CN111339693B

CN111339693B - 一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备

Info

Publication number: CN111339693B
Application number: CN202010425512.8A
Authority: CN
Inventors: 魏伟; 孙朋; 罗昌杰; 刘兆晶; 解宇晨
Original assignee: Shenzhen Cansinga Technology Co ltd
Current assignee: Shenzhen Cansinga Technology Co ltd
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2020-05-19
Publication date: 2020-10-13
Anticipated expiration: 2040-05-19
Also published as: CN111339693A

Abstract

本申请适用于工件制造技术领域，提供了一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备，该方法包括：在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，获取工件的第一重量；基于第一重量、第一次数和工件的参数信息，确定采用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的第二次数；在采用第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取工件的第二重量；若第二重量大于预设重量范围，则提高蚀刻速度至第二蚀刻速度，并基于第二蚀刻速度蚀刻工件，直至工件满足预设重量范围；本申请通过获取工件的重量，进而通过重量计算蚀刻次数，避免了蚀刻中多次人工测量厚度，提高了工作效率和蚀刻精度，同时通过调整蚀刻速度可以使蚀刻的工件精度更高。

Description

一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备

技术领域

本申请属于工件制造技术领域，尤其涉及一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备。

背景技术

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。在工件制作过程中，常常使用蚀刻的方法将工件制作成所需形状。

目前，在将工件蚀刻成锥形结构时，多是基于经验法设置蚀刻次数，然后对蚀刻后的锥形工件进行人工厚度测量以判断蚀刻后的锥形工件是否满足要求，如果不满足要求则继续蚀刻；上述方法需要在蚀刻中多次停止，并且需要人工测量工件的厚度，判断是否达到工件的蚀刻要求，这种借助于人工测量厚度的蚀刻方法的蚀刻精度差、效率低。

发明内容

本申请实施例提供了一种工件的蚀刻方法、装置及终端设备，可以解决目前对工件的蚀刻精度差、效率低的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种工件的蚀刻方法，包括：

在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，获取所述工件的第一重量，其中，第一次数≥1，所述第一蚀刻速度是所述工件进出腐蚀液的速度；

基于所述第一重量、所述第一次数和所述工件的参数信息，确定采用所述第一蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第二次数，其中，第二次数≥1；

在采用所述第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取所述工件的第二重量；

若所述第二重量不满足预设重量范围，则基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度，并基于所述第二蚀刻速度蚀刻所述工件，直至所述工件满足预设重量范围，其中，所述第二蚀刻速度大于所述第一蚀刻速度。

第二方面，本申请实施例提供了一种工件的蚀刻装置，包括：

第一重量采集模块，用于在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，获取所述工件的第一重量，其中，第一次数≥1，所述第一蚀刻速度是所述工件进出腐蚀液的速度；

蚀刻次数确定模块，用于基于所述第一重量、所述第一次数和所述工件的参数信息，确定采用所述第一蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第二次数，其中，第二次数≥1；

第二重量采集模块，用于在采用所述第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取所述工件的第二重量；

速度确定模块，用于若所述第二重量不满足预设重量范围，则基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度，并基于所述第二蚀刻速度蚀刻所述工件，直至所述工件满足预设重量范围，其中，所述第二蚀刻速度大于所述第一蚀刻速度。

第三方面，本申请实施例提供了一种终端设备，包括：存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述第一方面中任一项所述的工件的蚀刻方法。

第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现上述第一方面中任一项所述的工件的蚀刻方法。

第五方面，本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在终端设备上运行时，使得终端设备执行上述第一方面中任一项所述的工件的蚀刻方法。

可以理解的是，上述第二方面至第五方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。

本申请实施例与现有技术相比存在的有益效果是：本申请首先采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻，并获得蚀刻后的工件的第一重量，并根据第一重量计算采用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的第二次数，在对工件采用第一蚀刻速度进行第二次数的蚀刻后获取工件的第二重量，如果第二重量还是不满足预设重量范围，则提高蚀刻速度至第二蚀刻速度并对工件继续蚀刻，直到蚀刻后的工件的重量满足预设重量范围；本申请通过获取工件的重量来确定蚀刻的次数，并在工件接近预设重量范围时通过调整蚀刻速度来降低每次蚀刻过程中工件减少的重量，防止对工件的过量蚀刻，本申请通过获取工件的重量，进而通过重量计算蚀刻次数，避免了蚀刻中多次人工测量厚度，提高了工作效率和蚀刻精度，同时通过调整蚀刻速度可以使蚀刻的工件精度更高。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请一实施例提供的工件的蚀刻方法的应用场景示意图；

图2是本申请一实施例提供的工件的蚀刻方法的流程示意图；

图3是本申请一实施例提供的第二次数的计算过程的流程示意图；

图4是本申请一实施例提供的蚀刻速度调整过程的流程示意图；

图5是本申请一实施例提供的工件的蚀刻装置的结构示意图；

图6是本申请一实施例提供的终端设备的结构示意图；

图7是本申请一实施例提供的计算机的部分结构的框图。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。

应当理解，当在本申请说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。

还应当理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

如在本申请说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。

另外，在本申请说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。

目前，在把工件蚀刻成锥形结构时，对于蚀刻结束点的控制，主要是基于经验法，在蚀刻过程中，多次测量蚀刻后锥形工件的厚度，如果厚度不满足要求则继续蚀刻，但是对于复杂的薄壁结构的工件，测量工件的厚度难度大、精度低，在蚀刻过程中容易出现对工件的过腐蚀，造成材料的浪费和时间的浪费。

因此，本申请通过对工件的重量的测量，进而通过工件的重量确定对工件的蚀刻次数和蚀刻速度，可以准确并快速的得到需要的工件。

图1为本申请实施例提供的工件的蚀刻方法的应用场景示意图，上述工件的蚀刻方法可以用于对工件进行蚀刻，得到需要的工件结构。其中，数据采集设备10，用于采集并存储工件蚀刻过程中的数据，处理器20用于从数据采集设备10中获取工件蚀刻过程中的数据，根据工件蚀刻过程中的数据确定蚀刻次数和蚀刻速度，并判断蚀刻后的工件是否满足预设重量范围。

以下结合图1对本申请实施例的工件的蚀刻方法进行详细说明。

图2示出了本申请提供的工件的蚀刻方法的示意性流程图，参照图2，对该方法的详述如下：

S101，在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，获取所述工件的第一重量，其中，第一次数≥1，所述第一蚀刻速度是所述工件进出腐蚀液的速度。

在本实施例中，对工件进行蚀刻的方法是采用腐蚀液对工件进行腐蚀，进而得到所需的工件结构，在所需工件使锥形工件结构时，可以用装置将工件竖直吊起，使装置带动工件的底端先进入腐蚀液，然后将工件竖直浸入腐蚀液中，直到腐蚀液的页面与需要的锥形结构的顶端在同一水平面上，然后将工件竖直向上取出腐蚀液，由于工件的底端在腐蚀液中浸泡的时间最长，因此底端腐蚀的最严重，所以底端的横切面的面积比顶端的横切面的面积小，因此会形成锥形。工件进出一次腐蚀液完成一次蚀刻。第一刻蚀速度其实也是吊起工件的装置上下移动速度。

在对工件进行蚀刻时，首先选定一个第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻，第一蚀刻速度可以是根据工件的材料选择的速度，例如，钢铁材料的工件可以选择第一蚀刻速度为1米/分；第一次数可以是一次，也可以是两次或多次，可以根据需要设置，第一次数设置多次可以使后续计算更准确，仅通过一次蚀刻得到的第一重量在后续计算时可能偏差较大。

因为在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，工件的重量与工件的初始重量相比已经减少了，所以可以采用重力传感器测得蚀刻后的工件的第一重量。

