CN111366231A - 振动测量装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种直接测量敏感件运动的振动检测装置。检测电路可以根据感应件的位移输出位移信号，反馈控制电路根据位移信号输出反馈信号。第一驱动装置可以根据反馈信号驱动感应件运动使感应件相对于位移参照装置的位移为零或趋近于零。位移参照装置相对于基座架固定设置。当地面发生振动时，感应件会相对于位移参照装置发生位移，位移可以为竖直方向的位移。此时检测电路可以检测到该位移并输出位移信号，反馈控制电路根据位移信号输出反馈信号。反馈信号可以直接反应地面的振动情况，由于敏感件相对于感应件固定设置，因此可以直接反应敏感件的振动情况。然后根据反馈信号可以对感应件的测量进行补偿，进而可以提高修正结果的精度。

Description

振动测量装置

技术领域

本申请涉及精密测量领域，特别是涉及一种振动测量装置。

背景技术

在精密物理实验和测量领域中，地面振动是测量的主要噪声来源，其会对测量的精度造成较大的影响。振动补偿技术通过测量地面振动修正测量结果以实现更高精度的测量，有着非常重要的作用和应用前景。但是现有技术均是通过间接测量的方法，将拾振器与所测元件(敏感件)并列放置在基底上，通过拾振器的输出信号推算所测敏感件的运动。此类方案基本都是采用一个假设的传递函数来趋近真实的传递函数，理论上必然存在误差，影响修正结果的精度。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种直接测量敏感件运动的振动测量装置。

一种振动测量装置，包括：

基座架，包围形成容纳空间；

感应件，所述感应件的一端活动设置于所述基座架，用于固定设置敏感件；

位移参照装置，设置于所述容纳空间，相对于所述基座架固定设置；

检测电路，用于根据所述感应件相对于所述位移参照装置的位移输出位移信号；

反馈控制电路，用于根据所述位移信号输出反馈信号；以及

第一驱动装置，位于所述容纳空间，并设置于所述感应件和所述基座架之间，用于根据所述反馈信号驱动所述感应件运动使所述感应件的位移为零或趋近于零。

在一个实施例中，所述位移参照装置包括第一定极板和第二定极板，所述第一定极板和所述第二定极板平行固定设置，所述感应件设置于所述第一定极板和第二定极板之间；

当所述感应件在所述第一定极板和所述第二定极板之间发生位移使所述第一定极板和所述感应件形成的第一电容以及所述第二定极板和所述感应件形成的第二电容的差值发生变化时，所述检测电路输出所述位移信号，所述反馈控制电路根据所述位移信号输出所述反馈信号，所述第一驱动装置根据所述反馈信号驱动所述敏感件运动以使所述第一电容和所述第二电容的差值为零或者趋近于零。

在一个实施例中，所述第一驱动装置包括音圈电机，所述音圈电机包括磁铁结构和线圈结构，所述磁铁结构相对于所述基座架固定设置，所述线圈结构相对于所述感应件固定设置。

在一个实施例中，所述第一驱动装置包括压电驱动器，所述压电驱动器包括外壳以及设置于所述外壳内的输出轴，所述外壳相对于所说基座架固定设置，所述输出轴相对于所述感应件固定设置。

在一个实施例中，所述基座架包括第一支撑柱，设置于所述容纳空间内，所述感应件的一端活动设置于所述第一支撑柱。

在一个实施例中，还包括第一弹性件，所述第一弹性件的一端设置于所述第一支撑柱，所述第一弹性件的另一端固定于所述感应件，在静态时，所述第一弹性件用于使所述感应件保持在相对所述位移参照装置位移为零时的初始位置。

在一个实施例中，还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置设置于所述感应件和所述基座架之间，所述第二驱动装置设置于所述第一驱动装置远离所述第一支撑柱的一端，在静态时，所述第二驱动装置用于使所述感应件保持在相对所述位移参照装置位移为零时的初始位置。

在一个实施例中，还包括：

第二支撑柱，设置于所述容纳空间内，并与所述第一支撑柱间隔设置；

第二弹性件，所述第二弹性件的一端与所述第一支撑柱的一端连接，所述第二弹性件的另一端固定于所述感应件，在静态时，所述第二弹性件用于使所述感应件保持在相对所述位移参照装置位移为零时的初始位置。

在一个实施例中，还包括玻璃珠，固定设置于所述感应件，所述位移参照装置包括：

激光二极管，设置于所述第二支撑柱；

光电探测器，设置于所述第一支撑柱；

在静态时，所述感应件相对所述基座架保持在位移为零时的初始位置时，所述激光二极管经过所述玻璃珠成焦在所述光电探测器的中心，所述检测电路与所述光电探测器连接，所述感应件发生位移时，所述检测电路发出所述位移信号。

在一个实施例中，所述第一支撑柱设置有锥形孔，所述感应件的一端设置配合球，所述配合球与所述锥形孔的内壁相切。

在一个实施例中，所述第一支撑柱设置有竖向的滑轨，所述感应件的一端滑动设置于所述滑轨。

在一个实施例中，所述基座架设置有观察窗口。

本申请实施例提供的所述振动检测装置。所述检测电路可以根据所述感应件的位移输出位移信号，反馈控制电路根据所述位移信号输出反馈信号。所述第一驱动装置可以根据所述反馈信号驱动所述感应件运动使所述感应件相对于所述位移参照装置的位移为零或趋近于零。所述位移参照装置相对于所述基座架固定设置。当地面发生振动时，所述感应件会相对于所述位移参照装置发生位移，即相对于所述基座架发生位移。所述位移可以为竖直方向的位移。此时所述检测电路可以检测到该位移并输出位移信号，所述反馈控制电路根据所述位移信号输出反馈信号。所述反馈信号可以直接反应地面的振动情况，由于所述敏感件相对于所述感应件固定设置，因此可以直接反应所述敏感件的振动情况。然后根据所述反馈信号可以对所述感应件的测量进行补偿，进而可以提高修正结果的精度。

附图说明

图1为本申请一个实施例中提供的振动测量装置示意图；

图2为本申请一个实施例提供的音圈电机示意图；

图3为本申请一个实施例提供的振动测量装置示意图；

图4为本申请一个实施例提供的振动测量装置示意图；

图5为本申请一个实施例提供的振动测量装置示意图；

图6为本申请一个实施例提供的振动测量装置示意图；

图7为本申请一个实施例提供的振动测量装置示意图；

图8为本申请一个实施例提供的感应件连接方式示意图；

图9为本申请一个实施例提供的感应件连接方式示意图。

附图标号：

振动测量装置10

基座架100

容纳空间110

观察窗口120

第一支撑柱130

锥形孔132

第二支撑柱140

第一弹性件150

第二弹性件160

感应件170

配合球172

敏感件180

位移参照装置190

第一定极板192

第二定极板194

激光二极管212

玻璃珠214

光电探测器216

第一驱动装置220

磁铁结构214

线圈结构216

压电驱动器230

外壳232

输出轴234

第二驱动装置240

固定柱250

安装块252

滑轨260

滑块262

限位部264

固定转接件242

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内固定涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施的限制。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

现有技术中，敏感件的运动测量方法都是间接测量法，均需要采用假设的传递函数来逼近真实的传递函数，理论上会影响修订结果的准确度。

请参见图1，本申请实施例提供一种振动测量装置10。所述振动测量装置 10包括基座架100、感应件170、位移参照装置190、检测电路、反馈控制电路和第一驱动装置220。所述基座架100包围形成容纳空间110。所述感应件170 的一端活动设置于所述基座架100。敏感件180可以固定设置于所述感应件170。所述位移参照装置190设置于所述容纳空间110。所述位移参照装置190相对于所述基座架100固定设置。所述检测电路用于根据所述感应件170相对于所述基座架100的位移输出位移信号。所述反馈控制电路用于根据所述位移信号输出反馈信号。

所述第一驱动装置220位于所述容纳空间110。所述第一驱动装置220设置于所述感应件170和所述基座架100之间。所述第一驱动装置220用于根据所述反馈信号驱动所述感应件170运动使所述感应件170相对所述位移参照装置 (190)的位移为零或趋近于零。

所述基座架100可以为中空的封闭结构。所述容纳空间110可以为立方体或者圆柱形结构。所述感应件170可以水平放置于所述容纳空间110内。所述感应件170的一端可以活动设置于所述基座架100的内壁或者所述基座架100 中的其它结构，即所述感应件170可以围绕所述活动端转动，或者所述感应件 170可以相对于所述基座架100滑动。在一个实施例中，所述感应件170通过柔性铰链活动设置在所述基座架100。

所述感应件170可以为条状或者板状结构。所述敏感件180可以为角锥棱镜或者平面镜等光学元件或其他需要被测量振动的元件。所述敏感件180也是需要进行补偿的元件。所述敏感件180可以通过转接件182固定于所述感应件 170。所述转接件可以为螺栓。即可以通过螺栓连接将所述敏感件180固定于所述感应件170。

所述第一驱动装置220可以设置于所述基座架100的底部，并可以与所述感应件170接触以驱动所述感应件170。当在静态下，所述感应件170在所述第一驱动装置220的支撑下，可以位于平衡位置，此时所述感应件170相对于所述位移参照装置190的位移为零。即相对于所述基座架100的位移为零。当地面发生振动时，所述位移不为零，所述检测电路输出所述位移信号，所述反馈控制电路可以根据所述位移信号驱动所述感应件170，使所述感应件170恢复到所述平衡位置，即使所述敏感件180相对基座架100的位移为零或者趋近于零。所述反馈信号可以直接反应地面的振动情况。由于所述敏感件180相对于所述感应件170固定设置，即所述反馈信号可以直接反应所述敏感件180的振动情况。

本申请实施例提供的所述振动检测装置10。所述检测电路可以根据所述感应件170的位移输出位移信号，反馈控制电路根据所述位移信号输出反馈信号。所述第一驱动装置220可以根据所述反馈信号驱动所述感应件170运动使所述感应件170相对于所述位移参照装置190的位移为零或趋近于零。所述位移参照装置190相对于所述基座架100固定设置。当地面发生振动时，所述感应件 170会相对于所述位移参照装置190发生位移，即相对于所述基座架100发生位移。所述位移可以为竖直方向的位移。此时所述检测电路可以检测到该位移并输出位移信号，所述反馈控制电路根据所述位移信号输出反馈信号。所述反馈信号可以直接反应地面的振动情况，由于所述敏感件180相对于所述感应件170 固定设置，因此可以直接反应所述敏感件180的振动情况。然后根据所述反馈信号可以对所述感应件170的测量进行补偿，进而可以提高修正结果的精度。

在一个实施例中，所述位移参照装置190设置于所述容纳空间110。所述位移参照装置190包括第一定极板192和第二定极板194。所述第一定极板192和所述第二定极板194平行固定设置。所述感应件170设置于所述第一定极板192 和第二定极板194之间。当所述感应件170在所述第一定极板192和所述第二定极板194之间发生位移使所述第一定极板192和所述感应件170形成的第一电容以及所述第二定极板194和所述感应件170形成的第二电容的差值发生变化时，所述检测电路输出所述位移信号，所述反馈控制电路根据所述位移信号输出反馈信号，所述第一驱动装置220根据所述反馈信号驱动所述敏感件180 运动以使所述第一电容和所述第二电容的差值为零或者趋近于零。所述第一定极板192、所述第二定极板194和所述感应件170可以为导体材料。所述感应件 170可以构成一个动极板。所述第一定极板192、所述第二定极板194和所述感应件170可以构成差分式平行平板电容。所述第一定极板192、所述第二定极板 194可以通过一个固定柱250固定于所述基座架100。

根据电容公式

其中ε为极间介质的电介质常数，S为两极板间互相覆盖的有效面积，D为两极板间的距离。所有极板处于相同的工作环境，所述感应件170与所述第一定极板192和所述第二定极板194的有效面积相等。无振动时，所述感应件170处于所述第一定极板192和所述第二定极板194的中间位置，此时所述感应件170分别与所述第一定极板192和所述第二定极板194 间的距离D相等，形成的电容值相等。在振动状态下，所述感应件170在所述第一定极板192和所述第二定极板194间的位置发生变化。所述感应件170分别与所述第一定极板192和所述第二定极板194间的距离D不相等，即所述第一电容和所述第二电容不相等。此时所述第一电容和所述第二电容之间的差值发生变化。所述检测电路可以检测所述第一电容和所述第二电容的差值，反映的即是所述感应件170相对于第一定极板192和第二定极板194运动的位移。反馈控制电路根据差分电容的大小，通过所述第一驱动装置220给所述感应件 170施加相应的驱动力，使得所述感应件170处于所述第一定极板192和所述第二定极板194的中间位置，让所述感应件170追踪所述第一定极板192和所述第二定极板194运动，此时反馈控制电压即所述反馈信号即可反映地面的运动，亦即固定在所述感应件170上的敏感元件的运动。所述感应件170追踪所述第一定极板192和所述第二定极板194使得三者的位置保持相对不变。即可以使得所述敏感件180直接追踪地面运动。此时可以实现对所述敏感件180运动的直接测量。

当所述第一电容和所述第二电容不相等产生差分电容后，所述差分电容进入电容检测电路，经过放大、滤波等处理得到电压信号即所述位移信号，代表所述感应件在所述第一定极板和所述第二定极板的位置。

在一个实施例中，所述第一驱动装置220包括音圈电机。所述音圈电机包括磁铁结构214和线圈结构216。所述磁铁结构214相对于所述基座架100固定设置。所述线圈结构216相对于所述感应件170固定设置。所述磁铁结构214 可以具有安装槽，所述线圈结构216可以安装于所述安装槽。通过改变所述线圈结构216中的电流，可以使所述线圈结构216在竖直方向运动，进而驱动所述感应件170在竖直方向运动到平衡位置。可以理解，所述位移信号通过所述反馈控制电路经过放大等处理后产生相应大小的电流给所述线圈结构216。所述音圈电机具有响应速度快、控制精确的优点。

请参见图2，在一个实施例中，所述第一驱动装置220包括压电驱动器230。所述压电驱动器230包括外壳232以及设置于所述外壳232内的输出轴234。所述外壳232相对于所说基座架100固定设置。所述输出轴234相对于所述感应件170固定设置。通过所述位移信号可以控制所述输出轴234输出的长度，进而可以控制所述感应件170在竖直方向的位置。所述压电驱动器230可以基于压电陶瓷材料的逆压电效应，通过控制其机械变形产生直线运动，响应快速精确。

在一个实施例中，所述基座架100包括第一支撑柱130。所述第一支撑柱 130设置于所述容纳空间110内。所述感应件170的一端活动设置于所述第一支撑柱130。所述第一支撑柱130的一端可以固定于所述基座架100的底部。所述第一支撑柱130可以垂直于所述基座架100的底面。所述第一支撑柱130可以为圆柱或者立方体立柱。所述感应件170的一端可以转动或者滑动设置于所述第一支撑柱130。

请参见图3，在在一个实施例中，所述振动测量装置10还包括第一弹性件 150。所述第一弹性件150的一端设置于所述第一支撑柱130。所述第一弹性件 150的另一端固定于所述感应件170。在静态时，所述第一弹性件150用于使所述感应件170保持在相对所述基座架100、即所述位移参考装置190位移为零时的初始位置。所述第一弹性件150可以为弹簧。所述弹簧的一端可以固定于所述第一支撑柱130远离所述基座架100的底部。所述弹簧的另一端可以固定于所述感应件170远离所述第一支撑柱130的一端。因此通过所述第一弹性件150 可以将所述感应件170拉伸到平衡状态。所述第一驱动装置220也可以起到支撑所述感应件170的作用。通过所述第一感应件170和所述第一驱动装置220 共同作用可以使所述感应件170达到位移为零的状态。

请参见图4，在一个实施例中，所述振动测量装置10还包括第二驱动装置 240。所述第二驱动装置240设置于所述感应件170和所述基座架100之间。所述第二驱动装置240设置于所述第一驱动装置220远离所述第一支撑柱130的一端。在静态时，所述第二驱动装置240用于使所述感应件170保持在相对所述基座架100位移为零时的初始位置。所述第二驱动装置240可以与所述第一驱动装置220的结构相同。所述第二驱动装置240也可以为音圈电机。音圈电机的所述线圈结构可以通过固定转接件242与所述感应件170固定。

所述第二驱动装置240可以起到平衡所述感应件170重力的作用。开始工作时，所述第二驱动装置240给所述感应件170的力是恒定的。当所述第二驱动装置240为音圈电机时，所述音圈电机的电流也是恒定的。因此可以减轻所述第一驱动装置220对所述感应件170的支撑力。同时所述第一驱动装置220 的位置也可以灵活变化，避免由于所述第一驱动装置220位置不合适时使所述感应件170出现倾斜。所述第二驱动装置240距离所述第一支撑柱130的距离越远，为保持所述感应件170在平衡位置所述第二驱动装置240需要提供的力越小，可以节省电能。

请参见图5-6，在一个实施例中，所述振动测量装置10还包括第二支撑柱 140和第二弹性件160。所述第二支撑柱140设置于所述容纳空间110内。所述第二支撑柱140与所述第一支撑柱130间隔设置。所述第二弹性件160的一端与所述感应件170远离所说第一支撑柱130的一端连接。所述第二弹性件160 的另一端固定于所述感应件170。在静态时，所述第二弹性件160用于使所述感应件170保持相对所述位移参照装置190位移为零时的初始位置。所述第二支撑柱140和所述第一支撑柱130的结构可以相同。所述第二支撑柱140和所述第一支撑柱130可以平行设置。所述感应件170可以位于所述第一支撑柱130 和所述第二支撑柱140之间。所述第一支撑柱130和所述第二支撑柱140可以分别连接所述感应件170的两端，同时在所述第一驱动装置220的作用下，可以使所述感应件170保持在平衡位置。可以理解，所述第一驱动装置220可以位于所述位移参照装置190的正下方，也可以位于所述位移参照装置190的一侧。所述位移参照装置190可以为所述差分式平行平板电容。

请参见图7，在一个实施例中，所述位移参照装置190包括激光二极管212、光电探测器216。所述振动测量装置10还包括玻璃珠214。所述激光二极管212 设置于所述第二支撑柱140。所述玻璃珠214固定设置于所述感应件170。所述光电探测器216设置于所述第一支撑柱130。所述检测电路与所述光电探测器 216连接。在静态时，所述感应件170相对所述基座架100保持在位移为零时的初始位置时，所述激光二极管212经过所述玻璃珠214成焦在所述光电探测器 216的中心。所述感应件170发生位移时，所述光电探测器216通过所述检测电路发出所述位移信号。可以理解，所述激光二极管212可以发射激光光束。所述玻璃珠214可以用于对所述激光光束进行聚光，然后照射到所述光电探测器 216。在静态时，可以通过调节所述感应件170的位置，使得所述激光二极管212 发射的所述激光光束通过所述玻璃珠214聚光到所述光电探测器216的初始位置。当地面发生振动时，所述感应件170相对于所述基座架100发生位移。此时所述玻璃珠214相对于所述激光二极管212的位置发生变化。所述检测电路可以根据位置变化输出所述位移信号，进而所述反馈控制电路可以输出反馈信号控制第一驱动装置220驱动所述感应件170追踪所述基座架100运动，从而使所述敏感件180追踪地面运动。此时所述反馈信号可以反应所述敏感件180 的运动。

请参见图8，在一个实施例中，所述第一支撑柱130设置有锥形孔132。所述感应件170的一端设置配合球172。所述配合球172与所述锥形孔132的内壁相切。所述第一支撑珠可以包括一个安装块252。所述锥形孔132可以开设于所述安装块252。所述配合球172的直径可以小于所述锥形孔132的开口的直径，因此所述配合球172可以进入所述锥形孔132，并使所述配合球172与所述锥形孔132的内壁相切。因此所述配合球172可以在所述锥形孔132转动，所述感应件170可以围绕所述配合球172转动。

请参见图9，在一个实施例中，所述第一支撑柱130设置有竖向的滑轨260。所述感应件170的一端滑动设置于所述滑轨260。在静态下，所述感应件170在所述第一驱动装置220的支撑下可以位于平衡位置，即位移为零的位置。当地面发生振动时，所述感应件170可以在所述滑轨260内在竖直方向滑动。所述检测电路输出所述位移信号，所述反馈控制电路根据所述位移信号输出反馈信号，所述第一驱动装置220在收到所述反馈信号后可以驱动所述感应件170趋近位移为零的位置。在一个实施例中，所述感应件170的一端可以固定设置滑块262。所述滑块262可以在所述滑轨内滑动。所述滑轨的上端和下端可以分别设置限位部260以防止所述滑块262滑出。

在一个实施例中，所述基座架100设置有观察窗口120。所述观察窗口120 可以设置在所述基座架100的顶部。通过所述观察窗口120可以观察所述基座架100的内部各个器件的工作状态。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种振动测量装置，其特征在于，包括：

基座架(100)，包围形成容纳空间(110)；

感应件(170)，所述感应件(170)的一端活动设置于所述基座架(100)，用于固定设置敏感件(180)；

位移参照装置(190)，设置于所述容纳空间(110)，相对于所述基座架(100)固定设置；

检测电路(196)，用于根据所述感应件(170)相对于所述位移参照装置(190)的位移输出位移信号；

反馈控制电路(198)，用于根据所述位移信号输出反馈信号；以及

第一驱动装置(220)，位于所述容纳空间(110)，并设置于所述感应件(170)和所述基座架(100)之间，用于根据所述反馈信号驱动所述感应件(170)运动使所述感应件(170相对于所述位移参照装置(190)的位移为零或趋近于零。

2.如权利要求1所述的振动测量装置，其特征在于，所述位移参照装置(190)包括第一定极板(192)和第二定极板(194)，所述第一定极板(192)和所述第二定极板(194)平行固定设置，所述感应件(170)设置于所述第一定极板(192)和第二定极板(194)之间；

当所述感应件(170)在所述第一定极板(192)和所述第二定极板(194)之间发生位移使所述第一定极板(192)和所述感应件(170)形成的第一电容以及所述第二定极板(194)和所述感应件(170)形成的第二电容的差值发生变化时，所述检测电路(196)输出所述位移信号，所述反馈控制电路(198)根据所述位移信号输出所述反馈信号，所述第一驱动装置(220)根据所述反馈信号驱动所述敏感件(180)运动以使所述第一电容和所述第二电容的差值为零或者趋近于零。

3.如权利要求2所述的振动测量装置，其特征在于，所述第一驱动装置(220)包括音圈电机，所述音圈电机包括磁铁结构(214)和线圈结构(216)，所述磁铁结构(214)相对于所述基座架(100)固定设置，所述线圈结构(216)相对于所述感应件(170)固定设置。

4.如权利要求2所述的振动测量装置，其特征在于，所述第一驱动装置(220)包括压电驱动器(230)，所述压电驱动器(230)包括外壳(232)以及设置于所述外壳(232)内的输出轴(234)，所述外壳(232)相对于所说基座架(100)固定设置，所述输出轴(234)相对于所述感应件(170)固定设置。

5.如权利要求1所述的振动测量装置，其特征在于，所述基座架(100)包括第一支撑柱(130)，设置于所述容纳空间(110)内，所述感应件(170)的一端活动设置于所述第一支撑柱(130)。

6.如权利要求5所述的振动测量装置，其特征在于，还包括第一弹性件(150)，所述第一弹性件(150)的一端设置于所述第一支撑柱(130)，所述第一弹性件(150)的另一端固定于所述感应件(170)，在静态时，所述第一弹性件(150)用于使所述感应件(170)保持在相对所述位移参照装置(190)位移为零时的初始位置。

7.如权利要求5所述的振动测量装置，其特征在于，还包括第二驱动装置(240)，所述第二驱动装置(240)设置于所述感应件(170)和所述基座架(100)之间，所述第二驱动装置(240)设置于所述第一驱动装置(220)远离所述第一支撑柱(130)的一端，在静态时，所述第二驱动装置(240)用于使所述感应件(170)保持在相对所述位移参照装置(190)位移为零时的初始位置。

8.如权利要求5所述的振动测量装置，其特征在于，还包括：

第二支撑柱(140)，设置于所述容纳空间(110)内，并与所述第一支撑柱(130)间隔设置；

第二弹性件(160)，所述第二弹性件(160)的一端与所述第一支撑柱(130)的一端连接，所述第二弹性件(160)的另一端固定于所述感应件(170)，在静态时，所述第二弹性件(160)用于使所述感应件(170)保持在相对所述位移参照装置(190)位移为零时的初始位置。

9.如权利要求8所述的振动测量装置，其特征在于，还包括玻璃珠(214)，固定设置于所述感应件(170)，所述位移参照装置(190)包括：

激光二极管(212)，设置于所述第二支撑柱(140)；

光电探测器(216)，设置于所述第一支撑柱(130)；

在静态时，所述感应件(170)相对所述基座架(100)保持在位移为零时的初始位置时，所述激光二极管(212)经过所述玻璃珠(214)成焦在所述光电探测器(216)的中心，所述检测电路(196)与所述光电探测器(216)连接，所述感应件(170)发生位移时，所述检测电路(196)发出所述位移信号。

10.如权利要求5所述的振动测量装置，其特征在于，所述第一支撑柱(130)设置有锥形孔(132)，所述感应件(170)的一端设置配合球(172)，所述配合球(172)与所述锥形孔(132)的内壁相切。

11.如权利要求5所属的振动测量装置，其特征在于，所述第一支撑柱(130)设置有竖向的滑轨，所述感应件(170)的一端滑动设置于所述滑轨。

12.如权利要求1所述的振动测量装置，其特征在于，所述基座架(100)设置有观察窗口(120)。

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