CN110940283B - 基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法 - Google Patents

基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，本方法不需要单独设计图像采集系统，也不需要额外使用图像处理技术。直接根据干涉图样的出现顺序实现对微小齿轮端面倾斜程度的实时监测，确保了齿轮轮廓的提取精度；基于齿轮端面三维点云数据确定齿轮中心，有效提升了齿轮定心精度。

Description

基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量 方法
技术领域
本发明涉及一种基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，属于精密测试技术与仪器、齿轮检测技术领域。
背景技术
齿轮和齿轮产品被广泛应用于各类机械设备中，在系统的不同构件之间实现动力的传递。人们通常将模数小于1mm的齿轮称为小模数齿轮，而模数小于0.1mm的齿轮通常又被称为微小齿轮。伴随制造业的发展，微小齿轮作为微型传动系统中重要传动的零部件，在生物医学、航空航天和精密仪器、仪表、信息科学和军事等领域发挥着不可替代的作用。
传统的微小齿轮加工方法中，LIGA技术(Lithographie GalvanoformungAbformung)、微细切削技术、微细电火花加工技术、微型挤压成型技术、微蚀刻技术等，都存在加工成本昂贵、效率低、工艺复杂等问题，难以实现微小齿轮的大批量、低成本、高精度的生产要求。
近年来，金属粉末注射成形工艺技术作为一种绿色近净成形技术，结合了粉末冶金和注塑的优点。它不仅具有常规粉末冶金工艺制造成本低、工序少，近净成形、经济效益高的优点，而且还克服了传统粉末冶金制品材质不均匀、不易形成薄壁的缺点，特别适合大批量、低成本、高性能生产复杂零件。因此，金属粉末注射成形工艺技术，在真正意义上实现了微小齿轮的巨量生产。
针对微小齿轮，目前国际上还没有成熟的测量方法，更没有统一的评价标准。主要因为微小齿轮尺寸太小，以至于激光位移传感器的光斑直径都无法满足微小齿轮的测量要求，视觉测量也无法满足微小齿轮的精度要求，而常规的接触式测量和综合测量法更是束手无策。因此，面对如此巨量的微小齿轮，如何对其进行高精度评价，仍是一项世界性难题。
为解决上述难题，本发明提出了一种基于白光干涉仪的微小齿轮高精度测量方法，并重点介绍了微小齿轮的测量原理、端面调平模型以及误差计算方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，特别适用于对模数小于0.1mm，齿顶圆直径小于1mm的微小齿轮进行精度评价。本发明不需要单独设计图像采集系统，也不需要额外使用图像处理技术，直接利用白光干涉仪对微小齿轮端面采集的三维点云数据实现齿距偏差和齿廓偏差的高精度、非接触测量。
本发明采用的技术方案为基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，该测量方法分为四个部分，即微小齿轮端面测量与调平，微小齿轮中心确定与轮廓提取，微小齿轮齿距偏差评价，微小齿轮齿廓偏差评价。
如图1和图2所示，微小齿轮端面测量与调平的主要步骤如下：
步骤1、将微小齿轮2放在载物台3上，位于镜头1的正下方；
步骤2、镜头1沿Z轴移动靠近微小齿轮2，镜头1由测量软件5控制，在测量软件5中找到齿轮清晰的图像，并调节载物台3在X轴和Y轴上的位置，使图像位于成像区域的中间位置；
步骤3、根据成像中干涉条纹出现的顺序判断微小齿轮2端面是否与镜头1垂直，并通过载物台3的调平旋钮4保证微小齿轮2端面与镜头1垂直；
步骤4、在测量软件5中设置测量范围的上下限，要求整个微小齿轮2的端面信息均位于测量范围内；
步骤5、开始测量；
