CN111100979A - X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法 - Google Patents

X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,包括:将待强化的阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上;通过激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束;脉冲激光束沿预设路径扫描阳极靶盘的表面;其中,预设路径的一个端点为阳极靶盘的中心,预设路径的另一个端点位于阳极靶盘的边沿,且预设路径两个端点之间连线的方向为阳极靶盘的径向。本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,在充分分析阳极靶盘与传统盘类零件在冲击响应上的不同,创造性地将激光冲击的扫描路径的端点设置在阳极靶盘的边沿处,位于径向上的扫描路径更为匹配裂纹的萌生机理,能够有效提高阳极靶盘的强度、硬度以及耐应力腐蚀等性能。

Description

X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法
技术领域
本发明涉及表面处理技术领域,尤其涉及一种X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法。
背景技术
阳极靶盘是X射线管中直接承载电子束轰击的核心器件,阳极靶盘的高温疲劳性能直接决定了X射线管的使用寿命,也制约着由X射线管作为辐射源的医疗器械的整机性能。
激光冲击强化作为新兴的表面处理工艺,其利用高能激光束加载金属表面,并通过诱导等离子体爆炸产生冲击波的力学效应使得金属表层产生垂直于材料表面的压应力。残余压应力会降低交变载荷中的拉应力水平,使平均应力水平下降并可以有效抑制裂纹的萌生和衍化,从而有效提高金属零部件的强度、硬度、耐磨性和耐应力腐蚀等性能。
将激光冲击强化技术应用至阳极靶盘上,有望提高阳极靶盘的高温疲劳性能和使用寿命。但是目前的阳极靶盘在应用激光冲击强化时仅仅进行单点冲击,冲击后的强化效果并不明显,不能完全满足阳极靶盘高温疲劳性能跃升的工况要求。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种改进的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,应用该激光冲击强化方法的阳极靶盘具有较佳的高温疲劳性能,使用寿命大幅提升。
本发明提供一种X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,用于强化X射线管中的阳极靶盘,所述方法包括:
将待强化的所述阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上;
通过所述激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束;
所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面;
其中,所述预设路径的一个端点为所述阳极靶盘的中心,所述预设路径的另一个端点位于所述阳极靶盘的边沿,且所述预设路径两个端点之间连线的方向为所述阳极靶盘的径向。
进一步地,所述预设路径的数量为多个,多个所述预设路径在所述阳极靶盘上呈辐射状分布;所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
进一步地,每相邻两个所述预设路径之间所对应形成的圆心角相等;所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿呈辐射状且等角度均匀分布的多个所述预设路径,逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
进一步地,以所述阳极靶盘的边沿为终点的方向为所述预设路径的正向;以所述阳极靶盘的边沿为起点的方向为所述预设路径的反向;所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径,以正向和反向交错进行的方式逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
进一步地,所述预设路径呈直线状,且所述预设路径的延伸方向为所述阳极靶盘的径向。
进一步地,所述预设路径呈锯齿状,所述预设路径以锯齿状分布沿所述阳极靶盘的径向延伸。
进一步地,所述预设路径呈波浪形,所述预设路径以波浪形分布沿所述阳极靶盘的径向延伸。
进一步地,所述脉冲激光束的能量为1至20J,且所述脉冲激光束的脉宽为1至1000ns。
进一步地,所述阳极靶盘包括基体,所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述基体的表面。
进一步地,所述阳极靶盘包括基体以及沉积于所述基体上的涂层,所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述涂层的表面。
本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,在充分分析阳极靶盘与传统盘类零件在冲击响应上的不同,创造性地将激光冲击的扫描路径的端点设置在阳极靶盘的边沿处,位于径向上的扫描路径更为匹配裂纹的萌生机理,能够有效提高阳极靶盘的强度、硬度以及耐应力腐蚀等性能。
附图说明
图1为本发明一个实施方式中X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法的流程示意图;
图2为激光冲击强化的原理示意图;
图3为本发明第一个实施方式中阳极靶盘上预设路径的示意图;
图4示意了目标零件在冲击后的残余应力分布;
图5为本发明第二个实施方式中阳极靶盘上预设路径的示意图;
图6为本发明第三个实施方式中阳极靶盘上预设路径的示意图;
图7为本发明第四个实施方式中阳极靶盘上预设路径的示意图;
图8为本发明第五个实施方式中阳极靶盘上预设路径的示意图。
主要元件符号说明
阳极靶盘 10
边沿 11
预设路径 20
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
需要说明的是,当组件被称为“装设于”另一个组件,它可以直接装设在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件,它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“或/及”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请一并参阅图1至图3,图1为本发明一个实施方式中X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法的流程示意图,图2为激光冲击强化的原理示意图,图3为本发明第一个实施方式中阳极靶盘10上预设路径20的示意图。
本发明提供一种X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,该方法用于冲击强化X射线管中的阳极靶盘10。本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法能够利用径向扫描的激光冲击路径抑制阳极靶盘10上的裂纹萌生。
下面简单介绍X射线管中的阳极靶盘10以及激光冲击强化技术。
X射线管主要通过加热阴极灯丝来产生热电子,利用热电子对阳极靶盘10的轰击来产生X射线。由于高压发生器的输出功率高达上百千瓦,再加上热电子只有不到1%的能量能够转化为X射线发出,余下的超过99%的能量将以热能的方式堆积在阳极靶盘10上。为了避免因阳极靶盘10过热而导致X射线源报废,往往通过旋转阳极靶盘10来增大阳极靶盘10的等效散热面积。阳极靶盘10的不断旋转,能够使得自身以不同的位置均匀承受X射线管热电子的轰击,从而提高散热能力。
阳极靶盘10的本身形状既可以采用盘状,也可以采用柱状等其他形状。为了增加阳极靶盘10的导热效率,阳极靶盘10的内部可设为中空,且相应填充有用于增加散热效果的材料。由于阳极靶盘10在承载电子束轰击时会集聚大量的热量,阳极靶盘10的工作温度一般在1200℃以上,甚至会达到1800℃。因此阳极靶盘10的材料优选铜、钻、镍、铁、铝等具有较佳传热性以及高熔点的合金材料。
激光冲击强化技术是利用激光诱导等离子体冲击波改善材料表面力学性能的表面处理方法。金属表面涂覆的吸收层在吸收高功率密度的激光能量后,会迅速气化蒸发并形成稠密的高温高压等离子体。等离子体在约束层限制下,爆炸性地形成作用于材料表面并向内部传播的高压冲击波。冲击波使材料表面发生塑性变形,形成密集、稳定的位错结构,获得较高的残余压应力,提高了材料抗疲劳寿命。激光冲击强化技术利用激光诱导等离子体冲击波,与传统表面处理方法相比,具有良好的柔性和快速敏捷的特点,以及明显的技术优势,如效果优越、可控性强和可适性好等优点。
但是现有的激光冲击强化技术在应用至阳极靶盘10上时,均采用单点冲击的方式,并未区分出传统的机械构件与X射线管中阳极靶盘10这种真空环境工作的特殊构件,将阳极靶盘10简单地作为盘状零件而直接进行激光冲击将导致冲击强化效果的弱化。
本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,包括:
步骤11:将待强化的所述阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上。
具体地,阳极靶盘10作为盘类零件,可以采用卡爪或者V形块的装夹方式定位在激光冲击强化处理设备的冲击工作台上;激光冲击强化设备可以采用固体脉冲激光器,也可以采用气体脉冲激光器或者光纤脉冲激光器。
步骤12:通过所述激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束。
具体地,本发明并不限制具体的加工参数,考虑到激光冲击脉冲激光束的功率过小会导致冲击效果较差,脉冲激光束的功率过大会导致冲击表面的烧蚀问题,因此激光束的脉冲能量优选采用3.89J、5.43J、8J等能量值。
考虑到过大的光斑直径将导致激光脉冲能量的分散,过小的光斑直径将导致脉冲加工次数的大幅增加,因此激光束的光斑直径大小优选采用5mm。
作为优选,在激光冲击之前,阳极靶盘10的表面可以设置铝箔、黑胶或者柔性介质等作为吸收层,以避免激光束直接冲击阳极靶盘的表面,造成阳极靶盘表面的烧蚀。
当然,本发明并不限制激光冲击在加工时的具体脉冲参数以及加工结构,只要该脉冲参数或者加工结构能够顺利实现脉冲激光束的加载,并完成激光冲击强化的加工过程即可。
步骤13:所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面;其中,所述预设路径两个端点中的一个位于所述阳极靶盘的边沿,且所述预设路径两个端点之间连线方向为所述阳极靶盘的径向。
具体地,预设路径20具有两个端点,预设路径20中的一个端点位于阳极靶盘10的边沿11处,此时预设路径20的两个端点之间的连线方向为阳极靶盘10的径向。
本实施方式中,预设路径20的数量仅有一条,预设路径20以直线的方式在自身的两个端点之间延伸(也即预设路径20上的所有扫描点均位于阳极靶盘10的径向上)。
可以理解,预设路径20的数量还可以为多条,预设路径20还可以以曲线或者折线的方向延伸,只要预设路径20在两个端点处的连线方向为阳极靶盘10的径向即可。
需要说明的是,预设路径20的一个端点位于边沿11处,而另一个端点的位置既可以位于阳极靶盘10的中心处,也可以位于阳极靶盘10中相对靠近中心的其他位置。
考虑到一般阳极靶盘10与灯丝(电子发射体)之间偏心设置以提高阳极靶盘10的散热效率,也即阳极靶盘10的盘面并非整体均需要承载电子束的轰击,预设路径20的端点一般不选择在阳极靶盘10的中心处,以缩小激光扫描的路径,减少不必要的加工时间。
当然,如果考虑到阳极靶盘10加工一致性的要求,预设路径20的其中一个端点也可以选择为阳极靶盘10的中心。
申请人在经过大量的研究与试验发现,阳极靶盘10在真空下的高速旋转所蔓延形成的裂纹往往沿径向延伸并且自阳极靶盘10的边沿处起始;阳极靶盘10的边沿处成为裂纹萌生的初始辐射源,而非目前常规理解的位于承载电子束轰击的部分阳极靶盘10的环形盘面上。
在传统机械领域中,高速旋转的盘类零件在环形盘面上承载外部冲击,直接的材料破坏点为冲击点。而X射线管的阳极靶盘10在电子束下的破坏效应不同,是因为电子束的轰击作用机理并未传统的物理实体冲击,电子束作为粒子束在产生特性辐射或者制动辐射效应时同时需要考虑材料应激振动。电子束在轰击至阳极靶盘10时,先在冲击点处下压材料并形成位于阳极靶盘10内部的冲击波,冲击点的材料回弹,同时冲击波传递至阳极靶盘10的边沿处将先带动材料压缩再反向返回并带动材料回弹。
由于电子束轰击处的材料处于高热状态,高热状态下的材料回弹所蔓延出的裂纹要远小于低热状态下的材料回弹所蔓延出的裂纹;同时真空环境所提供的阳极靶盘10的高速旋转环境,将直接将边沿处萌生的裂纹延伸至靶盘的中心。这就是虽然阳极靶盘10上承载电子束的轰击点并不位于边沿处,但是激光冲击强化需要以阳极靶盘10的边沿处作为端点的原因,也是阳极靶盘10与传统盘类零件在冲击响应上的区别。
申请人基于上述深刻的现象研究,将激光冲击的扫描路径的端点设在阳极靶盘的边沿处,以径向作为扫描路径的两个端点之间的延伸方向将有效抑制裂纹的萌生。
下面简要阐释下激光冲击抑制裂纹萌生的原因,请一并参阅图4,图4为激光冲击后的残余应力分布图。
图4中的横轴为距离,纵轴为残余应力值,图4示意了目标零件在冲击后的残余应力分布。激光冲击会在冲击点的核心处形成拉应力,在冲击点的边缘处形成压应力;由于残余压应力有助于“压紧”材料,对高周疲劳裂纹的抑制有明显的帮助,因此冲击点的边沿处就形成了强化。而通过多个激光冲击点(也即光斑)的连续加载,间隔分布或者搭接分布的多点激光冲击将使得目标零件的整个表面均得到残余压应力的分布,进而实现对裂纹萌生的抑制以及目标零件的强化作用。激光冲击的强化机理是被学界广泛认可,在此不作赘述。
本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,在充分分析阳极靶盘10与传统盘类零件在冲击响应上的不同,创造性地将激光冲击的扫描路径的端点设置在阳极靶盘10的边沿11处,位于径向上的扫描路径更为匹配裂纹的萌生机理,能够有效提高阳极靶盘10的强度、硬度以及耐应力腐蚀等性能。
在本发明的一个实施方式中,请一并参阅图5,图5为本发明第二个实施方式中阳极靶盘10上预设路径20的示意图。为了进一步提高阳极靶盘10的强化效果,本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法中的步骤13包括:
步骤131:所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
具体地,预设路径20的数量为多个,多个预设路径20呈辐射状的分布(也即环形分布),每个预设路径20的其中一个端点均位于边沿11上;相邻预设路径20之间的圆心角角度既可以相等,也可以不等。
此时,阳极靶盘10上的能够有更多的部位受到激光冲击强化的作用效果,整体的强化效果提升。
本实施方式中,预设路径20的数量为六个,且每一个预设路径20中与边沿11相背设置的端点位于同一个圆环上,也即预设路径20等长。可以理解,预设路径20的数量可以根据实际工况调整,每一个预设路径20的长度也可以不相等。
此时本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法包括:
步骤11:将待强化的所述阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上。
步骤12:通过所述激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束。
步骤131:所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面;其中,所述预设路径两个端点中的一个位于所述阳极靶盘的边沿,且所述预设路径两个端点之间连线方向为所述阳极靶盘的径向。
如此设置,阳极靶盘10能够承载更多的激光冲击强化作用,阳极靶盘10的强化效果提升。
进一步地,为了进一步强化阳极靶盘10的强化效果,本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法的步骤131还包括步骤1311。
步骤1311:所述脉冲激光束沿呈辐射状且等角度均匀分布的多个所述预设路径,逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
此时本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法包括:
步骤11:将待强化的所述阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上。
步骤12:通过所述激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束。
步骤1311:所述脉冲激光束沿呈辐射状且等角度均匀分布的多个所述预设路径,逐次扫描所述阳极靶盘的表面;其中,所述预设路径两个端点中的一个位于所述阳极靶盘的边沿,且所述预设路径两个端点之间连线方向为所述阳极靶盘的径向,每相邻两个所述预设路径之间所对应形成的圆心角相等。
此时每相邻两个预设路径20之间所对应形成的圆心角相等,预设路径20形成等间距的辐射状,能够保证冲击效果的一致性,提高激光冲击的强化效果。
当然,若不考虑冲击效果的一致性,呈辐射状的多个预设路径20之间形成的圆心角也可以不等。
在本发明的一个实施方式中,请一并参阅图6,图6为本发明第三个实施方式中阳极靶盘10上预设路径20的示意图。为了提高激光冲击在加工时的效率,定义自阳极靶盘10的边沿为终点的方向为预设路径20的正向,以所述阳极靶盘的边沿为起点的方向为预设路径20的反向,本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法在步骤131中还包括步骤1312。
步骤1312:所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径,以正向和反向交错进行的方式逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
此时本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法包括:
步骤11:将待强化的所述阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上。
步骤12:通过所述激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束。
步骤1312:所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径,以正向和反向交错进行的方式逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
脉冲激光束以正向和反向交错的方式进行加工,能够有利于减少激光加工头的空移行程,提高激光冲击的冲击效率。
在本发明的一个实施方式中,预设路径20呈直线状,且预设路径20的延伸方向即为阳极靶盘10的径向。此时预设路径20将使得激光加工头以直线运动,能够减少对激光加工头运动精度的要求,提高设备的适配范围,降低加工成本。
在本发明的一个实施方式中,请一并参阅图7,图7为本发明第四个实施方式中阳极靶盘10上预设路径20的示意图。预设路径20呈锯齿状,且预设路径20以锯齿状分布沿阳极靶盘10的径向延伸。此时预设路径20的锯齿状分布将使得激光加工的扫描路径以不规则的方式行进。由于裂纹的蔓延并非以理想的直线方式沿阳极靶盘10的径向延伸,因此在阳极靶盘10的盘面上设置不规则延伸的预设路径20,将增大激光冲击与裂纹之间的交互几率,提高激光冲击的效果。
在本发明的一个实施方式中,请一并参阅图8,图8为本发明第五个实施方式中阳极靶盘10上预设路径20的示意图。
预设路径20呈波浪形,且预设路径20以波浪形分布沿阳极靶盘10的径向延伸。此时预设路径20的波浪状分布将使得激光加工的扫描路径以不规则的方式行进。由于裂纹的蔓延并非以理想的直线方式沿阳极靶盘10的径向延伸,因此在阳极靶盘10的盘面上设置不规则延伸的预设路径20,将增大激光冲击与裂纹之间的交互几率,提高激光冲击的效果。同时波浪形分布特有的柔性分布的方式能够更好地提高对裂纹的压合效果。
在本发明的一个实施方式中,为了避免脉冲激光束具有过大的功率,脉冲激光束的能量优选为1至20J,且所述脉冲激光束的脉宽为1至1000ns。此时脉冲激光束的功率不会过高,能够有效避免在阳极靶盘10上产生烧蚀现象。
在本发明的一个实施方式中,阳极靶盘10包括基体,基体上未沉积有涂层,激光冲击将直接作用在基体上,步骤13还包括步骤132。
步骤132:所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述基体的表面。
作为优选,阳极靶盘10的材料优选铜、钻、镍、铁、铝这些具有较佳传热性以及高熔点的合金材料。
在本发明的一个实施方式中,阳极靶盘10包括基体以及沉积在基体上的涂层,步骤13还包括步骤133。
步骤133:所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述涂层的表面。
此时的涂层优选金属涂层,例如钨金属或者钨合金涂层。
本发明提供的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,在充分分析阳极靶盘10与传统盘类零件在冲击响应上的不同,创造性地将激光冲击的扫描路径的端点设置在阳极靶盘10的边沿11处,位于径向上的扫描路径更为匹配裂纹的萌生机理,能够有效提高阳极靶盘10的强度、硬度以及耐应力腐蚀等性能。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
本技术领域的普通技术人员应当认识到,以上的实施方式仅是用来说明本发明,而并非用作为对本发明的限定,只要在本发明的实质精神范围内,对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围内。

Claims (10)

1.一种X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,用于强化X射线管中的阳极靶盘,其特征在于,所述方法包括:
将待强化的所述阳极靶盘装夹于激光冲击强化处理设备上;
通过所述激光冲击强化处理设备发射脉冲激光束;
所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面;
其中,所述预设路径两个端点中的一个位于所述阳极靶盘的边沿,且所述预设路径两个端点之间连线方向为所述阳极靶盘的径向。
2.如权利要求1所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述预设路径的数量为多个,多个所述预设路径在所述阳极靶盘上呈辐射状分布;所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
3.如权利要求2所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,每相邻两个所述预设路径之间所对应形成的圆心角相等;所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿呈辐射状且等角度均匀分布的多个所述预设路径,逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
4.如权利要求2所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,以所述阳极靶盘的边沿为终点的方向为所述预设路径的正向;以所述阳极靶盘的边沿为起点的方向为所述预设路径的反向;所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径逐次扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿呈辐射状分布的多个所述预设路径,以正向和反向交错进行的方式逐次扫描所述阳极靶盘的表面。
5.如权利要求2所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述预设路径呈直线状,且所述预设路径的延伸方向为所述阳极靶盘的径向。
6.如权利要求2所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述预设路径呈锯齿状,所述预设路径以锯齿状分布沿所述阳极靶盘的径向延伸。
7.如权利要求2所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述预设路径呈波浪形,所述预设路径以波浪形分布沿所述阳极靶盘的径向延伸。
8.如权利要求1所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述脉冲激光束的能量为1至20J,且所述脉冲激光束的脉宽为1至1000ns。
9.如权利要求1所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述阳极靶盘包括基体,所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述基体的表面。
10.如权利要求1所述的X射线管阳极靶盘的激光冲击强化方法,其特征在于,所述阳极靶盘包括基体以及沉积于所述基体上的涂层,所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述阳极靶盘的表面的步骤包括:
所述脉冲激光束沿预设路径扫描所述涂层的表面。
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