CN111197955A - 一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法 - Google Patents

一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111197955A
CN111197955A CN202010029796.9A CN202010029796A CN111197955A CN 111197955 A CN111197955 A CN 111197955A CN 202010029796 A CN202010029796 A CN 202010029796A CN 111197955 A CN111197955 A CN 111197955A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sensor
calibration
seat
inductance sensor
inductance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010029796.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111197955B (zh
Inventor
刘辉
汪友明
段章领
张立银
侯银龙
李龙
唐大凤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shaanxi Yinhui Jingchuang Technology Co.,Ltd.
Original Assignee
Hefei Hegong Anchi Intelligent Technology Co ltd
Xian University of Posts and Telecommunications
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Hegong Anchi Intelligent Technology Co ltd, Xian University of Posts and Telecommunications filed Critical Hefei Hegong Anchi Intelligent Technology Co ltd
Publication of CN111197955A publication Critical patent/CN111197955A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111197955B publication Critical patent/CN111197955B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法，电感传感器校准装置包括装置座，定义空间内垂直相交的三个方向分别为X方向、Y方向和Z方向，装置座上设置有导向方向沿X方向延伸的导轨，导轨上导向移动装配有用于相应电感传感器沿Y方向布置安装的传感器座，装置座上于所述传感器座的一侧设置有标准块，标准块具有用于与电感传感器的测量端相对布置的标准平面，标准平面垂直于X方向和Y方向所在平面，标准平面与Z方向和X方向所在平面倾斜相交。本发明实现了对非常温工作环境下的电感传感器的校准。

Description

一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法
技术领域
本发明涉及检定校准领域中的电感传感器校准装置及电感传感器校准方法。
背景技术
传感器作为获取自然界信息的源头，是进行工业生产，科学研究等领域不可或缺的重要元件。电感传感器是线位移传感器的一种，得益于其结构简单、灵敏度高、输出功率大、输出阻抗小、抗干扰能力强及测量精度高等一系列优点，在工业、科研、军事、航空航天等领域发挥着重要作用。
电感传感器的使用过程中，校准是保证电感传感器精度的关键步骤，电感传感器本身通常输出的值为电压值，通过外在基准和待校准的电感传感器进行比对，才能将电感传感器输出电压值和对应位移量的关系确定。
目前，我国已经提出《线位移传感器校准规范》(JJF 1305-2011)，对包括电感传感器在内的线位移传感器校准方法进行了规定，但其所用的方法只适用于常温的实验室环境中。对于一些温度无法保证恒温的应用场合，比如工厂，野外，太空等，其温度的变化，会造成电感传感器线圈发生热变形及阻抗变化，影响其电磁性能，使输出特性发生变化，最终造成精度的大幅下降。
现有的校准方法无法在不同温度下对电感传感器进行重新校准，因为校准所依赖的基准，比如更高精度的线位移传感器，在温度变化时同样会发生精度失效的问题。因此，高低温下电感传感器的校准问题亟待提出有效的解决方案。
发明内容
本发明的目的在于提供一种电感传感器校准装置，以实现对非常温工作环境下的电感传感器进行校准；本发明的目的还在于该电感传感器校准装置的电感传感器校准方法。
为解决上述技术问题，本发明中位移传感器校准装置的技术方案如下：
一种电感传感器校准装置，包括装置座，定义空间内垂直相交的三个方向分别为X方向、Y方向和Z方向，装置座上设置有导向方向沿X方向延伸的导轨，导轨上导向移动装配有用于相应电感传感器沿Y方向布置安装的传感器座，装置座上于所述传感器座的一侧设置有标准块，标准块具有用于与电感传感器的测量端相对布置的标准平面，标准平面垂直于X方向和Y方向所在平面，标准平面与Z方向和X方向所在平面倾斜相交。
装置座、导轨、标准块的均由因瓦合金、大理石或石英石材料制成。
装置座上设置有与传感器座传动连接以驱动传感器座沿X方向往复移动的驱动机构。
所述驱动机构包括电机和与电机传动连接的轴线沿X方向延伸的传动丝杠，传感器座上设置有与传动丝杠传动配合的丝母结构。
传感器座包包括下侧座体部分和通过螺栓连接于下侧座体部分上的上侧座体部分，上侧座体部分、下侧座体部分的相对侧面上开设有沿Y方向延伸的供电传感器定位安装的V形定位槽。
装置座上开设有两个轴线沿Z方向延伸的同心设置的弧形调节孔，各弧形调节孔的底部开设有弧形螺母安装槽，标准块上开设有与弧形调节孔对应布置的螺栓穿孔，螺栓穿孔与对应的弧形调节孔中穿装有轴线沿上下方向延伸的固定螺栓，固定螺栓的一端旋有位于所述弧形螺母安装槽中的螺母。
本发明中电感传感器校准方法的技术方案为：
该方法包括以下步骤，
1)、调整电感传感器校准装置所处环境温度至常温，电感传感器的测量端朝向标准块的标准平面，传感器座带着电感传感器沿导轨移动，电感传感器的移动范围使得电感传感器的输出覆盖电感传感器的整个量程范围，在标准平面上沿电感传感器的移动范围内均匀设置N各个校准点，在电感传感器每移动至一个校准点时，记录电感传感器的输出值，分别即为V0，V1，…，VN；
2)、测量V0，V1，…，VN所对应的校准点位置，标准平面上各点相对于V0校准点在Y方向上的位置变化量，分别记为L0，L1，…，LN；
3)、调整电感传感器校准装置所处的环境温度至所需校准的温度值，传感器座带着电感传感器重新经过所述校准点，来回往复M个循环，将每个循环从V0至VN记为正行程，从VN至V0记为反行程，
将各正行程各校准点，电感传感器的输出值记为：
VZ1,0，VZ1,1…VZ1,N；
VZ2,0，VZ2,1…VZ2,N；
…
VZM,0，VZM,1…VZM,N；
将各反行程各校准点，电感传感器的输出值记为：
VF1,0，VF1,1…VF1,N；
VF2,0，VF2,1…VF2,N；
…
VFM,0，VFM,1…VFM,N；
4)，采用最小二乘法计算获取校准结果参比直线方程，计算公式如下：
参比直线方程
L＝KV+L0(1)
其中V为电感传感器电压值，作为输入，L为位移值，作为输出
Figure BDA0002363850220000041
Figure BDA0002363850220000042
Figure BDA0002363850220000043
Figure BDA0002363850220000044
本发明的有益效果为：在需要在某一设定温度对电感传感器进行校准时，首先通过方法的第一步获得常温环境下，待校准电传感器各校准点所对应的测量位移值，然后，调整环境温度至设定温度，获得待校准电传感器各校准点所对应的测量位移值，通过计算获取校准结果。利用待校准的电感传感器在常温下的现有高精度测量结果作为校准基础数据，无需借助外部基准，因此适用性强，同时也避免了外部基准高低温环境下的精度失效问题。
附图说明
图1是本发明中电感传感器校准装置的一个实施例的结构示意图。
具体实施方式
一种电感传感器校准装置的实施例如图1所示：定义空间内垂直相交的三个方向分别为X方向、Y方向和Z方向。包括装置座11，装置座11整体为具有高位1和低位13的台阶结构，装置座的低位处设置有导向方向沿X方向延伸的导轨14，导轨14上导向移动装配有用于相应电感传感器安装的传感器座，装置座上还设置有驱动传感器座沿导轨往复移动的驱动机构，在本实施例中，驱动机构包括电机9和与电机传动连接的轴线沿X方向延伸的传动丝杠16，传感器座上设置有与传动丝杠16传动配合的丝母结构。装置座的低位处沿X方向间隔固定有电机座12和轴承架17，电机9固定于电机座12上，传动丝杠16的两端分别通过对应的滚珠轴承转动装配于电机座12和轴承架17上，传动丝杠16与电机9的电机轴之间通过联轴器相连，电机座和轴承架上通过螺栓连接有轴承端盖10。
传感器座包括下侧座体部分和通过螺栓连接于下侧座体部分15上的上侧座体部分18，上侧座体部分、下侧座体部分的相对侧面上开设有沿Y方向延伸的供电传感器定位安装的V形定位槽19。使用时将待检定的电感传感器7布置于V形定位槽19中，电感传感器7的轴线沿Y方向设置，通过螺栓将上侧座部分固定于下侧座部分上，就实现了对电感传感器的固定。图中项5表示电感传感器的测量端。
装置座的高位处设置有标准块3，本实施例的标准块为一个长方体块，标准块朝向传感器座的一侧侧面形成了用于与电感传感器的测量端相对布置的标准平面4，标准平面垂直于X方向和Y方向所在平面，标准平面与Z方向和X方向所在平面倾斜相交。在本实施例中，装置座上开设有两个轴线沿Z方向延伸的同心设置的弧形调节孔8，各弧形调节孔的底部开设有弧形螺母安装槽，标准块上开设有与弧形调节孔对应布置的螺栓穿孔，螺栓穿孔与对应的弧形调节孔中穿装有轴线沿上下方向延伸的固定螺栓，固定螺栓的一端旋有位于所述弧形螺母安装槽中的螺母，松开螺母，可以调整标准平面的倾斜角度。在本实施例中，装置座、标准块、导轨、传感器座均由因瓦合金、大理石或石英石这类的低热膨胀材料制成。这类材料属于低热膨胀材料，在温度变化时，自身涨缩变形极小，也就是说温度变化时，其自身不会发生涨缩变形。
电感传感器校准装置的基本使用过程为，将待校准的电感传感器固定于传感器座的V形定位槽中，电感传感器的轴线沿Y方向布置，电感传感器的测量端朝向标准平面。电机通过传动丝杠带动传感器座沿X方向往复移动，电感传感器的测量端为一个伸缩测量头，伸缩测量头与标准平面接触，在标准平面的顶推作用下，伸缩测量头的伸缩量产生变化，会产生不同输出电压，电感传感器测标准平面上各校准点在Y方向上的位移变化量。在本发明的其它实施例中，驱动机构与传感器座之间的传动也可以不通过丝杠丝母来实现，比如说驱动机构包括电动推杆，电动推杆与传感器座相连而带着传感器座往复移动；弧形调节孔也可以不设，此时标准块可以直接通过螺栓固定于装置座上，只是标准块的倾斜角度是不能调整的。
电感传感器校准方法的实施例如图1所示，该方法包括以下步骤：1)、调整电感传感器校准装置所处环境温度至常温，具体操作时，可以将电感传感器置于恒温实验室中，通过恒温试验室调整电感传感器的环境温度，恒温试验室为现有技术，在此不再详述，电感传感器校准装置的具体结构与上述各电感传感器校准装置实施例相同，在此不再详述，电感传感器的测量端朝向标准块的标准平面，传感器座带动电感传感器沿导轨移动，电感传感器的移动范围使得电感传感器的输出覆盖电感传感器的整个量程范围，在标准平面上将电感传感器的移动范围内均匀设置N个校准点，分别即为V0，V1，…，VN，本实施例中N＝11；
2)、测量V0，V1，…，VN所对应的校准点位置，标准平面上各校准点相对于V0校准点在Y方向上的位移变化量，分别记为L0，L1，…LN，该位移变化量即电感传感器在每个校准点位置时的位移测量值；
3)、调整电感传感器校准装置所处的环境温度至所需校准的温度值，传感器座带着电感传感器重新经过所述校准点，来回往复M个循环，将每个循环从V0至VN记为正行程，从VN至V0记为反行程，在本实施例中，M＝3；
将各正行程各校准点，电感传感器的输出值记为：
VZ1,0，VZ1,1…VZ1,N；
VZ2,0，VZ2,1…VZ2,N；
…
VZM,0，VZM,1…VZM,N；
将各反行程各校准点，电感传感器的输出值记为：
VF1,0，VF1,1…VF1,N；
VF2,0，VF2,1…VF2,N；
…
VFM,0，VFM,1…VFM,N；
4)，采用最小二乘法计算获取校准结果参比直线方程，计算公式如下：
参比直线方程
L＝KV+L0(1)
其中V为电感传感器在第三步时各对应校准点所输出的电压值，作为输入，L为电感传感器在第三步时各对应校准点所测量的位移值，作为输出
Figure BDA0002363850220000071
Figure BDA0002363850220000072
Figure BDA0002363850220000073
Figure BDA0002363850220000074
本发明基于高低温环境下电感传感器校准的实际需求，将低热膨胀材料自身在温度变化条件下的结构稳定性，和电感传感器在常温环境下的现有高精度特性结合，提出了非常温环境下的校准硬件系统和相应的校准方法。本发明中的电感传感器校准方法，完全利用待校准的电感传感器在常温环境下的现有高精度校准结果，无需借助外部基准，因此适用性强，同时也避免了外部基准高低温环境下的精度失效问题，校准结果可靠性高。

Claims (7)

1.一种电感传感器校准装置，包括装置座，其特征在于：定义空间内垂直相交的三个方向分别为X方向、Y方向和Z方向，装置座上设置有导向方向沿X方向延伸的导轨，导轨上导向移动装配有用于相应电感传感器沿Y方向布置安装的传感器座，装置座上于所述传感器座的一侧设置有标准块，标准块具有用于与电感传感器的测量端相对布置的标准平面，标准平面垂直于X方向和Y方向所在平面，标准平面与Z方向和X方向所在平面倾斜相交。
2.根据权利要求1所述的电感传感器校准装置，其特征在于：装置座、导轨、标准块的均由因瓦合金、大理石或石英石材料制成。
3.根据权利要求1所述的电感传感器校准装置，其特征在于：装置座上设置有与传感器座传动连接以驱动传感器座沿X方向往复移动的驱动机构。
4.根据权利要求3所述的电感传感器校准装置，其特征在于：所述驱动机构包括电机和与电机传动连接的轴线沿X方向延伸的传动丝杠，传感器座上设置有与传动丝杠传动配合的丝母结构。
5.根据权利要求1所述的电感传感器校准装置，其特征在于：传感器座包包括下侧座体部分和通过螺栓连接于下侧座体部分上的上侧座体部分，上侧座体部分、下侧座体部分的相对侧面上开设有沿Y方向延伸的供电传感器定位安装的V形定位槽。
6.根据权利要求1～5任意一项所述的电感传感器校准装置，其特征在于：装置座上开设有两个轴线沿Z方向延伸的同心设置的弧形调节孔，各弧形调节孔的底部开设有弧形螺母安装槽，标准块上开设有与弧形调节孔对应布置的螺栓穿孔，螺栓穿孔与对应的弧形调节孔中穿装有轴线沿上下方向延伸的固定螺栓，固定螺栓的一端旋有位于所述弧形螺母安装槽中的螺母。
7.使用如权利要求1～6所述的电感传感器校准装置的电感传感器校准方法，其特征在于：该方法包括以下步骤，
1)、调整电感传感器校准装置所处环境温度至常温，电感传感器的测量端朝向标准块的标准平面，传感器座带着电感传感器沿导轨移动，电感传感器的移动范围使得电感传感器的输出覆盖电感传感器的整个量程范围，在标准平面上沿电感传感器的移动范围内均匀设置N各个校准点，在电感传感器每移动至一个校准点时，记录电感传感器的输出值，分别即为V0，V1，…，VN；
2)、测量V0，V1，…，VN所对应的校准点位置，标准平面上各点相对于V0校准点在Y方向上的位置变化量，分别记为L0，L1，…，LN；
3)、调整电感传感器校准装置所处的环境温度至所需校准的温度值，传感器座带着电感传感器重新经过所述校准点，来回往复M个循环，将每个循环从V0至VN记为正行程，从VN至V0记为反行程，
将各正行程各校准点，电感传感器的输出值记为：
VZ1，0，VZ1，1…VZ1，N；
VZ2，0，VZ2，1…VZ2，N；
…
VZM，0，VZM，1…VZM，N；
将各反行程各校准点，电感传感器的输出值记为：
VF1，0，VF1，1…VF1，N；
VF2，0，VF2，1…VF2，N；
…
VFM，0，VFM，1…VFM，N；
4)，采用最小二乘法计算获取校准结果参比直线方程，计算公式如下：
参比直线方程
L＝KV+L0 (1)
其中V为电感传感器电压值，作为输入，L为位移值，作为输出
Figure FDA0002363850210000031
Figure FDA0002363850210000032
Figure FDA0002363850210000033
Figure FDA0002363850210000034
。
CN202010029796.9A 2019-11-12 2020-01-13 一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法 Active CN111197955B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2019111009750 2019-11-12
CN201911100975 2019-11-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111197955A true CN111197955A (zh) 2020-05-26
CN111197955B CN111197955B (zh) 2021-05-18

Family

ID=70744818

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010029796.9A Active CN111197955B (zh) 2019-11-12 2020-01-13 一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111197955B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117571039A (zh) * 2024-01-11 2024-02-20 上海天沐自动化仪表有限公司 输出特性校准的插铁电感传感器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007212380A (ja) * 2006-02-13 2007-08-23 Toyota Motor Corp 較正用治具及び較正処理システム
CN101387489A (zh) * 2008-10-07 2009-03-18 无锡康华钢构安全监测科技有限公司 用于标定机械形变量的高精度微位移量检测装置及其测量方法
CN102589406A (zh) * 2012-02-22 2012-07-18 奇瑞汽车股份有限公司 一种假人胸部位移传感器标定试验装置及其标定试验方法
CN203908526U (zh) * 2014-03-17 2014-10-29 沈阳飞机工业（集团）有限公司 一种拉杆式线位移传感器自动校准装置
CN108827205A (zh) * 2018-04-25 2018-11-16 吉林省计量科学研究院 一种线位移传感器智能测试系统
CN108981641A (zh) * 2018-05-29 2018-12-11 沈阳飞机工业（集团）有限公司 一种用于小角度测量仪器数字化检定装置的校准方法
CN208557599U (zh) * 2018-08-14 2019-03-01 易思维（杭州）科技有限公司 一种视觉检测工位

