CN110815169A - 一种螺旋型微型机器人及其制备方法和用途 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种螺旋型微型机器人及其制备方法和用途，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为15‑75°，所述螺旋型微型机器人的体长为40‑1000μm，其能在磁场驱动下进行运动，且所述螺旋型微型机器人的制备方法简单，制备得到的螺旋型微型机器人的一致性好，产量高，可用于靶向送药。
Description
技术领域
本发明属于微型机器人领域，涉及一种螺旋型微型机器人及其制备方法和用途。
背景技术
近年来，越来越多科研工作者将目光投向微型机器人。微型机器人因为其体积小的特点从而可以进入一些狭窄区域协助外科医生完成手术。依靠化学燃料、外部电场、光场、超声和磁场驱动的微纳米机器人的制备在最近几年来取得飞快的进步。在这些不同类型的驱动方式中，磁场驱动因其无毒和可操作性强的特点受到了越来越多科学家的关注。
常见的磁场驱动方式包括了旋转磁场驱动和梯度磁场驱动两种。但是梯度磁场需要较大的磁场强度和较低的驱动效率，因此更多人把希望寄托于旋转磁场上。而当一个物体缩小至一定尺寸后，惯性力不再占据主导作用，一般的往复运动将不再能让微小物体在液体中获得向前的速度。因此在旋转磁场作用下，简单的往复式旋转运动不会让物体获得一个向前的速度。自然界中有两种微型生物，一种是具有柔性尾巴的精子细胞，另外一种是具有螺旋型鞭毛的细菌，该种细菌的分子马达会驱动螺旋型的鞭毛产生旋转运动，从而产生一个向前的驱动力。受到自然界的启发，科学家一直至于制备这种可被旋转磁场驱动的仿生螺旋型微型机器人。
2019年，瑞士苏黎世联邦理工大学的张立博士利用不同材料晶格不匹配从而产生应力的特性制备了这种螺旋型的三维结构，(参见文献：Zhang,L.,et al.,Artificialbacterial flagella:Fabrication and magnetic control.Applied Physics Letters,2009.94(6):p.064107.)；科学家在制备螺旋型结构时，增加了磁性材料镍，磁性头部会随着外部旋转磁场旋转，从而带动非磁性螺旋型尾部转动，从而获得向前运动的能力。
目前，螺旋型机器人的制备方法包括以下步骤：首先，将砷化铝镓牺牲层和双层砷化镓铟/砷化镓通过分子束外延生长在晶向为001方向的砷化镓(GaAs)基底上；之后铬层通过电子束蒸镀的方式进行沉积；随后砷化镓铟/砷化镓/铬三层通过反应离子刻蚀的方式得到一个带状的图形；软磁性的头部是通过铬/镍/金层薄膜沉积和剥离工艺制备，最后，砷化铝镓牺牲层在2％氢氟酸溶液里进行选择性刻蚀，平面带状图案自发卷曲形成螺旋型结构；此方案存在的问题是制备步骤繁琐，涉及到的制备仪器较多，同时，制备中需要使用危险性很高的氢氟酸溶液。
同时，将微型机器人用于靶向送药对送药量有着较高的要求，但是每个微型机器人上所载抗癌药物都是有限的，因此实现多个微型机器人对一处肿瘤细胞的送药，这个时候就对微型机器人的产量有着很高的要求；而目前采用的螺旋型微型机器人的制备过程的效率均较低，产率不足，且产品的一致性较差。
而采用激光直写打印机技术，其仅适用于光敏材料，一般为非金属材料和无磁材料，打印效率低，约为1-2秒/个，且成本较高。
因此，开发一种产量高的螺旋型微型机器人及其制备方法仍具有重要意义。
发明内容
本发明的目的在于提供一种螺旋型微型机器人及其制备方法和用途，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为15-75°，所述螺旋型微型机器人的体长为40-1000μm，其能在磁场驱动下进行运动，且所述螺旋型微型机器人的制备方法简单，制备得到的螺旋型微型机器人的一致性好，产量高，可用于靶向送药。
为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种螺旋型微型机器人，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为15-75°，例如15°、30°、45°、60°或75°等，所述螺旋型微型机器人的体长为40-1000μm，例如100μm、200μm、300μm、400μm、500μm、600μm、700μm、800μm或900μm等。
本发明所述螺旋型微型机器人的体长可通过如下方法计算得到：
其中，L为螺旋型微型机器人的体长，θ为螺旋型微型机器人的螺旋角；R为螺旋型微型机器人的半径。
优选地，所述螺旋型微型机器人由长条形平行四边形卷曲得到。
优选地，所述长条形平行四边形的一侧底角为15-75°，例如15°、30°、45°、60°或75°等，优选为20-40°。
本发明所述螺旋型微型机器人通过长条形平行四边形卷曲得到，并控制长条形平行四边形的一侧底角为20-40°，由其得到的螺旋型微型机器人在磁场的驱动下具有更高的运动性能。
优选地，所述长条形平行四边形进行卷曲后，以长条形平行边形的长边计，每30-80μm，例如35μm、40μm、45μm、50μm、55μm、60μm、65μm、70μm或75μm等，为螺旋型微型机器人的一匝。
优选地，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为20-40°，例如22°、24°、26°、28°、30°、32°、34°、36°或38°等。
本发明所述螺旋型微型机器人的螺旋角在上述范围内，其有利于螺旋型微型机器人在磁场的作用下进行运动，改善微型机器人的运动性能。
优选地，所述螺旋型微型机器人的体长为50-400μm，例如100μm、120μm、140μm、160μm、180μm、200μm、250μm、300μm、350μm或380μm等。
优选地，所述螺旋型微型机器人为螺旋片状结构。
优选地，所述螺旋片状结构的片状厚度为20-300nm，例如50nm、100nm、150nm、200nm或250nm等，优选为80-100nm。
本发明所述螺旋型微型机器人为螺旋片状结构，其螺旋片状结构的片状厚度为20-300nm，其厚度在上述范围内，有利于所述螺旋型微型机器人在磁场驱动下进行运动。
优选地，所述螺旋型微型机器人为金属材料。
优选地，所述螺旋型微型机器人的材质为铁磁性金属材料。
优选地，所述螺旋型微型机器人的材质为镍(Ni)、钛(Ti)、钴(Co)、铜(Cu)、金(Au)、铂(Pt)、铝(Al)、铁(Fe)或钴镍合金(CoNi)中的任意一种或至少两种的组合，优选为镍。
第二方面，本发明提供了如第一方面所述的螺旋型微型机器人的制备方法，所述方法包括以下步骤：
(1)在基底上形成光刻胶层，之后进行烘烤；
(2)通过紫外曝光在光刻胶层上印刻长条形平行四边形，之后烘烤、显影；所述长条形平行四边形的一侧底角为15-75°；
(3)在步骤(2)得到的长条形平行四边形上蒸镀金属材料层，之后置于加热的溶剂中浸泡，得到所述螺旋型微型机器人。
本发明所述螺旋型微型机器人的制备过程中通过在基底上形成特定图形的光刻胶层，之后在光刻胶层上蒸镀金属材料层，之后将其置于溶剂中浸泡溶解所述光刻胶，由于光刻胶的溶胀作用带动所述金属材料层卷曲，当图形的排列方向和卷曲方向有偏差时，光刻胶层与金属材料层一同卷成螺旋型结构，之后进一步浸泡溶解，从而完成单层螺旋型微型机器人的制备；本发明所述方法的制备过程简单，且能实现大批量制备。
本发明所述制备过程中利用光刻胶在溶剂中的溶胀作用使得光刻胶和其表面的金属材料层一同卷曲形成螺旋型结构，为达上述目的，此处需控制光刻胶的形状为长条形平行四边形，并控制其一侧底角为15-75°。
本发明所述螺旋型微型机器人的制备方法的制备过程效率高，其可达5-10个/秒。
优选地，所述长条形平行四边形进行卷曲后，以长条形平行边形的长边计，每30-80μm，例如35μm、40μm、45μm、50μm、55μm、60μm、65μm、70μm或75μm等，为螺旋型微型机器人的一匝。
优选地，步骤(1)所述基底包括硅片、二氧化硅或氮化硅中的任意一种。
优选地，步骤(1)所述光刻胶层的光刻胶为负胶。
优选地，步骤(1)所述光刻胶选自SU8、AZ nlof 2035、AZ nlof 2020、AZ nlof5510、AZ nlof 2070中的任意一种。
优选地，步骤(1)所述光刻胶层的厚度为2-8μm，例如3μm、4μm、5μm、6μm或7μm等。
本发明所述螺旋型微型机器人的制备过程中光刻胶层的作用是在厚度通过其溶胀作用结合特定的图案，使得光刻胶层和金属材料层一同卷曲形成螺旋型。
本发明所述螺旋型微型机器人的制备过程中控制光刻胶层的厚度为2-8μm，其有利于后续过程光刻胶层溶胀作用使得光刻胶和金属材料层一同卷曲形成螺旋结构，增加制备过程的效率；而当光刻胶层的厚度小于2μm时，旋涂难以达到且溶胀变形积累小不足以卷曲金属材料层；当光刻胶层的厚度大于8μm时，显影效果不好且造成浪费。
优选地，步骤(1)所述在基底上形成光刻胶层的方法包括将光刻胶涂覆在基底上。
优选地，将光刻胶涂覆在基底上的方法为旋涂。
优选地，所述旋涂的转速为2000-4000rpm，例如2500rpm、3000rpm或3500rpm等。
优选地，所述旋涂的时间为45-30s，例如32s、35s、38s、40s或43s等。
优选地，步骤(1)所述烘烤的时间为60-90s，例如65s、70s、75s、80s或85s等。
优选地，步骤(1)所述烘烤的温度为110-90℃，例如105℃、100℃或95℃等。
优选地，步骤(2)所述紫外曝光的紫外线的强度为5-13mW/cm2，例如6mW/cm2、7mW/cm2、8mW/cm2、9mW/cm2、10mW/cm2、11mW/cm2或12mW/cm2等。
优选地，步骤(2)所述紫外曝光的时间为20-15s，例如19s、18s、17s或16s等。
优选地，步骤(2)所述长条形平行四边形的一侧底角为20-40°，例如25°、30°、35°或38°等。
优选地，步骤(2)所述烘烤的温度为80-120℃，例如90℃、100℃或110℃等。
优选地，步骤(2)所述烘烤的时间为90-60s，例如85s、80s、75s、70s或65s等。
优选地，步骤(2)所述显影在显影液中进行，所述显影的时间为50-70s，例如55s、60s或65s等。
优选地，所述显影液包括ZX 238、AZ326、AZ 726或AZ 826中的任意一种。
优选地，步骤(2)所述蒸镀为电子束蒸镀。
优选地，步骤(2)所述蒸镀过程的沉积速率为
例如
或
等。
优选地，步骤(3)所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮(N-Methyl pyrrolidone，N MP)、二甲基亚砜(Dimethyl sulfoxide，DMSO)或丙酮(acetone)中的任意一种或至少两种的组合，优选为NMP。
优选地，步骤(3)所述加热的溶剂的温度为80-100℃，例如75℃、90℃或95℃等。
优选地，步骤(3)所述浸泡过程伴随超声处理。
此处所述浸泡过程中，光刻胶发生溶胀，而超声处理有利于溶胀过程的进行。
优选地，所述超声处理的时间为30-120s，例如50s、70s、90s或110s等。
优选地，步骤(3)所述浸泡的时间为3-1天，例如2.5天、2天或1.5天等。
优选地，步骤(3)中所述浸泡后还包括清洗。
优选地，所述清洗的清洗液包括醇和水。
优选地，所述清洗的方法包括先用醇润洗，之后用水润洗。
优选地，所述醇包括异丙醇和/或乙醇。
作为本发明优选的技术方案，所述螺旋型微型机器人的制备方法包括以下步骤：
(a)将光刻胶倾倒在硅片上，在转速为2000-4000rpm的条件下进行旋涂，所述旋涂的时间为45-30s，得到光刻胶层；
(b)将步骤(a)得到的光刻胶层在90-110℃的条件下烘烤90-60s，之后冷却至常温；
(c)将设计的菲林板图案通过紫外曝光的方式印刻在光刻胶层上，紫外曝光的紫外光的波长为300-370nm，所述紫外光的强度为5-13mW/cm2，紫外曝光的时间为20-15s，之后在80-120℃下进行烘烤90-60s，在显影液中显影50-70s，得到长条形平行四边形的光刻胶；
