CN110954144B - 光纤fp传感器的全光谱信号拟合解调方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及光纤传感技术领域，尤其涉及一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法及装置，该方法包括：获取光纤FP传感器的全光谱数据；基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线；根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值；根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长。该方法充分利用了全部光谱信息，获得了较为准确的正弦形式的拟合函数，消除或减小了光谱中高频波动的影响，提高了峰值点和/或谷值点的获取精度。

Description

光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法及装置
技术领域
本发明涉及光纤传感技术领域，尤其涉及一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法及装置、计算机可读存储介质。
背景技术
光纤FP(Fabry-Perot，法珀)传感器因其具有抗电磁干扰、耐高温、尺寸小、精度高等优点，广泛应用于航空、航天、航海、能源等领域。光纤FP传感器最核心的结构是FP腔，入射光在FP腔的两个端面之间发生多次反射和透射，形成一组反射光束，反射光束发生干涉，形成具有干涉特性的反射光谱。当光纤FP腔端面反射率较低时，第三次反射光的光强就已经远小于前两次反射光，因而，可以仅考虑前两次反射光发生的双光束干涉。此时，光纤FP传感器的光谱是一个近似正弦曲线的信号。
强度解调法是一种常见的光纤FP传感器光谱信号解调方法。外界物理量(如温度、应变、振动等信号)会引起光纤FP传感器输出信号强度的变化，主要表现在光纤FP传感器光谱的移动和变形。通过检测光谱上峰值对应的波长，就能得到外界物理量影响之下，光纤FP传感器的光谱峰值对应波长的变化，从而建立物理量与波长变化之间的对应关系。通常情况下，在数据处理时，会通过对峰值附近部分数据点进行统计，拟合得到峰值点对应的波长。
目前，强度解调法存在两方面不足，一是光纤FP传感器的光谱不是严格的正弦曲线，光谱上存在高频波动，以至于在统计计算拟合光谱中的波峰时会有较大的误差；二是仅采用峰值附近的数据进行统计计算，未充分利用全光谱域的数据，数据使用率偏低，所得结果可靠性较差。
发明内容
本发明的目的是，针对上述至少一部分缺陷，提供了一种针对光纤FP传感器的全光谱信号解调的方法及装置，以解决现有技术中解调光纤FP传感器光谱信号误差大、可靠性差的问题。
为了实现上述目的，本发明提供了一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法，该方法包括如下步骤：
S1、获取光纤FP传感器的全光谱数据；
S2、基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线；
S3、根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值；
S4、根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长。
优选地，所述步骤S1中，获取光纤FP传感器的全光谱数据进一步包括：
S1-1、利用光谱仪采集光纤FP传感器的全光谱信号；
S1-2、利用计算机提取光谱仪的采集结果，得到光纤FP传感器的全光谱数据。
优选地，所述步骤S2中，基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据时，正弦函数表达式为：y＝a*sin(b*λ+c)+d，其中，λ为入射光波长，y为光强，a、b、c、d为拟合系数。
优选地，所述步骤S3中，根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值时，表达式为：
Figure BDA0002321170180000021
其中，b、c为拟合系数，λ1为波长范围下限，λ2为波长范围上限，k为干涉级，是整数。
优选地，所述步骤S4中，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长时，波峰对应的波长满足如下表达式：
bλ峰+c＝π/2+2kπ；
波谷对应的波长满足如下表达式：
bλ谷+c＝-π/2+2kπ；
其中，b、c为拟合系数，k为干涉级，λ峰为波峰对应的波长，λ谷为波谷对应的波长。
本发明还提供了一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调装置，该装置包括：
数据模块，用于获取光纤FP传感器的全光谱数据；
拟合模块，用于基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线；
取值模块，用于根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值；
输出模块，用于根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长，并进行输出。
优选地，所述拟合模块基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据时，正弦函数表达式为：y＝a*sin(b*λ+c)+d，其中，λ为入射光波长，y为光强，a、b、c、d为拟合系数。