步骤6、如图2所示，在三个数据相对完整的齿上找到三个圆形区域，在每个区域内找到十个点数据，对每个区域内的点数据求平均，分别记作点A1(xA1,yA1,zA1)、A2(xA2,yA2,zA2)、A3(xA3,yA3,zA3)。找到三个点确定的平面，并计算该平面与基准面的倾斜角度。
如图3所示，微小齿轮2的中心确定与轮廓提取的步骤如下：
步骤7、使用微小齿轮2的端面三维点云数据计算齿轮中心，如公式(1)。其中，x0和y0表示微小齿轮2端面二维图像的中心坐标，xi、yi和zi表示微小齿轮2端面三维图像的各个点坐标，i表示微小齿轮2端面被测点个数；
Figure BDA0002313856350000021
步骤8、在Matlab软件中使用Boundary函数提取出微小齿轮2的二维轮廓坐标。
如图4所示，微小齿轮2的齿距偏差计算步骤如下：
步骤9、确定微小齿轮2的初始轮齿7，并找到该初始轮齿7上左齿面的初始点8，同时初始点8也位于分度圆6上；
步骤10、沿逆时针方向，依次找到每一个轮齿左齿面上的点云数据，并做6次多项式拟合曲线，以该拟合曲线作为实际齿廓10；
步骤11、第i个轮齿的左齿面相对于第i-1个轮齿的左齿面的实际齿距与理论齿距的差值即为第i个轮齿的左齿面任一单个齿距偏差fpiz，其中i＝1…n，n表示被测微小齿轮2的齿数；
步骤12、根据左齿面任一单个齿距偏差求得左齿面单个齿距偏差fpz；
步骤13、第i个轮齿的左齿面相对于第1个轮齿的左齿面的实际齿距与理论齿距的差值即为第i个轮齿的左齿面任一齿距累积偏差Fpiz；
步骤14、根据左齿面任一齿距累积偏差求得左齿面齿距累积总偏差Fpz。
如图5所示，微小齿轮齿廓偏差计算的步骤如下：
步骤15、根据齿廓控制圆找到微小齿轮2上左齿面的左齿面起评点15和左齿面终评点16，并计算在左齿面起评点15和左齿面终评点16之间的任一实测点Psj距理论齿廓11上相应点Plj之间的距离Δfijz。其中z表示左齿面，i表示从初始轮齿7开始计数的第i个轮齿，i＝1…n，j表示从左齿面起评点15到左齿面终评点16间的第j个实测点；
步骤16、根据Δfijz求得第i个齿左齿面齿廓总偏差；
步骤17、根据Δfijz计算第i个齿左齿面平均齿廓线以及齿廓形状偏差；
步骤18、根据Δfijz计算第i个齿左齿面平均齿廓线以及齿廓倾斜偏差；
步骤19、沿逆时针方向，依次找到每一个轮齿左齿面上的点云数据，并重复步骤15-步骤18。
目前国际上还没有能够评价微小齿轮精度的成熟方法，而视觉测量也只能以较低的精度测量微小齿轮的缺陷。在专利201711159876.0“一种微小模数齿轮的测量方法中”，申请人仅仅使用白光干涉仪对微小齿轮进行拍照，然后以视觉测量的方法得到齿轮的齿数、模数、齿顶圆直径和齿根圆直径，并未对微小齿轮的精度进行评价，如齿距偏差和齿廓偏差。本发明的最大亮点在于：根据干涉图样的出现顺序实现对微小齿轮端面倾斜程度的实时监测，确保了齿轮轮廓的提取精度；基于齿轮端面三维点云数据确定齿轮中心，有效提升了齿轮定心精度。
附图说明
图1为微小齿轮测量装置示意图。
图2为微小齿轮端面调平示意图。
图3为微小齿轮中心确定与轮廓提取部分示意图。
图4为微小齿轮齿距偏差计算部分示意图。
图5为微小齿轮齿廓偏差计算部分示意图。
图中标记：1-镜头，2-微小齿轮，3-载物台，4-调平旋钮，5-测量软件，6-分度圆，7-初始轮齿，8-左齿面的初始点，9-右齿面的初始点，10-实际齿廓，11-理论齿廓，12-基圆，13-齿廓控制圆，14-齿廓终评圆，15-左齿面起评点，16-左齿面终评点，17-右齿面终评点，18-右齿面起评点。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施方式，凡基于本发明内容所实现的技术均属于本发明的范围。
本发明所使用的测量设备为Taylor Hobson的CCI MP系列白光干涉仪，测量软件为TalysurfCCI，分析软件为TalyMap Gold V7。白光干涉仪在Z轴方向的分辨率可达0.01nm，是一种广泛应用于三维表面形貌测量的高精密测量设备。所使用的被测微小齿轮参数为，齿数7，模数0.08，压力角20°，变位系数+0.3。
基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法分为四个部分，即微小齿轮端面测量与调平，微小齿轮中心确定与轮廓提取，微小齿轮齿距偏差评价，微小齿轮齿廓偏差评价。
如图1-图5所示，基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法主要包括以下步骤：
S1、准备工作的第一步是要将具有明显缺陷的微小齿轮剔除。因为在评价齿距偏差时，微小齿轮的缺陷会严重影响评价精度。为了减小缺陷的影响，最终将缺陷小的微小齿轮放在载物台上用以测量。
S2、根据微小齿轮的尺寸，测量效率与测量精度来配置白光干涉仪的镜头倍数与扫描速度。倍数小的镜头测量效率高，因为不需要进行图像拼接，但是测量精度相对较低。倍数高的镜头需要进行图像拼接，测量精度相对较高，但是测量效率较低。扫描速度越低，测量精度就会相对提高。
S3、将微小齿轮2放在载物台3上，大致位于镜头1的正下方。
S4、旋转手操盒摇杆，使镜头1沿Z轴移动靠近微小齿轮2。当镜头1与微小齿轮2的距离为镜头焦距时，在测量软件5中能够找到齿轮清晰的像，并通过手操盒摇杆调节载物台3在X轴和Y轴的位置，使图像位于成像区域的中间。
S5、根据成像中干涉条纹出现的顺序判断微小齿轮2端面是否与镜头1垂直。当自上向下移动镜头1时，先出现干涉条纹的一侧向上倾斜。通过载物台3的调平旋钮4保证微小齿轮2端面与镜头1垂直。
S6、在测量软件5中设置测量范围的上下限，要求整个微小齿轮2的端面信息均位于测量范围内。
S7、点击开始测量按钮。
S8、当测量结束后，分析软件会自动弹出。此时保存微小齿轮2的端面三维点云数据。
S9、在三个数据相对完整的齿上找到三个圆形区域，并在每个区域内找到十个点数据。对每个区域内的点数据求平均，并分别记作点A1(xA1,yA1,zA1)，A2(xA2,yA2,zA2)，A3(xA3,yA3,zA3)。所选齿之间最少需要夸一个齿数，三个点构成的锐角三角形近似为正三角形。根据点A1，A2，A3计算平面的法向量
Figure BDA0002313856350000041
如公式(2)-(4)。其中，
Figure BDA0002313856350000042
和
Figure BDA0002313856350000043
表示3个正交基向量，a、b和c分别表示法向量
Figure BDA0002313856350000044
在各正交基向量上的投影长度；
Figure BDA0002313856350000045
Figure BDA0002313856350000046
Figure BDA0002313856350000047
平面法向量
Figure BDA0002313856350000048
与水平面夹角δθ为：
Figure BDA0002313856350000049
根据夹角δθ对微小齿轮端面数据进行调平处理。
S10、使用微小齿轮2的端面三维点云数据计算齿轮中心，如公式(6)；
Figure BDA0002313856350000051
S11、在Matlab软件中使用Boundary函数提取出微小齿轮2的二维轮廓坐标。
S12、确定微小齿轮2的初始轮齿7，并找到该轮齿上左齿面的初始点8，同时初始点8也位于分度圆6上。
S13、沿逆时针方向，依次找到每一个轮齿左齿面上的点云数据，并做6次多项式拟合曲线，以该曲线作为实际齿廓10。
S14、第i个轮齿的左齿面相对于第i-1个轮齿的左齿面的实际齿距与理论齿距的差值即为第i个轮齿的左齿面任一单个齿距偏差fpiz，其中i＝1…n，n表示被测微小齿轮2的齿数，如公式(7)。其中，r表示分度圆半径，θi表示第i个左齿面实际齿廓距初始轮齿理论齿廓的转角，pt表示理论齿距。
fpiz＝r·(θi-θi-1)-pt (7)