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007212380A (ja) * 2006-02-13 2007-08-23 Toyota Motor Corp 較正用治具及び較正処理システム
CN101387489A (zh) * 2008-10-07 2009-03-18 无锡康华钢构安全监测科技有限公司 用于标定机械形变量的高精度微位移量检测装置及其测量方法
CN102589406A (zh) * 2012-02-22 2012-07-18 奇瑞汽车股份有限公司 一种假人胸部位移传感器标定试验装置及其标定试验方法
CN203908526U (zh) * 2014-03-17 2014-10-29 沈阳飞机工业（集团）有限公司 一种拉杆式线位移传感器自动校准装置
CN108827205A (zh) * 2018-04-25 2018-11-16 吉林省计量科学研究院 一种线位移传感器智能测试系统
CN108981641A (zh) * 2018-05-29 2018-12-11 沈阳飞机工业（集团）有限公司 一种用于小角度测量仪器数字化检定装置的校准方法
CN208557599U (zh) * 2018-08-14 2019-03-01 易思维（杭州）科技有限公司 一种视觉检测工位

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117571039A (zh) * 2024-01-11 2024-02-20 上海天沐自动化仪表有限公司 输出特性校准的插铁电感传感器
CN117571039B (zh) * 2024-01-11 2024-04-02 上海天沐自动化仪表有限公司 输出特性校准的插铁电感传感器

Also Published As

Publication number Publication date
CN111197955B (zh) 2021-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20020041618A (ko) 미세 마찰마멸 실험장치
CN110542397A (zh) 一种线位移传感器综合校准装置
CN102689171B (zh) 一种仪表机芯间隙精密自动调节系统
EP3301325A1 (en) Linear actuator
CN108555322B (zh) 一种车床进给系统综合性能测试实验方法
CN111197955B (zh) 一种电感传感器校准装置及电感传感器校准方法
CN114543676A (zh) 滚轮轴承径向跳动和圆心运动曲线检测装置及其检测方法
CN109357607A (zh) 一种全自动振弦式应变传感器校准装置
CN210400292U (zh) 一种机械臂无刷电机定位精度的检测装置
CN113432563B (zh) 一种极端环境直线式传感器校准装置及方法
CN116678617A (zh) 一种小导程行星滚柱丝杠的精度测量装置
CN116087091A (zh) 一种测定薄板摩擦系数的试验装置及方法
CN214200176U (zh) 用于密封环境下的电涡流位移传感器精度标定装置
CN209927443U (zh) 一种节流器振动响应特性的测试装置
CN110274758B (zh) 一种节流器振动响应特性的测试装置及方法
CN111922783B (zh) 基于杠杆原理的机床多维几何误差测量方法
CN210051433U (zh) 一种节流器法向随机微振动的测量装置
CN208936949U (zh) 一种全自动振弦式应变传感器校准装置
CN113037018A (zh) 带有直线编码器的闭环步进模组系统及其控制方法
CN115493545A (zh) 导轨安装面直线度误差的测量装置及方法
CN110375642B (zh) 一种干涉仪用压电陶瓷控制装置及其控制方法
CN217424276U (zh) 基于图像处理的重复性精度测量装置
CN110274677B (zh) 一种节流器法向随机微振动的测量装置及方法
CN208398838U (zh) 一种位移传感器测试装置
CN221404239U (zh) 一种高精度线位移传感器全自动校准装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20221103

Address after: 710000 Room 027, F1902, 19/F, Building 4-A, Xixian Financial Port, Fengdong New City Energy Jinmao District, Xixian New District, Xi'an, Shaanxi

Patentee after: Shaanxi Yinhui Jingchuang Technology Co.,Ltd.

Address before: 710061 No. 563 South Changan Road, Shaanxi, Xi'an

Patentee before: XI'AN University OF POSTS & TELECOMMUNICATIONS

Patentee before: HEFEI HEGONG ANCHI INTELLIGENT TECHNOLOGY Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right