优选地，所述取值模块根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值时，表达式为：
Figure BDA0002321170180000031
其中，b、c为拟合系数，λ1为波长范围下限，λ2为波长范围上限，k为干涉级，是整数。
优选地，所述输出模块确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长时，波峰对应的波长满足如下表达式：
bλ峰+c＝π/2+2kπ；
波谷对应的波长满足如下表达式：
bλ谷+c＝-π/2+2kπ；
其中，b、c为拟合系数，k为干涉级，λ峰为波峰对应的波长，λ谷为波谷对应的波长。
本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述任一项所述的方法的步骤。
本发明的上述技术方案具有如下优点：本发明提供了一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法及装置，通过对光谱域全部数据点进行最小二乘法的函数拟合，得到平滑的正弦函数，选取正弦函数上波峰和/或波谷对应的波长，实现对信号的解调。该方法及装置通过光谱域全部数据的拟合，得到了准确的正弦形式的拟合函数，在求解光谱峰值时，消除或减小了光谱中高频波动的影响；通过全部数据拟合，而不是部分或局部数据拟合，提高了数据的利用率，进一步提高了峰值点和/或谷值点的获取精度。
附图说明
图1是本发明实施例中一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法步骤示意图；
图2是一幅光纤FP传感器全光谱数据对应的原始光谱；
图3是本发明实施例中采用最小二乘法对图2所示原始光谱拟合得到的拟合曲线；
图4是原始光谱与拟合曲线比较图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
光纤FP传感器中，入射光经过FP腔的多次反射和透射，在FP腔端面形成了多束反射光，当FP腔端面反射率较低，例如小于4％时，第三束反射光(即第三次反射形成的光束)的强度很弱，可忽略不计。为此，仅考虑前两次反射形成的光束之间发生干涉时，反射光强度I(t)与入射光强度I(i)之间满足以下公式：
Figure BDA0002321170180000051
式中，R为FP腔端面反射率，d为FP腔长度，λ为入射光波长。
该公式为近似的正弦函数，即，光纤FP传感器的光谱可认为是一个近似的正弦曲线。
如图1所示，本发明实施例提供的一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法，具体包括如下步骤：
S1、获取光纤FP传感器的全光谱数据。
光纤FP传感器的全光谱数据指的是解调仪设备可获取的整个光谱检测范围内，每个波长值对应光强的数据集，可表示为(波长，光强)。
全光谱数据包括一组由波长、光强组成的数据点，据此可得到光纤FP传感器的原始光谱。如图2所示，图2示出了一幅光纤FP传感器全光谱数据对应的原始光谱。
优选地，步骤S1中，获取光纤FP传感器的全光谱数据进一步包括：
S1-1、利用光谱仪采集光纤FP传感器的全光谱信号。
光纤FP传感器的全光谱信号反应了不同波长下对应的光强信息。
S1-2、利用计算机提取光谱仪的采集结果，得到光纤FP传感器的全光谱数据。
S2、基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线。
由于光纤FP传感器的光谱可认为是一个近似的正弦曲线，此步骤即基于正弦函数表达式对全部光谱数据进行拟合，得到最接近光纤FP传感器的光谱的拟合曲线。如图3所示，图3示出了采用最小二乘法对图2所示原始光谱拟合得到的拟合曲线。原始光谱与拟合曲线的对比如图4所示，从图4中可看出，采用全光谱数据拟合的正弦函数很好的反应了原始光谱中的信号，消除了原始光谱中的高频波动。
优选地，步骤S2中，基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据时，正弦函数表达式为：
y＝a*sin(b*λ+c)+d；
其中，λ为入射光波长，y为光强，a、b、c、d为拟合系数。
进一步地，最小二乘法拟合全光谱数据可采用如下公式：
Figure BDA0002321170180000061
其中，i＝1……n表示数据序号，n表示全光谱数据总数，波长λi对应的实际光强为yi，拟合光强为y＝a*sin(b*λi+c)+d。使得fmin最小，求解拟合系数a、b、c、d。
特别地，为保持计算的精度，正弦函数的参数(拟合系数a、b、c、d)优选至少保留小数点后四位。在一个如图2至图4所示的具体实施例中，可得到函数y＝331.0459*sin(0.1961*λ+5.7068)+9282.7863。
S3、根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值。
在全光谱数据中，存在不同的、有限的干涉级所对应的波峰和/或波谷。根据全光谱数据对应的波长范围λ1～λ2，将波长范围下限λ1和波长范围上限λ2带入如下不等式中：
Figure BDA0002321170180000062
其中，b、c为步骤S2中得到的拟合系数。
可得到干涉级k的取值范围的表达式为：
Figure BDA0002321170180000071
其中k为整数。由于落在取值范围内的整数可能是一个或多个，因此此步骤中求干涉级k可能得到一个值或多个值。
在如图2至图4所示的具体实施例中，光谱仪的起止波长(即波长范围下限λ1、波长范围上限λ2)分别为1529nm和1568.84375nm，因此，可计算得到干涉级k的取值范围：48.387<k<49.631，k为整数，故k＝49。
S4、根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长。
此步骤S4中，对步骤S3中得到的每个k值进行求解，求解其对应的波长值。
优选地，步骤S4中，根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长时，波峰对应的波长满足如下表达式：
bλ峰+c＝π/2+2kπ；
波谷对应的波长满足如下表达式：
bλ谷+c＝-π/2+2kπ；
其中，b、c为步骤S2中得到的拟合系数，k为步骤S3中得到的干涉级，λ峰为波峰对应的波长，λ谷为波谷对应的波长。根据上述公式即可求解得到的光谱中波峰和/或波谷对应的波长值，实现光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调。
在如图2至图4所示的具体实施例中，带入相应的公式，令0.1961*λ+5.7068＝π/2+49*(2π),可得到波峰对应的波长值为1548.6425nm，同理可得，波谷对应的波长值为1532.6248nm和1564.6601nm。
本发明提供的光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法采用正弦函数拟合方式，得到了较为准确的函数关系式，能准确得到波峰和/或波谷对应的波长值，消除或减小了光谱中高频信号的干扰，降低光谱中高频波动对解调结果的影响；并且，该方法充分利用了全光谱的信息，提高了光谱数据使用率，从而进一步提高了光谱波峰和/或波谷的解算精度。
本发明还提供了一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调装置，该装置包括：数据模块、拟合模块、取值模块和输出模块。
其中，数据模块用于获取光纤FP传感器的全光谱数据。拟合模块用于基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线。取值模块用于根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值。输出模块用于根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长，并进行输出。
优选地，拟合模块基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据时，正弦函数表达式为：y＝a*sin(b*λ+c)+d，其中，λ为入射光波长，y为光强，a、b、c、d为拟合系数。
进一步地，取值模块根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值时，表达式为：
Figure BDA0002321170180000081
其中，b、c为拟合系数，λ1为波长范围下限，λ2为波长范围上限，k为干涉级，是整数。
进一步地，输出模块确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长时，波峰对应的波长满足如下表达式：
bλ峰+c＝π/2+2kπ；
波谷对应的波长满足如下表达式：
bλ谷+c＝-π/2+2kπ；
其中，b、c为拟合系数，k为干涉级，λ峰为波峰对应的波长，λ谷为波谷对应的波长。
此外，在本发明一些优选的实施方式中，还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述任一实施方式中所述的光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法的步骤。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程，在此不再重复说明。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
S1、获取光纤FP传感器的全光谱数据；
S2、基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线；
S3、根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值；
S4、根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长；
其中，所述步骤S2中，基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据时，正弦函数表达式为：y＝a*sin(b*λ+c)+d，其中，λ为入射光波长，y为光强，a、b、c、d为拟合系数；
所述步骤S3中，根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值时，表达式为：
Figure FDA0003048016130000011
其中，b、c为拟合系数，λ1为波长范围下限，λ2为波长范围上限，k为干涉级，是整数。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤S1中，获取光纤FP传感器的全光谱数据进一步包括：
S1-1、利用光谱仪采集光纤FP传感器的全光谱信号；
S1-2、利用计算机提取光谱仪的采集结果，得到光纤FP传感器的全光谱数据。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤S4中，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长时，波峰对应的波长满足如下表达式：
bλ峰+c＝π/2+2kπ；
波谷对应的波长满足如下表达式：
bλ谷+c＝-π/2+2kπ；
其中，b、c为拟合系数，k为干涉级，λ峰为波峰对应的波长，λ谷为波谷对应的波长。
4.一种光纤FP传感器的全光谱信号拟合解调装置，其特征在于，该装置包括：
数据模块，用于获取光纤FP传感器的全光谱数据；
拟合模块，用于基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据，得到拟合曲线；
取值模块，用于根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值；
输出模块，用于根据干涉级的取值，确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长，并进行输出；
其中，所述拟合模块基于正弦函数表达式，采用最小二乘法拟合全光谱数据时，正弦函数表达式为：y＝a*sin(b*λ+c)+d，其中，λ为入射光波长，y为光强，a、b、c、d为拟合系数；
所述取值模块根据全光谱数据对应的波长范围，确定干涉级的取值时，表达式为：
Figure FDA0003048016130000021
其中，b、c为拟合系数，λ1为波长范围下限，λ2为波长范围上限，k为干涉级，是整数。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述输出模块确定拟合曲线中波峰和/或波谷对应的波长时，波峰对应的波长满足如下表达式：
bλ峰+c＝π/2+2kπ；
波谷对应的波长满足如下表达式：
bλ谷+c＝-π/2+2kπ；
其中，b、c为拟合系数，k为干涉级，λ峰为波峰对应的波长，λ谷为波谷对应的波长。
6.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至3中任一项所述的方法的步骤。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102607614A (zh) * 2012-03-29 2012-07-25 天津大学 基于相位斜率定位中心波峰的低相干干涉解调方法
CN103425004A (zh) * 2012-05-18 2013-12-04 上海微电子装备有限公司 硅片对准信号的处理方法
CN104034272A (zh) * 2014-06-24 2014-09-10 山东大学 一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统
CN105426585A (zh) * 2015-11-05 2016-03-23 浙江大学 一种基于正弦函数拟合法的马铃薯发芽预警方法
CN105486425A (zh) * 2016-01-12 2016-04-13 安徽大学 一种大量程的温度绝对值测量方法及测量装置
CN107064064A (zh) * 2017-03-08 2017-08-18 宁波大学 一种飞秒激光加工中透明薄膜折射率改变量的获取方法
CN109580546A (zh) * 2018-12-19 2019-04-05 天津大学 一种光纤法珀气体折射率和温度传感器及系统、测量方法
CN110057386A (zh) * 2019-04-30 2019-07-26 电子科技大学 基于全光谱的光纤fp传感器的解调方法及其解调装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102607614A (zh) * 2012-03-29 2012-07-25 天津大学 基于相位斜率定位中心波峰的低相干干涉解调方法
CN103425004A (zh) * 2012-05-18 2013-12-04 上海微电子装备有限公司 硅片对准信号的处理方法
CN104034272A (zh) * 2014-06-24 2014-09-10 山东大学 一种宽光谱光干涉法测量薄膜厚度的系统
CN105426585A (zh) * 2015-11-05 2016-03-23 浙江大学 一种基于正弦函数拟合法的马铃薯发芽预警方法
CN105486425A (zh) * 2016-01-12 2016-04-13 安徽大学 一种大量程的温度绝对值测量方法及测量装置
CN107064064A (zh) * 2017-03-08 2017-08-18 宁波大学 一种飞秒激光加工中透明薄膜折射率改变量的获取方法
CN109580546A (zh) * 2018-12-19 2019-04-05 天津大学 一种光纤法珀气体折射率和温度传感器及系统、测量方法
CN110057386A (zh) * 2019-04-30 2019-07-26 电子科技大学 基于全光谱的光纤fp传感器的解调方法及其解调装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
光纤法布里-珀罗传感器的条纹计数法解调误差研究;许亨艺;《光子学报》;20170118(第12期);第1-5页 *
光纤珐珀应变计应力温度影响实验分析;闵夫;《仪表技术与传感器》;20190715(第7期);全文 *

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