作为举例，如果第一蚀刻速度为2米/分，第一次数为3次，则第一重量是工件在采用第一蚀刻速度对工件进行3次蚀刻后采集的工件的重量。

S102，基于所述第一重量、所述第一次数和所述工件的参数信息，确定采用所述第一蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第二次数，其中，第二次数≥1。

在本实施例中，工件的参数信息可以包括工件的初始重量、目标重量、工件的精度和工件的标准重量，其中，目标重量为预设重量范围内的最大值，预设重量范围中的最小值是标准重量与精度的差值，预设重量范围中的最大值是标准重量与精度的和，标准重量指的是需要的工件的最精确的重量，也就是预设重量范围中的中间重量值。

在本实施例中，由于在S101中已经采用第一蚀刻速度对工件进行了第一次数的蚀刻，此时，基于第一重量、第一次数和工件的参数信息确定的是继续使用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的次数。

在本实施例中，确定的第二次数是采用第一蚀刻速度蚀刻工件使工件的重量达到预设重量范围或最接近预设重量范围时的蚀刻的次数，预设重量范围是预先设置的所需的工件满足强度要求时工件的重量应该满足的范围。

如图3所示，在一种可能的实现方式中，步骤S102的实现过程可以包括：

S1021，基于所述第一重量、所述初始重量和所述第一次数，计算每次蚀刻过程所述工件减少的重量。

在本实施例中，由于每次蚀刻均会使工件的重量减少，所以可以确定每次蚀刻过程工件减少的重量后，确定采用第一蚀刻速度还可以对工件蚀刻多少次后，可以使工件的重量既能最接近或满足预设重量范围，又不会使工件过腐蚀。

具体的，计算所述初始重量和所述第一重量的第一差值，并将所述第一差值与第一次数的比值作为所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量。

例如，

，其中，

为每次蚀刻过程工件减少的重量，

为初始重量，

为第一重量，N为第一次数。

作为举例，如果工件的初始重量为50Kg，第一重量为41Kg，第一次数为3次，则每次蚀刻过程所述工件减少的重量

。

S1022，基于所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量、所述第一重量和所述目标重量，确定蚀刻的第二次数。

在本实施例中，选用目标重量计算继续采用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的第二次数，而不直接使用工件的标准重量进行计算，是为了防止对工件的过量腐蚀。如果使用标准重量进行计算，在每次蚀刻过程所述工件减少的重量发生偏差时很有可能会造成工件的过腐蚀，使用目标重量则不会造成对工件的过腐蚀，因为目标重量是工件的预设重量范围的最大值，即使在每次蚀刻过程所述工件减少的重量计算的不是特别准确的情况下，也会有可浮动的重量范围，使工件在刻蚀第二次数之后得到的重量也满足预设重量范围。

在一种可能的实现方式中，步骤S1022的实现过程可以包括：

S10221，计算所述第一重量与所述目标重量的第二差值。

S10222，基于所述第二差值与所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量的比值确定第二次数，其中，所述第二次数小于或等于所述第二差值与所述每次蚀刻所述工件减少的重量的比值。

在本实施例中，第二次数可以选用最接近第二差值与每次蚀刻所述工件减少的重量的比值的数值，因为选择最接近例如第二差值与每次蚀刻所述工件减少的重量的比值的数值会使经过蚀刻后的工件的重量更接近预设重量范围，如果第二差值与每次蚀刻所述工件减少的重量的比值为8.5，则第二次数可以选用8次，如果第二差值与每次蚀刻所述工件减少的重量的比值为6，则第二次数可以选择6次或者5次。

例如，

，其中，M为第二次数，

为第一重量，

为目标重量，

为每次蚀刻过程工件减少的重量。

作为举例，如果第一重量为41Kg，目标重量为23Kg，每次蚀刻过程工件减少的重量为3Kg，则第二次数为M=(41-23)/3=6次。

S103，在采用所述第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取所述工件的第二重量。

在本实施例中，在采用所述第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取测量的工件的第二重量，判断第二重量是否满足预设重量范围；如果第二重量在预设重量范围内，则可以结束蚀刻；如果第二重量大于预设重量范围的最大值，则还需要继续蚀刻，直到工件的重量满足预设重量范围；如果第二重量小于预设重量范围的最小值，则说明已经过腐蚀，可以结束蚀刻，当然，在实际应用中采用上述方法蚀刻工件造成工件过腐蚀的情况较少，几乎不存在。

作为举例，如果第二重量为21Kg，预设重量范围为20-24Kg，则第二重量在预设重量范围内，则可以结束蚀刻。

如果第二重量为25Kg，预设重量范围为20-24Kg，则第二重量大于预设重量范围最大值，则需要继续蚀刻。

如果第二重量为19Kg，预设重量范围为20-24Kg，则第二重量小于预设重量范围最大值，则过腐蚀，可以结束蚀刻。

S104，若所述第二重量不满足预设重量范围，则基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度，并基于所述第二蚀刻速度蚀刻所述工件，直至所述工件满足预设重量范围，其中，所述第二蚀刻速度大于所述第一蚀刻速度。

在本实施例中，如果第二重量比预设重量范围内的最大值大，则说明工件的重量还没有达到要求，也就是不符合工件的强度对应的重量，所以还需要继续蚀刻。因为第二重量已经比较接近预设重量范围，如果继续使用第一蚀刻速度进行蚀刻很容易对工件造成过腐蚀，所以需要调整蚀刻速度，也就是工件进出腐蚀液的速度，要想工件每次蚀刻过程减小的重量小于采用第一蚀刻速度时每次工件减小的重量，就需要提高蚀刻速度，也就是减少工件在腐蚀液中的时间。

如图4所示，在一种可能的实现方式中，步骤S104的实现过程可以包括：

步骤A，基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度。

在本实施例中，第二蚀刻速度要大于第一蚀刻速度，所以第二蚀刻速度是基于第一蚀刻速度确定的。

具体的，第二蚀刻速度的确定可以将第一蚀刻速度提高预设的倍率，由于第二蚀刻速度大于第一蚀刻速度，所以倍率是大于1的数值，例如，

，其中，

为第二蚀刻速度，

为第一蚀刻速度，

为倍率。

可选的，预设的倍率可以基于每次蚀刻过程工件减少的重量与工件的精度的比值确定，例如，

，其中，

为每次蚀刻过程工件减少的重量，

为工件的精度。

作为举例，如果每次蚀刻过程工件减少的重量为5Kg，工件的精度为0.5，则倍率为l≥10，如果倍率取10，第一蚀刻速度为5m/分，则第二蚀刻速度为50m/分。

第二蚀刻速度还可以基于第一蚀刻速度和每次蚀刻过程工件减少的重量确定，例如，

，且

，其中，

为第一蚀刻速度，

为采用第一蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量，

为第二蚀刻速度，

为采用第二蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量。

预设的倍率可以是提前预设好的数值，也可以是根据第一蚀刻速度、

步骤B，基于所述第二蚀刻速度和第二重量，计算采用所述第二蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第一候选次数。

在本实施例中，采用第二蚀刻速度对工件进行蚀刻，可以先确定蚀刻次数，然后再进行蚀刻，防止过腐蚀。

具体的，步骤B的过程可以包括：

基于所述第一蚀刻速度、所述第二蚀刻速度和第二重量，确定采用所述第二蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第一候选次数。

在本实施例中，可以根据第一蚀刻速度和采用第一蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量，确定采用第二蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量，然后基于第二重量、目标重量和采用第二蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量，确定第一候选次数。

例如，

，

，其中，

为第一蚀刻速度，

为第二蚀刻速度，

为采用第一蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量，

为采用第二蚀刻速度每次蚀刻过程工件减少的重量，n为第一候选次数，

为第二重量，

为目标重量。

在本实施例中，还可以先采用第二蚀刻速度对工件进行一次蚀刻，获取工件的第三重量，然后根据第三重量，计算采用第二蚀刻速度每次蚀刻工件过程中工件减少的重量，最后基于采用第二蚀刻速度每次蚀刻工件过程中工件减少的重量、第三重量和目标重量，确定第一候选次数。

步骤C，在采用所述第二蚀刻速度对所述工件进行所述第一候选次数的蚀刻之后，获取所述工件的第一候选重量。

步骤D ，若所述第一候选重量不满足所述预设重量范围，则将所述第二蚀刻速度作为第一蚀刻速度，将第一候选重量作为第二重量，并循环执行步骤A至步骤D，直至所述第一候选重量满足所述预设重量范围。

在本实施例中，如果采用第二蚀刻速度对工件进行蚀刻后检测的第一候选重量仍然大于预设重量范围，则需要继续对工件进行蚀刻，所以需要继续提高蚀刻速度进行蚀刻。

作为举例，步骤A至步骤D的过程可以用以下循环解释：

第一次循环蚀刻过程：

基于第一蚀刻速度，确定第一候选蚀刻速度，其中，第一候选蚀刻速度大于所述第一蚀刻速度；

在采用第一候选蚀刻速度对工件进行蚀刻之后，获取工件的第一候选重量；

若第一候选重量大于预设重量要求，则基于第一候选蚀刻速度，确定第二候选蚀刻速度，并采用第二候选蚀刻速度蚀刻工件；

第i次循环蚀刻过程：

在使用第i候选蚀刻速度对工件进行刻蚀之后，获取工件的第i候选重量，其中，i＞1；

若第i候选重量不满足预设重量范围，基于第i候选蚀刻速度，确定第i+1候选蚀刻速度；

循环蚀刻过程结束的条件为：

第i+1候选蚀刻速度对工件进行刻蚀之后，工件的第i+1候选重量满足预设重量范围。

本申请实施例中，首先采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻，并获得蚀刻后的工件的第一重量，并根据第一重量计算采用第一蚀刻速度对工件进行蚀刻的第二次数，在对工件采用第一蚀刻速度进行第二次数的蚀刻后获取工件的第二重量，如果第二重量还是大于预设重量范围，则提高蚀刻速度到第二蚀刻速度对工件继续蚀刻，直到蚀刻后的工件的重量满足预设重量范围；本申请通过获取工件的重量来确定蚀刻的次数，并在工件接近预设重量范围时通过调整蚀刻速度来降低每次蚀刻过程中工件减少的重量，防止对工件的过量蚀刻，本申请通过重量计算蚀刻次数，避免了蚀刻中多次人工测量厚度，提高了工作效率和蚀刻精度，同时通过调整蚀刻速度可以使蚀刻的工件精度更高。

应理解，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。

对应于上文实施例所述的工件的蚀刻方法，图5示出了本申请实施例提供的工件的蚀刻装置的结构框图，为了便于说明，仅示出了与本申请实施例相关的部分。

参照图5，该装置200可以包括：第一重量采集模块210、蚀刻次数确定模块220、第二重量采集模块230和速度确定模块240。

其中，第一重量采集模块210，用于在采用第一蚀刻速度对工件进行第一次数的蚀刻之后，获取所述工件的第一重量，其中，第一次数≥1，所述第一蚀刻速度是所述工件进出腐蚀液的速度；

蚀刻次数确定模块220，用于基于所述第一重量、所述第一次数和所述工件的参数信息，确定采用所述第一蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第二次数，其中，第二次数≥1；

第二重量采集模块230，用于在采用所述第一蚀刻速度对工件进行第二次数的蚀刻之后，获取所述工件的第二重量；

速度确定模块240，用于若所述第二重量不满足预设重量范围，则基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度，并基于所述第二蚀刻速度蚀刻所述工件，直至所述工件满足预设重量范围，其中，所述第二蚀刻速度大于所述第一蚀刻速度。

在一种可能的实现方式中，参数信息包括所述工件的初始重量和目标重量，其中，所述目标重量为所述预设重量范围内的最大值；

蚀刻次数确定模块220具体可以包括：

第一计算单元，用于基于所述第一重量、所述初始重量和所述第一次数，计算每次蚀刻过程所述工件减少的重量；

第二计算单元，用于基于所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量、所述第一重量和所述目标重量，确定蚀刻的第二次数。

在一种可能的实现方式中，第一计算单元具体可以用于：

计算所述初始重量和所述第一重量的第一差值，并将所述第一差值与第一次数的比值作为所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量。

在一种可能的实现方式中，第二计算单元具体可以用于：

计算所述第一重量与所述目标重量的第二差值；

基于所述第二差值与所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量的比值确定第二次数，其中，所述第二次数小于或等于所述第二差值与所述每次蚀刻所述工件减少的重量的比值。

在一种可能的实现方式中，速度确定模块240具体可以用于：

步骤A，基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度；

步骤B，基于所述第二蚀刻速度和第二重量，计算采用所述第二蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第一候选次数；

步骤C，在采用所述第二蚀刻速度对所述工件进行所述第一候选次数的蚀刻之后，获取所述工件的第一候选重量；

在一种可能的实现方式中，参数信息包括所述工件的精度；

步骤A具体可以用于：

计算所述第一蚀刻速度与预设的倍率的乘积，并将所述乘积作为所述第一候选蚀刻速度，其中，所述倍率基于所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量与所述工件的精度的比值确定。

在一种可能的实现方式中，步骤B具体可以用于：

需要说明的是，上述装置/单元之间的信息交互、执行过程等内容，由于与本申请方法实施例基于同一构思，其具体功能及带来的技术效果，具体可参见方法实施例部分，此处不再赘述。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，仅以上述各功能单元、模块的划分进行举例说明，实际应用中，可以根据需要而将上述功能分配由不同的功能单元、模块完成，即将所述装置的内部结构划分成不同的功能单元或模块，以完成以上描述的全部或者部分功能。实施例中的各功能单元、模块可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中，上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。另外，各功能单元、模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本申请的保护范围。上述系统中单元、模块的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

本申请实施例还提供了一种终端设备，参见图6，该终端设400可以包括：至少一个处理器410、存储器420以及存储在所述存储器420中并可在所述至少一个处理器410上运行的计算机程序，所述处理器410执行所述计算机程序时实现上述任意各个方法实施例中的步骤，例如图2所示实施例中的步骤S101至步骤S104。或者，处理器410执行所述计算机程序时实现上述各装置实施例中各模块/单元的功能，例如图5所示模块210至240的功能。

示例性的，计算机程序可以被分割成一个或多个模块/单元，一个或者多个模块/单元被存储在存储器420中，并由处理器410执行，以完成本申请。所述一个或多个模块/单元可以是能够完成特定功能的一系列计算机程序段，该程序段用于描述计算机程序在终端设备400中的执行过程。

本领域技术人员可以理解，图6仅仅是终端设备的示例，并不构成对终端设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如输入输出设备、网络接入设备、总线等。

处理器410可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器 (Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现成可编程门阵列 (Field-Programmable Gate Array，FPGA) 或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。

存储器420可以是终端设备的内部存储单元，也可以是终端设备的外部存储设备，例如插接式硬盘，智能存储卡（Smart Media Card，SMC），安全数字（Secure Digital，SD）卡，闪存卡（Flash Card）等。所述存储器420用于存储所述计算机程序以及终端设备所需的其他程序和数据。所述存储器420还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。

总线可以是工业标准体系结构（Industry Standard Architecture，ISA）总线、外部设备互连（Peripheral Component，PCI）总线或扩展工业标准体系结构（ExtendedIndustry Standard Architecture，EISA）总线等。总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，本申请附图中的总线并不限定仅有一根总线或一种类型的总线。

本申请实施例提供的工件的蚀刻方法可以应用于计算机、平板电脑、笔记本电脑、上网本、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)等终端设备上，本申请实施例对终端设备的具体类型不作任何限制。

以所述终端设备为计算机为例。图7示出的是与本申请实施例提供的计算机的部分结构的框图。参考图7，计算机包括：通信电路510、存储器520、输入单元530、显示单元540、音频电路550、无线保真（wireless fidelity，WiFi）模块560、处理器570以及电源580等部件。

下面结合图7对计算机的各个构成部件进行具体的介绍：

通信电路510可用于收发信息或通话过程中，信号的接收和发送，特别地，将图像采集设备发送的图像样本接收后，给处理器570处理；另外，将图像采集指令发送给图像采集设备。通常，通信电路包括但不限于天线、至少一个放大器、收发信机、耦合器、低噪声放大器（Low Noise Amplifier，LNA）、双工器等。此外，通信电路510还可以通过无线通信与网络和其他设备通信。上述无线通信可以使用任一通信标准或协议，包括但不限于全球移动通讯系统（Global System of Mobile communication，GSM）、通用分组无线服务（GeneralPacket Radio Service，GPRS）、码分多址（Code Division Multiple Access，CDMA）、宽带码分多址（Wideband Code Division Multiple Access, WCDMA）、长期演进（Long TermEvolution,LTE）)、电子邮件、短消息服务（Short Messaging Service，SMS）等。

存储器520可用于存储软件程序以及模块，处理器570通过运行存储在存储器520的软件程序以及模块，从而执行计算机的各种功能应用以及数据处理。存储器520可主要包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序（比如声音播放功能、图像播放功能等）等；存储数据区可存储根据计算机的使用所创建的数据（比如音频数据、电话本等）等。此外，存储器520可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他易失性固态存储器件。

输入单元530可用于接收输入的数字或字符信息，以及产生与计算机的用户设置以及功能控制有关的键信号输入。具体地，输入单元530可包括触控面板531以及其他输入设备532。触控面板531，也称为触摸屏，可收集用户在其上或附近的触摸操作（比如用户使用手指、触笔等任何适合的物体或附件在触控面板531上或在触控面板531附近的操作），并根据预先设定的程式驱动相应的连接装置。可选的，触控面板531可包括触摸检测装置和触摸控制器两个部分。其中，触摸检测装置检测用户的触摸方位，并检测触摸操作带来的信号，将信号传送给触摸控制器；触摸控制器从触摸检测装置上接收触摸信息，并将它转换成触点坐标，再送给处理器570，并能接收处理器570发来的命令并加以执行。此外，可以采用电阻式、电容式、红外线以及表面声波等多种类型实现触控面板531。除了触控面板531，输入单元530还可以包括其他输入设备532。具体地，其他输入设备532可以包括但不限于物理键盘、功能键（比如音量控制按键、开关按键等）、轨迹球、鼠标、操作杆等中的一种或多种。

显示单元540可用于显示由用户输入的信息或提供给用户的信息以及计算机的各种菜单。显示单元540可包括显示面板541，可选的，可以采用液晶显示器（Liquid CrystalDisplay，LCD）、有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode, OLED）等形式来配置显示面板541。进一步的，触控面板531可覆盖显示面板541，当触控面板531检测到在其上或附近的触摸操作后，传送给处理器570以确定触摸事件的类型，随后处理器570根据触摸事件的类型在显示面板541上提供相应的视觉输出。虽然在图7中，触控面板531与显示面板541是作为两个独立的部件来实现计算机的输入和输入功能，但是在某些实施例中，可以将触控面板531与显示面板541集成而实现计算机的输入和输出功能。

音频电路550可提供用户与计算机之间的音频接口。音频电路550可将接收到的音频数据转换后的电信号，传输到扬声器由扬声器转换为声音信号输出；另一方面，传声器将收集的声音信号转换为电信号，由音频电路550接收后转换为音频数据，再将音频数据输出处理器570处理后，经通信电路510以发送给比如另一计算机，或者将音频数据输出至存储器520以便进一步处理。

WiFi属于短距离无线传输技术，计算机通过WiFi模块560可以帮助用户收发电子邮件、浏览网页和访问流式媒体等，它为用户提供了无线的宽带互联网访问。虽然图7示出了WiFi模块560，但是可以理解的是，其并不属于计算机的必须构成，完全可以根据需要在不改变发明的本质的范围内而省略。

处理器570是计算机的控制中心，利用各种接口和线路连接整个计算机的各个部分，通过运行或执行存储在存储器520内的软件程序和/或模块，以及调用存储在存储器520内的数据，执行计算机的各种功能和处理数据，从而对计算机进行整体监控。可选的，处理器570可包括一个或多个处理单元；优选的，处理器570可集成应用处理器和调制解调处理器，其中，应用处理器主要处理操作系统、用户界面和应用程序等，调制解调处理器主要处理无线通信。可以理解的是，上述调制解调处理器也可以不集成到处理器570中。

计算机还包括给各个部件供电的电源580（比如电池），优选的，电源580可以通过电源管理系统与处理器570逻辑相连，从而通过电源管理系统实现管理充电、放电、以及功耗管理等功能。

本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现可实现上述工件的蚀刻方法各个实施例中的步骤。

本申请实施例提供了一种计算机程序产品，当计算机程序产品在移动终端上运行时，使得移动终端执行时实现可实现上述工件的蚀刻方法各个实施例中的步骤。

所述集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请实现上述实施例方法中的全部或部分流程，可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质至少可以包括：能够将计算机程序代码携带到拍照装置/终端设备的任何实体或装置、记录介质、计算机存储器、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，RandomAccess Memory）、电载波信号、电信信号以及软件分发介质。例如U盘、移动硬盘、磁碟或者光盘等。在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不可以是电载波信号和电信信号。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述或记载的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、或者计算机软件和电子硬件的结合来实现。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。

在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的装置/网络设备和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置/网络设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块或单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通讯连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通讯连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

以上所述实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims

1.一种工件的蚀刻方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的工件的蚀刻方法，其特征在于，所述参数信息包括所述工件的初始重量和目标重量，其中，所述目标重量为所述预设重量范围内的最大值；

所述基于所述第一重量、所述第一次数和所述工件的参数信息，确定采用所述第一蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第二次数，包括：

基于所述第一重量、所述初始重量和所述第一次数，计算每次蚀刻过程所述工件减少的重量；

基于所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量、所述第一重量和所述目标重量，确定蚀刻的第二次数。

3.如权利要求2所述的工件的蚀刻方法，其特征在于，所述基于所述第一重量、所述初始重量和所述第一次数，计算每次蚀刻过程所述工件减少的重量，包括：

4.如权利要求2所述的工件的蚀刻方法，其特征在于，所述基于所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量、所述第一重量和所述目标重量，确定蚀刻的第二次数，包括：

计算所述第一重量与所述目标重量的第二差值；

5.如权利要求2所述的工件的蚀刻方法，其特征在于，所述基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度，并基于所述第二蚀刻速度蚀刻所述工件，直至所述工件满足预设重量范围，包括：

步骤A，基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度；

步骤D，若所述第一候选重量不满足所述预设重量范围，则将所述第二蚀刻速度作为第一蚀刻速度，将第一候选重量作为第二重量，并循环执行步骤A至步骤D，直至所述第一候选重量满足所述预设重量范围。

6.如权利要求5所述的工件的蚀刻方法，其特征在于，所述参数信息包括所述工件的精度；

所述基于所述第一蚀刻速度，确定第二蚀刻速度，包括：

计算所述第一蚀刻速度与预设的倍率的乘积，并将所述乘积作为所述第二蚀刻速度，其中，所述倍率基于所述每次蚀刻过程所述工件减少的重量与所述工件的精度的比值确定。

7.如权利要求5所述的工件的蚀刻方法，其特征在于，所述基于所述第二蚀刻速度和第二重量，计算采用所述第二蚀刻速度对所述工件进行蚀刻的第一候选次数，包括：

8.一种工件的蚀刻装置，其特征在于，包括：

9.一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任一项所述的工件的蚀刻方法。

10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的工件的蚀刻方法。