CN111192805A - 一种离子注入机气动切换装置 - Google Patents
一种离子注入机气动切换装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111192805A CN111192805A CN201811357861.XA CN201811357861A CN111192805A CN 111192805 A CN111192805 A CN 111192805A CN 201811357861 A CN201811357861 A CN 201811357861A CN 111192805 A CN111192805 A CN 111192805A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- insulating rod
- driven
- cylinder
- block
- ion implanter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000001629 suppression Effects 0.000 claims abstract description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 4
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 12
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/023—Means for mechanically adjusting components not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3171—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for ion implantation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/31701—Ion implantation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
本发明公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102)主要由气缸固定块、气缸、绝缘棒夹块、开关撞块、调速阀装配而成，通过外围气路的切换，控制绝缘棒夹块实现一定角度内的往复运动；从动绝缘棒(103)由绝缘棒、放电球头、高压导线组成，在驱动机构(102)的带动下，实现接触位置的变换；浪涌抑制组件(104)由三个浪涌抑制放置块和两块低能二极管电路板构成，当从动绝缘棒(103)的放电球头与高电位接触时，实现浪涌抑制的作用；到位信号检测(105)由到位传感器、连接线缆和固定座组成，将切换的状态反馈到控制器、实现切换位置的监测。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。
Description
技术领域
本发明涉及一种半导体器件制造控制系统，即离子注入机，特别地涉及一种用于离子注入机高低能量气动切换的装置。
背景技术
随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，注入离子的能量是离子注入设备最重要的三个指标之一，通过改变注入的能量能够拓展离子注入设备的应用范围，可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件制造等领域。可见，实现不同能量的切换是离子注入设备的必要功能。
为了能够完成不同能量的注入，设备需要在不同能量之间切换，因此，能量切换装置就成了注入设备的重要零部件。
发明内容
本发明公开了一种离子注入机气动切换装置，可用于离子注入设备不同能量之间的切换，操作简单，响应速度快。
本发明公开了一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)。其中支撑架(101)为三角立体结构，主要起到装置的支撑和定位作用；驱动机构(102)通过外围气路的切换，控制绝缘棒夹块实现一定角度内的往复运动；从动绝缘棒(103)在驱动机构(102)的带动下，实现接触位置的变换；浪涌抑制组件(101)在从动绝缘棒(103)的放电球头与高电位接触时，实现浪涌抑制的作用；到位信号检测(105)将切换的状态反馈到控制器、实现切换位置的监测。
本发明通过以下技术方案实现：
1.一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)。通过驱动机构(102)中气缸的伸缩运动完成能量切换电路的通断。
2.一种离子注入机气动切换装置，驱动机构(102)主要由气缸固定块(201)、气缸(202)、轴肩螺钉(203)、轴承隔垫(204)、调速阀(205)、开关撞块(206)、绝缘棒夹块(207)、销轴(208)等构成。气缸固定块(201)、气缸(202)和绝缘棒夹块(207)组成三角形结构，气缸(202)在压缩空气作用时实现伸缩运动，从而改变绝缘棒夹块(207)的角度，实现动力的输出，同时为了保证运动时整体结构的稳定性，气缸固定块(201)上下两端分别设计的连接点，固定到机架上。
3.一种离子注入机气动切换装置，从动绝缘棒(103)由放电球头(301)、绝缘棒(302)、高压导线(303)组成。绝缘棒夹块(207)角度变化的同时，会带动从动绝缘棒(103)的运动，放电球头(301)作为通断的触点，与高压导线(303)连通到电路，绝缘棒(302)起到支撑和绝缘作用。
4.一种离子注入机气动切换装置，浪涌抑制组件(104)由三个浪涌抑制放置块(401)和两块低能二极管电路板(403)构成。当从动绝缘棒(103)的放电球头(301)与高电位接触时，实现浪涌抑制的作用，防止瞬间接触高压电位的打火击穿问题。
5.一种离子注入机气动切换装置，到位信号检测(105)由到位传感器(501)、连接线缆(502)、固定座(503)和保护垫片(501)组成。绝缘棒夹块(207)角度变化除了带动从动绝缘棒(103)的运动，固定在绝缘棒夹块(207)上的开关撞块(206)也会跟随运动，从而撞到固定在气缸固定块(201)上的到位传感器(501)，将位置信息传输到控制单元。
本发明具有如下显著优点：
1.功能明确，应用范围广泛。
2.结构紧凑，拆装维护方便。
3.性能稳定，响应速度快。
4.绝缘性好，使用安全。
附图说明
图1气动切换装置总装图
图2驱动机构图
图3从动绝缘棒图
图4浪涌抑制组件图
图5到位信号检测图
具体实施方式
下面结合附图1、附图2、附图3、附图4和附图5对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。
参见图1、图2、图3、图4和附图5，一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(101)和到位信号检测(105)。本气动切换装置采用气缸形式实现能量的切换，气缸固定块(201)、气缸(202)和绝缘棒夹块(207)组成三角形结构，气缸(202)在压缩空气作用时实现伸缩运动，从而改变绝缘棒夹块(207)的角度，实现动力的输出，同时为了保证运动时整体结构的稳定性，气缸固定块(201)上下两端分别设计的连接点，固定到机架上。驱动机构(102)和浪涌抑制组件(104)的布局由支撑架(101)设定。
在该实施方式中，驱动机构(102)主要由气缸固定块(201)、气缸(202)、轴肩螺钉(203)、轴承隔垫(204)、调速阀(205)、开关撞块(206)、绝缘棒夹块(207)、销轴(208)等构成。外围压缩空气通过调速阀(205)接入气缸，可以调节进气速率的大小；气缸(202)底部通过轴肩螺钉(203)和轴承隔垫(204)固定，顶部通过连接块和绝缘棒夹块(207)连接，绝缘棒夹块(207)的旋转运动主要通过销轴(208)和轴端挡圈的限位完成。当气缸(202)一端通气实现伸出，绝缘棒夹块(207)达到45度的仰角，切换到另外一路时，气缸(202)回缩，绝缘棒夹块(207)回来0度。
在该实施方式中，从动绝缘棒(103)由放电球头(301)、绝缘棒(302)、高压导线(303)组成。从动绝缘棒(103)通过两个螺钉固定到绝缘棒夹块(207)的孔中，绝缘棒夹块(207)角度变化的同时，会带动从动绝缘棒(103)的运动，放电球头(301)作为通断的触点，与高压导线(303)连通到电路，绝缘棒(302)起到支撑和绝缘作用。高压导线(303)有一定的柔性，穿过气缸固定块(201)的U型槽口。
在该实施方式中，浪涌抑制组件(104)由三个浪涌抑制放置块(401)和两块低能二极管电路板(403)构成，当从动绝缘棒(103)的放电球头(301)与高电位接触时，实现浪涌抑制的作用，防止瞬间接触高压电位的打火击穿问题。为了保证切换时触电的接触良好，放电球头(301)采用铜材质。
在该实施方式中，到位信号检测(105)由到位传感器(501)、连接线缆(502)、固定座(503)和保护垫片(504)组成。其特征在于：绝缘棒夹块(207)角度变化除了带动从动绝缘棒(103)的运动，固定在绝缘棒夹块(207)上的开关撞块(206)也会跟随运动，从而撞到固定在气缸固定块(201)上的到位传感器(501)，将位置信息传输到控制单元。到位传感器(501)采用按压的方式，根据实际的安装位置，可以在气缸固定块(201)上调节。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (5)
1.一种离子注入机气动切换装置，包括：支撑架(101)、驱动机构(102)、从动绝缘棒(103)、浪涌抑制组件(104)和到位信号检测(105)，其特征在于：能量切换电路的通断通过驱动机构(102)中气缸的伸缩运动完成，从动绝缘棒(103)的切换角度可以达到45度，不仅能够满足长距离接触点的通断，也能有效避免切换点之间高低电位距离过近造成的打火问题。
2.如权利要求1所述的一种离子注入机气动切换装置，驱动机构(102)主要由气缸固定块(201)、气缸(202)、轴肩螺钉(203)、轴承隔垫(204)、调速阀(205)、开关撞块(206)、绝缘棒夹块(207)、销轴(208)等构成。其特征在于：气缸固定块(201)、气缸(202)和绝缘棒夹块(207)组成三角形结构，气缸(202)在压缩空气作用时实现伸缩运动，从而改变绝缘棒夹块(207)的角度，实现动力的输出，同时为了保证运动时整体结构的稳定性，气缸固定块(201)上下两端分别设计的连接点，固定到机架上。
3.如权利要求1所述的一种离子注入机气动切换装置，从动绝缘棒(103)由放电球头(301)、绝缘棒(302)、高压导线(303)组成。其特征在于：绝缘棒夹块(207)角度变化的同时，会带动从动绝缘棒(103)的运动，放电球头(301)作为通断的触点，与高压导线(303)连通到电路，绝缘棒(302)起到支撑和绝缘作用。
4.如权利要求1所述的一种离子注入机气动切换装置，浪涌抑制组件(104)由三个浪涌抑制放置块(401)和两块低能二极管电路板(403)构成，当从动绝缘棒(103)的放电球头(301)与高电位接触时，实现浪涌抑制的作用，防止瞬间接触高压电位的打火击穿问题。
5.如权利要求1所述的一种离子注入机气动切换装置，到位信号检测(105)由到位传感器(501)、连接线缆(502)、固定座(503)和保护垫片(504)组成其特征在于：绝缘棒夹块(207)角度变化除了带动从动绝缘棒(103)的运动，固定在绝缘棒夹块(207)上的开关撞块(206)也会跟随运动，从而撞到固定在气缸固定块(201)上的到位传感器(501)，将位置信息传输到控制单元。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811357861.XA CN111192805B (zh) | 2018-11-15 | 2018-11-15 | 一种离子注入机气动切换装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811357861.XA CN111192805B (zh) | 2018-11-15 | 2018-11-15 | 一种离子注入机气动切换装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111192805A true CN111192805A (zh) | 2020-05-22 |
| CN111192805B CN111192805B (zh) | 2024-06-11 |
Family
ID=70710520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811357861.XA Active CN111192805B (zh) | 2018-11-15 | 2018-11-15 | 一种离子注入机气动切换装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111192805B (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6261259A (ja) * | 1985-09-09 | 1987-03-17 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
| JPH1089307A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-07 | Nissin Electric Co Ltd | 真空予備室のフラップ弁駆動装置 |
| CN102522302A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-06-27 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法 |
| CN102569117A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-11 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入束线法拉第 |
| CN104465286A (zh) * | 2013-09-12 | 2015-03-25 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入机内束流检测系统 |
-
2018
- 2018-11-15 CN CN201811357861.XA patent/CN111192805B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6261259A (ja) * | 1985-09-09 | 1987-03-17 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
| JPH1089307A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-07 | Nissin Electric Co Ltd | 真空予備室のフラップ弁駆動装置 |
| CN102522302A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-06-27 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法 |
| CN102569117A (zh) * | 2010-12-27 | 2012-07-11 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入束线法拉第 |
| CN104465286A (zh) * | 2013-09-12 | 2015-03-25 | 北京中科信电子装备有限公司 | 一种离子注入机内束流检测系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111192805B (zh) | 2024-06-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20120175347A1 (en) | Vacuum Switch With Pre-Insertion Contact | |
| CN1617281A (zh) | 混合式电路断路器装置 | |
| CN111148389B (zh) | 一种电气自动化设备安装基座 | |
| CN111192805A (zh) | 一种离子注入机气动切换装置 | |
| US10170255B1 (en) | Vacuum capacitor switch with pre-insertion contact | |
| US6731026B1 (en) | Electric discharge machining apparatus linear motor drive | |
| CN113066646B (zh) | 一种110kV变压器中性点真空间隙接地成套设备 | |
| EP3364438B1 (en) | Rail car switch unit | |
| CN216084869U (zh) | 过压保护器件用的散热基板 | |
| EP3300096A1 (en) | Switch unit and rail car using the same | |
| CN206584857U (zh) | 一种保护真空管的通用机构及真空断路器 | |
| KR101572469B1 (ko) | 시소 구동식 단로기 | |
| CN210223883U (zh) | 高压隔离开关的电气控制机构 | |
| CN205195043U (zh) | 具有高压通断功能的放电隙装置 | |
| CN214204584U (zh) | 一种建筑电气智能化配电柜 | |
| CN115297053B (zh) | 一种节能环保型防过载路由器 | |
| CN103208393A (zh) | 一种真空断路器 | |
| NL2030864B1 (en) | Brushless direct-current speed regulation switch with highly integrated structure | |
| CN219659149U (zh) | 增效感知驱雷装置 | |
| CN110335770B (zh) | 一种智能化隔离开关控制装置及其控制方法 | |
| CN106601546A (zh) | 一种保护真空管的通用机构及真空断路器 | |
| CN221552181U (zh) | 一种用于电力10kv开关站施工绝缘接地杆夹 | |
| CN215071018U (zh) | 一种远程监控高低压装置 | |
| CN104134648B (zh) | 功率半导体器件 | |
| CN115295352A (zh) | 一种快速分断高压真空断路器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |