CN110989334A - 一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置 - Google Patents
一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110989334A CN110989334A CN201911062697.4A CN201911062697A CN110989334A CN 110989334 A CN110989334 A CN 110989334A CN 201911062697 A CN201911062697 A CN 201911062697A CN 110989334 A CN110989334 A CN 110989334A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- servo driver
- controller
- axis
- control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000003062 neural network model Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 20
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 24
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 claims description 23
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 13
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B11/00—Automatic controllers
- G05B11/01—Automatic controllers electric
- G05B11/36—Automatic controllers electric with provision for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral, differential
- G05B11/42—Automatic controllers electric with provision for obtaining particular characteristics, e.g. proportional, integral, differential for obtaining a characteristic which is both proportional and time-dependent, e.g. P. I., P. I. D.
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明涉及一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，包括控制器、激光器，还包括伺服驱动器、智能控制器、振动传感器、功率计，振动传感器和功率计分别与智能控制器通讯连接，激光器与智能控制器通讯连接，智能控制器与控制器之间通过并行接口连接，控制器与伺服驱动之间通过总线连接。解决了激光切割晶圆控制系统中需手动整定PID参数，无法动态调节参数，对激光频率和电流实现动态调节的问题；通过智能控制器内置神经网络模型和算法实时整定PID参数和激光参数，将该技术应用于激光切割晶圆控制系统中，减少设备调试时间，提高了设备的控制精度；所述装置可提高现有激光切割晶圆设备控制精度。
Description
技术领域
本发明涉及激光切割晶圆控制技术领域，特别是一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，适用于激光切割晶圆和玻璃材料。
背景技术
目前激光切割晶圆控制系统的设计，其中大部分采取的手动设置伺服器PID参数和激光频率、电流参数，在切割的过程中无法动态调节参数，控制精度和切割效果完全依靠运行前的经验值来实现，无法满足晶圆切割中对控制精度的要求。切割参数需要做大量工艺试验才能得到，设备调试时间长。
发明专利专利201310047058.7涉及《一种基于视觉的全自动晶圆划片控制系统》，该系统包括机床设备、激光器、相机、运动控制卡、计算机、驱动器。该系统中伺服PID控制参数需要通过手动调试，调试设备时间长，没有将工程经验值转换成智能的控制模型，对PID参数进行动态调节。工艺参数虽然建立了对应的数据库，但需要手动调用参数，对激光电流和频率参数无法动态进行调节。
发明专利201810092650.1涉及《一种激光切割机控制系统》，该系统包括：机床床身、激光器、控制系统，该系统的伺服PID参数需要手动设置调试，无法动态调节，调试周期长，控制精度不高。
现有技术无法实现动态调节伺服PID参数和激光参数，难以达到理想的控制精度。
发明内容
本发明为了克服现有技术的缺点，拟采用控制参数动态调节装置来实现对伺服PID参数和激光参数的动态调节，提供一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，包括控制器、激光器，其特征在于，还包括伺服驱动器、智能控制器、振动传感器、功率计，振动传感器和功率计(通过RS232接口)分别与智能控制器通讯连接，激光器与智能控制器(通过RS232接口)通讯连接，智能控制器与控制器之间通过并行接口连接，控制器与伺服驱动之间通过总线连接；
所述控制器输出端依次设置有激光器、伺服驱动器，振动传感器和功率计输出端有智能控制器，智能控制器输出端设置有控制器，振动传感器和功率计将测量数据(激光功率，平台振动振幅信号)输入到智能控制器，智能控制器将计算分析后的数据输入到控制器，控制器将数据输出给激光器、伺服驱动器，实现实时修正控制参数；
激光器用于输出激光接受控制器的电流和频率信号，伺服驱动器用于控制平台各轴(即X轴、Y轴、Z轴和W轴)，控制器用于接收智能控制器信号控制激光器、伺服驱动器，振动传感器用于采集平台振动信号幅度，功率计用于测量激光功率，智能控制器用于接收功率计和振动传感器的测量信号以及完成模型建立参数输出。
具体地，所述伺服驱动器包括X轴伺服驱动器、Y轴伺服驱动器、Z轴伺服驱动器、W轴伺服驱动器，其中X轴、Y轴和Z轴构成三维立体坐标系，W轴为旋转轴，W和X轴Y轴平行，与Z轴垂直；X轴伺服驱动器用于接收控制信号控制X轴运动，Y轴伺服驱动器用于接收控制信号控制Y轴运动，Z轴伺服驱动器用于接收控制信号控制Z轴运动，W轴伺服驱动器用于接收控制信号控制W轴运动。
优选地，所述控制器采用DSP+FPGA实现，能够完成复杂的控制算法、运算速度高、寻址方式灵活和通信性能强大。
具体地，所述激光器控制电路中具有RS232接口，通过串口通信可以改变激光器的频率、电流等参数。
优选地，所述智能控制器内置神经网络模型，通过振动传感器和功率计输入信号后，经神经网络算法，智能控制器得出PID整定参数、激光频率和电流。
优选地，所述X轴伺服驱动器、Y轴伺服驱动器、Z轴伺服驱动器、W轴伺服驱动器控制处理50kHz,具有以太网通信接口。
具体地，所述神经网络模型和神经网络算法包括振动信号神经网络模型和振动信号神经网络算法：振动信号经过输入层之后经过加权值W1后输出层输出K值即比例参数值，振动信号经过输入层之后经过加权值W2后输出层输出I值即积分参数值，经过加权值W3后输出层输出D值即微分参数值。
具体地，所述神经网络模型和神经网络算法包括功率计信号神经网络模型和功率计信号神经网络算法：功率计信号经过输入层之后经过加权值W11后输出层输出激光频率值，功率计信号经过输入层之后经过加权值W21后输出层输出电流值。
本发明的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置有如下优点：
1.解决了激光切割晶圆控制系统中需手动整定PID参数，无法动态调节参数，对激光频率和电流实现动态调节的问题；
2.通过智能控制器内置神经网络模型和算法实时整定PID参数和激光参数，将该技术应用于激光切割晶圆控制系统中，减少设备调试时间，提高了设备的控制精度；
3.所述装置可提高现有激光切割晶圆设备控制精度，各轴定位精度能达到1um，对激光频率和电流动态调节后SD层切割质量更好。
附图说明
图1为实施例1的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置结构示意图；
图2为实施例2的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置结构示意图；
图3为智能控制器结构示意图；
图4为振动信号神经网络模型和振动信号神经网络算法结构示意图；
图5为功率计信号神经网络模型和功率计信号神经网络算法结构示意图。
其中，1-控制器、2-激光器、3-伺服驱动器、31-X轴伺服驱动器、32-Y轴伺服驱动器、33-Z轴伺服驱动器、34-W轴伺服驱动器、4-智能控制器、5-振动传感器、6-功率计；
11-RS485接口、12-RS485接口、13-参数输入缓存区、14-神经网络控制模型、15-参数输出缓存区、16-以太网接口、7-智能控制器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，多属于本发明保护的范围。
实施例1
如附图1所示，本发明的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，包括控制器、激光器，其特征在于，还包括伺服驱动器、智能控制器、振动传感器、功率计，振动传感器和功率计通过RS232接口分别与智能控制器通讯连接，激光器与智能控制器通过RS232接口通讯连接，智能控制器与控制器之间通过并行接口连接，控制器与伺服驱动之间通过总线连接；
所述控制器输出端依次设置有激光器、伺服驱动器，振动传感器和功率计输出端有智能控制器，智能控制器输出端设置有控制器，振动传感器和功率计将测量数据，包括激光功率、平台振动振幅信号输入到智能控制器，智能控制器将计算分析后的数据输入到控制器，控制器将数据输出给激光器、伺服驱动器，实现实时修正控制参数；
激光器用于输出激光接受控制器的电流和频率信号，伺服驱动器用于控制平台各轴(即X轴、Y轴、Z轴和W轴)，控制器用于接收智能控制器信号控制激光器、伺服驱动器，振动传感器用于采集平台振动信号幅度，功率计用于测量激光功率，智能控制器用于接收功率计和振动传感器的测量信号以及完成模型建立参数输出。
所述伺服驱动器包括X轴伺服驱动器、Y轴伺服驱动器、Z轴伺服驱动器、W轴伺服驱动器，其中X轴、Y轴和Z轴构成三维立体坐标系，W轴为旋转轴；X轴伺服驱动器用于接收控制信号控制X轴运动，Y轴伺服驱动器用于接收控制信号控制Y轴运动，Z轴伺服驱动器用于接收控制信号控制Z轴运动，W轴伺服驱动器用于接收控制信号控制W轴运动。
所述控制器采用DSP+FPGA实现，能够完成复杂的控制算法、运算速度高、寻址方式灵活和通信性能强大。
所述激光器控制电路中具有RS232接口，通过串口通信可以改变激光器的频率、电流等参数。
所述智能控制器内置神经网络模型，通过振动传感器和功率计输入信号后，经神经网络算法，智能控制器得出PID整定参数、激光频率和电流。所述X轴伺服驱动器、Y轴伺服驱动器、Z轴伺服驱动器、W轴伺服驱动器控制处理50kHz,具有以太网通信接口，即伺服驱动的处理响应速度为5OKHZ，以太网是驱动器的通讯接口。
所述神经网络模型和神经网络算法包括振动信号神经网络模型和振动信号神经网络算法：振动信号经过输入层之后经过加权值W1后输出层输出K值即比例参数值，振动信号经过输入层之后经过加权值W2后输出层输出I值即积分参数值，经过加权值W3后输出层输出D值即微分参数值。
所述神经网络模型和神经网络算法还包括功率计信号神经网络模型和功率计信号神经网络算法：功率计信号经过输入层之后经过加权值W11后输出层输出激光频率值，功率计信号经过输入层之后经过加权值W21后输出层输出电流值。
本实施例中，所述控制器输出端设置有激光器、X轴伺服驱动器、Y轴伺服驱动器、Z轴伺服驱动器、W轴伺服驱动器，控制器接受智能控制器中的数据，控制器通过串口通信将频率和电流发送到激光器，激光器接收到信号后对参数进行实时调节。
控制器通过以太网接口将PID参数发送到X轴伺服驱动器、Y轴伺服驱动器、Z轴伺服驱动器、W轴伺服驱动器，各轴伺服驱动接实时修改来自控制器中的PID参数。振动传感器将输入信号发送至智能控制器，功率计将输入信号发送至智能控制器，智能控制器建立了神经网络模型(包括振动信号神经网络模型和振动信号神经网络算法，功率计信号神经网络模型和功率计信号神经网络算法)对输入振动信号和功率信号进行分析和计算得到最优的PID参数值、激光频率和电流。智能控制器将参数发送至控制器中。智能控制器控制板上面有两个RS485接口，和一个RJ45以太网接口，内部输入缓存区将输入参数传入神经网络控制模型，模型内部经过计算后将参数存入输出缓存区，通过以太网接口将参数发送到控制器中，详细结构图3所示。
实施例2
如附图2所示，本实施例的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，如附图1所示，包括控制器、激光器、伺服驱动器、智能控制器、振动传感器、功率计，连接关系同实施例1，各部件功能也同实施例1。
所述控制器输出端设置有激光器、伺服驱动器，控制器接受智能控制器中的数据，控制器通过串口通信将频率和电流发送到激光器，激光器接收到信号后对参数进行实时调节。控制器通过以太网接口将PID参数发送到伺服驱动器、伺服驱动接实时修改来自控制器中的PID参数。振动传感器将输入信号发送至智能控制器，功率计将输入信号发送至智能控制器，智能控制器建立了神经网络模型(包括振动信号神经网络模型和振动信号神经网络算法，功率计信号神经网络模型和功率计信号神经网络算法)对输入振动信号和功率信号进行分析和计算得到最优的PID参数值、激光频率和电流。智能控制器将参数发送至控制器中。
Claims (8)
1.一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，包括控制器(1)、激光器(2)，其特征在于，还包括伺服驱动器(3)、智能控制器(7)、振动传感器(8)、功率计(9)，振动传感器和功率计分别与智能控制器通讯连接，激光器与智能控制器通讯连接，智能控制器与控制器之间通过并行接口连接，控制器与伺服驱动之间通过总线连接；
所述控制器(1)输出端依次设置有激光器(2)、伺服驱动器(3)，振动传感器(8)和功率计(9)输出端有智能控制器(7)，智能控制器(7)输出端设置有控制器(1)，振动传感器(8)和功率计(9)将测量数据输入到智能控制器(7)，智能控制器(7)将计算分析后的数据输入到控制器(1)，控制器(1)将数据输出给激光器(2)、伺服驱动器(3)，实现实时修正控制参数；
激光器(2)用于输出激光接受控制器的电流和频率信号，伺服驱动器(3)用于控制平台各轴，控制器(1)用于接收智能控制器信号控制激光器、伺服驱动器，振动传感器(8)用于采集平台振动信号幅度，功率计(9)用于测量激光功率，智能控制器(7)用于接收功率计和振动传感器的测量信号以及完成模型建立参数输出。
2.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于，所述伺服驱动器包括X轴伺服驱动器(3)、Y轴伺服驱动器(4)、Z轴伺服驱动器(5)、W轴伺服驱动器(6)，其中X轴、Y轴和Z轴构成三维立体坐标系，W轴为旋转轴；X轴伺服驱动器(3)用于接收控制信号控制X轴运动，Y轴伺服驱动器(4)用于接收控制信号控制Y轴运动，Z轴伺服驱动器(5)用于接收控制信号控制Z轴运动，W轴伺服驱动器(6)用于接收控制信号控制W轴运动。
3.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于所述控制器(1)采用DSP+FPGA实现，能够完成复杂的控制算法、运算速度高、寻址方式灵活和通信性能强大。
4.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于所述激光器(2)控制电路中具有RS232接口，通过串口通信可以改变激光器(2)的频率、电流等参数。
5.根据权利要求1所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于所述智能控制器(7)内置神经网络模型，通过振动传感器(8)和功率计(9)输入信号后，经神经网络算法，智能控制器(7)得出PID整定参数、激光频率和电流。
6.根据权利要求2所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于所述X轴伺服驱动器(3)、Y轴伺服驱动器(4)、Z轴伺服驱动器(5)、W轴伺服驱动器(6)控制处理50kHz,具有以太网通信接口。
7.根据权利要求5所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于所述神经网络模型和神经网络算法包括振动信号神经网络模型和神经网络算法：振动信号经过输入层之后经过加权值W1后输出层输出K值即比例参数值，振动信号经过输入层之后经过加权值W2后输出层输出I值即积分参数值，经过加权值W3后输出层输出D值即微分参数值。
8.根据权利要求5所述的一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置，其特征在于所述神经网络模型和神经网络算法包括功率计信号神经网络模型和神经网络算法：功率计信号经过输入层之后经过加权值W1后输出层输出激光频率值，功率计信号经过输入层之后经过加权值W2后输出层输出电流值。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911062697.4A CN110989334B (zh) | 2019-11-03 | 2019-11-03 | 一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911062697.4A CN110989334B (zh) | 2019-11-03 | 2019-11-03 | 一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110989334A true CN110989334A (zh) | 2020-04-10 |
| CN110989334A8 CN110989334A8 (zh) | 2020-07-07 |
| CN110989334B CN110989334B (zh) | 2023-07-14 |
Family
ID=70083058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201911062697.4A Active CN110989334B (zh) | 2019-11-03 | 2019-11-03 | 一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110989334B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112631124A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-09 | 苏州华光智控电子科技有限公司 | 一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统及其控制方法 |
Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2518278A1 (fr) * | 1981-12-15 | 1983-06-17 | Peiffert Jean | Procede et dispositif pour la commande du deplacement asservi d'un mobile, notamment d'un porte-outil de machine a generateur de plasma, a rayon laser ou analogue |
| CN101592938A (zh) * | 2009-06-30 | 2009-12-02 | 刘文祥 | 数控网络及其各种系统 |
| CN101630143A (zh) * | 2008-07-14 | 2010-01-20 | 深圳市华德激光技术有限公司 | 一种用于激光切割设备上的运动机构的控制方法 |
| CN102117053A (zh) * | 2010-12-20 | 2011-07-06 | 山西飞虹激光科技有限公司 | 激光切割机智能化计算机数控系统 |
| CN102905841A (zh) * | 2010-05-11 | 2013-01-30 | 普雷茨特两合公司 | 激光切割头以及用于借助于激光切割头切割工件的方法 |
| EP2585249A1 (en) * | 2010-06-28 | 2013-05-01 | Precitec KG | Method for closed-loop controlling a laser processing operation and laser material processing head using the same |
| US20140034614A1 (en) * | 2011-04-21 | 2014-02-06 | Adige S.P.A. | Methods for controlling laser cutting processes and laser cutting systems implementing same |
| CN106950915A (zh) * | 2016-01-06 | 2017-07-14 | 中江机电科技江苏有限公司 | 一种基于pmac的水切割机及其轨迹优化方法 |
| CN107052570A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-08-18 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光精密加工装置 |
| CN108620746A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-10-09 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种基于激光的路面切割装置 |
| US20190099833A1 (en) * | 2016-03-09 | 2019-04-04 | Spi Lasers Uk Limited | Apparatus and method for controlling laser processing of a material |
| CN109901383A (zh) * | 2019-03-01 | 2019-06-18 | 江苏理工学院 | 一种交流伺服电机驱动器控制方法 |
-
2019
- 2019-11-03 CN CN201911062697.4A patent/CN110989334B/zh active Active
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2518278A1 (fr) * | 1981-12-15 | 1983-06-17 | Peiffert Jean | Procede et dispositif pour la commande du deplacement asservi d'un mobile, notamment d'un porte-outil de machine a generateur de plasma, a rayon laser ou analogue |
| CN101630143A (zh) * | 2008-07-14 | 2010-01-20 | 深圳市华德激光技术有限公司 | 一种用于激光切割设备上的运动机构的控制方法 |
| CN101592938A (zh) * | 2009-06-30 | 2009-12-02 | 刘文祥 | 数控网络及其各种系统 |
| CN102905841A (zh) * | 2010-05-11 | 2013-01-30 | 普雷茨特两合公司 | 激光切割头以及用于借助于激光切割头切割工件的方法 |
| EP2585249A1 (en) * | 2010-06-28 | 2013-05-01 | Precitec KG | Method for closed-loop controlling a laser processing operation and laser material processing head using the same |
| CN102117053A (zh) * | 2010-12-20 | 2011-07-06 | 山西飞虹激光科技有限公司 | 激光切割机智能化计算机数控系统 |
| US20140034614A1 (en) * | 2011-04-21 | 2014-02-06 | Adige S.P.A. | Methods for controlling laser cutting processes and laser cutting systems implementing same |
| CN106950915A (zh) * | 2016-01-06 | 2017-07-14 | 中江机电科技江苏有限公司 | 一种基于pmac的水切割机及其轨迹优化方法 |
| US20190099833A1 (en) * | 2016-03-09 | 2019-04-04 | Spi Lasers Uk Limited | Apparatus and method for controlling laser processing of a material |
| CN107052570A (zh) * | 2017-01-03 | 2017-08-18 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种激光精密加工装置 |
| CN108620746A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-10-09 | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 | 一种基于激光的路面切割装置 |
| CN109901383A (zh) * | 2019-03-01 | 2019-06-18 | 江苏理工学院 | 一种交流伺服电机驱动器控制方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| CHAO-TON SU 等: "Parameter Optimization Design for Touch Panel Laser Cutting Process", 《IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATION SCIENCE AND ENGINEERING》 * |
| 徐路宁 等: "基于CMAC神经网络的激光切割加工工艺参数的选取", 《电加工与模具》 * |
| 王硕: "基于代理模型的激光切割工艺优化研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑》 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112631124A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-09 | 苏州华光智控电子科技有限公司 | 一种中低功率激光切割设备的高精度运动控制系统及其控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN110989334A8 (zh) | 2020-07-07 |
| CN110989334B (zh) | 2023-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102375431B (zh) | 具有机床的减速原因判别单元的刀具轨迹显示装置 | |
| CN207509260U (zh) | 一种柔性关节-柔性臂系统残余振动抑制的测试装置 | |
| CN107756448A (zh) | 一种柔性关节‑柔性臂系统残余振动抑制的测试装置及方法 | |
| CN108161991A (zh) | 一种基于力反馈的机器人装配自动寻孔方法 | |
| CN102768006B (zh) | 一种用于大曲率曲面零件法向自动测量和调整的方法 | |
| CN108733000B (zh) | 一种大幅面振镜加工系统及控制方法 | |
| CN108227636B (zh) | 基于云端负载均衡控制的激光雕刻机工作系统及方法 | |
| CN103713579B (zh) | 一种工业机器人作业方法 | |
| CN107471882B (zh) | 一种大体积工件雕刻的机器人加工控制系统 | |
| CN110989334B (zh) | 一种激光切割晶圆控制参数动态调节装置 | |
| CN111007804A (zh) | 一种切削加工机器人的动态误差补偿与控制方法 | |
| CN105783851A (zh) | 一种粗糙度检测系统及检测方法 | |
| CN109474222A (zh) | 基于陷波滤波器的变负载伺服系统振动抑制方法及系统 | |
| CN103488189A (zh) | 一种伺服电机控制方法 | |
| CN111422739A (zh) | 一种基于视觉技术的桥式起重机电子防摇方法 | |
| CN106873524A (zh) | 一种基于pc的数控机床全闭环控制系统 | |
| CN107972036B (zh) | 基于TensorFlow的工业机器人动力学控制系统及方法 | |
| CN107678276B (zh) | 一种基于转台控制的自适应复合控制方法 | |
| CN101361030B (zh) | 轴控制方法 | |
| CN104181467A (zh) | 一种便携式直线电机多轴联动测控系统 | |
| CN106154838A (zh) | 一种定位装置的残余振荡抑制方法及系统 | |
| CN112605997A (zh) | 一种用于机械臂的主动自适应力控装置及其控制方法 | |
| CN201502838U (zh) | 机床楔铁式垫铁安装调整自动控制装置 | |
| CN116533227A (zh) | 一种基于示教轨迹优化与修正的机器人打磨系统的打磨方法 | |
| TWI710748B (zh) | 輪廓精度量測系統及量測方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CI02 | Correction of invention patent application | ||
| CI02 | Correction of invention patent application |
Correction item: Applicant Correct: Wuhan Optical Valley Aerospace Sanjiang Laser Industry Technology Research Institute Co.,Ltd. False: Wuhan Optical Valley Aerospace Sanjiang laser industry technology research Co.,Ltd. Volume: 36 Correction item: Applicant Correct: Wuhan Optical Valley Aerospace Sanjiang Laser Industry Technology Research Institute Co.,Ltd. False: Wuhan Optical Valley Aerospace Sanjiang laser industry technology research Co.,Ltd. Number: 15-02 Page: The title page Volume: 36 |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |