CN111191866A - 真空系统的调度方法及调度系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供的真空系统的调度方法及调度系统，包括：设定默认腔室，按等候队列次向各个等候腔室分配真空系统，判断等候队列是否有未抽真空的等候腔室，若是，继续按等候队列依次向各个等候腔室分配真空系统，若否，则根据默认腔室的状态对默认腔室进行抽真空。通过本发明提供的真空系统的调度方法，实时监控等候队列的状态，一旦等候队列中不具有未抽真空的等候腔室，则将其分配给默认腔室进行抽真空，提高真空系统的使用率，同时，有利于默认腔室提高真空度。

Description

真空系统的调度方法及调度系统

技术领域

本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种真空系统的调度方法及调度系统。

背景技术

在半导体加工领域中，加工系统通常由传输腔室、工艺腔室、多个预真空腔室等组成。晶片从处于大气状态的装载腔室通过机械手传输到处于大气状态的预真空腔室，然后预真空腔室通过抽真空操作，使该腔室变为真空状态，再由传输腔室中的机械手将晶片传入各个工艺腔室执行工艺。其中，工艺腔室进行晶片加工需要真空的环境，因此，工艺腔室需要抽真空操作，同时，传输腔室、预真空腔室需要将晶片传入到真空环境，因此也需要真空环境。

为了节省成本，几个腔室共用一个真空泵的现象也非常普遍。图1为现有技术中真空泵的调度流程图。如图1所示，S100，当有腔室需要使用真空泵时，提交真空泵使用申请；S101，判断真空泵是否为空闲状态，若是，则执行步骤S102，若否，则执行步骤S103；S102，将真空泵分配给当前的申请的腔室使用；S103，将新申请的腔室排入等候队列的队尾，进行等待。

在上述真空泵的调度流程中，若需要使用真空泵，则必须由腔室先提交真空泵使用申请，而在真空泵处于空闲阶段时，若没有腔室提出提交使用申请，真空泵则会一直处于空闲，导致真空泵的利用率较低。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种能够提高真空系统的利用率的真空系统的调度方法及调度系统。

为解决上述问题，本发明提供了一种真空系统的调度方法，其包括：

设定默认腔室；

按等候队列依次向各个等候腔室分配所述真空系统；

判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室，若是，则继续按所述等候队列依次向各个等候腔室分配所述真空系统，若否，则根据默认腔室的状态对所述默认腔室进行抽真空。

其中，所述默认腔室为能够持续抽真空的腔室。

其中，所述默认腔室包括传输腔室。

其中，在所述判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室的步骤中，若否，则还包括：

判断所述默认腔室是否在进行真空操作，若在进行真空操作，则所述真空系统维持空闲状态，并返回所述判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室的步骤，若不在进行真空操作，则根据默认腔室的状态对所述默认腔室进行抽真空。

其中，在所述判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室的步骤中，若否，则还包括：

判断所述默认腔室的压力是否低于预设压力，若是，则所述真空系统维持空闲状态，若否，则根据默认腔室的状态对所述默认腔室进行抽真空，直至所述默认腔室的压力低于所述预设压力。

其中，所述真空系统调度方法还包括：

在接收到任意腔室提交的使用请求时，判断所述真空系统是否在对所述默认腔室进行抽真空；

若是，则停止对所述默认腔室进行抽真空，并将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室；

若否，则判断是否具有等候队列，若具有，则将提交所述使用请求的腔室加入所述等候队列的队尾，若不具有，则将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室。

本发明还提供了一种真空系统的调度系统，其中，包括设定模块、存储模块、第一判断模块和调度模块，其中，

所述设定模块，用于设定默认腔室；

所述存储模块，用于存储等候队列；

所述调度模块，用于读取所述存储模块中的所述等候队列，并按所述等候队列的顺序，将所述真空系统依次分配给所述等待腔室进行抽真空；

所述第一判断模块，用于判断所述等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室，若是，则所述调度模块继续按所述等候队列的顺序，将所述真空系统依次分配给所述等待腔室进行抽真空；若否，则向所述调度模块发送第一指令；

所述调度模块还用于在接收到所述第一指令后，根据默认腔室的状态，将所述真空系统分配给所述默认腔室抽真空。

其中，所述调度模块还用于，在接收到所述第一指令后，判断所述默认腔室是否在进行真空操作，若在进行真空操作，则所述真空系统维持空闲状态，并向所述第一判断模块发送第二指令，若不在进行真空操作，则对所述默认腔室进行抽真空；

所述第一判断模块在接收到第二指令之后，判断所述等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室。

其中，所述调度模块还用于，在接收到第一指令之后，判断所述默认腔室的压力是否低于预设压力，若是，则将所述真空系统维持在空闲状态，并向所述第一判断模块发送第二指令，若否，则对所述默认腔室进行抽真空，直至所述默认腔室的压力低于所述预设压力；

所述第一判断模块在接收到第二指令之后，判断所述等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室。

其中，其特征在于，所述调度模块还用于在接收到任意腔室提交的使用请求时，判断所述真空系统是否在对所述默认腔室进行抽真空；

若是，则停止对所述默认腔室进行抽真空，并将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室；

若否，则所述调度模块读取并判断所述存储模块中是否具有等候队列，若具有，则将提交所述使用请求的腔室加入所述等候队列的队尾；若不具有，则将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的真空系统的调度方法，包括：设定默认腔室，按等候队列次向各个等候腔室分配真空系统，判断等候队列是否有未抽真空的等候腔室，若是，继续按等候队列依次向各个等候腔室分配真空系统，若否，则根据默认腔室的状态对默认腔室进行抽真空。通过本发明提供的真空系统的调度方法，实时监控等候队列的状态，一旦等候队列中不具有未抽真空的等候腔室，则将其分配给默认腔室进行抽真空，提高真空系统的使用率，同时，有利于默认腔室提高真空度。

本发明提供的真空系统的调度系统，包括设定模块、存储模块、第一判断模块和调度模块，其中，设定模块用于设定默认腔室；存储模块用于存储等候队列；调度模块用于读取存储模块中的等候队列，并按等候队列的顺序，将真空系统依次分配给等待腔室进行抽真空；第一判断模块用于判断等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室，若是，则调度模块继续按等候队列的顺序，将真空系统依次分配给等待腔室进行抽真空；若否，则向调度模块发送第一指令；调度模块还用于，在接收到第一指令后，根据默认腔室的状态，将真空系统分配给默认腔室抽真空。通过本发明提供的真空系统的调度系统，实时监控等候队列的状态，一旦等候队列中不具有未抽真空的等候腔室，则将其分配给默认腔室进行抽真空，提高真空系统的使用率，同时，有利于默认腔室提高真空度。

附图说明

图1为现有技术中真空泵的调度流程图；

图2为本发明第一实施例提供的真空系统的调度方法的流程图；

图3为本发明第二实施例提供的真空系统的调度方法的流程图；

图4为本发明第二实施例中在接收到任意腔室提交的使用请求时的流程图；

图5为本发明另一实施例提供的真空系统的调度系统的结构示意图。

其中，

1-设定模块；2-存储模块；3-第一判断模块；4-调度模块。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的真空系统的调度方法及调度系统进行详细描述。

本发明第一实施例提供了一种真空系统的调度方法，如图2所示，其包括：

S1，设定默认腔室；

S2，按等候队列依次向各个等候腔室分配真空系统；

S3，判断等候队列中是否有未抽真空的等候腔室，若是，则返回步骤S2；若否，则执行S4；

S4，根据默认腔室的状态对默认腔室进行抽真空。

通过本发明提供的真空系统的调度方法，实时监控等候队列的状态，一旦等候队列中不具有未抽真空的等候腔室，则将其分配给默认腔室进行抽真空，提高真空系统的使用率，同时，有利于默认腔室提高真空度。

需要说明的是，在本实施例中，真空系统存在两种状态：第一种是，当真空系统按照等候队列依次对腔室进行抽真空；第二种是，当等候队列中不具有等候腔室时，此时，则使真空系统对默认腔室进行抽真空。

其中，多个腔室中至少包括一个传输腔室，默认腔室为能够持续抽真空的腔室。优选地，默认腔室包括传输腔室。还需要说明的是，之所以将传输腔室设定为默认腔室，是由于传输腔室直接与工艺腔室链接，为了尽量减少传输腔室中的颗粒进入工艺腔室，会将传输腔室中的颗粒抽走一部分；同时，多抽气会让传输腔室比原先完成抽真空操作即刻停止抽气时处于较低的压力值，这样，当工艺腔室和传输腔室进行晶片传输时，气流方向是从工艺腔室流向传输腔室，进而避免传输腔室中的颗粒流向工艺腔室而导致对工艺腔室的污染。基于上述需求考虑，将传输腔室作为默认腔室，在晶片生产任务中，所有腔室都会进行抽真空操作，此时，根据申请的先后顺序分配真空系统，待真空系统空闲时，就将真空系统分配给传输腔室进行抽真空，让传输腔室的压力保持在一个较低的水平，为与工艺腔室的晶片传输作好准备。

图3为本发明第二实施例提供的真空系统的调度方法的流程图。本发明提供第二实施例了一种真空系统的调度方法，如图3所示，包括：

S10，设定默认腔室.

S20，按等候队列依次向各个等候腔室分配真空系统。

S30，判断等候队列中是否有未抽真空的等候腔室，若是，则返回步骤S20；若否，则执行S41。

S41，判断默认腔室是否在进行真空操作，若在进行真空操作，则将真空系统维持空闲状态，并返回步骤S30，若不在进行真空操作，则执行步骤S42。

需要说明的是，在本实施例中，需要判断默认腔室是否在进行真空操作，其中，真空操作指的是例如吹扫、充气、压升率测试、传输的晶片等操作，由于在进行真空操作的过程中对默认腔室进行抽真空会对真空操作产生影响，因此，在对默认腔室进行抽真空之前还需要判断默认腔室是否在进行真空操作，以避免对真空操作产生干扰。

S42，判断默认腔室的压力是否低于预设压力，若是，则将真空系统维持空闲状态，并返回步骤S30，若否，则执行步骤S43，直至默认腔室的压力低于预设压力。

在本实施例中，通过步骤S42，在默认腔室的压力低于预设压力时则不对默认腔室进行抽真空，而维持真空系统的空闲状态，从而既能将默认腔室的压力保持在一个较低的水平，又避免真空系统持续工作而造成能源浪费。

S43，对默认腔室进行抽真空。

需要说明的是，由于步骤S41和步骤S42，因此，在本实施例中，真空系统还具有第三种状态，即空闲状态，该第三种状态是指当在步骤S41中，当默认腔室在进行真空操作时，或者，在步骤S42中，默认腔室的压力低于预设压力时，此时，真空系统既不对默认腔室进行抽真空，也不存在等候抽真空的腔室，而是维持在空闲状态，等待任意腔室提交使用真空系统的请求，或者等待默认腔室结束真空操作，或者等待默认腔室的压力低于预设压力。

在本实施例中，如图4所示，在接收到任意腔室提交的使用请求时，还包括如下步骤：

S60，接收到任意腔室提交的使用请求，执行S61；

S61，判断真空系统是否在对默认腔室进行抽真空；

若是，则执行S62及S63；若否，则执行S64；

S62，停止对默认腔室进行抽真空；

S63，将真空系统分配给提交使用请求的腔室；

S64，判断是否具有等候队列，若具有，则执行S65，若不具有，则执行S63；

S65，将提交使用请求的腔室加入等候队列的队尾。

其中，所谓等候队列是指，当腔室需要进行抽真空操作，但由于真空系统的抽真空能力有限，则会将已提交使用请求的腔室按提交的申请的时间进行排序，且真空系统也会按照这一排序进行抽真空操作，这个排序就是等候队列。在本实施例中，按照提交的申请的时间进行排序，先提交申请的腔室排在等候队列的队首，后提交申请的腔室排在等候队列的队尾，在执行过程中，先执行先提交申请的腔室。

需要说明的是，默认腔室也可以通过提交使用请求的方式调用真空系统，例如，当真空系统长时间对等候队列中的等待腔室进行抽真空的情况下，默认腔室可以通过提交使用请求的方式调用真空系统。

还需要说明的是，在步骤S61中，判断真空系统是否在对默认腔室进行抽真空，具体指的是真空系统是否是在等候队列中不具有未抽真空的等候腔室的情况下自动分配给默认腔室，而非默认腔室通过提交使用请求的方式调用真空系统，为了避免这两种情况的混淆，在本实施例中，在默认腔室中增设标记位，当在等候队列中不具有未抽真空的等候腔室的情况下分配给默认腔室时，将该标记位设置为1，在收回真空系统对默认腔室的使用时，将该标记位设置为0，而当默认腔室以提交请求的方式调用真空系统时，则不更改标记位，即始终维持该标记位为0。因此，通过在默认腔室中设置标记位，能够判断出默认腔室以何种方式使用真空系统。

作为本发明的另一方面，本发明还提供了一种真空系统的调度系统，图5为本发明另一实施例提供的真空系统的调度系统的结构示意图。如图5所示，真空系统的调度系统包括设定模块1、存储模块2、第一判断模块3和调度模块4。其中，设定模块1用于设定默认腔室，存储模块2用于存储等候队列，调度模块4用于读取存储模块1中的等候队列，并按等候队列的顺序将真空系统依次分配给等待腔室进行抽真空，第一判断模块3用于判断等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室，若是，则继续按等候队列的顺序，将真空系统依次分配给等待腔室进行抽真空，若否，则向调度模块4发送第一指令，调度模块4还用于，在接收到第一指令后，根据默认腔室的状态，将真空系统分配给默认腔室抽真空。

本发明提供的真空系统的调度系统，实时监控等候队列的状态，一旦等候队列中不具有未抽真空的等候腔室，则将其分配给默认腔室进行抽真空，提高真空系统的使用率，同时，有利于默认腔室提高真空度。

在本实施例中，调度模块4还用于在接收到第一指令之后，判断默认腔室是否在进行真空操作，若在进行真空操作，则真空系统维持空闲状态，并向第一判断模块3发送第二指令，若不在进行真空操作，则将真空系统分配给默认腔室抽真空；第一判断模块3在接收到第二指令之后，判断真空系统是否处于空闲状态。

在本实施例中，调度模块4还用于，在接收到第一指令之后，判断默认腔室的压力是否低于预设压力，若是，则将真空系统维持在空闲状态，并向第一判断模块3发送第二指令，若否，则对默认腔室进行抽真空，直至默认腔室的压力低于预设压力；第一判断模块3在接收到第二指令之后，判断等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室。

在本实施例中，调度模块4还用于在接收到任意腔室提交的使用请求时，判断真空系统是否在对默认腔室进行抽真空，若是，则停止对默认腔室进行抽真空，并将真空系统分配给提交使用请求的腔室；若否，则调度模块4读取并判断存储模块2中是否具有等候队列，若具有，则将提交使用请求的腔室加入等候队列的队尾，若不具有，则将真空系统分配给提交使用请求的腔室。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种真空系统的调度方法，其特征在于，包括：

设定默认腔室；

按等候队列依次向各个等候腔室分配所述真空系统；

判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室，若是，则继续按所述等候队列依次向各个等候腔室分配所述真空系统，若否，则根据默认腔室的状态对所述默认腔室进行抽真空。

2.根据权利要求1所述的真空系统的调度方法，其特征在于，所述默认腔室为能够持续抽真空的腔室。

3.根据权利要求1所述的真空系统的调度方法，其特征在于，所述默认腔室包括传输腔室。

4.根据权利要求1所述的真空系统的调度方法，其特征在于，在所述判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室的步骤中，若否，则还包括：

判断所述默认腔室是否在进行真空操作，若在进行真空操作，则所述真空系统维持空闲状态，并返回所述判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室的步骤，若不在进行真空操作，则根据默认腔室的状态对所述默认腔室进行抽真空。

5.根据权利要求1所述的真空系统的调度方法，其特征在于，在所述判断所述等候队列是否有未抽真空的等候腔室的步骤中，若否，则还包括：

判断所述默认腔室的压力是否低于预设压力，若是，则所述真空系统维持空闲状态，若否，则根据默认腔室的状态对所述默认腔室进行抽真空，直至所述默认腔室的压力低于所述预设压力。

6.根据权利要求4或5所述的真空系统的调度方法，其特征在于，所述真空系统调度方法还包括：

在接收到任意腔室提交的使用请求时，判断所述真空系统是否在对所述默认腔室进行抽真空；

若是，则停止对所述默认腔室进行抽真空，并将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室；

若否，则判断是否具有等候队列，若具有，则将提交所述使用请求的腔室加入所述等候队列的队尾，若不具有，则将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室。

7.一种真空系统的调度系统，其特征在于，包括设定模块、存储模块、第一判断模块和调度模块，其中，

所述设定模块，用于设定默认腔室；

所述存储模块，用于存储等候队列；

所述调度模块，用于读取所述存储模块中的所述等候队列，并按所述等候队列的顺序，将所述真空系统依次分配给所述等待腔室进行抽真空；

所述第一判断模块，用于判断所述等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室，若是，则所述调度模块继续按所述等候队列的顺序，将所述真空系统依次分配给所述等待腔室进行抽真空；若否，则向所述调度模块发送第一指令；

所述调度模块还用于在接收到所述第一指令后，根据默认腔室的状态，将所述真空系统分配给所述默认腔室抽真空。

8.根据权利要求7所述的真空系统的调度系统，其特征在于，所述调度模块还用于，在接收到所述第一指令后，判断所述默认腔室是否在进行真空操作，若在进行真空操作，则所述真空系统维持空闲状态，并向所述第一判断模块发送第二指令，若不在进行真空操作，则对所述默认腔室进行抽真空；

所述第一判断模块在接收到第二指令之后，判断所述等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室。

9.根据权利要求7所述的真空系统的调度系统，其特征在于，所述调度模块还用于，在接收到第一指令之后，判断所述默认腔室的压力是否低于预设压力，若是，则将所述真空系统维持在空闲状态，并向所述第一判断模块发送第二指令，若否，则对所述默认腔室进行抽真空，直至所述默认腔室的压力低于所述预设压力；

所述第一判断模块在接收到第二指令之后，判断所述等候队列中是否还有未抽真空的等候腔室。

10.根据权利要求8或9所述的真空系统的调度系统，其特征在于，所述调度模块还用于在接收到任意腔室提交的使用请求时，判断所述真空系统是否在对所述默认腔室进行抽真空；

若是，则停止对所述默认腔室进行抽真空，并将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室；

若否，则所述调度模块读取并判断所述存储模块中是否具有等候队列，若具有，则将提交所述使用请求的腔室加入所述等候队列的队尾；若不具有，则将所述真空系统分配给提交所述使用请求的腔室。

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