CN111007665B - 一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法 - Google Patents
一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111007665B CN111007665B CN201911354273.5A CN201911354273A CN111007665B CN 111007665 B CN111007665 B CN 111007665B CN 201911354273 A CN201911354273 A CN 201911354273A CN 111007665 B CN111007665 B CN 111007665B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- seed layer
- circuit
- led lamp
- layer
- infrared led
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/011—Arrangements for interaction with the human body, e.g. for user immersion in virtual reality
- G06F3/013—Eye tracking input arrangements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
本发明提供了一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法，包括镜片基材、红外LED灯、连接线路、种子层和保护层，所述镜片基材上表面固定铺设有种子层，所述种子层上表面固定铺设有连接线路，所述连接线路端部的上表面与红外LED灯下端的引脚固定连接，所述连接线路中部的外表面与种子层的侧面均覆盖有保护层。本发明通过在镜片基材的上表面设置一层种子层，并将红外LED灯和连接线路通过种子层附着在镜片基材上，大幅度提升了红外LED灯、连接线路和镜片基材的连接强度，避免了红外LED灯和连接线路脱落，提高了使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及眼球追踪器技术领域，尤其涉及眼球追踪感测器的线路结构技术领域。
背景技术
眼球跟踪器是一种可以追踪用户眼球的活动并受其控制的技术，眼球跟踪器的工作原理是:眼球追踪器的采集模块放置在镜片上，用户戴上后，向用户发出不可见的红外光，然后利用两个内置照相机搜寻捕获用户眼球的"闪烁"以及眼网膜的反射，以达到追踪眼球的效果。
如图6所示，是现有技术中的一种眼球追踪器的线路结构，各个LED灯之间通过同一条直径较宽的线进行连接，该技术方案存在以下缺陷：线宽度过宽，用户佩戴后会影响用户视线，由于采用单线连接，日常使用时经常用手触摸，容易造成某一点发生断开之后整个眼球追踪器损坏；线的下表面直接与基材压合或粘接，不牢固，线的上表面容易被氧化腐蚀，使用寿命低。
发明内容
为克服现有技术中存在的线宽度过宽，用户佩戴后会影响用户视线，由于采用单线连接，日常使用时经常用手触摸，容易造成某一点发生断开之后整个眼球追踪器损坏；线的下表面直接与基材压合或粘接，不牢固，线的上表面容易被氧化腐蚀，使用寿命低的问题，本发明提供了一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法。
本发明通过以下技术方案实现上述目的：一种眼球追踪感测器的线路结构，包括镜片基材、红外LED灯、连接线路、种子层和保护层，所述镜片基材上表面固定铺设有种子层，所述种子层上表面固定铺设有连接线路，所述连接线路端部的上表面与红外LED灯下端的引脚固定连接，所述连接线路中部的外表面与种子层的侧面均覆盖有保护层。
在此基础上，所述连接线路为若干条交错的铜线组成的网状结构，单条铜线的宽度为0.1um-20um。
在此基础上，所述红外LED灯呈左右对称分布，所述连接线路沿着镜片基材的边缘圆周分布。
在此基础上，所述连接线路为方格形网状结构。
在此基础上，所述连接线路为放射形网状结构，发射中心为红外LED灯所在位置。
在此基础上，所述连接线路为发散的扇形网状结构，发散中心为红外LED灯所在位置。
在此基础上，一种眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，包括以下步骤：步骤一：利用真空磁控溅射机将金属原子溅射嵌入镜片基材的表面形成种子层；步骤二：在种子层上不需要进行铺设连接线路的地方铺设阻挡层；步骤三：在阻挡层之间的间隙内进行长铜，形成铜线；步骤四：去除阻挡层；步骤五：对镜片基材的表面进行纳米微蚀刻，直至铜线之间的种子层完全被蚀刻；步骤六：在留下的种子层和连接线路的外表面进行化锡处理，形成保护层。
在此基础上，所述步骤二中铺设阻挡层的具体步骤为：先配做一个遮光膜，遮光膜上开有与连接线路线路形状一致的透光孔，然后在种子层上表面涂覆一层光致抗蚀剂，将遮光膜放置在光致抗蚀剂上，接着利用紫外光透过透光孔对光致抗蚀剂进行曝光，曝光的区域发生化学反应，再然后进行显影去除曝光区域的光致抗蚀剂，此时种子层上不需要进行铺设连接线路的地方残留的光致抗蚀剂就形成了阻挡层。
在此基础上，所述步骤三中长铜的具体操作为：将镜片基材连上阴极，并将镜片基材上表面浸泡在充满铜离子的溶剂中，铜离子沉积在阻挡层之间，在种子层上方和阻挡层之间形成铜线。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明通过在镜片基材的上表面设置一层种子层，并将红外LED灯和连接线路通过种子层附着在镜片基材上，大幅度提升了红外LED灯、连接线路和镜片基材的连接强度，避免了红外LED灯和连接线路脱落，提高了使用寿命；
本发明通过在铜线外表面设置保护层，一方面防止了铜线被氧化和腐蚀，提高了使用寿命，另一方面减弱了了铜线对光的的反射和折射，提高了使用者人眼的观看感受；
本发明通过将连接线路设置成网状结构，眼球追踪器在使用过程中即使发生刮擦，网状结构部分遭受破坏仍能保持各个红外LED灯的导通，提高了眼球追踪器的使用寿命；
本发明通过将连接线路设置成网状结构，将单一的宽线路分割成若干条细线路，单条铜线0.1um-20um的线宽不会被人眼观测到，增强了人眼观看效果，提升了使用者的使用感受。
附图说明
图1是红外LED灯处的截面结构示意图；
图2是本发明的一种线路结构俯视示意图；
图3是本发明的第二种线路结俯视构示意图；
图4是本发明的第三种线路结构俯视示意图；
图5是本发明的加工过程示意图；
图6是现有技术中的眼球追踪感测器的线路结构；
图中：1、镜片基材，2、红外LED灯，3、连接线路，4、种子层，5、保护层，6、阻挡层。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1-5所示，本发明示意性的示出了一种眼球追踪感测器的线路结构，包括镜片基材1、红外LED灯2、连接线路3、种子层4和保护层5，所述镜片基材1上表面固定铺设有种子层4，所述种子层4上表面固定铺设有连接线路3，所述连接线路3端部的上表面与红外LED灯2下端的引脚固定连接，所述连接线路3中部的外表面与种子层4的侧面均覆盖有保护层5。
作为本发明的优选实施方式，所述镜片基材1为PI、PET、PMMA、PC、PPSU、PEI中的一种。
作为本发明的优选实施方式，所述保护层4为单一金属氧化物、混合金属氧化物、有机高分子材料中的一种或多种。
作为本发明的优选实施方式，所述连接线路3为若干条交错的铜线31组成的网状结构，单条铜线31的宽度为0.1um-20um。
作为本发明的优选实施方式，所述种子层4的厚度为0.01um～0.2um；种子层4由单一金属或多种复合金属构成；种子层4通过真空磁控溅射机加工实现，真空磁控溅射机中处于离子状态的惰性气体在磁场控制下将金属靶材金属原子溅射嵌入镜片基材1的表面，与镜片基材1表面融为一体，因而可以显著提高镜片基材1上红外LED灯2和连接线路3的附着强度。
作为本发明的优选实施方式，所述红外LED灯2呈左右对称分布，所述连接线路3沿着镜片基材1的边缘圆周分布。
如图2所示，优选的，所述连接线路3为方格形网状结构。
如图3所示，更为优选的，所述连接线路3为放射形网状结构，发射中心为红外LED灯2所在位置。
如图4所示，进一步优选的，所述连接线路3为发散的扇形网状结构，发散中心为红外LED灯2所在位置。
一种眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，如图5所示，包括以下步骤：步骤一：利用真空磁控溅射机将金属原子溅射嵌入镜片基材1的表面形成种子层4；
步骤二：在种子层4上不需要进行铺设连接线路3的地方铺设阻挡层6；具体为：先配做一个遮光膜，遮光膜上开有与连接线路3线路形状一致的透光孔，然后在种子层4上表面涂覆一层光致抗蚀剂，将遮光膜放置在光致抗蚀剂上，接着利用紫外光透过透光孔对光致抗蚀剂进行曝光，曝光的区域发生化学反应，再然后进行显影去除曝光区域的光致抗蚀剂，此时种子层4上不需要进行铺设连接线路3的地方残留的光致抗蚀剂就形成了阻挡层6；
步骤三：将镜片基材1连上阴极，并将镜片基材1上表面浸泡在充满铜离子的硫酸铜溶剂中，铜离子沉积在阻挡层6之间，在种子层4上方和阻挡层6之间形成铜线31；
步骤四：去除阻挡层6，采用剥膜液(氢氧化钠溶液)洗去阻挡层6；
步骤五：利用等离子蚀刻机对镜片基材1的表面进行纳米微蚀刻，直至相邻铜线31之间的种子层4完全被蚀刻；
步骤六：在留下的种子层4和连接线路3的外表面进行黑化处理，形成保护层5，过程为将镜片基材1放置在充满离子的溶液中对种子层4和连接线路3的外表面进行离子置换，形成黑化的保护层5。
本发明通过在镜片基材1的上表面设置一层种子层4，并将红外LED灯2和连接线路3通过种子层4附着在镜片基材1上，大幅度提升了红外LED灯2、连接线路3和镜片基材1的连接强度，避免了红外LED灯2和连接线路3脱落，提高了使用寿命；
本发明通过在铜线31外表面设置保护层5，一方面防止了铜线31被氧化和腐蚀，提高了使用寿命，另一方面减弱了了铜线31对光的的反射和折射，提高了使用者人眼的观看感受；
本发明通过将连接线路3设置成网状结构，眼球追踪器在使用过程中即使发生刮擦，网状结构部分遭受破坏仍能保持各个红外LED灯2的导通，提高了眼球追踪器的使用寿命；
本发明通过将连接线路3设置成网状结构，将单一的宽线路分割成若干条细线路，单条铜线0.1um-20um的线宽不会被人眼观测到，增强了人眼观看效果，提升了使用者的使用感受。
上述说明示出并描述了本发明的优选实施例，如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。
Claims (7)
1.一种眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：采用眼球追踪感测器的线路结构，所述眼球追踪感测器的线路结构包括镜片基材(1)、红外LED灯(2)、连接线路(3)、种子层(4)和保护层(5)，所述镜片基材(1)上表面固定铺设有种子层(4)，所述种子层(4)上表面固定铺设有连接线路(3)，所述连接线路(3)端部的上表面与红外LED灯(2)下端的引脚固定连接，所述连接线路(3)中部的外表面与种子层(4)的侧面均覆盖有保护层(5)，所述连接线路(3)为若干条交错的铜线(31)组成的网状结构，单条铜线(31)的宽度为0.1um-20um；
所述加工方法包括以下步骤：
步骤一：利用真空磁控溅射机将金属原子溅射嵌入镜片基材(1)的表面形成种子层(4)；
步骤二：在种子层(4)上不需要进行铺设连接线路(3)的地方铺设阻挡层(6)；
步骤三：在阻挡层(6)之间的间隙内进行长铜，形成铜线(31)；
步骤四：去除阻挡层(6)；
步骤五：对镜片基材(1)的表面进行纳米微蚀刻，直至铜线(31)之间的种子层(4)完全被蚀刻；
步骤六：在留下的种子层(4)和连接线路(3)的外表面进行黑化处理，形成保护层(5)。
2.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述红外LED灯(2)呈左右对称分布，所述连接线路(3)沿着镜片基材(1)的边缘圆周分布。
3.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述连接线路(3)为方格形网状结构。
4.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述连接线路(3)为放射形网状结构，发射中心为红外LED灯(2)所在位置。
5.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述连接线路(3)为发散的扇形网状结构，发散中心为红外LED灯(2)所在位置。
6.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于：所述步骤二中铺设阻挡层(6)的具体步骤为：先配做一个遮光膜，遮光膜上开有与连接线路(3)线路形状一致的透光孔，然后在种子层(4)上表面涂覆一层光致抗蚀剂，将遮光膜放置在光致抗蚀剂上，接着利用紫外光透过透光孔对光致抗蚀剂进行曝光，曝光的区域发生化学反应，再然后进行显影去除曝光区域的光致抗蚀剂，此时种子层(4)上不需要进行铺设连接线路(3)的地方残留的光致抗蚀剂就形成了阻挡层(6)。
7.根据权利要求1所述的眼球追踪感测器的线路结构的加工方法，其特征在于，所述步骤三中长铜的具体操作为：将镜片基材(1)连上阴极，并将镜片基材(1)上表面浸泡在充满铜离子的溶剂中，铜离子沉积在阻挡层(6)之间，在种子层(4)上方和阻挡层(6)之间形成铜线(31)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911354273.5A CN111007665B (zh) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911354273.5A CN111007665B (zh) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111007665A CN111007665A (zh) | 2020-04-14 |
| CN111007665B true CN111007665B (zh) | 2022-03-04 |
Family
ID=70117955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911354273.5A Active CN111007665B (zh) | 2019-12-25 | 2019-12-25 | 一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111007665B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114609777A (zh) * | 2022-04-07 | 2022-06-10 | 南昌虚拟现实研究院股份有限公司 | 异面导线结构的光学镜片及眼球追踪系统 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI445100B (zh) * | 2011-05-20 | 2014-07-11 | Subtron Technology Co Ltd | 封裝結構及其製作方法 |
| US8929589B2 (en) * | 2011-11-07 | 2015-01-06 | Eyefluence, Inc. | Systems and methods for high-resolution gaze tracking |
| US8962469B2 (en) * | 2012-02-16 | 2015-02-24 | Infineon Technologies Ag | Methods of stripping resist after metal deposition |
| CN105407648B (zh) * | 2014-09-16 | 2018-08-03 | 常州欣盛微结构电子有限公司 | 极细的金属线路的制造方法及其结构 |
| ES2939165T3 (es) * | 2016-04-29 | 2023-04-19 | Tobii Ab | Dispositivos portátiles con seguimiento ocular |
| CN106168855B (zh) * | 2016-07-01 | 2020-06-30 | 北京麦哲科技有限公司 | 一种便携式mr眼镜、手机和mr眼镜系统 |
-
2019
- 2019-12-25 CN CN201911354273.5A patent/CN111007665B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111007665A (zh) | 2020-04-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101326655B (zh) | 一种大面积有机二极管器件及其制造方法 | |
| CN111007665B (zh) | 一种眼球追踪感测器的线路结构及其加工方法 | |
| TW510060B (en) | Structure and fabrication process for an improved polymer light emitting diode | |
| EP2803084A1 (en) | Systems for assembling electronic devices with internal moisture-resistant coatings | |
| CN109886140A (zh) | 显示面板及其制作方法和显示装置 | |
| KR102127568B1 (ko) | 금속 섀도우 마스크 및 그 제조 방법 | |
| CN108055790A (zh) | 一种电路板及其制作方法和应用 | |
| CN103582285A (zh) | 一种ito导电膜汇流电极及其制作方法 | |
| WO2016040640A2 (en) | Electroconductive support, oled incorporating it, and manufacture of same | |
| CN106536783A (zh) | 反射片及其制造方法 | |
| TWI747117B (zh) | 一種眼球追蹤感測器的線路結構及其加工方法 | |
| CN105407648B (zh) | 极细的金属线路的制造方法及其结构 | |
| US20200091392A1 (en) | Electrode substrate for transparent light-emitting device display, and manufacturing method therefor | |
| CN211427305U (zh) | 一种眼球追踪感测器的多层线路结构 | |
| JP2017526982A (ja) | エレクトロクロミックデバイスのための導電性支持体、それを組み込んだエレクトロクロミックデバイス及びその製造 | |
| JP2005177508A (ja) | 電極構造体、その製造方法および使用 | |
| JP2015156270A (ja) | 透明電極パターンの形成方法 | |
| CN104600022A (zh) | 一种互连电路的制作方法 | |
| CN103011060A (zh) | 制备半球形微纳米透镜阵列的方法 | |
| US20200348775A1 (en) | Weathering-resistant transparent thin film | |
| CN113936844B (zh) | 透明导电电极及其制备方法、电子器件 | |
| US20190094681A1 (en) | Photoetching mask plate, manufacture method thereof, and photoetching method | |
| KR20100008490A (ko) | 패턴 구조물 제작 방법 및 그 방법으로 제작된 패턴 구조물 | |
| CN106711276A (zh) | 制造图案化导体的方法 | |
| US20210167316A1 (en) | Flexible organic light-emitting diode display panel and manufacturing method thereof, and intelligent wearable device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |