CN110888240A - 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法 - Google Patents

一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110888240A
CN110888240A CN201911078576.9A CN201911078576A CN110888240A CN 110888240 A CN110888240 A CN 110888240A CN 201911078576 A CN201911078576 A CN 201911078576A CN 110888240 A CN110888240 A CN 110888240A
Authority
CN
China
Prior art keywords
auto
mirror
collimation microscope
glass ball
detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201911078576.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110888240B (zh
Inventor
陈新华
赵知诚
杨拓拓
朱嘉诚
沈为民
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou University
Original Assignee
Suzhou University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou University filed Critical Suzhou University
Priority to CN201911078576.9A priority Critical patent/CN110888240B/zh
Publication of CN110888240A publication Critical patent/CN110888240A/zh
Priority to US17/623,766 priority patent/US11860379B2/en
Priority to PCT/CN2020/088839 priority patent/WO2021088341A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110888240B publication Critical patent/CN110888240B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/62Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2823Imaging spectrometer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法。Offner型光谱成像光学系统为同心或接近同心的光学系统,即其主镜、凸面光栅、三镜均为球面,且各自的曲率中心重合或基本重合。本发明基于自准直原理,通过观察点光源经球面镜反射后得到的自准像,快速确定球面镜曲率中心的位置。本发明提供的装调方法具有装调速度快,精度高,对于装调环境的要求低,所需的设备成本低的特点,能快速有效地完成Offner型光谱成像光学系统的装调。