S15、根据左齿面任一单个齿距偏差求得左齿面单个齿距偏差fpz，如公式(8)。
fpz＝max|fpiz| (8)
S16、第j个轮齿的左齿面相对于初始轮齿的左齿面的实际齿距与理论齿距的差值即为第j个轮齿的左齿面任一齿距累积偏差Fpjz，θj表示第j个左齿面实际齿廓距初始轮齿理论齿廓的转角，如公式(9)。
Fpjz＝r·θj-j·pt (9)
S17、根据左齿面任一齿距累积偏差求得左齿面齿距累积总偏差Fpz，如公式(10)。
Fpz＝max(Fpjz)-min(Fpjz) (10)
同理，以同样的方式计算微小齿轮右齿面的各项齿距偏差。
S18、在计算齿廓偏差时同样需要设定初始轮齿7，并分别在初始轮齿7的齿廓控制圆13和齿廓终评圆14上找到左齿面的左齿面起评点15和左齿面终评点16。
S19、将左齿面起评点15旋转至X轴上。当计算完任一轮齿左齿面发生线实际长度与理论长度的差值Δfijz后，将微小齿轮围绕坐标原点顺时针旋转至下一轮齿的左齿面起评点，继续计算下一轮齿左齿面发生线实际长度与理论长度的差值，直至得到所有轮齿左齿面发生线实际长度与理论长度的差值。其中，其中i＝1…n，n表示被测齿轮的齿数，j＝1…q，q表示被测齿面上点的个数。
S20、以左齿面起评点15和左齿面终评点16之间的任一实测点psj做基圆rb的切线Cplj，C为基圆切点，plj为切线与理论齿廓的交点，
Figure BDA0002313856350000052
为该理论点plj对应的发生线滚角。其中，C点和plj点坐标分别为：
Figure BDA0002313856350000061
Figure BDA0002313856350000062
根据psj点坐标可求解滚角
Figure BDA0002313856350000063
S21、发生线实际长度与理论长度的差值为：
Figure BDA0002313856350000064
S22、根据Δfijz求得第i个齿左齿面齿廓总偏差Fαiz，如公式(14)。
Fαiz＝max(Δfijz)-min(Δfijz) (14)
同理，以同样的方式计算微小齿轮右齿面的各项齿廓偏差。
通过使用基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，能够有效地提高齿轮中心定位精度和齿轮轮廓的提取精度，同时也保证了微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差的评价精度。
对所公开实施案例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明，对本实施案例的多种修改对本领域的专业技术人员来说是显而易见的。本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施案例中体现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的实施案例，而是要求符合本文所公开的原理和新颖性特点相一致的最宽的范围。

Claims (2)

1.基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，其特征在于：步骤如下：
步骤1、将微小齿轮(2)放在载物台(3)上，位于镜头(1)的正下方；
步骤2、镜头(1)沿Z轴移动靠近微小齿轮(2)，镜头(1)由测量软件(5)控制，在测量软件(5)中找到齿轮清晰的图像，并调节载物台(3)在X轴和Y轴上的位置，使图像位于成像区域的中间位置；
步骤3、根据成像中干涉条纹出现的顺序判断微小齿轮(2)端面是否与镜头(1)垂直，并通过载物台(3)的调平旋钮(4)保证微小齿轮(2)端面与镜头(1)垂直；
步骤4、在测量软件(5)中设置测量范围的上下限，要求整个微小齿轮(2)的端面信息均位于测量范围内；
步骤5、开始测量；
步骤6、在三个数据相对完整的齿上找到三个圆形区域，在每个区域内找到十个点数据，对每个区域内的点数据求平均，分别记作点A1(xA1,yA1,zA1)、A2(xA2,yA2,zA2)、A3(xA3,yA3,zA3)；找到三个点确定的平面，并计算该平面与基准面的倾斜角度；
微小齿轮(2)的中心确定与轮廓提取的步骤如下：
步骤7、使用微小齿轮(2)的端面三维点云数据计算齿轮中心，如公式(1)；其中，x0和y0表示微小齿轮(2)端面二维图像的中心坐标，xi、yi和zi表示微小齿轮(2)端面三维图像的各个点坐标，i表示微小齿轮(2)端面被测点个数；
Figure FDA0002313856340000011
步骤8、在Matlab软件中使用Boundary函数提取出微小齿轮(2)的二维轮廓坐标；
微小齿轮(2)的齿距偏差计算步骤如下：
步骤9、确定微小齿轮(2)的初始轮齿(7)，并找到该初始轮齿(7)上左齿面的初始点(8)，同时初始点(8)也位于分度圆(6)上；
步骤10、沿逆时针方向，依次找到每一个轮齿左齿面上的点云数据，并做6次多项式拟合曲线，以该拟合曲线作为实际齿廓(10)；
步骤11、第i个轮齿的左齿面相对于第i-1个轮齿的左齿面的实际齿距与理论齿距的差值即为第i个轮齿的左齿面任一单个齿距偏差fpiz，其中i＝1…n，n表示被测微小齿轮(2)的齿数；
步骤12、根据左齿面任一单个齿距偏差求得左齿面单个齿距偏差fpz；
步骤13、第i个轮齿的左齿面相对于第1个轮齿的左齿面的实际齿距与理论齿距的差值即为第i个轮齿的左齿面任一齿距累积偏差Fpiz；
步骤14、根据左齿面任一齿距累积偏差求得左齿面齿距累积总偏差Fpz。
2.根据权利要求1所述的基于白光干涉仪的微小齿轮齿距偏差和齿廓偏差高精度测量方法，其特征在于：步骤如下：微小齿轮齿廓偏差计算的步骤如下：
步骤15、根据齿廓控制圆找到微小齿轮(2)上左齿面的左齿面起评点(15)和左齿面终评点(16)，并计算在左齿面起评点(15)和左齿面终评点(16)之间的任一实测点Psj距理论齿廓(11)上相应点Plj之间的距离△fijz；其中z表示左齿面，i表示从初始轮齿(7)开始计数的第i个轮齿，i＝1…n，j表示从左齿面起评点(15)到左齿面终评点(16)间的第j个实测点；
步骤16、根据△fijz求得第i个齿左齿面齿廓总偏差；
步骤17、根据△fijz计算第i个齿左齿面平均齿廓线以及齿廓形状偏差；
步骤18、根据△fijz计算第i个齿左齿面平均齿廓线以及齿廓倾斜偏差；
步骤19、沿逆时针方向，依次找到每一个轮齿左齿面上的点云数据，并重复步骤15-步骤18。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113446960B (zh) * 2021-06-28 2023-01-03 温州大学 一种齿面点云理论分布建模方法及测量方法
CN114310206A (zh) * 2021-12-09 2022-04-12 宁夏银星能源股份有限公司 面向风电齿轮的激光再制造方法及系统

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20110088736A (ko) * 2010-01-29 2011-08-04 주식회사 이씨엠 장애물 감지 기능을 갖는 전동 휠체어
CN103712567B (zh) * 2013-05-27 2016-04-06 北京理工大学 小模数圆弧齿轮非接触式光学精密测量方法
CN107588737B (zh) * 2017-10-25 2019-06-28 北京工业大学 一种基于线结构光的圆柱齿轮齿距偏差测量方法
CN107907049A (zh) * 2017-11-20 2018-04-13 北京工业大学 一种微小模数齿轮的测量方法
CN109447971B (zh) * 2018-10-30 2021-01-19 西安交通大学 一种摆线齿轮型线误差精确提取及关键形位精度快速分析方法

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