(d)将金属材料通过电子束蒸镀的方式沉积在步骤(c)得到的长条形平行四边形的光刻胶上，电子束蒸镀的沉积速率为
得到厚度为20-300nm的金属材料层；之后将其浸泡在温度为80-100℃的N-甲基吡咯烷酮中浸泡3-1天，得到所述螺旋型微型机器人。
第三方面，本发明提供了如第一方面所述的螺旋型微型机器人的用途，所述螺旋型微型机器人用于靶向送药。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
(1)本发明所述螺旋型微型机器人的螺旋角为15-75°，其体长为40-1000μm，其能在磁场驱动下进行运动，可作为靶向送药的载体；
(2)本发明所述螺旋型微型机器人的制备过程简单，适于大批量生产。
附图说明
图1是本发明所述螺旋型微型机器人的结构示意图；
图2是本发明所述螺旋型微型机器人的制备过程的流程示意图；
图3是本发明实施例1中制备得到的螺旋型微型机器人的光学显微镜图；
图4是本发明实施例1中批量制备螺旋型微型机器人的中间产物的光学显微镜图；
图5是本发明实施例2中制备得到的螺旋型微型机器人的光学显微镜图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
具体实施方式部分所述的螺旋型微型机器人的结构示意图如图1所示，由图1可以看出，所述螺旋型微型机器人为螺旋型片状结构，其体长、半径及螺旋角的尺寸标注如图1中所示。
具体实施方式部分所述的螺旋型微型机器人的制备过程的流程示意图如图2所示；由图2可以看出，所述制备过程包括以下步骤：
(a)在硅片表面涂覆光刻胶层；
(b)将光刻胶层经烘干、紫外曝光、烘干、显影后得到长条形平行四边形的光刻胶层；
(c)在步骤(b)得到的长条形平行四边形的光刻胶层的表面蒸镀金属材料层，之后将其置于N-甲基吡咯烷酮(NMP)中浸泡，得到所述螺旋型微型机器人。
以下实施例1-4均采用上述制备流程。
实施例1
本实施例所述螺旋型微型机器人的光学显微镜图如图3所示，由图3可以看出，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为37.5°，其体长为120μm。
螺旋型微型机器人的制备方法包括以下步骤：
(a)将4mL AZ nLof 2070商用光刻胶倾倒在干净的硅片上，在转速为3000rpm的条件下进行旋涂，所述旋涂的时间为35s，得到厚度为5μm的光刻胶层；
(b)将步骤(a)得到的光刻胶层在100℃的条件下烘烤80s，之后冷却至常温；
(c)将设计的菲林板图案通过紫外曝光的方式印刻在光刻胶层上，紫外曝光的紫外光的波长为365nm，所述紫外光的强度为7.3mW/cm2，紫外曝光的时间为18s，之后在90℃下进行烘烤80s，在AZ 826MIF显影液中显影60s，得到长条形平行四边形的光刻胶，长条形平行四边形的一侧底角的角度为37.5°，所述长条形平行四边形的长边长度为300μm；
(d)将Ni薄膜通过电子束蒸镀的方式沉积在步骤(c)得到的长条形平行四边形的光刻胶上，电子束蒸镀的沉积速率为得到厚度为100nm的Ni材料层；之后将其浸泡在温度为90℃的N-甲基吡咯烷酮(NMP)中，超声处理40s，之后继续浸泡2天，用乙醇和水清洗，得到所述螺旋型微型机器人。
本实施例批量制备螺旋型微型机器人过程中的中间产物的光学显微图片如图4所示，由图4可以看出，本实施例制备过程中光刻胶层溶胀作用带动镍(Ni)材料层一同卷曲，形成螺旋型结构；本发明所述方法能大批量的制备得到一致性较好的螺旋型微型机器人。
实施例2
本实施例所述螺旋型微型机器人的光学显微镜图如图5所示，由图5可以看出，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为29.4°，其体长为135μm。
螺旋型微型机器人的制备方法包括以下步骤：
(a)将5mL AZ nLof 2070商用光刻胶倾倒在干净的硅片上，在转速为4000rpm的条件下进行旋涂，所述旋涂的时间为35s，得到厚度为6μm的光刻胶层；
(b)将步骤(a)得到的光刻胶层在100℃的条件下烘烤90s，之后冷却至常温；
(c)将设计的菲林板图案通过紫外曝光的方式印刻在光刻胶层上，紫外曝光的紫外光的波长为365nm，所述紫外光的强度为7.3mW/cm2，紫外曝光的时间为18s，之后在120℃下进行烘烤60s，在AZ 826MIF显影液中显影60s，得到长条形平行四边形的光刻胶，长条形平行四边形的一侧底角的角度为29.4°，所述长条形平行四边形的长边长度为300μm；
(d)将Ni薄膜通过电子束蒸镀的方式沉积在步骤(c)得到的长条形平行四边形的光刻胶上，电子束蒸镀的沉积速率为
得到厚度为90nm的镍(Ni)材料层；之后将其浸泡在温度为100℃的N-甲基吡咯烷酮(NMP)中，超声处理50s，之后继续浸泡2天，用异丙醇和水清洗，得到所述螺旋型微型机器人。
实施例3
本实施例所述螺旋型微型机器人的螺旋角为20°，其体长为40μm。
螺旋型微型机器人的制备方法包括以下步骤：
(a)将3mL AZ nLof 2070商用光刻胶倾倒在干净的硅片上，在转速为4000rpm的条件下进行旋涂，所述旋涂的时间为30s，得到厚度为3μm的光刻胶层；
(b)将步骤(a)得到的光刻胶层在90℃的条件下烘烤60s，之后冷却至常温；
(c)将设计的菲林板图案通过紫外曝光的方式印刻在光刻胶层上，紫外曝光的紫外光的波长为365nm，所述紫外光的强度为7.3mW/cm2，紫外曝光的时间为15s，之后在100℃下进行烘烤60s，在AZ 826MIF显影液中显影50s，得到长条形平行四边形的光刻胶，长条形平行四边形的一侧底角的角度为20°，所述长条形平行四边形的长边长度为50μm；
(d)将镍(Ni)薄膜通过电子束蒸镀的方式沉积在步骤(c)得到的长条形平行四边形的光刻胶上，电子束蒸镀的沉积速率为
得到厚度为80nm的镍(Ni)材料层；之后将其浸泡在温度为80℃的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，超声处理90s，之后继续浸泡2天，用异丙醇和水清洗，得到所述螺旋型微型机器人。
实施例4
本实施例所述螺旋型微型机器人的螺旋角为53.5°，其体长为360μm。
螺旋型微型机器人的制备方法包括以下步骤：
(a)将5mL AZ nLof 2070商用光刻胶倾倒在干净的硅片上，在转速为4000rpm的条件下进行旋涂，所述旋涂的时间为45s，得到厚度为8μm的光刻胶层；
(b)将步骤(a)得到的光刻胶层在110℃的条件下烘烤90s，之后冷却至常温；
(c)将设计的菲林板图案通过紫外曝光的方式印刻在光刻胶层上，紫外曝光的紫外光的波长为365nm，所述紫外光的强度为7.3mW/cm2，紫外曝光的时间为20s，之后在120℃下进行烘烤90s，在AZ 826MIF显影液中显影70s，得到长条形平行四边形的光刻胶，长条形平行四边形的一侧底角的角度为53.5°，所述长条形平行四边形的长边长度为700μm；
(d)将镍薄膜通过电子束蒸镀的方式沉积在步骤(c)得到的长条形平行四边形的光刻胶上，电子束蒸镀的沉积速率为
得到厚度为150nm的镍材料层；之后将其浸泡在温度为80℃的N-甲基吡咯烷酮(NMP)，超声处理60s，之后继续浸泡2天，用乙醇和水清洗，得到所述螺旋型微型机器人。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为15-75°，所述螺旋型微型机器人的体长为40-1000μm。
2.如权利要求1所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人由长条形平行四边形卷曲得到；
优选地，所述长条形平行四边形的一侧底角为15-75°，优选为20-40°；
优选地，所述螺旋型微型机器人的螺旋角为20-40°。
3.如权利要求1或2所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人的体长为50-400μm。
4.如权利要求1-3任一项所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人为螺旋片状结构。
5.如权利要求4所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋片状结构的片状厚度为20-300nm，优选为80-100nm。
6.如权利要求1-5任一项所述的螺旋型微型机器人，其特征在于，所述螺旋型微型机器人为金属材料；
优选地，所述螺旋型微型机器人的材质为铁磁性金属材料；
优选地，所述螺旋型微型机器人的材质为镍、钛、钴、铜、金、铂、铝、铁或钴镍合金中的任意一种或至少两种的组合，优选为镍。
7.如权利要求1-6任一项所述的螺旋型微型机器人的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)在基底上形成光刻胶层，之后进行烘烤；
(2)通过紫外曝光在光刻胶层上印刻长条形平行四边形，之后烘烤、显影，所述长条形平行四边形的一侧底角为15-75°；
(3)在步骤(2)得到的长条形平行四边形上蒸镀金属材料层，之后置于加热的溶剂中浸泡，得到所述螺旋型微型机器人。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述基底包括硅片、二氧化硅或氮化硅中的任意一种；
优选地，步骤(1)所述光刻胶层的光刻胶为负胶；
优选地，步骤(1)所述光刻胶层的厚度为2-8μm；
优选地，步骤(1)所述在基底上形成光刻胶层的方法包括将光刻胶涂覆在基底上；
优选地，将光刻胶涂覆在基底上的方法为旋涂；
优选地，所述旋涂的转速为2000-4000rpm；
优选地，所述旋涂的时间为45-30s；
优选地，步骤(1)所述烘烤的时间为60-90s；
优选地，步骤(1)所述烘烤的温度为110-90℃；
优选地，步骤(2)所述紫外曝光的紫外线的强度为5-13mW/cm2；
优选地，步骤(2)所述紫外曝光的时间为20-15s；
优选地，步骤(2)所述长条形平行四边形的一侧底角为20-40°；
优选地，步骤(2)所述烘烤的温度为80-120℃；
优选地，步骤(2)所述烘烤的时间为90-60s；
优选地，步骤(2)所述显影在显影液中进行，所述显影的时间为50-70s；
优选地，步骤(2)所述蒸镀为电子束蒸镀；
优选地，步骤(2)所述蒸镀过程的沉积速率为
优选地，步骤(3)所述溶剂为N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜或丙酮中的任意一种或至少两种的组合，优选为N-甲基吡咯烷酮；
优选地，步骤(3)所述加热的溶剂的温度为80-100℃；
优选地，步骤(3)所述浸泡过程伴随超声处理；
优选地，所述超声处理的时间为30-120s；
优选地，步骤(3)所述浸泡的时间为3-1天；
优选地，步骤(3)中所述浸泡后还包括清洗；
优选地，所述清洗的清洗液包括醇和水；
优选地，所述清洗的方法包括先用醇润洗，之后用水润洗；
优选地，所述醇包括异丙醇和/或乙醇。
9.如权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(a)将光刻胶倾倒在硅片上，在转速为2000-4000rpm的条件下进行旋涂，所述旋涂的时间为45-30s，得到光刻胶层；
(b)将步骤(a)得到的光刻胶层在90-110℃的条件下烘烤90-60s，之后冷却至常温；
(c)将设计的菲林板图案通过紫外曝光的方式印刻在光刻胶层上，紫外曝光的紫外光的波长为300-370nm，所述紫外光的强度为5-13mW/cm2，紫外曝光的时间为20-15s，之后在80-120℃下进行烘烤90-60s，在显影液中显影50-70s，得到长条形平行四边形的光刻胶；
(d)将金属材料通过电子束蒸镀的方式沉积在步骤(c)得到的长条形平行四边形的光刻胶上，电子束蒸镀的沉积速率为
得到厚度为20-300nm的金属材料层；之后将其浸泡在温度为80-100℃的N-甲基吡咯烷酮中浸泡3-1天，得到所述螺旋型微型机器人。
10.如权利要求1-6任一项所述的螺旋型微型机器人的用途，其特征在于，所述螺旋型微型机器人用于靶向送药。
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