CN111176060B - 波长转换模块、波长转换模块的制造方法以及投影装置 - Google Patents

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Abstract

一种波长转换模块、波长转换模块的制造方法以及投影装置。波长转换模块包括一基板、一阳极氧化层以及一波长转换层。阳极氧化层位于基板上，其中阳极氧化层具有一粗糙表面。阳极氧化层位于基板与波长转换层之间，且粗糙表面朝向波长转换层。一种具有上述波长转换模块的投影装置以及一种上述波长转换模块的制造方法亦被提出。本发明的波长转换模块具有良好的转换效率以及可靠度。本发明的投影装置具有良好的光学品质以及可靠度。本发明的波长转换模块的制造方法能形成具有良好的转换效率以及可靠度的波长转换模块。

Description

波长转换模块、波长转换模块的制造方法以及投影装置
技术领域
本发明是有关于一种光学模块、其制造方法以及包含上述光学模块的光学装置，且特别是有关于一种波长转换模块、波长转换模块的制造方法以及投影装置。
背景技术
近来以发光二极管(light-emitting diode,LED)和激光二极管(laser diode)等固态光源为主的投影装置渐渐在市场上占有一席之地。由于激光二极管具有高于约20％的发光效率，为了突破发光二极管的光源限制，因此渐渐发展了以激光光源激发荧光粉而产生投影机所需用的纯色光源。然而，一般而言，现有的投影装置的荧光粉轮是由荧光粉混合有机胶、无机胶、玻璃胶等制程，再透过涂布或贴合到反射基板的反射层上，其中反射层的反射效率往往会直接影响光波长转换效率以及亮度。
进一步而言，现有一种反射基板的制程可采用有机胶混合漫反射粒子，如氧化钛、氧化铝、硫酸钡等，经过印刷、喷涂与点胶等制程，将其涂布在基板上，再经由加热固化制程而得以形成。然而，此种反射层所含的有机胶存在着不耐高功率激光照射以及胶体易产生裂化质变等问题，而会影响采用此种反射基板的荧光粉轮的发光效率以及可靠度。
另一方面，现有一种反射基板的制程可采用无机胶或玻璃胶混合漫反射粒子，经由涂布基板以及高温固化(大于400℃)等制程，而得到耐高温的反射层。然而，此种反射基板的反射层的制程复杂，且其中的基板容易因为经过高温回火，而使其强度下降。此外，借由上述无机胶或玻璃胶所形成的反射层中易存在孔隙，而降低反射率，进而影响采用此种反射基板的荧光粉轮的发光效率以及可靠度。
“背景技术”段落只是用来帮助了解本发明内容，因此在“背景技术”段落所揭露的内容可能包含一些没有构成本领域技术人员所知道的已知技术。在“背景技术”段落所揭露的内容，不代表所述内容或者本发明一个或多个实施例所要解决的问题，在本发明申请前已被本领域技术人员所知晓或认知。
发明内容
本发明提供一种波长转换模块，具有良好的转换效率以及可靠度。
本发明提供一种投影装置，具有良好的光学品质以及可靠度。
本发明提供一种波长转换模块的制造方法，能形成具有良好的转换效率以及可靠度的波长转换模块。
本发明的其他目的和优点可以从本发明所揭露的技术特征中得到进一步的了解。
为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本发明的一实施例提出一种波长转换模块。波长转换模块包括一基板、一阳极氧化层以及一波长转换层。阳极氧化层位于基板上，其中阳极氧化层具有一粗糙表面。阳极氧化层位于基板与波长转换层之间，且粗糙表面朝向波长转换层。
为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本发明的一实施例提出一种投影装置。投影装置包括上述的波长转换模块、一激发光源、一光阀以及一投影镜头。激发光源用于发出一激发光束，其中激发光束传递至波长转换模块，并经由波长转换模块转换为一照明光束。光阀位于照明光束的传递路径上，且用于将照明光束转换成一影像光束。投影镜头位于影像光束的传递路径上，且用于将影像光束转换成一投影光束。
为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本发明的一实施例提出一种波长转换模块的形成方法，包括下列步骤。形成一阳极氧化层于一基板上，其中阳极氧化层具有一粗糙表面。形成一波长转换层于粗糙表面上，其中阳极氧化层位于基板与波长转换层之间，且粗糙表面朝向波长转换层。
基于上述，本发明的实施例至少具有以下其中一个优点或功效。在本发明的实施例中，波长转换模块可借由阳极氧化层的粗糙表面的配置，而可兼顾波长转换模块的反射率、耐热性以及可靠度。另一方面，在本发明的实施例中，投影装置采用了借由无胶化制程来形成其中反射层的波长转换模块，而可避免因有机胶材不耐高温而致的劣化或与烧毁的风险，进而可因此兼顾良好的光学品质以及可靠度。此外，本发明的实施例的波长转换模块的制造方法借由形成阳极氧化层的粗糙表面，而可使漫反射粒子嵌入其中，进而能使波长转换模块借由无胶化制程来制作反射层而能兼顾良好的可靠度以及转换效率。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。
附图说明
图1是本发明一实施例的一种投影装置的架构示意图。
图2A是图1的一种波长转换模块的俯视示意图。
图2B是图2A的波长转换模块的剖视图。
图2C是图2B的波长转换模块的局部放大图。
图3是本发明一实施例的一种波长转换模块的制造方法的流程图。
图4A至图4B是本发明一实施例的不同阳极氧化层的俯视影像图。
图4C是本发明一实施例的另一种阳极氧化层的截面影像图。
图5是本发明的不同实施例与一比较例的波长转换模块对于不同波段范围的光的反射率的测试数据曲线图。
图6是本发明一实施例的另一种投影装置的架构示意图。
图7是本发明一实施例的波长转换模块的局部放大图。
具体实施方式
有关本发明之前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图之一较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明。
图1是本发明一实施例的一种投影装置的架构示意图。图2A是图1的一种波长转换模块的俯视示意图。图2B是图2A的波长转换模块的剖视图。图2C是图2B的波长转换模块的局部放大图。请参照图1至图2C，投影装置200包括一激发光源210、一分光单元220、一波长转换模块100、一光阀250以及一投影镜头260。举例而言，在本实施例中，光阀250例如为一数字微镜元件(digital micro-mirror device,DMD)或是一硅基液晶面板(liquid-crystal-on-silicon panel,LCOS panel)。然而，在其他实施例中，光阀250亦可以是穿透式液晶面板或其他光束调变器。
举例而言，如图1所示，在本实施例中，激发光源210用于发出一激发光束50。在本实施例中，激发光源210为激光光源，而激发光束50为蓝光激光光束。举例而言，激发光源210可包括多个排成阵列的蓝光激光二极管(未绘示)，但本发明不局限于此。
具体而言，如图1所示，在本实施例中，分光单元220配置于激发光束50的传递路径上，且位于激发光源210与波长转换模块100之间。具体而言，分光单元220可以是部分穿透部分反射元件、分色元件、偏振分光元件或其他各种可将光束分离的元件。举例而言，在本实施例中，分光单元220例如可让蓝色光束穿透，而对其他颜色(如红色、绿色、黄色等)的光束提供反射作用。也就是说，分光单元220可让蓝色的激发光束50穿透，如此一来，激发光束50可穿透分光单元220并入射至波长转换模块100。
如图1所示，在本实施例中，波长转换模块100位于激发光束50的传递路径上，并且，如图2A至图2B所示，在本实施例中，波长转换模块100包括至少一波长转换区WR以及光通过区TR。举例而言，如图1至图2B所示，波长转换模块100的至少一波长转换区WR用于将激发光束50转换为至少一波长转换光束60，波长转换模块100的光通过区TR用于使激发光束50通过而传递至后续光学元件。
更具体而言，如图2A至图2C所示，在本实施例中，波长转换模块100包括一基板110、一阳极氧化层130以及一波长转换层120。阳极氧化层130位于基板110上，且位于基板110与波长转换层120之间。阳极氧化层130不设置于光通过区TR。如图2A至图2C所示，在本实施例中，阳极氧化层130具有一粗糙表面R130，且粗糙表面R130朝向波长转换层120，而具有漫反射外界光线的功能。在本实施例中，基板110的材料可包括铝、镁或其化合物，阳极氧化层130的材料可包括氧化铝，但本发明不局限于此。举例而言，在本实施例中，阳极氧化层130的厚度介于20微米至100微米之间。应注意的是，此处的数值范围皆仅是作为例示说明之用，其并非用以限定本发明。
具体而言，如图2C所示，波长转换层120位于基板110上，且对应至少一波长转换区WR而设置，且包括一波长转换材料WM以及一结合材料BM，其中波长转换材料WM散布于结合材料BM中。更具体而言，如图2C所示，波长转换模块100还包括多个漫反射粒子RM，位于波长转换材料WM与基板110之间。这些漫反射粒子RM位于该阳极氧化层130与该波长转换层120之间，并嵌入于阳极氧化层130中。举例而言，在本实施例中，阳极氧化层130的粗糙表面R130上具有多个微孔CA，且这些漫反射粒子RM填入于阳极氧化层130的这些微孔CA中。举例而言，在本实施例中，粗糙表面R130的表面粗糙度(Ra)的范围介于2微米至20微米之间，且各上述的漫反射粒子RM之间的粒子粒径的尺寸介于10纳米至20微米之间。应注意的是，此处的数值范围皆仅是作为例示说明之用，其并非用以限定本发明。
如此，这些漫反射粒子RM亦会于阳极氧化层130上形成一漫反射面RS，且漫反射面RS朝向波长转换层120，而亦具有漫反射外界光线的功能。此外，在本实施例中，阳极氧化层130的粗糙表面R130的结构虽以具有多个微孔CA为例示，但本发明也不局限于此。在其他的实施例中，阳极氧化层130亦可为一具有多个间隙的多孔质结构，且这些漫反射粒子RM填入于多孔质结构的这些间隙中后，亦可于阳极氧化层130上形成一漫反射面RS，且漫反射面RS朝向波长转换层120。
另一方面，更详细而言，在本实施例中，这些漫反射粒子RM可借由一无机胶合材料来增加彼此之间的键结以及增加与阳极氧化层130之间的键结。无机胶合材料例如为一键结胶，此种无机胶合材料用量不需太多即可达到键结效果，且其作用为增加漫反射粒子RM间的键结以及漫反射粒子RM与阳极氧化层130之间的键结，以使漫反射粒子RM不容易脱落，但本发明不局限于此。在其他的实施例中，也可不加入无机胶合材料。如此一来，波长转换模块100即可借由无胶化制程形成由阳极氧化层130与漫反射粒子RM所构的反射层RL。
如此，如图1与图2C所示，在本实施例中，当激发光束50被传递至波长转换模块100时，将会在经过波长转换层120后，被阳极氧化层130与漫反射粒子RM所反射，而使波长转换模块100具有良好的反射率。并且，在本实施例中，由于波长转换模块100是借由阳极氧化层130的配置而得以采用无胶化制程来形成漫反射粒子RM所构成的漫反射面RS，因而可避免因有机胶材不耐高温而致的劣化或与烧毁的风险，进而可因此兼顾良好的光学品质以及可靠度。换言之，在本实施例中，波长转换模块100可借由阳极氧化层130的配置，而可兼顾波长转换模块100的反射率、耐热性、可靠度。
另一方面，如图2A至图2B所示，在本实施例中，波长转换模块100的基板110具有一镂空区域(未标号)，对应光通过区TR的区域而配置，且波长转换模块100还包括一散光片140，对应光通过区TR以及基板110的镂空区域(未标号)而配置。也就是说，在本实施例中，波长转换模块100为穿透式波长转换模块100，而光通过区TR用于使激发光束50穿透。
如此，请再次参照图1以及图2A至图2B，在本实施例中，波长转换模块100还包括一第一驱动装置MR，用于使光通过区TR与至少一波长转换区WR在不同时间中进入激发光束50的照射范围内，而选择性地使所述激发光束50通过或被转换为至少一波长转换光束60。如图1所示，在本实施例中，当波长转换模块100的光通过区TR进入激发光束50的照射范围时，激发光束50会穿透波长转换模块100，再经由光传递模块LT传递至滤光模块230上。另一方面，在本实施例中，当至少一波长转换区WR进入激发光束50的照射范围时，激发光束50被至少一波长转换区WR转换为至少一波长转换光束60。之后，如图1所示，来自波长转换模块100的至少一波长转换光束60则可被导引至分光单元220，而被反射至后续的滤光模块230上。
具体而言，如图1所示，投影装置200还包括上述滤光模块230，滤光模块230位于激发光束50与波长转换光束60的传递路径上，并具有滤光区(未绘示)与透光区(未绘示)。滤光模块230还包括一第二驱动装置(未绘示)，用于使滤光区(未绘示)在不同时间中对应地进入波长转换光束60的照射范围内，以例如分别形成红色色光与绿色色光。另一方面，透光区(未绘示)在不同时间中亦会对应地进入被传递至滤光模块230的激发光束50的照射范围内，以形成蓝色色光。如此，即可使激发光束50与波长转换光束60依时序地被转换成具有多种不同颜色的照明光束70。
另一方面，如图1所示，在本实施例中，投影装置200还包括一光均匀化元件240，位于照明光束70的传递路径上。在本实施例中，光均匀化元件240包括一积分柱，但本发明不局限于此。更详细而言，如图1所示，当照明光束70经由照明系统传递至光均匀化元件240时，光均匀化元件240可使照明光束70均匀化，并使其传递至光阀250。
接着，如图1所示，光阀250位于照明光束70的传递路径上，且用于将照明光束70转换成一影像光束80。投影镜头260位于影像光束80的传递路径上且用于将影像光束80转换成一投影光束90，以将影像光束80投影至一屏幕(未绘示)上，以形成影像画面。由于照明光束70会聚在光阀250上后，光阀250依序将照明光束70转换成不同颜色的影像光束80传递至投影镜头260，因此，光阀250所转换出的影像光束80所被投影出的影像画面便能够成为彩色画面。
图3是本发明一实施例的一种波长转换模块的制造方法的流程图。图4A至图4B是本发明一实施例的不同阳极氧化层的俯视影像图。图4C是本发明一实施例的另一种阳极氧化层的截面影像图。请参照图3，首先，执行步骤S110，提供一基板110。接着，执行步骤S120，于基板110上形成一阳极氧化层130。举例而言，于基板110上形成粗糙表面R130的方法包括微弧氧化制程、等离子电解氧化制程或阳极氧化制程，且借此形成的阳极氧化层130具有一粗糙表面R130。
举例而言，以等离子电解氧化制程为例，执行步骤S120的方法可为将基板110置于电解液中，先施加低电压以形成一层基底的阳极氧化层，再使电压增强，通过强大电压使基底的阳极氧化层表面产生高压电弧火花而改变表层结构而形成如图4A所示的阳极氧化层130及其粗糙表面R130。另一方面，以微弧氧化制程为例，执行步骤S120的方法则是与等离子电解氧化制程类似，同样有低电压至高电压的变化，但其是利用弧光放电增强并启动在阳极上发生的反应，从而在基板110上形成如图4B所示的具有优质强化陶瓷膜结构的阳极氧化层130及其粗糙表面R130。如图4A与图4B所示，在本实施例中，粗糙表面R130上具有多个微孔CA。举例而言，粗糙表面R130的表面粗糙度(Ra)的范围介于2微米至20微米之间。应注意的是，此处的数值范围皆仅是作为例示说明之用，其并非用以限定本发明。
另一方面，前述阳极氧化层130的粗糙表面R130的结构虽以具有多个微孔CA为例示，但本发明也不局限于此。在其他的实施例中，阳极氧化层130亦可为一具有多个间隙的多孔质结构PS。举例而言，执行步骤S120的方法亦可为阳极氧化制程，当借由阳极氧化制程于基板110上形成阳极氧化层130时，须将基板110置于电解液中，再施以低电压，但不须如等离子电解氧化制程和微弧氧化制程般增强电压，此外，可透过选用合适的电解质配方以及控制电流密度，而使阳极氧化层130形成为如图4C所示的一具有多个间隙的多孔质结构PS，如此，亦可形成阳极氧化层130及其粗糙表面R130。具体而言，如图4C所示的多孔质结构PS的多个间隙各自形成一中空管状结构，换言之，多孔质结构PS具有多个中空管状结构。在理想状况下，多孔质结构PS的多个中空管状结构呈阵列排列，各中空管状结构笔直延伸，且各中空管状结构的截面为六边形。然而，在实际操作的情况下，多孔质结构PS的多个中空管状结构的排列可能不会如阵列般地整齐，各中空管状结构可能会延伸为歪斜的型态，亦可能形成中空管状的分支，且各中空管状结构的截面则可能形成接近圆形的形状。
接着，请参照图3，执行步骤S130，涂布混合于一分散液中的多个漫反射粒子RM于阳极氧化层130上，以使这些漫反射粒子RM嵌入于阳极氧化层130中。详细而言，在本实施例中，由于加入分散液所形成的流体状态有助于分散漫反射粒子RM，因此漫反射粒子RM能顺利嵌入阳极氧化层130中。之后，加热分散液与这些漫反射粒子RM，以去除分散液，进而使这些漫反射粒子RM于阳极氧化层130上形成一漫反射面RS。
接着，请参照图3，执行步骤S140，形成一波长转换层120于粗糙表面R130上，其中阳极氧化层130位于基板110与波长转换层120之间，且阳极氧化层130的粗糙表面R130以及漫反射面RS皆朝向波长转换层120。举例而言，在本实施例中，形成波长转换层120的方法包括将波长转换材料WM与结合材料BM形成混合物后，再涂布于基板110上。接着，再固化波长转换材料WM与结合材料BM。如此，即可形成图2A至图2C的波长转换模块100的结构。
以下内容将举出波长转换模块的一比较例与实施例的测试数据。然而，下文中所列举的数据资料并非用以限定本发明，任何所属领域中具有通常知识者在参照本发明之后，当可对其参数或设定作适当的更动，惟其仍应属于本发明的范畴内。
图5是本发明的不同实施例与一比较例的波长转换模块对于不同波段范围的光的反射率的测试数据曲线图。另一方面，下文中的表一所列举的临界电流强度的数据资料是指激发光源为形成能致使波长转换模块烧毁黑化的激发光束的所需电流强度，而表一的反射率的数据资料是指对波长为550纳米的光，波长转换模块所能反射的比率数值。请参照表一，具体而言，在一比较例中，波长转换模块100＇是借由有机胶合材料(如：硅胶)在具有一平整表面的基板上形成由漫反射粒子RM构成的反射层RL，其波长转换模块100＇的测试数据结果如表一的比较例的一列数据所示。另一方面，前述的波长转换模块100的测试数据结果如表一的各列数据所示。
〈表一〉
Figure BDA0001862021970000101
详细而言，如图5与表一所示，前述的波长转换模块100相较于比较例的波长转换模块100＇所能承受的临界电流强度有明显提升。并且，如图5与表一所示，前述的波长转换模块100所能达到的反射率亦与比较例的波长转换模块100＇类似。换言之，在前述的实施例中，波长转换模块100可借由基板110的阳极氧化层130以及漫反射粒子RM的配置，而可兼顾波长转换模块100的反射率、耐热性以及可靠度。
图6是本发明一实施例的另一种投影装置的架构示意图。请参照图6，在本实施例中，投影装置400采用的是波长转换模块100A，波长转换模块100A为反射式波长转换模块，且波长转换模块100A与波长转换模块100类似，差异仅在于波长转换模块100A的基板110A不具有波长转换模块100的光通过区TR，而在对应波长转换模块100的光通过区TR的位置设置反射区(未绘示)以反射激发光束50。
具体而言，如图6所示，在本实施例中，当波长转换模块100A的反射区进入激发光束50的照射范围时，激发光束50会被波长转换模块100A的反射区反射，接着来自波长转换模块100A的激发光束50则可被导引至分光单元220，分光单元220具有让激发光束50反射而让转换光束60穿透的区域，则激发光束50被反射至后续的滤光模块230上。另一方面，在本实施例中，当至少一波长转换区WR进入激发光束50的照射范围时，激发光束50被至少一波长转换区WR转换为至少一波长转换光束60。之后，如图6所示，来自波长转换模块100A的至少一波长转换光束60则可被导引至分光单元220，而被反射至后续的滤光模块230上。之后，滤光模块230的滤光区(未绘示)在不同时间中对应地进入波长转换光束60的照射范围内，以例如分别形成红色色光与绿色色光。另一方面，滤光模块230的透光区(未绘示)在不同时间中亦会对应地进入被传递至滤光模块230的激发光束50的照射范围内，以形成蓝色色光，并借此形成之后的照明光束70与影像光束80。
如此一来，投影装置400所采用的波长转换模块100A与图2C的波长转换模块100相似，而能达到相同的功能，因此投影装置400能达到与前述的投影装置200类似的效果与优点，在此就不再赘述。
图7是本发明一实施例的波长转换模块的局部放大图。图7的波长转换模块700与图2C的波长转换模块100类似，差异如下所述。请参照图7，在本实施例中，波长转换模块700不具有漫反射粒子，而是仅利用阳极氧化层上具有微孔CA的粗糙表面执行漫反射外界光线的功能。
如此，由于波长转换模块700亦可借由阳极氧化层130的配置来达到良好的反射率，并且也不需利用胶材再填充漫反射粒子RM，因此可避免因有机胶材不耐高温而致的劣化或与烧毁的风险，进而可因此兼顾良好的光学品质以及可靠度。换言之，在本实施例中，波长转换模块700亦可借由阳极氧化层130的配置，而可兼顾波长转换模块700的反射率、耐热性、可靠度，进而能达到与前述的波长转换模块100类似的效果与优点，在此就不再赘述。并且，当波长转换模块700应用至前述投影装置200、400时，亦能使投影装置400达到类似的效果与优点，在此就不再赘述。
综上所述，本发明的实施例至少具有以下其中一个优点或功效。在本发明的实施例中，波长转换模块可借由阳极氧化层的粗糙表面的配置，而可兼顾波长转换模块的反射率、耐热性以及可靠度。另一方面，在本发明的实施例中，投影装置采用了借由无胶化制程来形成其中反射层的波长转换模块，而可避免因有机胶材不耐高温而致的劣化或与烧毁的风险，进而可因此兼顾良好的光学品质以及可靠度。此外，本发明的实施例的波长转换模块的制造方法借由形成阳极氧化层的粗糙表面，而可使漫反射粒子嵌入其中，进而能使波长转换模块借由无胶化制程来制作反射层而能兼顾良好的可靠度以及转换效率。
惟以上所述者，仅为本发明之较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施之范围，即所有依本发明权利要求书及发明内容所作之简单的等效变化与修改，皆仍属本发明专利涵盖之范围内。另外本发明的任一实施例或权利要求不须达成本发明所揭露之全部目的或优点或特点。此外，摘要和发明名称仅是用来辅助专利文件检索之用，并非用来限制本发明之权利范围。此外，本说明书或权利要求书中提及的“第一”、“第二”等用语仅用以命名元件(element)的名称或区别不同实施例或范围，而并非用来限制元件数量上的上限或下限。
附图标记说明：
50：激发光束
60：波长转换光束
70：照明光束
80：影像光束
90：投影光束
100、100A、700：波长转换模块
110、110A：基板
120：波长转换层
130：阳极氧化层
140：散光片
200、400：投影装置
210：激发光源
220：分光单元
230：滤光模块
240：光均匀化元件
250：光阀
260：投影镜头
BM：结合材料
CA：微孔
LT：光传递模块
MR：第一驱动装置
PS：多孔质结构
R130：粗糙表面
RL：反射层
RM：漫反射粒子
RS：漫反射面
S110、S120、S130、S140：步骤
TR：光通过区
WM：波长转换材料
WR：波长转换区。

Claims (19)

1.一种波长转换模块，其特征在于，包括基板、阳极氧化层、波长转换层以及多个漫反射粒子，其中：
所述阳极氧化层位于所述基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面；
所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层；以及
所述多个漫反射粒子位于所述波长转换层与所述基板之间，其中所述多个漫反射粒子嵌入于所述阳极氧化层中，并于所述阳极氧化层上形成漫反射面，且所述漫反射面朝向所述波长转换层。
2.如权利要求第1项所述的波长转换模块，其特征在于，所述阳极氧化层具有多个微孔，且所述多个漫反射粒子填入于所述阳极氧化层的所述多个微孔中。
3.如权利要求第2项所述的波长转换模块，其特征在于，所述粗糙表面的表面粗糙度(Ra)的范围介于2微米至20微米之间。
4.如权利要求第1项所述的波长转换模块，其特征在于，所述阳极氧化层为具有多个间隙的多孔质结构，且所述多个漫反射粒子填入于所述多孔质结构的所述多个间隙中。
5.如权利要求第4项所述的波长转换模块，其特征在于，所述多孔质结构的所述多个间隙各自形成中空管状结构。
6.如权利要求第1项所述的波长转换模块，其特征在于，各所述漫反射粒子之间的粒子粒径的尺寸介于10纳米至20微米之间。
7.如权利要求第1项所述的波长转换模块，其特征在于，所述多个漫反射粒子借由无机胶合材料来增加彼此之间的键结以及增加与所述阳极氧化层之间的键结。
8.如权利要求第1项所述的波长转换模块，其特征在于，所述阳极氧化层的材料包括氧化铝。
9.如权利要求第1项所述的波长转换模块，其特征在于，所述基板的材料包括铝、镁或其化合物。
10.一种波长转换模块，其特征在于，包括基板、阳极氧化层以及波长转换层，其中：
所述阳极氧化层位于所述基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面；以及
所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层，其中，所述阳极氧化层的厚度介于20微米至100微米之间。
11.一种波长转换模块的制造方法，其特征在于，包括：
形成阳极氧化层于基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面；
涂布混合于分散液中的多个漫反射粒子于所述阳极氧化层上，以使所述多个漫反射粒子嵌入于所述阳极氧化层中；
加热所述分散液与所述多个漫反射粒子，于所述阳极氧化层上形成漫反射面；以及
形成波长转换层于所述粗糙表面上，其中所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层，其中所述漫反射面朝向所述波长转换层。
12.一种波长转换模块的制造方法，其特征在于，包括：
形成阳极氧化层于基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面，其中于所述基板上形成所述阳极氧化层的方法包括阳极氧化制程，且借此形成的所述阳极氧化层为一具有多个间隙的多孔质结构；以及
形成波长转换层于所述粗糙表面上，其中所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层。
13.一种波长转换模块的制造方法，其特征在于，包括：
形成阳极氧化层于基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面，其中于所述基板上形成所述阳极氧化层的方法包括等离子电解氧化制程或微弧氧化制程，且借此形成的所述阳极氧化层具有多个微孔；以及
形成波长转换层于所述粗糙表面上，其中所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层。
14.一种投影装置，其特征在于，包括波长转换模块、激发光源、光阀以及投影镜头，其中：
所述波长转换模块包括基板、阳极氧化层、波长转换层以及多个漫反射粒子，其中：
所述阳极氧化层位于所述基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面；
所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层；以及
所述多个漫反射粒子位于所述波长转换层与所述基板之间，其中所述多个漫反射粒子嵌入于所述阳极氧化层中，并于所述阳极氧化层上形成漫反射面，且所述漫反射面朝向所述波长转换层；
所述激发光源用于发出激发光束，其中所述激发光束传递至所述波长转换模块，并经由所述波长转换模块转换为照明光束；
所述光阀位于所述照明光束的传递路径上，且用于将所述照明光束转换成影像光束；以及
所述投影镜头位于所述影像光束的传递路径上，且用于将所述影像光束转换成投影光束。
15.如权利要求第14项所述的投影装置，其特征在于，所述阳极氧化层具有多个微孔，且所述多个漫反射粒子填入于所述阳极氧化层的所述多个微孔中。
16.如权利要求第15项所述的投影装置，其特征在于，所述粗糙表面的表面粗糙度(Ra)的范围介于2微米至20微米之间。
17.如权利要求第14项所述的投影装置，其特征在于，所述阳极氧化层为具有多个间隙的多孔质结构，且所述多个漫反射粒子填入于所述多孔质结构的所述多个间隙中。
18.如权利要求第17项所述的投影装置，其特征在于，所述多孔质结构的所述多个间隙各自形成中空管状结构。
19.一种投影装置，其特征在于，包括波长转换模块、激发光源、光阀以及投影镜头，其中：
所述波长转换模块包括基板、阳极氧化层以及波长转换层，其中：
所述阳极氧化层位于所述基板上，其中所述阳极氧化层具有粗糙表面，其中所述阳极氧化层的厚度介于20微米至100微米之间；以及
所述阳极氧化层位于所述基板与所述波长转换层之间，且所述粗糙表面朝向所述波长转换层；
所述激发光源用于发出激发光束，其中所述激发光束传递至所述波长转换模块，并经由所述波长转换模块转换为照明光束；
所述光阀位于所述照明光束的传递路径上，且用于将所述照明光束转换成影像光束；以及
所述投影镜头位于所述影像光束的传递路径上，且用于将所述影像光束转换成投影光束。
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