CN111188770A - 一种干式无油密封螺杆真空泵 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种干式无油密封螺杆真空泵，属于真空泵技术领域。包括泵体，所述泵体两端固定连接前端盖、后端盖，构成一个密封的腔体，所述泵体上设有吸气口和排气孔；所述腔体内设有一对具有一定间隙的变螺距螺杆：所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆两端分别通过轴承固定于前轴承座和后轴承座内，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆排气端轴端上分别设有组合密封装置，所述组合密封装置设于前端盖内，所述前端盖与齿轮箱固定连接，所述齿轮箱内设有两传动齿轮，两所述传动齿轮分别固定于变螺距螺杆上；所述主变螺距螺杆与电机的输出轴固定连接。本申请大大提升了螺杆干式真空泵的抽气性能，进一步提高真空泵的可靠性、稳定性和密封性。

Description

一种干式无油密封螺杆真空泵
技术领域
本发明涉及一种干式无油密封螺杆真空泵，属于真空泵技术领域。
背景技术
螺杆干式真空泵是上世纪九十年初，伴随欧美日等企业在LED导电薄膜、纳米级微处理器、太阳能多晶硅等行业对无油高真空设备的迫切需求而发展起来的理想真空设备。由于螺杆干式真空泵具有真空高、抽气性能稳定、泵腔无油洁净、结构简单、紧凑免维护、抽气元件之间不接触无摩擦、无废气、无废液排放等特点，使之为目前世界上机械真空泵领域内最理想的抽真空设备，已经得到各行各业的广泛认可和使用。
最初螺杆干式真空泵仅仅在比较清洁的真空场合使用，被抽气体都是比较干燥洁净的气体，被抽气体或介质对螺杆真空泵无腐蚀无污染，因此对螺杆真空泵的结构要求并不高。近20年来随着全球各国对环境保护的重视，特别是化工、制药、冶金等行业为了适应节能减排的需要，螺杆干式真空泵在这些特殊行业逐步开始被使用。国内螺杆干式真空泵起步相对欧美国家要晚一些，存在温升太大、轴封使用寿命短、抽气效率低等缺陷。国内螺杆真空泵需求量非常大，国产螺杆真空泵产能较低而且质量上与国外产品有一定差异，因此目前国内螺杆真空泵主要依靠欧美进口，而进口螺杆真空泵的价格非常昂贵，而且交货周期需要半年以上。
而决定螺杆干式真空泵可靠性的关键因素有二个，一个是螺杆泵的动密封可靠性，直接影响螺杆干式真空泵轴封泄漏，轴端动密封的可靠性问题长期困扰着国内外真空泵制造企业；另一个是螺杆转子的型线结构，许多科研院所和大量制造企业都在不断研究和改进螺杆的型线，试图找到一种抽气效率高、真空度高、温升低、性能稳定、可靠性好的螺杆型线来实现螺杆干式真空泵性能上的飞跃进步。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种干式无油密封螺杆真空泵，提高螺杆干式真空泵的抽气性能和密封可靠性。
本发明解决上述问题所采用的技术方案为：一种干式无油密封螺杆真空泵，包括泵体，所述泵体的右端固定连接前端盖，所述泵体的左端固定连接后端盖，所述泵体与前端盖和后端盖构成一个密封的腔体，位于所述后端盖的泵体上设有吸气口，位于所述前端盖的泵体上设有排气口；所述腔体内设有一对具有一定间隙的变螺距螺杆：主变螺距螺杆和从变螺距螺杆；所述前端盖内固定设有前轴承座，所述后端盖内固定设有后轴承座，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆两端分别通过轴承固定于前轴承座和后轴承座内，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆排气端轴端上分别设有组合密封装置，所述组合密封装置设于前端盖内，对两变螺距螺杆排气端轴端进行密封；所述前端盖与齿轮箱固定连接，所述齿轮箱内设有两传动齿轮，两所述传动齿轮分别固定于变螺距螺杆上，且两所述传动齿轮相互啮合；所述主变螺距螺杆通过联轴器与电机的输出轴固定连接；受电机驱动主变螺距螺杆旋转，带动传动齿轮同步反向旋转，使得两变螺距螺杆作等速反向旋转。
所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆分别包括吸气螺距区、压缩螺距区和排气螺距区，所述吸气螺距区与吸气口相配合，所述排气螺距区与出气口相配合，所述吸气螺距区的末端与排气螺距区的起始端之间通过压缩螺距区连接，吸气螺距区的起始端到压缩螺距区的终止端，其螺距逐渐变小；所述压缩螺距区的起始端到排气螺距区的尾端，其螺距逐渐变小。
所述压缩螺距区的螺距逐渐变小，压缩螺距区初始端的螺距与第一螺距区的螺距相同，所述压缩螺距区终止端的螺距与排气螺距区的螺距相同。
所述组合密封装置包括唇形密封件和机械密封件，所述唇形密封件和机械密封件依次设于变螺距转螺杆排气端轴端，所述唇形密封件用于隔断排气端的高温传入机械密封件和轴承内，所述唇形密封件和机械密封件之间设有干气密封件，所述干气密封件用于阻隔热量传递于机械密封件和轴承。
所述干气密封件包括干气输入通道，所述干气输入通道进气端与干气输入设备连接，所述干气输入通道出气端与壳体内腔连通。
所述出气口设有水冷消声器，用于降低噪音。
所述水冷消声器包括第一壳体，在所述第一壳体的端部连接有用于排除真空泵产生的压缩气体的第一出气口，在所述第一壳体下部侧面设置有连接真空泵排气口的第一吸气口接管，所述第一吸气口接管插入第一壳体内部；所述第一壳体内部通过隔板将第一壳体分隔成若干扩张室，在所述隔板上垂直设置有贯通若干扩张室的扩张器，通过扩张器和扩张室的截面变化衰减噪声。
在所述第一吸气口接管的端部位置沿圆周分布数圈数列小圆孔，气体经过小圆孔时随着气流频率的突然上升，达到降低噪声的目的。
所述扩张器由一插管及插管圆周面开设的小圆孔构成，贯通由隔板分隔的扩张室。
在所述第一壳体外设置水隔套，将第一壳体包裹在水隔套中，露出上下两端，同时在所述水隔套上分别设置进水口和出水口，其中进水口设置在下方，出水口设置在上方。
所述出气口设有空冷消声器，用于降低噪音。
所述空冷消声器包括圆柱形的第二壳体，在所述第二壳体的端部连接有用于排除真空泵产生的压缩气体的第二出气口，在所述第二壳体下部侧面设置有连接真空泵排气口的第二吸气口接管，将压缩气体引入消声器内，在所述圆柱形的第二壳体内部按一定间距交叉设有数块成迷宫状的折流板，所述的迷宫状折流板形成了从第二吸气口到第二出气口的气体通道，所述第二壳体底部开设排污口。
所述第二吸气口接管插入第二壳体内部，并且在第二吸气口接管的端部位置沿圆周分布数圈数列小圆孔，气体经过小圆孔时随着气流频率的突然上升，达到降低噪声的目的。
与现有技术相比，本发明的优点在于：一种干式无油密封螺杆真空泵，泵体内的主、从动螺杆由三段不等螺距的螺旋线构成，吸气段采用二圈大螺距螺杆，中间压缩段采用一圈渐变螺距螺杆，排气段采用三圈小螺距螺杆结构，有效降低螺杆真空泵排气端的压缩比，避免传统等距螺杆真空泵在排气端的局部过压缩，有效分配各段螺杆的压缩比、减少过压缩，从而可以大大降低泵的能耗，并且可以降低螺杆真空泵的排气温升。本申请对螺杆转子型线结构的改进大大提升了螺杆干式真空泵的抽气性能，进一步提高真空泵的可靠性、稳定性，使螺杆干式真空泵真正做到高效节能。另外，通过在变螺距螺杆轴端通过组合密封装置对其进行密封，干气密封可以完全隔离真空泵的润滑油进入真空泵吸气腔内，不仅避免了被抽气体被油污染，同时也可以避免被抽气体对真空泵润滑油的污染。采用干气密封的另一个好处是可以利用低温干气将密封件的摩擦热带走，使密封件的使用寿命大大延长。
附图说明
图1为本发明实施例一种干式无油密封螺杆真空泵的示意图；
图2为本发明实施例一种干式无油密封螺杆真空泵中变螺距转子的示意图；
图3为本发明实施例一种干式无油密封螺杆真空泵的组合密封装置的示意图；
图4为本发明实施例一种干式无油密封螺杆真空泵中干气分配器的管路示意图；
图5为本发明实施例一种干式无油密封螺杆真空泵的水冷消声器示意图；
图6为本发明实施例一种干式无油密封螺杆真空泵的空冷消声器示意图；
图中1泵体、2后端盖、3后轴承座、4唇形密封、5滚动轴承、6吸气口、7从变螺距螺杆、8主变螺距螺杆、9前端盖、10齿轮箱、11组合密封装置、11.1唇形密封件、11.2陶瓷轴套、11.3干气输入通道、11.4隔圈、11.5波纹管机械密封件、12前轴承座、13轴承、14传动斜齿轮、15联轴器、16电动机、17排气口、18空冷消声器、18.1第二壳体、18.2第二出气口、18.3第二吸气口接管、18.4排污口、18.5折流板、19水冷消声器、19.1第一壳体、19.2第一出气口、19.3第一吸气口接管、19.4隔板、19.5扩张室、19.6扩张器、19.7水隔套、19.8进水口、19.9出水口、a吸气螺距区、b压缩螺距区、c排气螺距区、20.1干气主管路、20.2过滤器、20.3截止阀、20.4减压阀、20.5电磁阀、20.6压力表、20.7压力变送器、20.8第一分支管路、20.9第二分支管路、20.10真空压力表、20.11转子流量计。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
如图1所示，本实施例中的一种干式无油密封螺杆真空泵，包括泵体1，泵体1的右端固定连接前端盖9，泵体1的左端固定连接后端盖2，泵体1与前端盖9、后端盖2之间形成一个密封的腔体，位于后端盖2的泵体1上设有吸气口6，位于前端盖9的泵体1上设有排气口17。泵体1内设有一对具有一定间隙的变螺距螺杆：主变螺距螺杆8和从变螺距螺杆7。前端盖9内固定设有前轴承座12，后端盖2内固定设有后轴承座3，两变螺距螺杆一端分别通过滚动轴承5固定于后轴承座3内，两变螺距螺杆另一端分别通过轴承13固定于前轴承座12内，泵体1与两变螺距螺杆相配合对气体进行压缩。主变螺距螺杆8和从变螺距螺杆7进气端轴端上分别设有唇形密封件11.1，对两螺杆进气端轴端进行密封。主变螺距螺杆8和从变螺距螺杆7排气端轴端的陶瓷轴套11.2上分别设有组合密封装置11，组合密封装置11设于前端盖9内，对两螺杆排气端轴端进行密封。前端盖9通过螺栓与齿轮箱10固定连接，齿轮箱10内设有两传动斜齿轮14，两传动斜齿轮分别固定于两变螺距螺杆上，固定于主变螺距螺杆上的传动斜齿轮为主传动斜齿轮，固定于从变螺距螺杆上的传动斜齿轮为从传动斜齿轮，且两传动斜齿轮相互啮合。主变螺距螺杆通过联轴器与电机的输出轴固定连接；主变螺距螺杆受电机的驱动旋转，带动主传动斜齿轮旋转，使得从传动斜齿轮同步反向旋转。通过一对同步传动斜齿轮的驱动使得两变螺距螺杆作等速反向旋转，不断吸入、压缩并排出被抽气体而形成高真空。
如图2所示，主变螺距螺杆8和从变螺距螺杆7分别包括吸气螺距区a、压缩螺距区b和排气螺距区c，吸气螺距区a与吸气口6使用相配合，排气螺距区c与排气口17使用相配合，吸气螺距区a的末端与排气螺距区c的起始端之间通过压缩螺距区b连接，吸气螺距区a的起始端到压缩螺距区b的终止端，其螺距逐渐变小；所述压缩螺距区b的起始端到排气螺距区c的尾端，其螺距逐渐变小。主变螺距螺杆8的外径与从变螺距螺杆7的外径之比为1：2.5.
压缩螺距区b是由多个不同的螺距组成的抛物线，压缩螺距区b螺距逐渐变小。压缩螺距区b初始端的螺距与吸气螺距区a的螺距相同，使得吸气螺距区a的终止端与压缩螺距区b初始端平滑连接，压缩螺距区b终止端的螺距与排气螺距区c的螺距相同，使得压缩螺距区b终止端与排气螺距区c的初始端平滑连接，避免了压力突变段。主变螺距螺杆8和从变螺距螺杆7由三段不等螺距的螺旋线构成。吸气段采用二圈大螺距螺杆，增加吸气段的抽气量；中间压缩段采用一圈渐变螺距螺杆，可以降低螺杆真空泵的噪声和振动，使螺杆真空泵运行平稳安静；排气段采用三圈小螺距螺杆结构，可以减小排气端的压缩比，进一步降低螺杆真空泵的功耗，有效降低螺杆泵的排气温升，使得螺杆泵达到更高的真空度且可以提高螺杆泵的排气背压。
如图3所示，组合密封装置11包括PTFE唇形密封件11.1和不锈钢波纹管机械密封件11.5，PTFE唇形密封件11.1和不锈钢波纹管机械密封件11.5依次设于主变螺距螺杆8和从变螺距螺杆7排气端轴端，唇形密封件11.1用于隔断排气端的高温传入机械密封件和轴承内。唇形密封件和机械密封件之间设有干气密封件，干气密封件不仅能够阻隔热量传递于机械密封件和轴承，而且可以对不锈钢波纹管机械密封件及PTFE唇形密封件起到冷却作用，大大延长了密封件的使用寿命。
如图4所示，上述干气密封件包括4个干气输入通道11.3，4个干气输入通道11.3进气端与干气分配器连接，4个干气输入通道11.3出气端与泵体1连通。干气分配器包括干气主管路20.1，干气主管路20.1进口端与干气发生器连接，干气主管路20.1上依次设有过滤器20.2、截止阀20.3、减压阀20.4、电磁阀20.5和压力变送器20.7，过滤器20.2用于过滤干气中的杂质，截止阀20.3为常开阀，只有在电磁阀失20.5效或需要更换电磁阀20.5时可以用截止阀20.3手动关闭干气主管路20.1，减压阀20.4用于控制输入的干气为恒流恒压状态，电磁阀20.5控制干气主管路20.1的开闭，压力变送器20.7用于观察干气主管路上的干气压力实时数据。干气主管路20.1出口端与两个第一分支管路20.8进口端连通，第一分支管路20.8上设有转子流量计20.11，用于提供干气的实时流量数据。第一分支管路20.8出口端分别与两第二分支管路20.9进口端连通，第二分支管路20.9出口端与干气输入通道11.3连通，第二分支管路20.9上设有截止阀和真空压力表20.10，真空压力表20.10用于实时提供每个干气输入通道11.3入口压力值，即在正常状态下，此处压力为正压数值，一旦干气密封失效了，表上显示为负压数值。
干气密封件的好处是廉价、无污染、可靠性好。干气属于惰性气体，在任何条件下都不会燃烧、爆炸，而且干气的制取成本低，对大气也不会产生污染。本申请采用干气密封可以完全隔离真空泵的润滑油进入真空泵吸气腔内，不仅避免了被抽气体被油污染，同时也可以避免被抽气体对真空泵润滑油的污染。采用干气密封的另一个好处是可以利用低温干气将密封件的摩擦热带走，使密封件的使用寿命大大延长。
如图1所示，在排气段的泵体1上设有消声器，进一步降低螺杆真空泵的噪声和振动。
如图5所示，消声器为水冷消声器19，水冷消声器19包括圆柱形的第一壳体19.1，在第一壳体19.1的端部连接有第一出气口19.2，用于排除螺杆真空泵产生的压缩气体，在第一壳体19.1下部侧面设置有连接螺杆真空泵排气口的第一吸气口接管19.3，将压缩气体引入消声器内，第一吸气口接管19.3插入第一壳体19.1内部，并且在第一吸气口接管19.3的端部位置沿圆周分布数圈数列小圆孔，气体经过小圆孔时随着气流频率的突然上升，达到降低噪声的目的。
第一壳体19.1内部通过两块隔板19.4将壳体分隔成三个扩张室19.5，在两块隔板19.4上垂直设置有扩张器19.6，扩张器19.6由一插管及插管圆周面开设的小圆孔构成，贯通三个扩张室19.5，扩张器19.6与吸气口接管19.3相互垂直布置，并且吸气口接管19.3开设小圆孔的部分位于扩张器19.6的下端口位置，由螺杆真空泵排出的低频气流通第一过吸气口接管进入第一个扩张室，第一个扩张室内气流沿扩张器向上运动，由于扩张器表面小圆孔的存在，部分气流排出到第二个扩张室中，然后通过扩张器排出到第三个扩张室，最后由第一出气口排出，在此过程中主要是利用声波在多孔性吸声材料或吸声结构中传播，因摩擦将声能转化为热能而散发掉，使沿管道传播的噪声随距离而衰减，从而达到消声目的的消声器，在内壁或通道空间安装吸声材料或吸声结构，以吸收声波能量。
如图6所示，消声器为空冷消声器18；空冷消声器包括圆柱形的第二壳体18.1，在第二壳体18.1的端部连接有第二出气口18.2，用于排除螺杆真空泵产生的压缩气体，在第二壳体18.1下部侧面设置有连接螺杆真空泵排气口的第二吸气口接管18.3，将压缩气体引入消声器内，第二吸气口接管18.3插入第二壳体18.1内部，并且在第二吸气口接管18.3的端部位置沿圆周分布数圈数列小圆孔，气体经过小圆孔时随着气流频率的突然上升，达到降低噪声的目的。同时在第二壳体18.1底部开设排污口18.4，由于消声器整体呈垂直布置，利于可凝物的排放。
在圆柱形的第二壳体18.1内部按一定间距交叉设有数块成迷宫状的折流板18.5，迷宫状折流板18.5形成了从第二吸气口到第二出气口的气体通道。
上述结构使气流在消声器内部进行迷宫回流，从而对气流的撞击力起到有效的遏制作用，从而有效降低螺杆真空泵的噪声。
应用在高压环境下的螺杆真空泵，不仅噪声大，而且产生的压缩气体温度也很高，为此在第一壳体外设置水隔套19.7，将第一壳体包裹在水隔套19.7中，只露出上下两端，同时在水隔套19.7上分别设置进水口19.8和出水口19.9，其中进水口19.8设置在下方，出水口19.9设置在上方，可以减缓水流速度，提高冷却时间。增加水隔套19.7不仅可以缓减部分噪声，而且可以对壳体19.1内的压缩空气进行降温。
另外，在泵体1外壳四周、前端盖9和后端盖2内均设置了冷却水隔套，对压缩气体产生的压缩热量进行冷却。
本申请泵体内的主、从变螺距螺杆由三段不等螺距的螺旋线构成，吸气段采用二圈大螺距螺杆，中间压缩段采用一圈渐变螺距螺杆，排气段采用三圈小螺距螺杆结构，这种结构布局可以有效降低螺杆真空泵排气端的压缩比，避免传统等距螺杆真空泵在排气端的局部过压缩，有效分配各段螺杆的压缩比、减少过压缩，从而可以大大降低泵的能耗，并且可以降低螺杆真空泵的排气温升。本申请对螺杆转子型线结构的改进大大提升了螺杆干式真空泵的抽气性能，进一步提高真空泵的可靠性、稳定性，使螺杆干式真空泵真正做到高效节能。
除上述实施例外，本发明还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：包括泵体，所述泵体的右端固定连接前端盖，所述泵体的左端固定连接后端盖，所述泵体与前端盖和后端盖构成一个密封的腔体，位于所述后端盖的泵体上设有吸气口，位于所述前端盖的泵体上设有排气口；所述腔体内设有一对具有一定间隙的变螺距螺杆：主变螺距螺杆和从变螺距螺杆；所述前端盖内固定设有前轴承座，所述后端盖内固定设有后轴承座，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆两端分别通过轴承固定于前轴承座和后轴承座内，所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆排气端轴端上分别设有组合密封装置，所述组合密封装置设于前端盖内，对两变螺距螺杆排气端轴端进行密封；所述前端盖与齿轮箱固定连接，所述齿轮箱内设有两传动齿轮，两所述传动齿轮分别固定于变螺距螺杆上，且两所述传动齿轮相互啮合；所述主变螺距螺杆通过联轴器与电机的输出轴固定连接；受电机驱动主变螺距螺杆旋转，带动传动齿轮同步反向旋转，使得两变螺距螺杆作等速反向旋转。
2.根据权利要求1所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述主变螺距螺杆和从变螺距螺杆分别包括吸气螺距区、压缩螺距区和排气螺距区，所述吸气螺距区与吸气口相配合，所述排气螺距区与出气口相配合，所述吸气螺距区的末端与排气螺距区的起始端之间通过压缩螺距区连接，吸气螺距区的起始端到压缩螺距区的终止端，其螺距逐渐变小；所述压缩螺距区的起始端到排气螺距区的尾端，其螺距逐渐变小。
3.根据权利要求2所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述压缩螺距区的螺距逐渐变小，压缩螺距区初始端的螺距与第一螺距区的螺距相同，所述压缩螺距区终止端的螺距与排气螺距区的螺距相同。
4.根据权利要求1所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述组合密封装置包括唇形密封件和机械密封件，所述唇形密封件和机械密封件依次设于变螺距转螺杆排气端轴端，所述唇形密封件用于隔断排气端的高温传入机械密封件和轴承内，所述唇形密封件和机械密封件之间设有干气密封件，所述干气密封件用于阻隔热量传递于机械密封件和轴承。
5.根据权利要求4所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述干气密封件包括干气输入通道，所述干气输入通道进气端与干气输入设备连接，所述干气输入通道出气端与壳体内腔连通。
6.根据权利要求1所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述出气口设有水冷消声器，用于降低噪音。
7.根据权利要求6所述一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述水冷消声器包括第一壳体，在所述第一壳体的端部连接有用于排除真空泵产生的压缩气体的第一出气口，在所述第一壳体下部侧面设置有连接真空泵排气口的第一吸气口接管，所述第一吸气口接管插入第一壳体内部；所述第一壳体内部通过隔板将第一壳体分隔成若干扩张室，在所述隔板上垂直设置有贯通若干扩张室的扩张器，通过扩张器和扩张室的截面变化衰减噪声。
8.根据权利要求7所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：在所述第一吸气口接管的端部位置沿圆周分布数圈数列小圆孔，气体经过小圆孔时随着气流频率的突然上升，达到降低噪声的目的。
9.根据权利要求7所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述扩张器由一插管及插管圆周面开设的小圆孔构成，贯通由隔板分隔的扩张室。
10.根据权利要求7所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：在所述第一壳体外设置水隔套，将第一壳体包裹在水隔套中，露出上下两端，同时在所述水隔套上分别设置进水口和出水口，其中进水口设置在下方，出水口设置在上方。
11.根据权利要求1所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述出气口设有空冷消声器，用于降低噪音。
12.根据权利要求11所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述空冷消声器包括圆柱形的第二壳体，在所述第二壳体的端部连接有用于排除真空泵产生的压缩气体的第二出气口，在所述第二壳体下部侧面设置有连接真空泵排气口的第二吸气口接管，将压缩气体引入消声器内，在所述圆柱形的第二壳体内部按一定间距交叉设有数块成迷宫状的折流板，所述的迷宫状折流板形成了从第二吸气口到第二出气口的气体通道，所述第二壳体底部开设排污口。
13.根据权利要求7所述的一种干式无油密封螺杆真空泵，其特征在于：所述第二吸气口接管插入第二壳体内部，并且在第二吸气口接管的端部位置沿圆周分布数圈数列小圆孔，气体经过小圆孔时随着气流频率的突然上升，达到降低噪声的目的。
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CN116857191A (zh) * 2023-05-10 2023-10-10 上海汉钟精机股份有限公司 一种具有非接触式密封结构的水蒸气螺杆压缩机

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