Description

一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法
技术领域
本发明涉及一种Offner型光谱成像光学系统的装调方法。
背景技术
光谱成像技术能够同时获取场景的空间信息和光谱信息,具有“图谱合一”的优点,广泛用于遥感探测、矿物勘探、环保监控、智慧农业以及食品安全等领域。基于Offner结构的光栅型光谱成像系统具有相对孔径大、畸变小,成像质量佳,结构紧凑等优点,是目前最常见的光谱成像系统之一。Offner结构的光谱成像光学系统中通常包含主镜、三镜、凸面光栅和狭缝等组件,这些元件的失调会导致系统成像质量下降以及畸变的增加,直接影响光谱成像的定量化水平。
在本发明作出之前,中国发明专利CN102141439A公开了一种凸面光栅成像光谱仪的装配方法,它基于干涉仪,采用谱图直读法实现光栅、探测器的装配,具体步骤为:配备一套干涉仪和标准补偿镜;在干涉仪前面置入凸面光栅分光系统的主镜、三镜,调整主镜、三镜位置使干涉仪出现干涉条纹;将汞灯置于狭缝前,光栅置入主镜、三镜之间,读数显微镜置入凸面光栅分光系统的像面处,调节光栅,使读数显微镜能够读出汞灯的0级、-1级光谱;置入探测器、望远镜头,调节探测器、望远镜头,使探测器能接受到探测目标理想的光谱像。该方法在装调过程中需要使用干涉仪,价格昂贵,且装调过程花费时间较长。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足,提供一种装调速度快,精度高,成本低的Offner型光谱成像光学系统的装调方法。
实现本发明目的的技术方案是提供一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法,包括如下步骤:
(1)用三坐标测量仪,预先分别对Offner结构的光谱成像光学系统中的主镜曲率中心、三镜曲率中心和凸面光栅表面的曲率中心作出标记;
(2)主镜的固定:在标记的主镜曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标D1;移去玻璃圆球,调整主镜使得自准直显微镜发出的光束经主镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与本步骤中记录下的像点的重心坐标D1一致,固定主镜;
(3)三镜的固定:在标记的三镜曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标D2;移去玻璃圆球,调整三镜使得自准直显微镜发出的光束经三镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与本步骤中记录下的像点的重心坐标D2一致,固定三镜;
(4)在凸面光栅的背部安装辅助凹面镜,辅助凹面镜的曲率中心与凸面光栅表面曲率中心同心;在标记的凸面光栅表面曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标D3;移去玻璃圆球,调整辅助凹面镜和凸面光栅,使得自准直显微镜发出的光束经辅助凹面镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与本步骤中记录下的像点的重心坐标D3一致;
(5)安装狭缝,在光谱成像光学系统的像面处放置面阵探测器;用汞灯照明狭缝,在面阵探测器获取谱线图,测试谱线弯曲;在保持经凸面光栅背后的辅助凹面镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与步骤(4)中的重心坐标一致的条件下,依据谱线弯曲测试结果,转动凸面光栅;
(6)当谱线弯曲满足要求时,固定凸面光栅,拆除辅助凹面镜,完成系统装调。
Offner型光谱成像光学系统为同心或接近同心的光学系统,即其主镜、凸面光栅、三镜均为球面,且各自的曲率中心重合或基本重合。本发明基于自准直原理,通过观察点光源经球面镜反射后得到的自准像,快速确定球面镜曲率中心的位置。
与现有技术相比,本发明针对Offner型光谱成像光学系统的光学结构特点,基于自准直原理,提出一种装调方法,其有益效果在于:装调速度快,精度高,对于装调环境的要求低,所需的设备成本低,能快速有效地完成Offner型光谱成像光学系统的装调。
附图说明
图1为本方法实施例提供的一种Offner型光谱成像光学系统装调方法的流程图;
图2为主镜和三镜的装调示意图;
图3为自准直显微镜结构示意图;
图4为凸面光栅和辅助镜的安装示意图;
图5为光栅的粗装调示意图;
图6为光栅的精装调示意图;
图中,1.自准直显微镜;2.补偿镜;3.玻璃球;4.自准直显微镜;5.凸面光栅; 6. 辅助镜;7. 光谱成像系统的主镜;8. 光谱成像系统的三镜;9. 狭缝;10. 汞灯;11. CCD相机;12.半透半反镜;13.显微物镜;14.光源;15.面阵探测器;16.针孔。
具体实施方式
以下结合附图及实施例,对本发明技术方案作进一步的详细说明。
实施例1
参见附图1,它是本实施例提供的一种Offner型光谱成像光学系统装调方法的流程图,具体步骤如下:
1.用三坐标测量仪,预先分别对Offner结构的光谱成像光学系统中的主镜曲率中心、三镜曲率中心和凸面光栅表面的曲率中心作出标记;
2.在标记的主镜曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标;
3.移去玻璃圆球,调整主镜使得自准直显微镜发出的光束经主镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与步骤2中记录下的像点的重心坐标一致,固定主镜;
4.在标记的三镜曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标;
5.移去玻璃圆球,调整三镜使得自准直显微镜发出的光束经三镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与步骤4中记录下的像点的重心坐标一致,固定三镜;
6.在凸面光栅的背部安装辅助凹面镜,辅助凹面镜的曲率中心与凸面光栅表面曲率中心同心;
7.在标记的凸面光栅表面曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标;
8.移去玻璃圆球,调整辅助凹面镜和凸面光栅,使得自准直显微镜发出的光束经辅助凹面镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与步骤7中记录下的像点的重心坐标一致;
9.安装狭缝,在光谱成像光学系统的像面处放置面阵探测器;
10.用汞灯照明狭缝,在面阵探测器获取谱线图,测试谱线弯曲;
11.在保持经凸面光栅背后的辅助凹面镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与步骤7中的重心坐标一致的条件下,依据谱线弯曲测试结果,转动凸面光栅;
12.当谱线弯曲满足要求时,固定凸面光栅,拆除辅助凹面镜,完成系统装调。
参见附图2,它为主镜、三镜的装调示意图;图中,7为光谱成像系统的主镜,8为光谱成像系统的三镜。具体步骤分别如图2(a)、(b)和(c)所示:
参见图2(a),装调时首先将自准直显微镜1对准玻璃球3的球心。
参见图2(b),移走玻璃球,将主镜7放入光路中,调整主镜3,使得自准直显微镜1发出的光能够经主镜反射后自准,固定主镜。
参见图2(c ),用与图2(a)同样的方法,安装另一个自准直显微镜4,使其会聚点与玻璃球3的曲率中心重合,再在光路中放入三镜8。调整三镜8,使得自准直显微镜4发出的光能够经三镜反射后自准,固定三镜,完成主镜和三镜的安装。
参见附图3,为装调过程中所用的自准直显微镜结构示意图,图中,12为半透半反镜,13为显微物镜,14为光源,15为面阵探测器,16为针孔。针孔16的位置和探测器15的中心位置成共轭关系,均位于显微物镜的像点处。
参见附图4,为凸面光栅和辅助镜的安装示意图,图中,1和4均为自准直显微镜,2为产生会聚光的补偿镜,3为玻璃球,5为凸面光栅,6为具有凹面反射面的辅助镜。具体步骤分别如图4(a)、(b)和(c)所示:
参见图4(a),安装时,先将自准直显微镜4的会聚点对准玻璃球3的球心,然后将补偿镜2放入光路中,使得补偿镜2的物方会聚点位于玻璃球3的球心处,并利用自准直显微镜4对准补偿镜2的像方会聚点。
参见图4(b),移走玻璃球,将凸面光栅5放入光路中,移动凸面光栅,使得凸面光栅的曲率中心与补偿镜2的会聚点重合,此时自准直显微镜4中可以观察到经凸面光栅5自准回来的0级光。
参见图4(c),在光路中放入辅助镜6,调整辅助镜使得其曲率中心与自准显微镜4的会聚点重合,固定辅助镜和凸面光栅,完成凸面光栅和辅助镜的安装。
参见附图5和6,图5为光栅的粗装调示意图;自准直显微镜4的会聚点位于主镜7和三镜8的曲率中心处,放入凸面光栅5以及安装在一起的凹面辅助镜6,调整凸面光栅,使得其后部的辅助镜的曲率中心位于自准直显微镜4的会聚点处,初步固定凸面光栅。图6为光栅的精装调示意图;安装光谱成像系统的狭缝9,并利用汞灯10照明狭缝,将CCD相机11安装在光谱成像系统的像面处,使得面阵探测器上观察到清晰的谱线。测量面阵探测器上谱线的弯曲量,转动凸面光栅,同时保证辅助镜的曲率中心仍在自准直显微镜4的聚焦点处,直至谱线弯曲量最小,固定凸面光栅,并移除辅助镜,完成Offner光谱成像系统的装调。

