CN110998282A - 颗粒传感器和针对该颗粒传感器的运行方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),该颗粒传感器具有基体(110)、用于给流经所述基体(110)的第一表面(110a)的流体流(A1)中的颗粒充电的颗粒充电装置(120),其中,设置有用于感测关于电荷流的信息的至少一个传感器电极(140),该电荷流通过所述流体流(A1)中的带电颗粒引起,其中,所述至少一个传感器电极(140)布置在所述第一表面(110a)的区域中,其中,在所述颗粒充电装置(120)和所述传感器电极(140)之间至少局部地设置有屏蔽电极(150),其中,所述屏蔽电极(150)能够被加载以能预给定的电位。
Description
技术领域
本发明涉及一种颗粒传感器,该颗粒传感器具有基体和用于给流经基体的第一表面的流体流中的颗粒充电的颗粒充电装置。
本发明还涉及一种用于运行这种颗粒传感器的方法。
背景技术
由WO 2013/125181 A1已知一种用于使用在机动车中的颗粒传感器。已知的颗粒传感器具有复杂的层构造,该层构造具有呈较复杂的几何形状的多个单独层。
发明内容
因此,本发明的任务是,改善开始提到类型的颗粒传感器,使得所述颗粒传感器具有简单的构造,能成本有利地生产并且能够实现可靠的运行。
该任务通过根据权利要求1所述的颗粒传感器解决。颗粒传感器具有基体和用于给流经基体的第一表面的流体流中的颗粒充电的颗粒充电装置,其中,设置有用于感测关于电荷流的信息的至少一个传感器电极,该电荷流通过流体流中的带电颗粒引起,其中,所述至少一个传感器电极布置在第一表面的区域中,其中,在颗粒充电装置和传感器电极之间至少局部地设置有屏蔽电极,其中,屏蔽电极能够加载以能预给定的电位。
因此,根据本发明的颗粒传感器具有特别简单的和成本有利的构造,并且通过设置屏蔽电极有利地确保,减小另外的部件对传感器电极的干扰影响。这种干扰影响例如可以是从颗粒传感器的另外的部件至传感器电极的泄漏电流。在一些实施方式中,该泄漏电流等同于被屏蔽电极捕获或偏转,使得传感器电极的电位不被泄漏电流歪曲,由此能够实现颗粒传感器的敏感性的提升。
流体流例如可以是机动车的内燃机的排气流。颗粒例如可以是炭黑颗粒,所述炭黑颗粒例如在燃料燃烧的框架下通过内燃机产生。在优选的实施方式中,基体具有衬底元件或由衬底元件形成。特别优选地,基体由基本上平面的陶瓷衬底形成。基体例如可以具有基本上方形的基本形状,该基本形状具有宽度和长度,其中,高度尺寸关于宽度和长度而言相对较小。更优选地,第一表面是基体的外表面。
在一些实施方式中,颗粒充电装置可以具有优选布置在第一表面的区域中的高压电极以用于产生电晕放电并且具有关于高压电极的对应电极。
在一些实施方式中可提供的电晕放电能够实现在围绕高压电极的空间中的流体流或排气流中的颗粒或通常微粒、如气体的充电。由此,一方面颗粒直接在流经位于第一表面的区域中的、发生电晕放电的空间时带电。另一方面,颗粒通过气体流或排气流的带电微粒而带电,其中,气体流或排气流已经直接在流经高压电极的区域中的空间时带电。这整体上改善了充电的有效性。在优选的实施方式中,高压电极具有至少一个针状电极或尖端。替代于高压电极与对应电极,在另外的实施方式中也可以使用其他类型的颗粒充电装置。
在有利的实施方式中设置为,高压电极至少部分地、尤其直接地布置在基体的第一表面上,其中,对应电极至少部分地、尤其直接地布置在基体的第一表面上。在实施方式中,当高压电极和对应电极尤其完全地布置在基体的第一表面上时,得到特别小地建造的构型。
在这里,在一些实施方式中可以设置的相关电极在基体的第一表面上的“直接”布置理解为,相关电极具有与第一表面的基本上面式的接触区域或者以接触的方式覆盖该第一表面,例如以涂层的方式。
在优选的实施方式中设置为,可以使屏蔽电极加载以颗粒传感器的参考电位、尤其是接地电位,由此得到特别好的屏蔽作用。
在另外的优选实施方式中设置为,可以使屏蔽电极加载以一电位,该电位至少近似相应于传感器电极的电位(例如与传感器电极的电位偏差不超过5百分比)。由此同样有利地产生非常好的屏蔽作用。
在另外的优选实施方式中设置为,设置有用于给屏蔽电极加载以能预给定的电位的操控电路。
在另外的优选实施方式中设置为,操控电路具有至少一个主动构件、尤其是放大器,由此尤其当干扰影响、如高压供给的泄漏电流等等相对较大时也可以提供能预给定的电位。
在另外的优选实施方式中设置为,传感器电极完全地、尤其直接地布置在基体的第一表面上,其中,屏蔽电极尤其至少在第一表面内部完全包围传感器电极。换言之,传感器电极或屏蔽电极优选例如尤其也直接布置在基体的第一表面上,这能够例如借助筛网印刷方法实现有效的和成本有利的生产,该筛网印刷方法进一步提高关于颗粒传感器的设计自由度并且降低用于颗粒传感器的电子部件的成本。
在另外的优选实施方式中设置为,屏蔽电极的区域也布置在第一表面外部,并且屏蔽电极的这些区域至少部分地包围传感器电极。由此可以实现另外的屏蔽作用。
在另外的优选实施方式中设置为,传感器电极的至少一个区域在径向外部被电绝缘介质包围,其中,电绝缘介质在径向外部被屏蔽电极包围。由此实现特别可靠的屏蔽。
本发明的另一方面通过具有由彼此同心布置的两个管组成的保护管组件和至少一个根据本发明的颗粒传感器的传感器装置说明,其中,所述至少一个颗粒传感器这样布置在两个管的内管中,使得该颗粒传感器的第一表面基本上平行于内管的纵轴线地定向。
本发明的另一方面通过用于运行颗粒传感器的方法说明,该颗粒传感器具有基体、用于给流经基体的第一表面的流体流中的颗粒充电的颗粒充电装置,其中,设置有用于感测关于电荷流的信息的至少一个传感器电极,该电荷流通过流体流中的带电颗粒引起,其中,所述至少一个传感器电极布置在第一表面的区域中,其中,在颗粒充电装置和传感器电极之间至少局部地设置有屏蔽电极,其中,屏蔽电极被加载以能预给定的电位。
附图说明
本发明的其他特征、应用可能性和优点由下面对本发明的附图中示出的实施例的描述得出。在此,所有描述的或示出的特征本身或以任意的组合形成本发明的主题,而与它们在权利要求中的组合或它们的引用关系无关,以及与它们在说明书中的表述以及在附图中的显示无关。
在附图中:
图1示意性示出根据本发明的颗粒传感器的第一实施方式的侧视图,
图2A和2B分别示意性示出颗粒传感器在目标系统中的布置,
图3A和3B分别示意性示出没有屏蔽电极的示例性颗粒传感器的俯视图,
图4示意性示出根据实施方式的颗粒传感器的电路图的简图,
图5示意性示出根据另外的实施方式的颗粒传感器的俯视图,
图6示意性示出根据另外的实施方式的颗粒传感器的横截面,
图7示意性示出根据另外的实施方式的颗粒传感器的俯视图,和
图8示意性示出根据本发明的方法的实施方式的简化流程图。
具体实施方式
图1示意性示出根据本发明的颗粒传感器100的第一实施方式的侧视图。颗粒传感器100具有优选平面的基体110,该基体例如可以通过由不导电的材料、如陶瓷材料制成的衬底形成。在这里,基体110具有厚度d1,该厚度优选小于、尤其明显小于、例如以至少约80%小于沿着x轴延伸的长度L并且小于在图1中垂直于绘图平面延伸的宽度。
在基体110的第一表面110a、即基体110的图1上方的外表面上布置有颗粒充电装置120和传感器电极140。此外,在第一表面110a上也可以选择性地布置有在颗粒充电装置120和传感器电极140之间的陷阱电极130。
颗粒充电装置120设置成用于使颗粒P充电,所述颗粒可以位于流经基体110的第一表面110a的流体流A1中。为此,颗粒充电装置120例如具有高压电极122,该高压电极设置成用于产生电晕放电123。为此,高压电极122例如可以连接到未示出的高压电源上。可选地,颗粒充电装置120也可以具有高压电极122的对应电极或者说针对所述高压电极的对应电极,所述对应电极在这里以附图标记124标明并且同样有利地、尤其完全地或整面地布置在基体110的第一表面110a上。
可选的陷阱电极130设置成用于使流体流A1的带电微粒偏转,所述带电微粒在关于流体流A1的更上游例如已经借助于颗粒充电装置120产生。陷阱电极130例如可以与高压电极122施加同样的电位。在另外的实施方式中,陷阱电极也可以被施加以不同于高压电极122的电位。特别有利地,通过陷阱电极130可以使带电微粒、尤其是离子从流体流A1中偏转或者说“捕获”,从而这些带电微粒达不到更下游布置的可选的传感器电极140。也可以考虑以下实施方式,其中,不设置陷阱电极130,或者对应电极124或对应电极124的至少一个区域同时承担陷阱电极130的功能。
传感器电极140设置成用于感测关于电荷流的信息,该电荷流由流体流A1中的带电颗粒P’引起。在此,所述带电颗粒例如可以涉及已经在关于流体流A1的更上游借助于颗粒充电装置120或借助于通过所述颗粒充电装置产生的电晕放电123充电的颗粒P。优选地,尤其当例如前面已经描述的那样相对较轻的带电微粒、如离子通过陷阱电极130(和/或对应电极)而被偏转或捕获时,仅相对较重的带电颗粒朝着下游的方向达到传感器电极140。由此,传感器电极140能够以测量由在传感器电极140旁边流过的带电颗粒P’所引起的电荷感应的途径来确定流体流A1中的带电颗粒的浓度。
流体流A1例如可以是内燃机(未示出)的废气流。所述颗粒例如可以是炭黑颗粒,所述炭黑颗粒例如在燃料燃烧的框架下由内燃机产生。
根据本发明,在颗粒充电装置120和传感器电极140之间至少局部地设置有屏蔽电极150,其中,屏蔽电极150可以被加载以能预给定的电位。由此有利地确保,减少其他部件120、122、123、130对于传感器电极140的电干扰影响。这种干扰影响例如可以是从颗粒传感器的其他部件朝着传感器电极140的泄漏电流。在一些实施方式中,该泄漏电流等同于被屏蔽电极150捕获或偏转,使得传感器电极140的电位不被泄漏电流扭曲,由此能够实现颗粒传感器100的敏感性的提升。
在优选的实施方式中设置为,屏蔽电极150可以加载以颗粒传感器的参考电位、尤其是接地电位,由此得到特别好的屏蔽作用。为此,屏蔽电极150可以相应地与颗粒传感器100的具有接地电位的电路节点102连接,参见图1中的示意性示图。
在另外的优选实施方式中设置为,屏蔽电极150可以加载以一电位,该电位至少近似相应于传感器电极140的电位。由此同样有利地得出非常好的屏蔽作用。为此,屏蔽电极150可以相应地与具有传感器电极140的电位的电路节点(未在图1中示出)连接,或者必要时直接与传感器电极140连接。
图2A示意性示出根据图1的颗粒传感器100在目标系统Z中的布置,在这里该目标系统例如是机动车的内燃机的排气系。在这里,排气流动以附图标记A2标明。同样画出由彼此同心布置的两个管R1、R2组成的保护管组件,其中,颗粒传感器100这样布置在内管R1中,使得该颗粒传感器的第一表面110a基本上平行于内管R1的纵轴线LA走向。由于管R1、R2的不同长度和相对彼此的布置,通过文丘里效应产生涡旋(Sog),在该涡旋中排气流动A2引起从内管R1出来的、在图2中沿竖直方向向上的流体流动P1或A1。另外的箭头P2、P3、P4表明这种通过文丘里效应引起的流体流动穿过在两个管R1、R2之间的中间空间至保护管组件的周围环境的继续。总体上,通过在图2A中画出的布置引起,比较均匀地流过颗粒传感器100或该颗粒传感器沿着流体流动P1定向的第一表面110a,这能够实现位于流体流动A1、P1中的颗粒的有效感测。此外,颗粒传感器100被保护以防止与主要排气流A2的直接接触。因此,通过元件100、R1、R2有利地说明用于确定在排气A2中的颗粒浓度的传感器装置1000。
附图标记R2’表明外管R2和/或内管R1与参考电位、如接地电位的可选的电连接,使得相关的管或两个管可以有利地同时作为例如针对陷阱电极130(和/或高压电极122)的对应电极以用于其流体引导功能,参见图1。
在图2中,块状箭头P5象征着可选的新鲜气体供应、尤其是新鲜空气供应,在一些实施方式中可以期望所述新鲜气体供应,但在特别优选的实施方式中不设置所述新鲜气体供应。
图2B示意性示出排气管R和根据图2A的传感器装置1000在排气管R中的部件。由图2B尤其又可看出在保护管组件R1、R2(图2)内部的根据本发明的颗粒传感器100。颗粒传感器100在保护管组件中这样定向,使得该颗粒传感器的第一表面沿着x轴延伸,而排气A2在排气管R中的流动方向平行于y轴定向。
图3A示意性示出没有屏蔽电极的示例性颗粒传感器1000的俯视图。类似于根据图1的基体110,在衬底1110上布置有高压电极1130,该高压电极如有必要同时满足陷阱电极的功能。高压电极1130的电连接部以附图标记1130’标明。作为关于高压电极1130的对应电极的接地电极以附图标记1240标明,并且接地电极的电连接部以附图标记1240’标明。此外,在衬底1110的表面上设置有传感器电极1140,该传感器电极的电连接部以附图标记1400’标明。
参照箭头A1的排气从衬底或者说基体1110的后面部分(图3A中的左边)向前面流动、即在图3A中向右流动。因此,用于(基于电晕的)充电并且用于陷阱的区域、尤其是高压电极1130在上游安置在传感器电极1140的区域前面。如果所有电输入导线例如应布置在基体1110在图3A中左边的端部区域中,那么由于测量原理在一些实施方式中可以是非常敏感和易受干扰的传感器电极1140的连接导线1400’也在实施有高压的充电和陷阱区域1130旁边或下方经过。由此存在高压到连接导线1400’上的呈泄漏电流L1形式的过耦合的危险,这会歪曲传感器电极1140的信号并且降低敏感性。由于部件1130、1140’或1400’之间的电位差和相对较小的距离,在颗粒传感器1000的运行中不期望的泄漏电流L1可以从高压电极1130流动至传感器电极14400’或该传感器电极的电连接导线1400’,这对颗粒传感器1000的敏感性或精度产生不利影响。
图3B示意性示出没有屏蔽电极的另外的示例性颗粒传感器1000a的俯视图,在该颗粒传感器中各个电极的布置不同于根据图3A的变型方案。由于不存在根据本发明的屏蔽电极,又产生不期望的泄漏电流L2。
图4示意性示出根据实施方式的颗粒传感器100a的电路图。画出电路节点140’,该电路节点设置用于传感器电极140(图1)的电接触。电路节点140’与用于分析处理传感器电极140的信号的分析处理电路142电连接,该分析处理电路142例如可以具有放大电路。根据本发明的屏蔽电极150在这里通过基本上圆形的虚线表明,该虚线完全包围电路节点140’。由此,由高压电极的连接部122’出发的泄漏电流L3不能达到电路节点140’,即通过根据本发明的屏蔽电极150与该电路节点屏蔽开。泄漏电流L3同样流到屏蔽电极150中。
如前面已经描述的那样,在一些实施方式中,屏蔽电极150可以与颗粒传感器100a的参考电位、如接地电位连接。在这里,有利地设置有操控电路1500,该操控电路使屏蔽电极150加载以能预给定的电位。特别优选地,操控电路1500构造成用于使屏蔽电极150加载以一电位,该电位至少近似相应于传感器电极140或该传感器电极的电连接部140’的电位。为此,在这里使设置在操控电路1500中的放大器1502的输入端E与电路节点140’电连接,参照导线1502’。放大器1502能够有利地实现具有传感器电极或该传感器电极的电连接部140’的电位的屏蔽电极150的主动的、低欧姆的操控,由此得到特别好的屏蔽作用,这显著地提高了颗粒传感器100a的传感器敏感性和精度并且减小其易受干扰性。
图5示意性示出根据另外的实施方式的颗粒传感器100b的俯视图。在衬底110上又布置有传感器电极140。特别优选地,传感器电极140完全地、尤其直接地布置在基体或衬底110的第一表面110a上。屏蔽电极150a完全包围传感器电极140,其中,屏蔽电极150a同样布置在第一表面110a上。因此,屏蔽电极150a的这种变型方案也被称为2D(二维)屏蔽电极,因为所述屏蔽电极与要屏蔽的或者说要保护的传感器电极140位于同一平面中并且在该平面中包围该传感器电极。
特别有利地,在这里屏蔽电极150a也包围传感器电极140的连接导线140’,使得连接导线140’也受保护以防止泄漏电流的影响。类似于根据图4的实施方式100a,在根据图5的实施方式100b中也设置有操控电路1500,通过可选的连接导线1502’将传感器电极140的电位供应给该操控电路,并且该操控电路主动地操控屏蔽电极150a,例如用于使屏蔽电极150a加载以电位,该电位基本上相应于传感器电极140的电位。
在另外的实施方式中,也可以围绕高压电极122或该高压电极的电连接部122’设置或布置有保护电极160。
在优选的实施方式中,可以借助于筛网印刷技术、例如借助于平面筛网印刷技术、尤其是铂筛网印刷将前面提到的电极122、124、130、140、150中的一个或多个电极或这些电极的部分或所述电极的附属的连接导线制造在基体110的第一表面110a上。
图6示意性示出根据另外的实施方式的颗粒传感器100c的横截面。在这里,在第一表面110a的区域中布置有传感器电极140,该传感器电极嵌入到绝缘介质145中。换言之,传感器电极140径向向外、尤其沿周向方向完全由电绝缘介质145包围,并且电绝缘介质145在径向外部被屏蔽电极150b包围,使得有利地产生类似于用于传感器电极140的同轴导线的原理类似的电屏蔽结构。
在优选的实施方式中,在图6中画出的结构通过这里例如总共五个传导的或绝缘的筛网印刷层S1、S2、S3、S4、S5的交替的次序来实现。两个层S1、S5是传导的,例如在径向外边缘R’上相互连接并且显示为所描述的屏蔽电极150b,该屏蔽电极在这里也被称为三维(3D)屏蔽电极。
图7示意性示出根据另外的实施方式的颗粒传感器100d的俯视图。传感器电极140的基本上在基体110的长度区域B2内部延伸的区域141有利地通过根据图6的屏蔽电极150b包围,使得可靠地防止传感器电极140的区域141受泄漏电流的损害。在基体110的轴向端部区域B1、B3中,屏蔽电极150b的同轴结构可以至少局部地中断,使得能够实现传感器电极140的相应的端部区域140a、140b的电接触。例如可以在第一端部区域140a中设置面式的电极区段以用于探测带电微粒P’(图1),并且在第二端部区域140b中,电连接导线140’可以从屏蔽电极150b中伸出。
图8示意性示出根据本发明的方法的实施方式的简化流程图。在可选的第一步骤200中,获取传感器电极140的电位,并且在随后的步骤202中有利地在使用主动操控电路1500的情况下操控屏蔽电极150带有该电位。所述方法例如可以在根据图4的构型100a中使用。
根据本发明的颗粒传感器100、100a、100b、100c、100d由于屏蔽电极150、150a、150b是特别精确的并且难以受干扰并且例如可以作为用于轿车或商用车的内燃机的柴油颗粒过滤器的状态的车载监控(“OBD”)的传感器使用。所述概念既能够实现质量浓度(mg/m3或mg/mi)的确定也能够实现所获取颗粒P的数量浓度(颗粒/m3或颗粒/mi)的确定。所述传感器也可以用于监控汽油车辆中的颗粒过滤器的状态。也可以考虑用于确定颗粒浓度的传感器在其他应用(室内空气质量、(私人、工业)燃烧设施的排放)中的使用。测量原理基于炭黑颗粒P借助于在空气中的电晕放电123所进行的充电并且随后借助于电荷感应或者必要时通过所谓的“逃逸电流”原理来测量炭黑颗粒的电荷(或相应的电流)。该测量原理一方面具有非常高的敏感性(可以测量小的炭黑浓度),另一方面传感器信号具有高的“刷新速率”(每秒钟更多次测量)。后者允许原始测量信号与发动机运行点的关联,这导致数据分析处理的改善并且由此导致传感器精度的提升。
前面示例性描述的实施方式或其特征也可以在另外的有利实施方式中以不同于前面描述的相互的组合来使用。
特别有利地,根据本发明的颗粒传感器优选具有平面的陶瓷衬底,该陶瓷衬底形成基体110,并且在该陶瓷衬底的表面110a上布置有颗粒传感器的不同部件,如电极和相应的电输入导线或印制导线,这能够实现特别简单的生产。例如也可以将操控电路1500的部件至少部分地布置在表面110a上。
根据本发明的颗粒传感器可以特别简单地布置在保护管或保护管组件R1、R2中,参见图2A,并且因此暴露给均匀的流体流动A1、P1,这能够实现颗粒、尤其是炭黑颗粒的浓度的精确测量。此外,颗粒传感器的平面构造能够实现成本有利的生产和存放以及用于相应的目标系统Z(图2A)的小型建造的构型。在一些实施方式中,特别有利的是筛网印刷电极、尤其是铂筛网印刷电极必要时与平面的和/或从第一表面110a伸出的元件的组合的使用。
Claims (11)
1.颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),该颗粒传感器具有基体(110)、用于给流经所述基体(110)的第一表面(110a)的流体流(A1)中的颗粒(P)充电的颗粒充电装置(120),其中,设置有用于感测关于电荷流的信息的至少一个传感器电极(140),该电荷流通过所述流体流(A1)中的带电颗粒(P’)引起,其中,所述至少一个传感器电极(140)布置在所述第一表面(110a)的区域中,其中,在所述颗粒充电装置(120)和所述传感器电极(140)之间至少局部地设置有屏蔽电极(150),其中,所述屏蔽电极(150;150a;150b)能够被加载以能预给定的电位。
2.根据权利要求1所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述屏蔽电极(150;150a;150b)能够被加载以所述颗粒传感器的参考电位、尤其是接地电位。
3.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述屏蔽电极(150;150a;150b)能够被加载以一电位,该电位至少近似相应于所述传感器电极(140)的电位。
4.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,设置有用于给所述屏蔽电极(150;150a;150b)加载以能预给定的电位的操控电路(1500)。
5.根据权利要求4所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述操控电路(1500)具有至少一个主动构件、尤其是放大器(1502)。
6.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述传感器电极(140)完全地、尤其直接地布置在所述基体(110)的所述第一表面(110a)上,并且,其中,所述屏蔽电极(150a)至少在所述第一表面(110a)内部完全包围所述传感器电极(140)。
7.根据权利要求6所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述屏蔽电极(150a)的一些区域(151)也布置在所述第一表面(110a)外部,并且,其中,所述屏蔽电极(150a)的这些区域(151)至少部分地包围所述传感器电极(140)。
8.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述传感器电极(140)的至少一个区域(141)在径向外部被电绝缘介质(145)包围,并且,其中,所述电绝缘介质(145)在径向外部被所述屏蔽电极(150b)包围。
9.根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述第一表面(110a)是所述基体(110)的外表面。
10.传感器装置(1000),具有由彼此同心布置的两个管(R1、R2)组成的保护管组件和至少一个根据前述权利要求中至少一项所述的颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d),其中,所述至少一个颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d)布置在这两个管(R1、R2)的内管(R1)中,使得所述颗粒传感器的第一表面(110a)基本上平行于所述内管(R1)的纵轴线(LA)地定向。
11.用于运行颗粒传感器(100;100a;100b;100c;100d)的方法,该颗粒传感器具有基体(110)、用于给流经所述基体(110)的第一表面(110a)的流体流(A1)中的颗粒充电的颗粒充电装置(120),其中,设置有用于感测关于电荷流的信息的至少一个传感器电极(140),该电荷流通过所述流体流(A1)中的带电颗粒引起,其中,所述至少一个传感器电极(140)布置在所述第一表面(110a)的区域中,其中,在所述颗粒充电装置(120)和所述传感器电极(140)之间至少局部地设置有屏蔽电极(150),其中,所述屏蔽电极(150)被加载以能预给定的电位(202)。
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