CN110884813B - 晶圆盒仓储系统 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆盒仓储系统，包括；一架体，周边环绕设有数个层叠式盒架，而各盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位，并于各盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架；一升降装置，设置于架体，而朝向架体内部具有一升降台；一平面三轴机器人，设置于架体内部，而将一基座设置于该升降台，基座设有一上臂与一上臂旋转马达，上臂设有一前臂与一前臂旋转马达，前臂设有一腕部牙叉与一腕部牙叉旋转马达；一操控单元，设置于架体，而将一人机接口设置于架体外侧，而控制升降装置与平面三轴机器人进行晶圆盒的入仓或出仓。本发明具有提升晶圆盒储置空间比率的功效。
Description
技术领域
本发明是有关一种晶圆盒仓储系统，尤指一种利用平面三轴机器人以三轴旋转运动进行晶圆盒的平面移载，致使晶圆盒仓储系统的空间得以微型化的设计。
背景技术
如图6所示，中国台湾公开编号第201730067号发明专利，揭露一种有关晶圆盒保管装置，其包括有：一对的收纳部60a、60b，各具有成列供晶圆盒20a储置的数个棚架61，各对棚架61被相向配置；以及一移载装置70，设置于该对收纳部60a、60b之间，而将一对导轨71沿着该对收纳部60a、60b铺设，并于该对导轨71上设置一台车72，该台车72上设置一旋转台73，该旋转台73上设置一桅杆74，该桅杆74上设置一升降台75，该升降台75上设置一移载机构76，该移载机构76具有一叉架761；因此，该移载装置70借由台车72的移行控制、升降台75的升降控制及旋转台73的旋转控制，将移载机构76移动至指定的棚架61前，再使移载机构76伸长让叉架761进入棚架61内，进而取出或放入晶圆盒20a，致使晶圆盒20a得于各棚架61之间被移载而进行仓储管理。然而，由于前述发明专利对于晶圆盒20a的移载过程，是利用台车72的移行加上旋转台73的旋转再加上移载机构76的伸缩予以完成，移载装置70所需的设置空间较大，致使供晶圆盒20a储置的棚架61的设置空间就相对被排挤，且晶圆盒20a所需的移载时间较长。
发明内容
为解决先前技术使用于储置晶圆盒的空间较小及移载晶圆盒入仓/出仓耗时较长的问题，本发明提供一种晶圆盒仓储系统，其具有提升晶圆盒储置空间比率的功效；具有缩短晶圆盒入仓/出仓所需时间的功效。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种晶圆盒仓储系统，包括；一架体，周边环绕设有数个层叠式盒架，而各该盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位，并于各该盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架；一升降装置，设置于该架体，而朝向该架体内部具有一升降台；一平面三轴机器人，设置于该架体内部，而将一基座设置于该升降台，该基座设有一上臂与一上臂旋转马达，该上臂设有一前臂与一前臂旋转马达，该前臂设有一腕部牙叉与一腕部牙叉旋转马达；一操控单元，设置于该架体，而将一人机接口设置于该架体外侧，而控制该升降装置与该平面三轴机器人进行晶圆盒的入仓或出仓。
此外，该前臂与该上臂等长。再者，该平面三轴机器人将该前臂相对于该上臂无法旋转转动的角度设计在该前臂相对于该上臂逼近完全展开姿态的微幅区间内，致使该前臂与该上臂可在局促空间进行姿态转换，且将该腕部牙叉相对于该前臂无法旋转转动的角度设计在该腕部牙叉相对于该前臂逼近完全展开姿态的微幅区间内，致使该腕部牙叉与该前臂可在局促空间进行姿态转换；其中，该前臂相对于该上臂无法旋转转动的微幅区间，为该前臂相对于该上臂逆时针展开175度至逆时针展开185度之间；该腕部牙叉相对于该前臂无法旋转转动的微幅区间，为该腕部牙叉相对于该前臂逆时针展开175度至逆时针展开185度之间。又，该腕部牙叉进一步设置一位置感应器，该位置感应器电性连接至该操控单元，侦测该腕部牙叉的实际坐标与指令坐标是否吻合。另，该升降装置为单轴机器人。
借此，利用平面三轴机器人以三轴旋转运动进行晶圆盒的平面移载，因具有设置空间需求小且平面移载时间短的特性，致使晶圆盒仓储系统的空间得以微型化。
本发明的有益效果是，其具有提升晶圆盒储置空间比率的功效；具有缩短晶圆盒入仓/出仓所需时间的功效。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构立体图。
图2是本发明的结构俯视图。
图3是本发明升降装置与平面三轴机器人的结构立体图。
图4是本发明平面三轴机器人的姿态转换说明图。
图5是本发明平面三轴机器人的可转动角度说明图。
图6是现有晶圆盒保管装置的结构俯视图。
图中标号说明：
10架体
11盒架
11a入仓盒架
11b出仓盒架
20、20a晶圆盒
30升降装置
31升降台
40平面三轴机器人
41基座
42上臂
43前臂
44腕部牙叉
50人机界面
60a、60b收纳部
61棚架
70移载装置
71导轨
72台车
73旋转台
74桅杆
75升降台
76移载机构
761叉架
具体实施方式
首先，请参阅图1～图3所示，本发明包括；一架体10，周边环绕设有数个层叠式盒架11，而各该盒架11各为一个具有对应坐标的晶圆盒20的储位，并于各该盒架11中择一做为入仓盒架11a且择一做为出仓盒架11b(亦可仅择一做为入仓/出仓共享盒架)；一升降装置30，设置于该架体10，而朝向该架体10内部具有一升降台31，该升降装置30可为单轴机器人；一平面三轴机器人40，设置于该架体10内部，而将一基座41设置于该升降台31，该基座41设有一上臂42与一上臂旋转马达(图未示)，该上臂42设有一前臂43与一前臂旋转马达(图未示)，该前臂43设有一腕部牙叉44与一腕部牙叉旋转马达(图未示)；一操控单元(图未示)，设置于该架体10，而将一人机界面50设置于该架体10外侧，而控制该升降装置30与该平面三轴机器人40进行晶圆盒20的入仓或出仓；其中，该腕部牙叉44进一步设置一位置感应器(图未示)，该位置感应器电性连接至该操控单元，侦测该腕部牙叉44的实际坐标与指令坐标是否吻合。
接着，请参阅图4、图5所示，该平面三轴机器人40的前臂43可与上臂42等长，该上臂42于该基座41的马达转轴411旋转；再者，为使该平面三轴机器人40可在局促空间进行姿态转换，而将该前臂43相对于该上臂42无法旋转转动的角度θ设计在该前臂43相对于该上臂42逼近完全展开姿态的微幅区间内，该微幅区间可为该前臂43相对于该上臂42的马达转轴421逆时针展开175度至逆时针展开185度之间，致使该前臂43与该上臂42可在局促空间进行姿态转换；且将该腕部牙叉44相对于该前臂43无法旋转转动的角度设计在该腕部牙叉44相对于该前臂43逼近完全展开姿态的微幅区间内，该微幅区间可为该腕部牙叉44相对于该前臂43逆时针展开175度至逆时针展开185度之间，致使该腕部牙叉44与该前臂43可在局促空间进行姿态转换。
基于上述构成，作业人员可由该人机接口50输入所欲出仓的盒架11坐标，而控制该升降装置30与该平面三轴机器人40进行运转，叉举指定的晶圆盒20并移至出仓盒架11b上放置，再由作业人员或对应的取料设备将晶圆盒20取出；反之，放置于入仓盒架11a的晶圆盒20，作业人员则可由该人机接口50输入所欲入仓的盒架11坐标，而控制该升降装置30与该平面三轴机器人40进行运转，叉举入仓的晶圆盒20并移至指定的盒架11放置。
是以，本发明以三轴旋转运动进行晶圆盒的平面移载，相较于先前技术以两个平移运动加上一个旋转运动进行晶圆盒的平面移载，不但平面移载装置(平面三轴机器人)的设置空间需求较小，另可缩短晶圆盒平面移载所需的时间，而具有提升晶圆盒储置空间比率且缩短晶圆盒入仓/出仓所需时间的功效。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种晶圆盒仓储系统，其特征在于，包括：
一架体，周边环绕设有数个层叠式盒架，而各该盒架各为一个具有对应坐标的晶圆盒的储位，并于各该盒架中择一做为入仓盒架且择一做为出仓盒架或仅择一做为入仓/出仓共享盒架；
一升降装置，设置于该架体，而朝向该架体内部具有一升降台；
一平面三轴机器人，设置于该架体内部，而将一基座设置于该升降台，该基座设有一上臂与一上臂旋转马达，该上臂设有一前臂与一前臂旋转马达，该前臂设有一腕部牙叉与一腕部牙叉旋转马达,所述平面三轴机器人将该前臂相对于该上臂无法旋转转动的角度设计在该前臂相对于该上臂逼近完全展开姿态的微幅区间内，致使该前臂与该上臂可在局促空间进行姿态转换，且将该腕部牙叉相对于该前臂无法旋转转动的角度设计在该腕部牙叉相对于该前臂逼近完全展开姿态的微幅区间内，致使该腕部牙叉与该前臂可在局促空间进行姿态转换,所述前臂相对于该上臂无法旋转转动的微幅区间，为该前臂相对于该上臂逆时针展开175度至逆时针展开185度之间；该腕部牙叉相对于该前臂无法旋转转动的微幅区间，为该腕部牙叉相对于该前臂逆时针展开175度至逆时针展开185度之间；
一操控单元，设置于该架体，而将一人机接口设置于该架体外侧，而控制该升降装置与该平面三轴机器人进行晶圆盒的入仓或出仓。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒仓储系统，其特征在于，所述前臂与该上臂等长。
3.根据权利要求1所述的晶圆盒仓储系统，其特征在于，所述腕部牙叉进一步设置一位置感应器，该位置感应器电性连接至该操控单元，侦测该腕部牙叉的实际坐标与指令坐标是否吻合。
4.根据权利要求3所述的晶圆盒仓储系统，其特征在于，所述升降装置为单轴机器人。
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