CN110941147B - 一种石英棒对接台 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种石英棒对接台，包括底座；第一安装台，其下表面与所述底座连接，并能相对所述底座在第一水平方向滑动，所述第一安装台的上表面与第一弹性元件的下端连接，所述第一弹性元件的上端用于连接第一石英棒；第二安装台，其下表面与所述底座连接，所述第二安装台的上表面连接有第二弹性元件的下端，所述第二弹性元件的上端用于连接第二石英棒，所述第二安装台与所述第一安装台在所述第一水平方向上相邻设置，且所述第一石英棒的一端朝向所述第二石英棒。本发明提供的石英棒对接台，能够降低石英棒对接过程中的崩边概率，保证石英棒的对接质量和石英棒的均光效果。

Description

一种石英棒对接台

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种石英棒对接台。

背景技术

光刻系统通常包含照明系统、含有电路图的掩模版、投影系统以及用于涂覆光刻胶的硅片和硅片对准台，通过照明系统照射掩模版上的电路图，并利用投影系统将掩模版电路图的像投射到晶片上，使晶片经刻蚀后能获得掩模版上的电路图。为了保证光刻的质量，要求照明系统的照明视场内的光强分布均匀。

在照明系统中，石英棒的主要功能是将光源发出的光束进行多次反射，从而获得均匀的光束。石英棒的匀光效果与照明系统的相干因子相关，当相关因子较小时，反射较小，匀光效果较差。相关因子与石英棒的长宽比相关，因为，为了达到需求的匀光效果，石英棒必须达到一定的长宽比。但由于石英棒的所需长度较长、精度较高，现有条件难以进行整根加工，常用两根或多根石英棒进行拼接获得所需长度的石英棒。

石英棒在加工成型的过程中，由于加工精度的影响，其端面棱边与侧面棱边难以做到绝对垂直，且由于石英棒为脆性材料且对接过程为刚性接触，当对接过程中，发生一个石英棒的对接端面与另一个石英棒的侧面棱边接触时，石英棒容易发生崩边现象，且即使极小的崩边也会对石英棒的匀光效果产生较大的影响，从而降低石英棒的匀光品质和照明系统的灯光均匀性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种石英棒对接台，用于对石英棒进行拼接，降低石英棒拼接过程中的崩边现象，保证石英棒和照明系统的匀光效果。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种石英棒对接台，包括：

底座；

第一安装台，与所述底座连接，并能相对所述底座在第一水平方向滑动，所述第一安装台的上表面与第一弹性元件的下端连接，所述第一弹性元件的上端用于连接第一石英棒；

第二安装台，与所述底座连接，所述第二安装台的上表面连接有第二弹性元件的下端，所述第二弹性元件的上端用于连接第二石英棒，所述第二安装台与所述第一安装台在所述第一水平方向上相邻设置，且所述第一石英棒的一端朝向所述第二石英棒。

进一步地，所述第二安装台能相对所述底座在所述第一水平方向滑动，所述第二安装台远离所述第一安装台的一侧与第三弹性元件的一端连接，所述第三弹性元件的另一端与所述底座连接。

进一步地，所述第一弹性元件和所述第二弹性元件均具有两个自由度，两个自由度分别为沿其长度方向的伸缩变形和绕起自身轴线的扭转。

进一步地，所述底座上开设有导向槽，所述导向槽沿所述第一水平方向设置，所述第一安装台以及所述第二安装台均与所述导向槽滑动连接。

进一步地，所述第一安装台的下表面凸设有第一滑块，所述第二安装台的下表面凸设有第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块均与所述导向槽滑动连接。

进一步地，所述底座包括：

底板，所述第一安装台和所述第二安装台均设置在所述底板上；

侧壁，所述侧壁围设在所述底板的周缘上，所述侧壁与所述底板合围形成有上端开口的容纳腔，所述第三弹性元件远离所述第二安装台的一端与所述侧壁连接。

进一步地，所述第一安装台、所述第二安装台、所述第一石英棒以及所述第二石英棒均位于所述容纳腔内。

进一步地，所述石英棒对接台还包括上压盖，所述上压盖水平设置，所述第一石英棒的上表面以及所述第二石英棒的上表面均与所述上压盖抵接。

进一步地，所述上压盖与所述侧壁滑动连接。

进一步地，所述第一弹性元件有多个，多个所述第一弹性元件沿所述第一水平方向间隔设置；

所述第二弹性元件有多个，多个所述第二弹性元件沿所述第一水平方向间隔设置。

本发明的有益效果在于：

本实施例提供的石英棒对接台，由于第一石英棒通过第一弹性元件与第一安装台连接，第二石英棒通过第二弹性元件与第二安装台连接，第一石英棒与第二石英棒的接触为柔性接触，且第一弹性元件带动第一石英棒向第二石英棒接触时，第一弹性元件和第二弹性元件在竖直方向上的转动自由度可以带动对应的第一石英棒或第二石英棒发生轻微的转动，从而使第一石英棒与第二石英棒的对接面贴合连接，避免两根石英棒之间的对接面与侧面棱边接触，从而有效降低石英棒崩边的概率，保证石英棒的对接质量，从而保证石英棒和照明系统的均光性。

附图说明

图1为本发明实施例提供的石英棒对接台的主视图；

图2为本发明实施例提供的石英棒对接台的俯视图。

图中标记如下：

1-底座；11-底板；12-第一侧壁；13-第二侧壁；2-第一安装台；3-第二安装台；4-第一弹性元件；5-第二弹性元件；6-第三弹性元件；7-第一石英棒；8-第二石英棒。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为本发明实施例提供的石英棒对接台的主视图，图2为本发明实施例提供的石英棒对接台的俯视图，如图1和2所示，本实施例提供了一种石英棒对接台，包括底座1、第一安装台2和第二安装台3。第一安装台2的下表面与底座1连接，并能相对底座1在第一水平方向滑动，且第一安装台2的上表面与第一弹性元件4的下端连接，第一弹性元件4的上端连接第一石英棒7；第二安装台3的下表面与底座1连接，并能相对底座1沿第一水平方向滑动，第二安装台3的上表面与第二弹性元件5的下端连接，第二弹性元件5的上端连接第二石英棒8，且第一安装台2与第二安装台3在第一水平方向上相邻设置，且第一石英棒7的一端朝向第二石英棒8。

为方便对石英棒对接台的结构描述，在本实施例中，以第一水平方向为X方向，以竖直方向为Z方向，Y方向根据右手坐标法则进行确定。

在第一石英棒7和第二石英棒8的对接过程中，将第一安装台2和第二安装台3沿X方向设置在底座1上，第一石英棒7放置在第一弹性元件4上，第二石英棒8放置在第二弹性元件5上。通过对第一安装台2和第二安装台3的位置设置，确定第一安装台2和第二安装台3在Y方向上的相对位置，其中，从而可以保证第一石英棒7和第二石英棒8在Y方向上的相对位置固定；通过向第一石英棒7和第二石英棒8施加向下的垂向预紧力，使第一石英棒7压缩第一弹性元件4，第二石英棒8压缩第二弹性元件5，使第一石英棒7与第二石英棒8在Z方向上位于同一高度；通过向第一安装台2沿X方向施加朝向第二安装台3的水平预紧力，第一安装台2带动第一石英棒7向第二石英棒8靠近，直至第一石英棒7与第二石英棒8接触。由于第一石英棒7通过第一弹性元件4与第一安装台2连接，第二石英棒8通过第二弹性元件5与第二安装台3连接，第一石英棒7与第二石英棒8的接触为柔性接触，且第一弹性元件4带动第一石英棒7向第二石英棒8接触时，第一弹性元件4和第二弹性元件5在竖直方向上(即Z方向)的转动自由度可以带动对应的第一石英棒7或第二石英棒8发生轻微的转动，从而使第一石英棒7与第二石英棒8的对接面贴合连接，避免两根石英棒之间的对接面与侧面棱边接触，从而有效降低石英棒崩边的概率，保证石英棒的对接质量，从而保证石英棒和照明系统的均光性。

具体地，在本实施例中，底座1包括底板11和侧壁，底板11为矩形平板结构，侧壁围设在底板11的四边周缘上，并与底板合成形成具有上端开口的容纳腔。侧壁包括沿Y方向相对设置的两个第一侧壁12以及沿X方向相对设置的两个第二侧壁13。

在本实施例中，底座1沿X方向设置，第一安装台2和第二安装台3设置在容纳腔内，且在X方向上相邻且间隔设置。第一安装台2能相对底板11在X方向滑动以靠近或远离第二安装台3，以使第一安装台2带动第一石英棒7与第二石英棒8抵接。

在本实施例中，第二安装台3滑动设置在底板11上，且能沿X方向往复滑动。第二安装台3远离第一安装台2的一端连接有第三弹性元件6的一端，第三弹性元件6沿X方向设置，且其另一端与第一侧壁12连接。

通过设置第三弹性元件6，当向第一安装台2施加朝向第二安装台3的水平预紧力时，第一安装台2带动第一石英棒7与第二石英棒8接触，并能继续推动第一安装台2和第二安装台3同步运动并压缩第三弹性元件6。当第三弹性元件6压缩到预设程度时，使第一安装台2与底座1相对固定，并撤销对第一安装台2的水平预紧力，此时，由于第二安装台3远离第一安装台2的一端受到第三弹性元件6的弹性预紧力作用，第二安装台3具有朝向第一安装台2的运动趋势，由于此时第一石英棒7与第二石英棒8贴合接触，该种运动趋势促使第二石英棒8向第一石英棒7施加挤压作用力，从而使第一石英棒7与第二石英棒8紧密贴合，避免了第一石英棒7与第二石英棒8接触面贴合不严的现象，提高第一石英棒7与第二石英棒8的对接质量，降低第一石英棒7与第二石英棒8之间漏光现象的发生概率，提高了石英棒的均匀性。

在本实施例中，上述第一安装台2与底座1的相对固定，可以通过第一安装台2与底座1之间的摩擦力相对固定，即当第三弹性元件6的弹性预紧力小于第一安装台2相对底座1的滑动摩擦力时，可以保持第一安装台2与底座1的相对固定。还可以通过设置锁紧件，使第一安装台2与底座1固定。在本实施例中，锁紧件可以为锁紧螺钉，还可以为设置在第一安装台2远离第二安装台3一侧的滑动挡块等。

在本实施例中，通过第一安装台2和第二安装台3在底座1上的相对位置设置确定第一石英棒7和第二石英棒8在Y方向的相对位置，以保证两根石英棒在宽度方向不发生错位接触。

具体地，在本实施例中，第二安装台3的宽度等于容纳腔沿Y方向的宽度，从而使第二安装台3的侧面与底座1的第二侧壁13接触，并能相对第二侧壁13滑动，一方面限制第二安装台3在Y方向的移动，另一方面对第二安装台3在X方向的运动进行导向。

进一步地，还可以在底板11上设置导向槽，导向槽沿X方向设置。第一安装台2下表面设置有第一滑块，第二安装台3下表面设置有第二滑块，第一滑块和第二滑块均滑动设置在导向槽内。从而保证第一安装台2和第二安装台3在Y方向不发生位移。

为提高第一石英棒7和第二石英棒8的运动稳定性，第一弹性元件4和第二弹性元件5被配置为仅具有两个方向的自由度，两个方向的自由度分别沿其长度方向的伸缩变形以及绕其自身轴线扭转。在其他方向上，第一弹性元件4和第二弹性元件5为刚性体。

在本实施例中，第一弹性元件4在第一安装台2上间隔设置有两个，两个第一弹性元件4沿X方向设置，且分别位于第一石英棒7的两端，提高第一弹性元件4对第一石英棒7的支撑作用。第二弹性元件5在第二安装台3上间隔设置有两个，两个第二弹性元件5沿X方向设置，且分别位于第二石英棒8的两端，提高第二弹性元件5对第二石英棒8的支撑稳定性。在其他实施例中，第一弹性元件4和/或第二弹性元件5的数量可以为三个或更多个。

在本实施例中，第一石英棒7和第二石英棒8分别搭接在对应的第一弹性元件4或第二弹性元件5上，避免弹性元件与石英棒的连接对石英棒造成损伤。第一石英棒7和第二石英棒8均位于容纳腔内，使底座1的第二侧壁13可以对第一石英棒7和第二石英棒8在Y方向上的运动进行限位，防止第一石英棒7或第二石英棒8脱离对应的弹性元件，造成对石英棒的损伤。

为进一步提高石英棒在弹性元件上的连接稳定性，弹性元件的上端可以连接有支撑座，支撑座上开设与石英棒相配的支撑槽，通过支撑槽限制石英棒在Y方向上的运动。且由于第一弹性元件4和第二弹性元件5在X方向上和Y方向上均为刚性结构，石英棒放置在对应的弹性元件上时，安装台、弹性元件和石英棒在X方向和Y方向为刚性连接，从而当无较大冲击力作用在安装台上时，可以保证石英棒相对弹性元件在X方向和Y方向的位置固定。

在本实施例中，石英棒与弹性元件可以通过两者之间的摩擦力保持相对稳定并能承受适当的冲击作用力。在本实施例中，石英棒至少满足在5g的冲击作用下不与对应的弹性元件分离。进一步地，在向第一弹性元件4和第二弹性元件5施加垂向预紧力时，增大了石英棒与对应的弹性元件之间的静摩擦力，增加了石英棒与弹性元件的连接稳定性。

为方便对石英棒施加垂向预紧力，石英棒对接台还包括上压盖，第一石英棒7和第二石英棒8的上表面均与上压盖抵接。通过对上压盖施加竖直向下的作用力，对第一弹性元件4和第二弹性元件5施加垂向预紧力，保证第一石英棒7与第二石英棒8在竖直方向具有相同的高度。

在本实施例中，上压盖为上端封闭、下端开口的结构，第一石英棒7和第二石英棒8均位于开口内，且上压盖的下端与底座1的第二侧壁13滑动连接，提高上压盖的竖直下压运动的稳定性。上压盖和第二侧壁13中的一个可以设置导向滑轨，另一个可以设置导向滑槽，导向滑槽滑动连接导向滑轨内，用于对上压盖的运动进行导向，保证上压盖呈水平状态，从而保证第一石英棒7和第二石英棒8的上表面位于同一水平面，提高第一石英棒7与第二石英棒8的拼接精度。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种石英棒对接台，其特征在于，包括：

底座(1)；

第一安装台(2)，与所述底座(1)连接，并能相对所述底座(1)在第一水平方向滑动，所述第一安装台(2)的上表面与第一弹性元件(4)的下端连接，所述第一弹性元件(4)的上端用于连接第一石英棒(7)；

第二安装台(3)，与所述底座(1)连接，所述第二安装台(3)的上表面连接有第二弹性元件(5)的下端，所述第二弹性元件(5)的上端用于连接第二石英棒(8)，所述第二安装台(3)与所述第一安装台(2)沿所述第一水平方向相邻设置，且所述第一石英棒(7)的一端端平面朝向所述第二石英棒(8)的一端端平面；

所述第一弹性元 件(4)和所述第二弹性元 件(5)均具有绕竖直方向的转动自由度，以使所述第一石英棒(7)与所述第二石英棒(8)对接时，所述第一石英棒(7)和/或所述第二石英棒(8)能够转动至两个端平面贴合。

2.根据权利要求1所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第二安装台(3)能相对所述底座(1)在所述第一水平方向滑动，所述第二安装台(3)远离所述第一安装台(2)的一端与第三弹性元件(6)的一端相连接，所述第三弹性元件(6)的另一端与所述底座(1)连接。

3.根据权利要求1所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第一弹性元件(4)和所述第二弹性元件(5)均具有两个自由度，两个自由度分别为沿其长度方向的伸缩变形和绕其 自身轴线的扭转。

4.根据权利要求2所述的石英棒对接台，其特征在于，所述底座(1)上开设有导向槽，所述导向槽沿所述第一水平方向设置，所述第一安装台(2)以及所述第二安装台(3)均与所述导向槽滑动连接。

5.根据权利要求4所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第一安装台(2)的下表面凸设有第一滑块，所述第二安装台(3)的下表面凸设有第二滑块，所述第一滑块和所述第二滑块均与所述导向槽滑动连接。

6.根据权利要求2所述的石英棒对接台，其特征在于，所述底座(1)包括：

底板(11)，所述第一安装台(2)和所述第二安装台(3)均设置在所述底板(11)上；

侧壁，围设在所述底板(11)的周缘上，所述侧壁与所述底板(11)合围形成有上端开口的容纳腔，所述第三弹性元件(6)远离所述第二安装台(3)的一端与所述侧壁(12)连接。

7.根据权利要求6所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第一安装台(2)、所述第二安装台(3)、所述第一石英棒(7)以及所述第二石英棒(8)均位于所述容纳腔内。

8.根据权利要求6所述的石英棒对接台，其特征在于，所述石英棒对接台还包括上压盖，所述上压盖水平设置，所述第一石英棒(7)的上表面以及所述第二石英棒(8)的上表面均与所述上压盖抵接。

9.根据权利要求8所述的石英棒对接台，其特征在于，所述上压盖与所述侧壁(12)滑动连接。

10.根据权利要求1所述的石英棒对接台，其特征在于，所述第一弹性元件(4)有多个，多个所述第一弹性元件(4)沿所述第一水平方向间隔设置；

所述第二弹性元件(5)有多个，多个所述第二弹性元件(5)沿所述第一水平方向间隔设置。

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