CN111192259B - 检测设备的图像校准方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了检测设备的图像校准方法和装置，包括：获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标；获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动后的位置坐标、初始横向坐标和模板图像在第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；当纵向电机驱动CCD垂直移动第二预设距离时，根据纵向电机的实际初始位置坐标、纵向电机垂直移动后的位置坐标、初始纵向坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；从而对测试基板进行校准，提高校准的准确率。

Description

检测设备的图像校准方法和装置

技术领域

本发明涉及半导体设备检测技术领域，尤其是涉及检测设备的图像校准方法和装置。

背景技术

目前，半导体设备对各类电子元器件进行电性能检测时，通过带有刻度网格的方形标尺进行校准，具体为：将方形标尺放置在CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)下方，CCD获取标尺图像后，通过标尺图像观察到方形标尺内的一个网格在标尺图像内填充了多少个像素点，然后根据像素点总数与距离的比值得到图像像素脉冲比，其中，距离是指方形标尺中一个方格的长和宽，距离可以设定为已知的，例如距离为10mm。即在标尺图像上查看10mm的距离内包括多少个像素点。上述方式是通过人眼进行观察，误差比较高，校准的准确率低。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供检测设备的图像校准方法和装置，可以对测试基板进行准确校准，提高校准的准确率。

第一方面，本发明实施例提供了检测设备的图像校准方法，所述方法包括：

从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；

获取所述模板图像在所述第一图像中的初始位置坐标，所述初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；

获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；

当所述横向电机驱动所述CCD水平移动第一预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第二图像；

获取所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标和所述横向电机水平移动后的位置坐标；

根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

当所述纵向电机驱动所述CCD垂直移动第二预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第三图像；

获取所述模板图像在所述第三图像中的纵向位置坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标；

根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；

根据所述水平方向的图像像素脉冲比和所述竖直方向的图像像素脉冲比对所述测试基板进行校准。

进一步的，所述从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像，包括：

通过所述CCD采集所述测试基板的第一图像；

从所述第一图像中选取基准图像，并将所述基准图像作为所述模板图像。

进一步的，所述根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比，包括：

根据下式计算所述水平方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseX为所述水平方向的图像像素脉冲比，X为横向电机的实际初始位置坐标，X'为所述横向电机水平移动后的位置坐标，a为所述初始横向坐标，a'为所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标。

进一步的，所述根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比，包括：

根据下式计算所述竖直方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseY为所述竖直方向的图像像素脉冲比，Y为所述纵向电机的实际初始位置坐标，Y'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，b为所述初始纵向坐标，b'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标。

第二方面，本发明实施例提供了检测设备的图像校准装置，所述装置包括：

选取单元，用于从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；

初始位置坐标获取单元，用于获取所述模板图像在所述第一图像中的初始位置坐标，所述初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；

电机实际初始位置坐标获取单元，用于获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；

第二图像采集单元，用于当所述横向电机驱动所述CCD水平移动第一预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第二图像；

水平移动位置坐标获取单元，用于获取所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标和所述横向电机水平移动后的位置坐标；

水平方向图像像素脉冲比计算单元，用于根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

第三图像采集单元，用于当所述纵向电机驱动所述CCD垂直移动第二预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第三图像；

垂直移动位置坐标获取单元，用于获取所述模板图像在所述第三图像中的纵向位置坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标；

竖直方向图像像素脉冲比计算单元，用于根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；

校准单元，用于根据所述水平方向的图像像素脉冲比和所述竖直方向的图像像素脉冲比对所述测试基板进行校准。

进一步的，所述选取单元具体用于：

通过所述CCD采集所述测试基板的第一图像；

从所述第一图像中选取基准图像，并将所述基准图像作为所述模板图像。

进一步的，所述水平方向图像像素脉冲比计算单元具体用于：

根据下式计算所述水平方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseX为所述水平方向的图像像素脉冲比，X为横向电机的实际初始位置坐标，X'为所述横向电机水平移动后的位置坐标，a为所述初始横向坐标，a'为所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标。

进一步的，所述竖直方向图像像素脉冲比计算单元具体用于：

根据下式计算所述竖直方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseY为所述竖直方向的图像像素脉冲比，Y为所述纵向电机的实际初始位置坐标，Y'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，b为所述初始纵向坐标，b'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标。

第三方面，本发明实施例提供了电子设备，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述的方法。

第四方面，本发明实施例提供了具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，所述程序代码使所述处理器执行如上所述的方法。

本发明实施例提供了检测设备的图像校准方法和装置，包括：从CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标，初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，通过CCD采集测试基板的第二图像；获取模板图像在第二图像中的横向位置坐标和横向电机水平移动后的位置坐标；根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动后的位置坐标、初始横向坐标和模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；当纵向电机驱动CCD垂直移动第二预设距离时，通过CCD采集测试基板的第三图像；获取模板图像在第三图像中的纵向位置坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标；根据纵向电机的实际初始位置坐标、纵向电机垂直移动后的位置坐标、初始纵向坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；根据水平方向的图像像素脉冲比和竖直方向的图像像素脉冲比对测试基板进行校准，可以对测试基板进行准确校准，提高校准的准确率。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例一提供的检测设备的图像校准方法流程图；

图2为本发明实施例二提供的检测设备的图像校准界面示意图；

图3为本发明实施例三提供的检测设备的图像校准装置示意图。

图标：

1-选取单元；2-初始位置坐标获取单元；3-电机实际初始位置坐标获取单元；4-第二图像采集单元；5-水平移动位置坐标获取单元；6-水平方向图像像素脉冲比计算单元；7-第三图像采集单元；8-垂直移动位置坐标获取单元；9-竖直方向图像像素脉冲比计算单元；10-校准单元。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为便于对本实施例进行理解，下面对本发明实施例进行详细介绍。

实施例一：

图1为本发明实施例一提供的检测设备的图像校准方法流程图。

参照图1，检测设备包括CCD、横向电机和纵向电机，通过应用CCD、横向电机和纵向电机实现以下步骤，具体为：

步骤S101，从CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；

这里，测试基板包括但不限于LTCC((Low Temperature Co-fired Ceramic，低温共烧陶瓷)芯片。从第一图像中选取的模板图像是与第一图像中的其他图像不重复的图像，即具有特殊特征的图像。

步骤S102，获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标，初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；

这里，在选取模板图像后，需要将模板图像与第一图像进行匹配，即获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标。

步骤S103，获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；

这里，横向电机可以驱动CCD水平移动，纵向电机可以驱动CCD垂直移动。

步骤S104，当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，通过CCD采集测试基板的第二图像；

步骤S105，获取模板图像在第二图像中的横向位置坐标和横向电机水平移动后的位置坐标；

步骤S106，根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动后的位置坐标、初始横向坐标和模板图像在第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

步骤S107，当纵向电机驱动所述CCD垂直移动第二预设距离时，通过CCD采集测试基板的第三图像；

步骤S108，获取模板图像在第三图像中的纵向位置坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标；

步骤S109，根据纵向电机的实际初始位置坐标、纵向电机垂直移动后的位置坐标、初始纵向坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；

步骤S110，根据水平方向的图像像素脉冲比和竖直方向的图像像素脉冲比对测试基板进行校准。

本实施例中，CCD采集测试基板的第一图像，从第一图像中选取模板图像，并获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标；获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标，通过横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离，在CCD水平移动第一预设距离后，再通过CCD采集测试基板的第二图像信息，第二图像信息为CCD水平移动第一预设距离后采集的测试基板的图像信息，获取模板图像在第二图像中的横向位置坐标；横向电机在驱动CCD水平移动后，横向电机的位置发生了变化，此时采集横向电机水平移动后的位置坐标；根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动后的位置坐标、初始横向坐标和模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

纵向电机驱动CCD垂直移动第二预设距离后，再通过CCD采集测试基板的第三图像，获取模板图像在第三图像中的纵向位置坐标，纵向电机在驱动CCD垂直移动后，获取纵向电机垂直移动后的位置坐标，根据纵向电机的实际初始位置坐标、纵向电机垂直移动后的位置坐标、初始纵向坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；根据水平方向的图像像素脉冲比和竖直方向的图像像素脉冲比对测试基板进行校准，可以对测试基板进行准确校准，提高校准的准确率。

进一步的，步骤S101包括以下步骤：

步骤S201，通过CCD采集测试基板的第一图像；

步骤S202，从第一图像中选取基准图像，并将基准图像作为模板图像。

进一步的，步骤S106包括：

根据公式(1)计算水平方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseX为水平方向的图像像素脉冲比，X为横向电机的实际初始位置坐标，X'为横向电机水平移动后的位置坐标，a为初始横向坐标，a'为模板图像在第二图像中的横向位置坐标。

进一步的，步骤S109包括：

根据公式(2)计算竖直方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseY为竖直方向的图像像素脉冲比，Y为纵向电机的实际初始位置坐标，Y'为纵向电机垂直移动后的位置坐标，b为初始纵向坐标，b'为纵向电机垂直移动后的位置坐标。

本发明实施例提供了检测设备的图像校准方法，包括：从CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标，初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，通过CCD采集测试基板的第二图像；获取模板图像在第二图像中的横向位置坐标和横向电机水平移动后的位置坐标；根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动后的位置坐标、初始横向坐标和模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；当纵向电机驱动CCD垂直移动第二预设距离时，通过CCD采集测试基板的第三图像；获取模板图像在第三图像中的纵向位置坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标；根据纵向电机的实际初始位置坐标、纵向电机垂直移动后的位置坐标、初始纵向坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；根据水平方向的图像像素脉冲比和竖直方向的图像像素脉冲比对测试基板进行校准，可以对测试基板进行准确校准，提高校准的准确率。

实施例二：

图2为本发明实施例二提供的检测设备的图像校准界面示意图。

参照图2，用户通过点击“新建矫正模板”的控件后，在左边的图像中选择模板图像，再次点击“新建矫正模板”的控件，从而完成新建模板的操作。然后点击“CCD矫正”的控件，获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标，初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标。

通过“上、下、左和右”的控件设置水平移动的第一预设距离和垂直移动的第二预设距离。当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，点击“X移动后点击”的控件，从而得到水平方向的图像像素脉冲比；再通过纵向电机驱动CCD垂直移动第二预设距离时，点击“Y移动后点击”的控件，从而得到竖直方向的图像像素脉冲比，根据水平方向的图像像素脉冲比和竖直方向的图像像素脉冲比对测试基板的位置进行校准，从而准确地完成扎针测试。

实施例三：

图3为本发明实施例三提供的检测设备的图像校准装置示意图。

参照图3，该装置包括：

选取单元1，用于从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；

初始位置坐标获取单元2，用于获取所述模板图像在所述第一图像中的初始位置坐标，所述初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；

电机实际初始位置坐标获取单元3，用于获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；

第二图像采集单元4，用于当所述横向电机驱动所述CCD水平移动第一预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第二图像；

水平移动位置坐标获取单元5，用于获取所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标和所述横向电机水平移动后的位置坐标；

水平方向图像像素脉冲比计算单元6，用于根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

第三图像采集单元7，用于当所述纵向电机驱动所述CCD垂直移动第二预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第三图像；

垂直移动位置坐标获取单元8，用于获取所述模板图像在所述第三图像中的纵向位置坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标；

竖直方向图像像素脉冲比计算单元9，用于根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；

校准单元10，用于根据所述水平方向的图像像素脉冲比和所述竖直方向的图像像素脉冲比对所述测试基板进行校准。

进一步的，选取单元1具体用于：

通过所述CCD采集所述测试基板的第一图像；

从所述第一图像中选取基准图像，并将所述基准图像作为所述模板图像。

进一步的，水平方向图像像素脉冲比计算单元6具体用于：

根据下式计算水平方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseX为所述水平方向的图像像素脉冲比，X为横向电机的实际初始位置坐标，X'为所述横向电机水平移动后的位置坐标，a为所述初始横向坐标，a'为所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标。

进一步的，竖直方向图像像素脉冲比计算单元9具体用于：

根据下式计算竖直方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseY为所述竖直方向的图像像素脉冲比，Y为所述纵向电机的实际初始位置坐标，Y'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，b为所述初始纵向坐标，b'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标。

本发明实施例提供了检测设备的图像校准装置，包括：从CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；获取模板图像在第一图像中的初始位置坐标，初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；当横向电机驱动CCD水平移动第一预设距离时，通过CCD采集测试基板的第二图像；获取模板图像在第二图像中的横向位置坐标和横向电机水平移动后的位置坐标；根据横向电机的实际初始位置坐标、横向电机水平移动后的位置坐标、初始横向坐标和模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；当纵向电机驱动CCD垂直移动第二预设距离时，通过CCD采集测试基板的第三图像；获取模板图像在第三图像中的纵向位置坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标；根据纵向电机的实际初始位置坐标、纵向电机垂直移动后的位置坐标、初始纵向坐标和纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；根据水平方向的图像像素脉冲比和竖直方向的图像像素脉冲比对测试基板进行校准，可以对测试基板进行准确校准，提高校准的准确率。

本发明实施例还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行计算机程序时实现上述实施例提供的检测设备的图像校准方法的步骤。

本发明实施例还提供一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，计算机可读介质上存储有计算机程序，计算机程序被处理器运行时执行上述实施例的检测设备的图像校准方法的步骤。

本发明实施例所提供的计算机程序产品，包括存储了程序代码的计算机可读存储介质，所述程序代码包括的指令可用于执行前面方法实施例中所述的方法，具体实现可参见方法实施例，在此不再赘述。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统和装置的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

另外，在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种检测设备的图像校准方法，其特征在于，所述方法包括：

从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；

获取所述模板图像在所述第一图像中的初始位置坐标，所述初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；

获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；

当所述横向电机驱动所述CCD水平移动第一预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第二图像；

获取所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标和所述横向电机水平移动后的位置坐标；

根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

当所述纵向电机驱动所述CCD垂直移动第二预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第三图像；

获取所述模板图像在所述第三图像中的纵向位置坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标；

根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；

根据所述水平方向的图像像素脉冲比和所述竖直方向的图像像素脉冲比对所述测试基板进行校准。

2.根据权利要求1所述的检测设备的图像校准方法，其特征在于，所述从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像，包括：

通过所述CCD采集所述测试基板的第一图像；

从所述第一图像中选取基准图像，并将所述基准图像作为所述模板图像。

3.根据权利要求1所述的检测设备的图像校准方法，其特征在于，所述根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比，包括：

根据下式计算所述水平方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseX为所述水平方向的图像像素脉冲比，X为横向电机的实际初始位置坐标，X'为所述横向电机水平移动后的位置坐标，a为所述初始横向坐标，a'为所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标。

4.根据权利要求1所述的检测设备的图像校准方法，其特征在于，所述根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比，包括：

根据下式计算所述竖直方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseY为所述竖直方向的图像像素脉冲比，Y为所述纵向电机的实际初始位置坐标，Y'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，b为所述初始纵向坐标，b'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标。

5.一种检测设备的图像校准装置，其特征在于，所述装置包括：

选取单元，用于从电荷耦合器件CCD采集的测试基板的第一图像中选取模板图像；

初始位置坐标获取单元，用于获取所述模板图像在所述第一图像中的初始位置坐标，所述初始位置坐标包括初始横向坐标和初始纵向坐标；

电机实际初始位置坐标获取单元，用于获取横向电机的实际初始位置坐标和纵向电机的实际初始位置坐标；

第二图像采集单元，用于当所述横向电机驱动所述CCD水平移动第一预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第二图像；

水平移动位置坐标获取单元，用于获取所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标和所述横向电机水平移动后的位置坐标；

水平方向图像像素脉冲比计算单元，用于根据所述横向电机的实际初始位置坐标、所述横向电机水平移动后的位置坐标、所述初始横向坐标和所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标，得到水平方向的图像像素脉冲比；

第三图像采集单元，用于当所述纵向电机驱动所述CCD垂直移动第二预设距离时，通过所述CCD采集所述测试基板的第三图像；

垂直移动位置坐标获取单元，用于获取所述模板图像在所述第三图像中的纵向位置坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标；

竖直方向图像像素脉冲比计算单元，用于根据所述纵向电机的实际初始位置坐标、所述纵向电机垂直移动后的位置坐标、所述初始纵向坐标和所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，得到竖直方向的图像像素脉冲比；

校准单元，用于根据所述水平方向的图像像素脉冲比和所述竖直方向的图像像素脉冲比对所述测试基板进行校准。

6.根据权利要求5所述的检测设备的图像校准装置，其特征在于，所述选取单元具体用于：

通过所述CCD采集所述测试基板的第一图像；

从所述第一图像中选取基准图像，并将所述基准图像作为所述模板图像。

7.根据权利要求5所述的检测设备的图像校准装置，其特征在于，所述水平方向图像像素脉冲比计算单元具体用于：

根据下式计算所述水平方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseX为所述水平方向的图像像素脉冲比，X为横向电机的实际初始位置坐标，X'为所述横向电机水平移动后的位置坐标，a为所述初始横向坐标，a'为所述模板图像在所述第二图像中的横向位置坐标。

8.根据权利要求5所述的检测设备的图像校准装置，其特征在于，所述竖直方向图像像素脉冲比计算单元具体用于：

根据下式计算所述竖直方向的图像像素脉冲比：

其中，PixelToPluseY为所述竖直方向的图像像素脉冲比，Y为所述纵向电机的实际初始位置坐标，Y'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标，b为所述初始纵向坐标，b'为所述纵向电机垂直移动后的位置坐标。

9.一种电子设备，包括存储器、处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述权利要求1至4任一项所述的方法。

10.一种具有处理器可执行的非易失的程序代码的计算机可读介质，其特征在于，所述程序代码使所述处理器执行所述权利要求1至4任一项所述的方法。

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