CN111256604A - 一种反射式在线涂层测厚仪 - Google Patents
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Abstract
一种反射式在线涂层测厚仪，包括安装台、滑台、限位开关、电机、控制柜和测厚部件；滑台设于安装台的一侧，所述测厚部件移动式嵌合在滑台中，并通过电机驱动进行运动。本测厚仪采用可见光进行在线测膜厚，除了规避红外、射线法存在的问题，本测厚仪测量范围宽，测量精度高，是目前在线涂层厚度测量最理想的测量方法。
Description
技术领域
本发明涉及膜厚测量领域，具体涉及一种反射式在线涂层测厚仪。
背景技术
涂布广泛应用于感光材料、电子、胶带，光学膜、包装等领域，涂膜厚度的检测是保证各类涂布产品质量的必备手段，对高新科技产业的发展有着极其重要的意义。传统的在线膜厚测量采用红外、射线法，红外的测量精度差，测量范围小，达不到实际生产的要求，射线法存在放射性污染，对劳保要求高，对产品有损伤，正在逐步淘汰。
发明内容
本发明提出一种反射式在线涂层测厚仪，用于在线膜厚测量，适用于生产线的采用测量控制及精密涂膜的实验室研究等，多参数可调，能适应不同样品的测量。
一种反射式在线涂层测厚仪，包括安装台、滑台、限位开关、电机、控制柜和测厚部件；
所述滑台设于安装台的一侧，所述测厚部件移动式嵌合在滑台中，并通过电机驱动进行运动；
所述测厚部件包括测头、光学光源、光谱仪、信号放大器、光源电源、信号电源、光纤、滑块和拖链；
所述测头、光学光源、光谱仪、信号放大器、光源电源、信号电源、光纤均安装在嵌合在滑台中的滑块上，并通过由电机驱动的拖链引导以进行在滑台中的运动；
所述光学电源和光谱仪通过光纤连接至测头，所述信号放大器与光谱仪连接，并通过信号线与控制柜连接；
所述光源电源连接光学电源，所述信号电源连接信号放大器。
进一步地，所述控制柜包括显示器、键盘鼠标、工控机和主机盒，所述主机盒包括信号接收器、进电开关、电源、驱动器以及控制卡；
所述主机盒与工控机连接，所述工控机与显示器连接，所述键盘鼠标连接至工控机进行操作控制；
所述主机盒的信号接收器通过信号线与测厚部件的信号放大器连接。
进一步地，所述驱动器与电机相连，并通过控制卡与工控机连接，将电机的反馈信号传送至工控机以对测厚部件的位置和运动进行控制。
进一步地，所述工控机对测厚部件测得的数据进行处理后显示至显示器上。
进一步地，所述测头采用可见光进行测厚。
进一步地，所述滑台上设有限位开关，对测厚部件的运动进行限位。
本发明达到的有益效果为：本发明采用可见光进行在线测膜厚，除了规避背景技术中红外、射线法存在的问题，本发明提出的测厚仪测量范围宽，测量精度高，是目前在线涂层厚度测量最理想的测量方法。
附图说明
图1为本发明实施例中所述测厚仪的结构示意图。
图2为本发明实施例中所述测厚部件的局部放大结构示意图。
图3为本发明实施例中所述控制柜的内部结构侧视图。
图4为本发明实施例中所述控制柜的内部结构正视图。
图5为本发明实施例中所述测厚仪的立体结构示意图。
图中，1-安装台，2-滑台，3-限位开关，4-测厚部件，41-测头，42-光学光源，43-光谱仪，44-信号放大器，45-光源电源，46-信号电源，47-光纤，48-滑块，49-拖链，5-电机，6-控制柜，61-信号接收器，62-进电开关，63-电源，64-驱动器，65-控制卡，66-工控机，67-键盘鼠标，68-显示器。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本发明的技术方案做进一步的详细说明。
一种反射式在线涂层测厚仪，包括安装台1、滑台2、限位开关3、电机5、控制柜6和测厚部件4。
滑台2设于安装台1的一侧，测厚部件4移动式嵌合在滑台2中，并通过电机5驱动进行运动。滑台上2设有限位开关3，对测厚部件4的运动进行限位。
测厚部件4包括测头41、光学光源42、光谱仪43、信号放大器44、光源电源45、信号电源46、光纤47、滑块48和拖链49。测头41、光学光源42、光谱仪43、信号放大器44、光源电源45、信号电源46、光纤47均安装在嵌合在滑台2中的滑块48上，并通过由电机5驱动的拖链49引导以进行在滑台2中的运动。光学电源42和光谱仪43通过光纤47连接至测头41，信号放大器44与光谱仪43连接，并通过信号线与控制柜6连接。光源电源45连接光学电源42，信号电源46连接信号放大器44。测头41采用可见光进行测厚。
控制柜6包括显示器68、键盘鼠标67、工控机66和主机盒，所述主机盒包括信号接收器61、进电开关62、电源63、驱动器64以及控制卡65。主机盒与工控机66连接，工控机66与显示器68连接，键盘鼠标67连接至工控机进行操作控制。
主机盒的信号接收器61通过信号线与测厚部件4的信号放大器44连接。工控机66对由信号放大器44发送来的测厚部件4测得的数据进行处理后显示至显示器68上。驱动器64与电机5相连，并通过控制卡65与工控机66连接，将电机5的反馈信号传送至工控机66以对测厚部件4的位置和运动进行控制。
如图1-2，电机5带动测厚部件4在滑台2中左右运动，从而带动测头41做左右扫描运动。电机5的反馈信号通过其控制线传递至驱动器64，经控制卡65传递到工控机66内，并经程序处理后控制测头41的位置及扫描运动。测头41将光学光源42传来的可见光信号通过光学透镜组处理后发射到被测表面，并将反射回来的光信号传递至光谱仪43，光谱仪43输出的电信号传送至信号放大器44，并由信号线传递至控制柜6中的信号接收器61，然后送入工控机66，经程序处理后将测量结果显示于显示器68中。
以上所述仅为本发明的较佳实施方式，本发明的保护范围并不以上述实施方式为限，但凡本领域普通技术人员根据本发明所揭示内容所作的等效修饰或变化，皆应纳入权利要求书中记载的保护范围内。
Claims (6)
1.一种反射式在线涂层测厚仪，其特征在于：
所述测厚仪包括安装台、滑台、限位开关、电机、控制柜和测厚部件；
所述滑台设于安装台的一侧，所述测厚部件移动式嵌合在滑台中，并通过电机驱动进行运动；
所述测厚部件包括测头、光学光源、光谱仪、信号放大器、光源电源、信号电源、光纤、滑块和拖链；
所述测头、光学光源、光谱仪、信号放大器、光源电源、信号电源、光纤均安装在嵌合在滑台中的滑块上，并通过由电机驱动的拖链引导以进行在滑台中的运动；
所述光学电源和光谱仪通过光纤连接至测头，所述信号放大器与光谱仪连接，并通过信号线与控制柜连接；
所述光源电源连接光学电源，所述信号电源连接信号放大器。
2.根据权利要求1所述的一种反射式在线涂层测厚仪，其特征在于：所述控制柜包括显示器、键盘鼠标、工控机和主机盒，所述主机盒包括信号接收器、进电开关、电源、驱动器以及控制卡；
所述主机盒与工控机连接，所述工控机与显示器连接，所述键盘鼠标连接至工控机进行操作控制；
所述主机盒的信号接收器通过信号线与测厚部件的信号放大器连接。
3.根据权利要求2所述的一种反射式在线涂层测厚仪，其特征在于：所述驱动器与电机相连，并通过控制卡与工控机连接，将电机的反馈信号传送至工控机以对测厚部件的位置和运动进行控制。
4.根据权利要求2所述的一种反射式在线涂层测厚仪，其特征在于：所述工控机对测厚部件测得的数据进行处理后显示至显示器上。
5.根据权利要求1所述的一种反射式在线涂层测厚仪，其特征在于：所述测头采用可见光进行测厚。
6.根据权利要求1所述的一种反射式在线涂层测厚仪，其特征在于：所述滑台上设有限位开关，对测厚部件的运动进行限位。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202010317388.3A CN111256604A (zh) | 2020-04-21 | 2020-04-21 | 一种反射式在线涂层测厚仪 |
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| CN202010317388.3A CN111256604A (zh) | 2020-04-21 | 2020-04-21 | 一种反射式在线涂层测厚仪 |
Publications (1)
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| CN202010317388.3A Pending CN111256604A (zh) | 2020-04-21 | 2020-04-21 | 一种反射式在线涂层测厚仪 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN111256604A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117470147A (zh) * | 2023-11-10 | 2024-01-30 | 嘉兴市和意自动化控制有限公司 | 分段式t型扫描测厚仪 |
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2020
- 2020-04-21 CN CN202010317388.3A patent/CN111256604A/zh active Pending
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