定值的具体步骤是:观察温度传感器所检测的壳体内温度,若温度示数等于温度指定值,则关闭调温元件;若温度示数小于温度指定值,则启动加热元件、关闭降温元件,直至温度示数等于温度指定值;若温度示数大于温度指定值,则向降温元件的螺旋管道内通入冷却液体、直至温度示数等于温度指定值。温度示数可以通过设于壳体外壁的显示屏读取。
调节磁性元件、使构件所受磁场达到指定值的具体步骤是:将磁性元件通过铁片固定在第三连杆位于壳体内的一端,观察磁场强度检测仪示数,若磁场强度检测仪显示的磁场强度小于指定值,则顺时针(或逆时针)旋转把手、使第三连杆插入壳体,使磁性元件与构件之间的距离减小;若磁场强度检测仪显示的磁场强度大于指定值,则逆时针(或顺时针)旋转把手、使第三连杆脱出壳体,使磁性元件与构件之间的距离增大,直至磁场强度检测仪示数达到磁场强度的指定值。
在另一些实施例中,通过固定于壳体内壁的铁片、将磁性元件固定在壳体内壁,观察磁场强度检测仪示数,若磁场强度检测仪显示的磁场强度小于指定值,则更换磁场强度更大的磁性元件;若磁场强度检测仪显示的磁场强度大于指定值,则更换磁场强度更小的磁性元件,直至磁场强度检测仪示数达到磁场强度的指定值。
本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举,本发明的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式,本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。

Claims (10)

1.一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:包括尺寸检测装置和多场装置,多场装置包括壳体、用于夹持构件并对构件提供加载力的夹持元件、用于对构件提供温度场的调温元件和用于对构件提供磁场的磁性元件,夹持元件、调温元件和磁性元件均位于壳体内;当构件夹持在夹持元件上时,尺寸检测装置能够对构件的尺寸进行检测。
2.如权利要求1所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:尺寸检测装置包括用于发射激光的激光器,用于将激光转换成平行光束的扩束器,用于将平行光束分为第一光束和第二光束的分光棱镜,用于反射第二光束的反光镜,用于检测光干涉波、并将光干涉波传输至处理器的光检测器,以及用于接收光干涉波并根据光干涉波计算构件尺寸的处理器,光检测器与处理器电连接;使用尺寸检测装置时,第一光束照射至构件表面并被反射,之后与被反光镜反射的第二光束发生干涉,光检测器检测第一光束与第二光束之间的光干涉波。
3.如权利要求2所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:处理器接收光干涉波后,将第一光束的波从光干涉波中分离,第一光束的波的位移量等于构件尺寸的变化量。
4.如权利要求3所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:使用尺寸检测装置时,第一光束与构件表面垂直,第二光束与反射镜的反射面垂直。
5.如权利要求4所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:壳体上设有可开闭的透明窗口,当窗口打开时,构件能够通过所述窗口放入壳体;当窗口闭合时,壳体封闭、并且第一光束能够透过窗口照射至构件表面。
6.如权利要求5所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:夹持元件包括相互对位的固定夹头和移动夹头,固定夹头与壳体固定连接,移动夹头与壳体移动连接,移动夹头具有用于接触构件的夹持面,夹持面上设有压力传感器;当夹持元件夹持构件时,构件夹持于固定夹头和移动夹头之间、压力传感器位于构件和夹持面之间。
7.如权利要求6所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:调温元件避开夹持元件和磁性元件、与壳体内壁固定连接,调温元件包括用于升高构件温度的加热元件和用于降低构件温度的降温元件。
8.如权利要求7所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:磁性元件与壳体移动连接;或者,磁性元件与壳体可拆卸连接。
9.如权利要求8所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统,其特征在于:固定夹头上固定有用于检测磁场强度的磁场强度检测仪。
10.如权利要求1~9任一项所述的多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统的检测方法,其特征在于,依次包括以下步骤:
步骤一、将构件夹持在夹持元件上,启动尺寸检测装置,尺寸检测装置对构件尺寸进行检测,并将此时的构件尺寸记为初始尺寸L0
步骤二、调节夹持元件、调温元件和磁性元件,使构件所受的加载力、温度和磁场分别达到指定值,将加载力达到加载力指定值、温度达到温度指定值并且磁场达到磁场指定值的时间记为起始时间t0
步骤三、尺寸检测装置每隔一时间定值对构件尺寸进行检测,并将时间为t时、构件尺寸记为实时尺寸Lt
步骤四、计算初始尺寸与实时尺寸的绝对差值|Lt-L0|,|Lt-L0|值越大、构件尺寸稳定性越小;或者,绘制实时尺寸Lt随时间的变化曲线Lt-t,Lt随时间t的变化的幅度越大,构件尺寸稳定性越小。
CN202010084050.8A 2020-02-10 2020-02-10 一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法 Pending CN111380477A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010084050.8A CN111380477A (zh) 2020-02-10 2020-02-10 一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010084050.8A CN111380477A (zh) 2020-02-10 2020-02-10 一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111380477A true CN111380477A (zh) 2020-07-07

Family

ID=71216996

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010084050.8A Pending CN111380477A (zh) 2020-02-10 2020-02-10 一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111380477A (zh)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0706644B1 (en) * 1993-07-02 2000-08-09 The Boeing Company Laser interferometric force transducer
CN101355046A (zh) * 2008-09-19 2009-01-28 清华大学 一种多层薄膜基体结构高温力学行为的在线测量装置
CN101706427A (zh) * 2009-11-06 2010-05-12 清华大学 一种铁磁薄膜的力热磁耦合行为的检测装置及方法
CN102116689A (zh) * 2011-01-07 2011-07-06 西安交通大学 离子聚合物-金属复合材料综合力电性能测试装置
CN103698299A (zh) * 2013-11-26 2014-04-02 清华大学 物体在力热磁电多场作用下折射率变化测量装置及方法
CN107102279A (zh) * 2017-05-26 2017-08-29 东北石油大学 一种磁应变测量方法
CN207923072U (zh) * 2018-03-30 2018-09-28 山东师范大学 一种改进的迈克尔逊干涉仪
CN109115811A (zh) * 2018-09-04 2019-01-01 西安特瑞昇航空材料技术有限公司 断层扫描的材料多场耦合性能在线表征装置、系统及方法
CN109239273A (zh) * 2018-09-26 2019-01-18 北京理工大学 力-磁-热多场耦合环境下磁致材料的动态响应测试平台
CN110068283A (zh) * 2019-04-25 2019-07-30 东华大学 一种应用于面内应变的数字散斑传感系统

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0706644B1 (en) * 1993-07-02 2000-08-09 The Boeing Company Laser interferometric force transducer
CN101355046A (zh) * 2008-09-19 2009-01-28 清华大学 一种多层薄膜基体结构高温力学行为的在线测量装置
CN101706427A (zh) * 2009-11-06 2010-05-12 清华大学 一种铁磁薄膜的力热磁耦合行为的检测装置及方法
CN102116689A (zh) * 2011-01-07 2011-07-06 西安交通大学 离子聚合物-金属复合材料综合力电性能测试装置
CN103698299A (zh) * 2013-11-26 2014-04-02 清华大学 物体在力热磁电多场作用下折射率变化测量装置及方法
CN107102279A (zh) * 2017-05-26 2017-08-29 东北石油大学 一种磁应变测量方法
CN207923072U (zh) * 2018-03-30 2018-09-28 山东师范大学 一种改进的迈克尔逊干涉仪
CN109115811A (zh) * 2018-09-04 2019-01-01 西安特瑞昇航空材料技术有限公司 断层扫描的材料多场耦合性能在线表征装置、系统及方法
CN109239273A (zh) * 2018-09-26 2019-01-18 北京理工大学 力-磁-热多场耦合环境下磁致材料的动态响应测试平台
CN110068283A (zh) * 2019-04-25 2019-07-30 东华大学 一种应用于面内应变的数字散斑传感系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
宋宇峰等: ""残余应力和第二相对Al_Cu_Mg合金微尺寸变化的影响"", 《中国有色金属学报》 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110333191B (zh) 一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用
CN101865827B (zh) 一种磁光椭偏测量装置及测量方法
CN103424363B (zh) 非旋转式旋光溶液测量仪及采用该测量仪测量旋光溶液旋光率的方法
Hsia et al. Bidirectional Reflectometry. Part I.: A High Resolution Laser Bidirectional Reflectometer With Results on Several Optical Coatings
CN203931304U (zh) 一种测量法拉第效应和磁光调制的综合实验装置
CN103674893A (zh) 一种用于研究磁流体折射率与温度和磁场关系的实验装置
CN111380477A (zh) 一种多场环境下构件尺寸稳定性在线检测系统及检测方法
TW555962B (en) Method, system, and computer program product for determining refractive index distribution
CN103575468A (zh) 高反射率光纤f-p腔水听器动态相位解调和定标方法
CN101285772B (zh) 一种薄膜残余应力成分的分析装置
CN202709996U (zh) 一种实现薄膜厚度精确测量的装置
CN109798849B (zh) 倍频晶体定轴误差测量装置及测量方法
CN112986127A (zh) 一种透明材料应力光学系数的标定装置
CN109141828B (zh) 液晶器件相位调控特性测量装置和测量方法
CN204043623U (zh) 薄膜厚度测量装置
CN104020337A (zh) 石榴石型电压电流传感器
CN107764748B (zh) 一种玻璃材料的线性双折射测量装置与方法
WO2019109414A1 (zh) 一种检测材料伸缩率的装置、方法以及薄膜热缩测试仪
US6501269B1 (en) Vector kerr magnetometry
JP2000131206A (ja) 4点曲げ試験装置
CN105044476B (zh) 电场测量装置
CN108415004A (zh) 光纤水听器阵列全频段相位一致性的测量方法
CN113281011A (zh) 磁致折变光纤折射率测量系统
SU1310632A1 (ru) Устройство дл наблюдени динамики развити микротрещин в шлифах образцов металлических сплавов
CN112964194B (zh) 一种基于共聚焦的航天器结构变形监测系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20200707