Claims (1)

1.一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法,其特征在于包括如下步骤:
(1)用三坐标测量仪,预先分别对Offner结构的光谱成像光学系统中的主镜曲率中心、三镜曲率中心和凸面光栅表面的曲率中心作出标记;
(2)主镜的固定:在标记的主镜曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标D1;移去玻璃圆球,调整主镜使得自准直显微镜发出的光束经主镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与本步骤中记录下的像点的重心坐标D1一致,固定主镜;
(3)三镜的固定:在标记的三镜曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标D2;移去玻璃圆球,调整三镜使得自准直显微镜发出的光束经三镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与本步骤中记录下的像点的重心坐标D2一致,固定三镜;
(4)在凸面光栅的背部安装辅助凹面镜,辅助凹面镜的曲率中心与凸面光栅表面曲率中心同心;在标记的凸面光栅表面曲率中心处放置透明玻璃圆球,将自准直显微镜聚焦于玻璃圆球的球心,记录下自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标D3;移去玻璃圆球,调整辅助凹面镜和凸面光栅,使得自准直显微镜发出的光束经辅助凹面镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与本步骤中记录下的像点的重心坐标D3一致;
(5)安装狭缝,在光谱成像光学系统的像面处放置面阵探测器;用汞灯照明狭缝,在面阵探测器获取谱线图,测试谱线弯曲;在保持经凸面光栅背后的辅助凹面镜反射后,自准直显微镜探测器像面上像点的重心坐标与步骤(4)中的重心坐标一致的条件下,依据谱线弯曲测试结果,转动凸面光栅;
(6)当谱线弯曲满足要求时,固定凸面光栅,拆除辅助凹面镜,完成系统装调。
CN201911078576.9A 2019-11-06 2019-11-06 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法 Active CN110888240B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911078576.9A CN110888240B (zh) 2019-11-06 2019-11-06 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法
US17/623,766 US11860379B2 (en) 2019-11-06 2020-05-06 Fast assembly method of an Offner spectral imaging optical system
PCT/CN2020/088839 WO2021088341A1 (zh) 2019-11-06 2020-05-06 一种 Offner 型光谱成像光学系统的快速装调方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911078576.9A CN110888240B (zh) 2019-11-06 2019-11-06 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110888240A true CN110888240A (zh) 2020-03-17
CN110888240B CN110888240B (zh) 2021-08-27

Family

ID=69746981

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911078576.9A Active CN110888240B (zh) 2019-11-06 2019-11-06 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11860379B2 (zh)
CN (1) CN110888240B (zh)
WO (1) WO2021088341A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021088341A1 (zh) * 2019-11-06 2021-05-14 苏州大学 一种 Offner 型光谱成像光学系统的快速装调方法
CN113588082A (zh) * 2021-07-09 2021-11-02 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种偏轴棱镜色散型高光谱成像仪的高精度快速装调方法
CN113949443A (zh) * 2021-09-29 2022-01-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光通信测试系统的高精度快速装调方法

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114660754B (zh) * 2021-12-24 2023-06-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径光学透镜组的高精度装调方法
CN115857188A (zh) * 2022-12-30 2023-03-28 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种收发多光路光学系统精密同轴度装调方法
CN116593001B (zh) * 2023-07-18 2024-03-12 长春理工大学 一种基于宏文件的成像光谱仪光学系统谱线弯曲校正方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101216595A (zh) * 2007-12-29 2008-07-09 苏州大学 微型超光谱成像系统
CN102141439A (zh) * 2010-12-24 2011-08-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种凸面光栅成像光谱仪的装配方法
CN103852163A (zh) * 2014-03-14 2014-06-11 苏州大学 适用于微型成像光谱仪的微型分光系统
CN103941415A (zh) * 2014-03-26 2014-07-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 反射式同心光学系统的快速装调方法
US20150022811A1 (en) * 2013-07-19 2015-01-22 Corning Incorporated Compact hyperspectral imaging system
CN109239884A (zh) * 2018-09-18 2019-01-18 昆明北方红外技术股份有限公司 变倍光学系统中导轨的定位系统及方法
WO2019083981A1 (en) * 2017-10-24 2019-05-02 University Of Rochester ADAPTIVE METROLOGY WITH A RANGE OF OPTICAL SURFACES IN ROTATION USING A SPATIAL LIGHT MODULATOR

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5880834A (en) 1996-10-16 1999-03-09 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Convex diffraction grating imaging spectrometer
US6118577A (en) * 1998-08-06 2000-09-12 Euv, L.L.C Diffractive element in extreme-UV lithography condenser
US7106435B2 (en) * 2003-03-17 2006-09-12 Drs Sensors & Targeting Systems, Inc. Hyperspectral scene generator and method of use
US6940645B2 (en) * 2003-04-22 2005-09-06 Eastman Kodak Company Monocentric autostereoscopic optical apparatus with a spherical gradient-index ball lens
US7221449B2 (en) * 2004-06-28 2007-05-22 Applera Corporation Apparatus for assaying fluorophores in a biological sample
US7518722B2 (en) * 2004-08-19 2009-04-14 Headwall Photonics, Inc. Multi-channel, multi-spectrum imaging spectrometer
US7330258B2 (en) * 2005-05-27 2008-02-12 Innovative Technical Solutions, Inc. Spectrometer designs
US7324196B2 (en) * 2006-04-13 2008-01-29 Neil Goldstein Spectral encoder
US7817274B2 (en) * 2007-10-05 2010-10-19 Jingyun Zhang Compact spectrometer
WO2009070459A1 (en) * 2007-11-30 2009-06-04 Jingyun Zhang Miniature spectrometers working with cellular phones and other portable electronic devices
CN102519595B (zh) 2011-12-07 2013-10-09 中国科学院合肥物质科学研究院 一种星载差分吸收光谱仪的光学系统
US8913241B2 (en) * 2012-07-23 2014-12-16 Corning Incorporated Hyperspectral imaging system and method for imaging a remote object
US9435689B2 (en) * 2012-10-31 2016-09-06 Corning Incorporated Hyperspectral imaging system, monolithic spectrometer and methods for manufacturing the monolithic spectrometer
US8599374B1 (en) * 2012-11-15 2013-12-03 Corning Incorporated Hyperspectral imaging systems and methods for imaging a remote object
CN103592024A (zh) 2013-10-29 2014-02-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 双衍射级次Offner成像光谱仪
CN110888240B (zh) 2019-11-06 2021-08-27 苏州大学 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101216595A (zh) * 2007-12-29 2008-07-09 苏州大学 微型超光谱成像系统
CN102141439A (zh) * 2010-12-24 2011-08-03 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种凸面光栅成像光谱仪的装配方法
US20150022811A1 (en) * 2013-07-19 2015-01-22 Corning Incorporated Compact hyperspectral imaging system
CN103852163A (zh) * 2014-03-14 2014-06-11 苏州大学 适用于微型成像光谱仪的微型分光系统
CN103941415A (zh) * 2014-03-26 2014-07-23 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 反射式同心光学系统的快速装调方法
WO2019083981A1 (en) * 2017-10-24 2019-05-02 University Of Rochester ADAPTIVE METROLOGY WITH A RANGE OF OPTICAL SURFACES IN ROTATION USING A SPATIAL LIGHT MODULATOR
CN109239884A (zh) * 2018-09-18 2019-01-18 昆明北方红外技术股份有限公司 变倍光学系统中导轨的定位系统及方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021088341A1 (zh) * 2019-11-06 2021-05-14 苏州大学 一种 Offner 型光谱成像光学系统的快速装调方法
US11860379B2 (en) 2019-11-06 2024-01-02 Soochow University Fast assembly method of an Offner spectral imaging optical system
CN113588082A (zh) * 2021-07-09 2021-11-02 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种偏轴棱镜色散型高光谱成像仪的高精度快速装调方法
CN113949443A (zh) * 2021-09-29 2022-01-18 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光通信测试系统的高精度快速装调方法
CN113949443B (zh) * 2021-09-29 2023-01-06 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光通信测试系统的高精度快速装调方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20220244561A1 (en) 2022-08-04
WO2021088341A1 (zh) 2021-05-14
CN110888240B (zh) 2021-08-27
US11860379B2 (en) 2024-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110888240B (zh) 一种Offner型光谱成像光学系统的快速装调方法
US6714308B2 (en) Rapid in-situ mastering of an aspheric fizeau
US8692995B2 (en) Optical system for projecting an IR or UV test signal with optical alignment of the projection axis in the visible spectral region
CN106405860B (zh) 基于折反式红外成像光学系统的装调方法
CN107314978B (zh) 微区可见光谱仪及光谱测量方法
CN110186653B (zh) 非成像系统的光轴一致性校准和裂像定焦装调装置及方法
CN108871733A (zh) 大口径光学系统近场检测装置及其测量方法
CN101210806A (zh) 基于辅助光源的激光发射轴与机械基准面同轴度测量方法
US11243139B2 (en) Device and method for optical measurement of an internal contour of a spectacle frame
CN115166932B (zh) 一种大口径长焦距离轴光学系统的光轴调整方法
JP4140684B2 (ja) 光学系ズレ推定装置、光学系ズレ調整装置、光学系ズレ推定方法、及び光学系ズレ調整方法
CN114279687B (zh) 一种用于主次镜相对弯沉的测量装置及其测量方法
CN108132026A (zh) 半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置
CN109253867B (zh) 一种光学系统焦距测量系统及方法
US6924897B2 (en) Point source module and methods of aligning and using the same
US5684593A (en) Easy to align interferometric reference reflectors
US6459490B1 (en) Dual field of view optical system for microscope, and microscope and interferometer containing the same
CN211477573U (zh) 用于平行光管检焦的角锥自准直扫描装置
CN112525343A (zh) 一种针对色散型成像光谱仪的检测方法及装置
CN117054053B (zh) 一种用于反射望远镜焦面标定的装置及方法
CN116105983B (zh) 可见光多光路系统的光轴平行性自准直检测装置及方法
CN219757692U (zh) 一种多光轴一致性检测装置
JP3529486B2 (ja) 光ディスクドライブの組み立て方法
US2684011A (en) Method and apparatus for measuring angles between reflecting surfaces
RU203510U1 (ru) Устройство юстировки двухзеркальной центрированной оптической системы

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant