CN111323119A - 一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法 - Google Patents
一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111323119A CN111323119A CN202010272818.4A CN202010272818A CN111323119A CN 111323119 A CN111323119 A CN 111323119A CN 202010272818 A CN202010272818 A CN 202010272818A CN 111323119 A CN111323119 A CN 111323119A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ultraviolet
- light source
- ultraviolet light
- irradiance meter
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 10
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
- 238000011160 research Methods 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000000825 ultraviolet detection Methods 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000012921 fluorescence analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0295—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0437—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using masks, aperture plates, spatial light modulators, spatial filters, e.g. reflective filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/08—Arrangements of light sources specially adapted for photometry standard sources, also using luminescent or radioactive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
本申请涉及一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法,装置包括光学平台、位于光学平台上的三套校准基本单元和一个标准紫外辐照度计;每套校准基本单元包括位于同一直线上依次排列的紫外光源、精密光阑、盲板、滤光片组、衰减片组;三套校准基本单元的紫外光源分别为位于中间位置的第一紫外光源、位于后方的第二紫外光源和位于前方的第三紫外光源;三个非相干的紫外光源发射出的光经精密光阑、滤光片组、衰减片组后汇聚于标准紫外辐照度计接收器中心,被校紫外辐照度计放置与中间位置衰减片组后面,被校紫外辐照度计与衰减片组中心在同一水平线上。本申请校准设备少,无光轨等设备,操作简单、成本低,装置体积小,可携带进行现场计量。
Description
技术领域
本发明涉及光电技术领域,尤其涉及一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法。
背景技术
紫外探测技术是继红外和激光探测技术之后发展起来的又一军民两用的光电探测技术,高灵敏的紫外探测器还广泛用于火焰传感、臭氧检测、激光探测、荧光分析以及天文学研究等诸多领域。紫外辐照度计是一种检测紫外光源辐射强度的重要仪器,广泛应用于紫外探测、医疗、防疫、节能环保、光电反应等领域。
国际上通用的紫外波段定标技术是以低温辐射计作为绝对标准探测器,以陷阱探测器及热电探测器作为传递标准探测器,将紫外波段的标准传递给待测硅探测器。中国计量研究院经过多年的深入研究,以NIST紫外标准探测器为核心,构建了一套高精度紫外辐射计。对装置内各元件进行性能测试,并对整套装置稳定性进行评价,在此基础上推导出高精度紫外辐射计自身响应度标准。从而研制出国内第一台具有高精度,高稳定性及自身响应度标准的紫外辐射计。国内的各大光学计量站:江苏省计量科学研究院、中国测试技术研究院中测测试技术科技有限公司、国防科技工业光学一级计量站(西安应用光学研究所光学校准检测实验室)等,均采用中国计量科学研究院研制的高精度紫外辐射计建立紫外辐射计校准装置,依据《JJG879-2015紫外辐射照度计检定规程》,采用标准紫外辐照度计比对法,进行量值传递工作。由于中国计量科学研究院研制的高精度紫外辐射计主要针对应用在无损检测、光刻、消毒、固化等领域的紫外辐射照度计,辐射功率大于10μW。不能满足低值辐照度计的溯源需求。同时,由于100nm~200nm的紫外辐射在空气中被强烈吸收,《JJG879-2015紫外辐射照度计检定规程》规定的校准方法对100nm~200nm的紫外辐射不适用,导致100nm~200nm的紫外辐射无法溯源。
因此,研制一种紫外辐照度计低值校准装置是非常必要的,并且该装置也有重要的应用前景。
发明内容
鉴于上述问题,提出了本发明以便提供克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法。
第一方面,提供了一种紫外辐照度计低值校准装置,包括光学平台、位于光学平台上的三套校准基本单元和一个标准紫外辐照度计;每套校准基本单元包括位于同一直线上依次排列的紫外光源、精密光阑、盲板、滤光片组、衰减片组;三套校准基本单元的紫外光源分别为位于中间位置的第一紫外光源、位于后方的第二紫外光源和位于前方的第三紫外光源;三个非相干的紫外光源发射出的光经精密光阑、滤光片组、衰减片组后汇聚于标准紫外辐照度计接收器中心,被校紫外辐照度计放置与中间位置衰减片组后面,被校紫外辐照度计与衰减片组中心在同一水平线上。
优选地,精密光阑为带有精准刻度的一级精密光阑。
优选地,紫外光源外壳设计为小型暗箱。
优选地,滤光片组为窄带滤光片。
优选地,被校紫外辐照度计探测面中心至小孔成像光源中心连线与紫外光源光轴之间的夹角不大于15°。
第二方面,提供了一种校准方法,应用于如第一方面所述的紫外辐照度计低值校准装置,包括步骤S1,开启所有紫外光源,移除第一紫外光源所在中间位置所述盲板,移除全部所述衰减片组,使用标准辐照度计读取标准值Q;步骤S2,移除标准辐照度计,在相同位置放置被校紫外辐照度计,读取被校紫外辐照度计显示值作为第一测量值Q1;步骤S3,放置中间位置所述盲板,分别移除第三紫外光源、第二紫外光源所在前、后位置所述盲板,调节所述精密光阑和放置更换所述衰减片组,使得分别移除第三紫外光源、第二紫外光源所在前、后位置所述盲板时被校紫外辐照度计显示的第二测量值Q2和第三测量值Q3相等,且全部移除第三紫外光源、第二紫外光源所在前、后位置所述盲板时被校紫外辐照度计显示的第四显示值Q4与步骤S2的第一测量值Q1相等,此时,Q2和Q3为步骤S1标准值Q的一半;步骤S4,放置第三紫外光源、第二紫外光源所在前、后位置所述盲板,移除第一紫外光源所在中间位置所述盲板,调节所述精密光阑和放置更换所述衰减片组,使得被校紫外辐照度计显示的第五测量值Q5,此时,Q5=Q2=Q3,第一紫外光源照度为步骤S1标准值Q1的一半;步骤S5,重复步骤S1-S4,直到紫外辐照度计最低校准点。
本发明因为所采用的校准设备比较少,无光轨等设备,所以操作简单、成本低;不需要使用光轨,装置体积小,可携带进行现场计量;被校设备离标准光源距离短,且不变化,避免了深紫外光在空气中衰减造成的校准误差。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本发明的具体实施方式。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本发明实施例提供的一种紫外辐照度计低值校准装置的结构示意图;
附图标记说明:
1-光学平台,2-紫外光源,3-精密光阑,4-盲板,5-滤光片组,6-衰减片组,7-标准紫外辐射照度计
21-第一紫外光源,22-第二紫外光源,23-第三紫外光源。
具体实施方式
下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例,然而应当理解,可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反,提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开,并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
本发明的说明书实施例和权利要求书及附图中的术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元。
下面结合附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
如图1,本发明实施例提供一种紫外辐照度计低值校准装置,包括光学平台1、位于所述光学平台1上的三套校准基本单元和一个标准紫外辐照度计7。
每套校准基本单元包括位于同一直线上依次排列的紫外光源2、精密光阑3、盲板4、滤光片组5、衰减片组6;
三套校准基本单元的紫外光源2分别为位于中间位置的第一紫外光源21、位于后方的第二紫外光源22和位于前方的第三紫外光源23;
所述紫外光源2、精密光阑3、盲板4、滤光片组5、衰减片组6按从左到右的顺序固定于所述光学平台1上,确保所述紫外光源2、精密光阑3、盲板4、滤光片组5、衰减片组6中心在同一直线上,三套相同型号的所述非相干紫外光源2、按前中后排列,距离尽量短,三套相同型号的所述非相干紫外光源2发射出的光经精密光阑3、盲板4、滤光片组5、衰减片组6后汇聚于标准紫外辐照度计7接收器中心,按前中后排列,距离尽量短,被校紫外辐照度计放置与中间位置所述衰减片组6后面,被校紫外辐照度计与所述衰减片组6中心在同一水平线上。
校准过程:
步骤S1,开启所有紫外光源2,移除第一紫外光源21所在中间位置所述盲板4,移除全部所述衰减片组6,使用标准辐照度计7读取标准值Q;
步骤S2,移除标准辐照度计7,在相同位置放置被校紫外辐照度计,读取被校紫外辐照度计显示值作为第一测量值Q1;
步骤S3,放置中间位置所述盲板4,分别移除第三紫外光源23、第二紫外光源22所在前、后位置所述盲板4,调节所述精密光阑3和放置更换所述衰减片组6,使得分别移除第三紫外光源23、第二紫外光源22所在前、后位置所述盲板4时被校紫外辐照度计显示的第二测量值Q2和第三测量值Q3相等,且全部移除第三紫外光源23、第二紫外光源22所在前、后位置所述盲板4时被校紫外辐照度计显示的第四显示值Q4与步骤S2的第一测量值Q1相等,此时,Q2和Q3为步骤S1标准值Q的一半;
步骤S4,放置第三紫外光源23、第二紫外光源22所在前、后位置所述盲板4,移除第一紫外光源21所在中间位置所述盲板4,调节所述精密光阑3和放置更换所述衰减片组6,使得被校紫外辐照度计显示的第五测量值Q5,此时,Q5=Q2=Q3,第一紫外光源21照度为步骤S1标准值Q1的一半。
步骤S5,重复步骤S1-S4,直到紫外辐照度计最低校准点。
盲板4在本发明中起到更换光路的作用,用于实现前、后位置两套相同型号的紫外光源2经过精密光阑3、滤光片组5、衰减片组6同时照射到被校紫外辐照度计上,中间位置的第一紫外光源21经过精密光阑3、滤光片组5、衰减片组6单独照射到被校紫外辐照度计上的光路更换。
在一个示例中,所述第三紫外光源23和第二紫外光源22经过所在前、后位置所述精密光阑3、所述滤光片组5、所述衰减片组6同时照射到被校紫外辐照度计上,所述第一紫外光源21经过所在中间位置所述精密光阑3、所述滤光片组5、所述衰减片组6单独照射到被校紫外辐照度计上,通过移除和放置所述盲板4实现。
在一个示例中,校准前先把所述标准紫外辐照度计7放置于所述被校紫外辐照度计相同位置处,标定中间位置的所述第一紫外光源21经过所述精密光阑3、所述滤光片组5、所述衰减片组6单独产生的辐照度值,作为起始校准点的标准值。
在一个示例中,所述精密光阑3为带有精准刻度的一级精密光阑,需定期由计量机构按刻度值定标。
在一个示例中,通过调节所述精密光阑3和更换所述衰减片组6,实现校准过程中中间位置的所述第一紫外光源21经过所在中间位置所述精密光阑3、滤光片组5、所述衰减片组6产生的辐射照度等于所述第三紫外光源23和第二紫外光源22经过所在前、后位置所述精密光阑3、所述滤光片组5、所述衰减片6组产生的辐射照度之和。
在一个示例中,通过调节所述精密光阑3和更换所述衰减片组6,实现校准过程中所述后经过所在前、后位置所述精密光阑3、所述滤光片组5、所述衰减片组6产生的辐射照度相等。
在一个示例中,被校紫外辐照度计值的测量值是按2、22、23、24……倍数衰减。
在一个示例中,使用可记录值的照度强度调整系统,被校紫外辐照度计值的测量值是可按1/2、1/22、1/23、1/24……倍数的组合衰减。
在一个示例中,所述紫外光源2外壳设计为小型暗箱,能够防止三只所述紫外光源2互相干扰,能够屏蔽杂散光的干扰,所以能够保证溯源值的准确可靠。
在一个示例中,所述滤光片组5为窄带滤光片,由于部分气体紫外光源2具有多个光线尖峰输出,因此滤光片组5的光谱特性非常重要。使用的滤光片组5应尽可能地只透过所选用的单色光,而其它波段的光线,尤其是可见光波段的光线应完全屏蔽。
在一个示例中,所述精密光阑3与所述衰减片组6距离要保证被校紫外辐照度计探测面中心至小孔成像光源中心连线与紫外光源光轴之间的夹角不大于15°,能够实现被校紫外辐照度计探测面的光强不均匀性低于5%。
本发明的有益效果:
(1)因为起始校准点为较大的紫外辐射照度值,计量机构可以依据《JJG879-2002紫外辐射照度计检定规程》进行溯源;所述精密光阑(3)为带有精准刻度的一级精密光阑,由计量机构按刻度定期定标;紫外辐照度的标准值是由起始校准点的标准值、所述衰减片组(6)的透射率(计量机构定标值)和所述精密光阑(3)的透光光圈(计量机构定标值)计算得到的,所以溯源链完整。
(2)因为被校紫外辐照度计值的测量值是按2、22、23、24……倍数衰减,所以能够解决无低值标准紫外辐射照度计和低值辐射功率的紫外光源无法实现紫外辐照度计低值溯源问题。
(3)因为由辐射照度值从高到低的校准过程,调节所述精密光阑(3)和改变了所述衰减片组(6)的透射率和调节所述精密光阑(3)的透光光圈,所以紫外辐照度计低值辐照度测量不确定度的评定与目前溯源链完善的紫外辐照度计的较高辐照度值测量不确定度的评定影响因素并无增加。
(4)因为所采用的校准设备比较少,无光轨等设备,所以操作简单、成本低。
(5)因为不需要使用光轨,装置体积小,可携带进行现场计量。
(6)因为被校设备离标准光源距离短,且不变化,避免了深紫外光在空气中衰减造成的校准误差。
以上的具体实施方式,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上仅为本发明的具体实施方式而已,并不用于限定本发明的保护范围,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种紫外辐照度计低值校准装置,其特征在于,包括光学平台(1)、位于所述光学平台(1)上的三套校准基本单元和一个标准紫外辐照度计(7);
每套校准基本单元包括位于同一直线上依次排列的紫外光源(2)、精密光阑(3)、盲板(4)、滤光片组(5)、衰减片组(6);
三套校准基本单元的紫外光源(2)分别为位于中间位置的第一紫外光源(21)、位于后方的第二紫外光源(22)和位于前方的第三紫外光源(23);
三个非相干的所述紫外光源(2)发射出的光经精密光阑(3)、滤光片组(5)、衰减片组(6)后汇聚于标准紫外辐照度计(7)接收器中心,被校紫外辐照度计放置与中间位置所述衰减片组(6)后面,被校紫外辐照度计与所述衰减片组(6)中心在同一水平线上。
2.根据权利要求1所述的紫外辐照度计低值校准装置,其特征在于,所述精密光阑(3)为带有精准刻度的一级精密光阑。
3.根据权利要求1所述的紫外辐照度计低值校准装置,其特征在于,所述紫外光源(2)外壳设计为小型暗箱。
4.根据权利要求1所述的紫外辐照度计低值校准装置,其特征在于,所述滤光片组(4)为窄带滤光片。
5.根据权利要求1所述的紫外辐照度计低值校准装置,其特征在于,被校紫外辐照度计探测面中心至小孔成像光源中心连线与紫外光源光轴之间的夹角不大于15°。
6.一种校准方法,应用于如权利要求1-5任一所述的紫外辐照度计低值校准装置,其特征在于,包括:
步骤S1,开启所有紫外光源(2),移除第一紫外光源(21)所在中间位置所述盲板(4),移除全部所述衰减片组(6),使用标准辐照度计(7)读取标准值Q;
步骤S2,移除标准辐照度计(7),在相同位置放置被校紫外辐照度计,读取被校紫外辐照度计显示值作为第一测量值Q1;
步骤S3,放置中间位置所述盲板(4),分别移除第三紫外光源(23)、第二紫外光源(22)所在前、后位置所述盲板(4),调节所述精密光阑(3)和放置更换所述衰减片组(6),使得分别移除第三紫外光源(23)、第二紫外光源(22)所在前、后位置所述盲板(4)时被校紫外辐照度计显示的第二测量值Q2和第三测量值Q3相等,且全部移除第三紫外光源(23)、第二紫外光源(22)所在前、后位置所述盲板(4)时被校紫外辐照度计显示的第四显示值Q4与步骤S2的第一测量值Q1相等,此时,Q2和Q3为步骤S1标准值Q的一半;
步骤S4,放置第三紫外光源(23)、第二紫外光源(22)所在前、后位置所述盲板(4),移除第一紫外光源(21)所在中间位置所述盲板(4),调节所述精密光阑(3)和放置更换所述衰减片组(6),使得被校紫外辐照度计显示的第五测量值Q5,此时,Q5=Q2=Q3,第一紫外光源(21)照度为步骤S1标准值Q1的一半;
步骤S5,重复步骤S1-S4,直到紫外辐照度计最低校准点。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010272818.4A CN111323119A (zh) | 2020-04-09 | 2020-04-09 | 一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010272818.4A CN111323119A (zh) | 2020-04-09 | 2020-04-09 | 一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111323119A true CN111323119A (zh) | 2020-06-23 |
Family
ID=71169794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010272818.4A Pending CN111323119A (zh) | 2020-04-09 | 2020-04-09 | 一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111323119A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112985585A (zh) * | 2021-02-02 | 2021-06-18 | 上海医勒希科技有限公司 | 标准光源、光度计的校准方法以及校准系统 |
CN113595627A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-11-02 | 中国电子技术标准化研究院 | 一种基于空间线性叠加原理的光功率校准方法 |
-
2020
- 2020-04-09 CN CN202010272818.4A patent/CN111323119A/zh active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112985585A (zh) * | 2021-02-02 | 2021-06-18 | 上海医勒希科技有限公司 | 标准光源、光度计的校准方法以及校准系统 |
CN112985585B (zh) * | 2021-02-02 | 2023-02-03 | 上海医勒希科技有限公司 | 标准光源、光度计的校准方法以及校准系统 |
CN113595627A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-11-02 | 中国电子技术标准化研究院 | 一种基于空间线性叠加原理的光功率校准方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101509872B (zh) | 一种基于回归分析的煤质在线检测分析方法 | |
CN102486404A (zh) | 一种紫外弱光星等模拟及星等标定系统 | |
CN111323119A (zh) | 一种紫外辐照度计低值校准装置及校准方法 | |
CN102507507B (zh) | 利用温度修正检测被测气体浓度的装置和方法 | |
CN107144421A (zh) | 一种基于时间分辨的点源透过率杂散光测试系统及方法 | |
CN101750097A (zh) | 标准星光模拟器及含有该模拟器的杂散光pst光学检测系统 | |
CN211978111U (zh) | 一种紫外辐照度计低值校准装置 | |
Nasse et al. | Recent improvements of long-path DOAS measurements: impact on accuracy and stability of short-term and automated long-term observations | |
Larason et al. | Sources of error in UV radiation measurements | |
CN110231090A (zh) | 一种热红外光谱仪内部杂散辐射的测试方法 | |
CN109297685A (zh) | 一种用于大口径平行光管的光谱透过率测试装置及方法 | |
CN201348508Y (zh) | 标准星光模拟器及含有该模拟器的杂散光pst光学检测系统 | |
CN109444082A (zh) | 漫反射光谱测量装置及测量方法 | |
CN103698005A (zh) | 自校准光源光谱调谐器 | |
CN201983798U (zh) | 一种紫外弱光星等模拟及星等标定系统 | |
Johnson et al. | Principles of optical radiometry and measurement uncertainty | |
CN107561008A (zh) | 一种用于真空紫外漫反射板brdf特性测量的装置 | |
CN116734760B (zh) | 一种同时检测uv胶的固化深度和透光率的设备和方法 | |
Fowler et al. | High accuracy measurement of aperture area relative to a standard known aperture | |
CN204855731U (zh) | 一种用于科学级ccd感光线性度检测的检测装置 | |
CN204855730U (zh) | 一种用于科学级ccd感光均匀性检测的检测装置 | |
CN101169349A (zh) | 一种6nm-100nm波段极紫外成像光学仪器成像质量测试装置 | |
Williams | Establishment of absolute diffuse reflectance scales using the NPL Reference Reflectometer | |
CN103245615A (zh) | 光谱法n2o4中相当水含量测量装置及测量方法 | |
RU2683880C1 (ru) | Способ определения радиометрических характеристик и оценки фотобиологического воздействия источников излучения и комплекс для его осуществления |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |