CN110792809A - 一种气体流量控制方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及表面贴装技术的供气控制领域，具体涉及一种气体流量控制方法及其装置。方法中通过开启若干条输气通道进行标准供气，在气体流量出现无法调节为整数根输气管道标准供气时，将额外采用一根输气管道进行间歇式供气，如此在整个供气过程中满足了精准的流量控制。流量控制装置，通过出气装置控制供气侧装置和用气侧装置的气体流通，气体流量控制方法，实现了气体流量的控制，提高了流量控制的精度，实现对通入波峰焊、回流焊炉中的氮气流量进行实时控制，实现供需同步，减少氮气浪费。

Description

一种气体流量控制方法及其装置

技术领域

本发明涉及表面贴装技术的供气控制领域，具体涉及一种气体流量控制方法及其装置。

背景技术

在SMT(Surface Mounted Technology，表面贴装技术)行业，波峰焊、回流焊炉在生产过程中需要通入大量的氮气以排出炉内的氧气，避免电子器件表面的金属在高温下氧化，减少末端产品的报废和返工。为了减少生产过程中的氮气消耗，降低用气成本，需要对通入波峰焊、回流焊炉中的氮气流量进行实时控制，实现供需同步，减少氮气浪费。

现有技术中，波峰焊、回流焊炉内氮气流量控制方法是：将通入波峰焊、回流焊炉内的氮气分两路，第一路为固定流量，第二路为可调流量。第一路是直接向炉内某些区域通入流量大小基本恒定的氮气，其目的是整体降低炉内的氧气浓度；固定流量所需氮气流量大，不便于控制，现有技术中缺乏可以应用于此领域的大流量的控制装置。第二路是通过流量控制装置来调节通入波峰焊、回流焊炉内的氮气流量，它的作用是对炉内的氮气进行补充，使炉内氧浓度进一步降低并保持在某一目标值附近。

基于现有技术状况，对波峰焊、回流焊炉内的氧气浓度控制精度非常低，炉内氧气浓度波动较大，导致产品质量参差不齐。而且，由于现有技术中的固定流量并未根据炉内实际需要进行实时控制，导致氮气浪费仍然非常严重。因此还需要提出更为合理的技术方案，解决现有技术中存在的技术问题。

发明内容

本发明提供一种气体流量控制方法及其装置，旨在对供给的气体进行流量控制，实现精确的气体流量控制，实现对通入波峰焊、回流焊炉中的氮气流量进行实时控制，实现供需同步，减少氮气浪费。

为了实现上述效果，本发明中方法部分采用的技术方案为：

一种气体流量控制方法，用于调节气体的流量，包括：

在供气侧和用气侧之间设置若干口径不同的输气通道，每个输气通道由单独的控制阀控制开启和关闭；

根据开度信号计算输气通道的需开启截面积；

开启适当数量的控制阀，使对应被开启的输气通道的供气截面积之和等于输气通道的需开启截面积；若需开启截面积无法与整数个输气通道的供气截面积之和相等，则多开启一条输气通道进行间歇式供气。

上述公开的方法，通过开启若干条输气通道进行标准供气，在气体流量出现无法调节为整数根输气管道标准供气时，将额外采用一根输气管道进行间歇式供气，如此在整个供气过程中满足了精准的流量控制。

进一步的，对上述技术方案中公开的输气管道的配置方案进行优化，在多种可行的方案中列举一种，所述的口径不同的输气管道，包括：

口径为a的细输气管道、口径为b的中输气管道和口径为c的输气管道，所述的输气管道的口径的大小关系为c＝4b＝16a，其中，以细输气管道的截面积作为单位截面积。

上述三种口径的管道是优选方案，除此之外还可配置更多中口径的输气管道，以达到更为精确的气体流量控制。

进一步的，上述技术方案中公开了需开启截面积，针对其具体的确定方式，此处进行详细说明，根据开度信号计算输气通道的需开启截面积，包括：

所有的输气管道的截面积之和作为流通总面积，以开启度k与流通总面积的乘积作为需开启截面积，其中开启度取值0～100％；将需开启截面积转换为单位截面积，同时进行一次运算：需开启截面积除以16所得商为粗输气管道数；再进行二次运算：将一次运算余数除以4所得商所得商作为中输气管道数；再进行三次运算：将二次运算的余数除以1所得商作为细输气管道数，存在余数的，以进一法确定商值。

以上是设置三种口径的输气管道，且口径比例为c＝4b＝16a关系下的需开启截面积对应输气管道的计算方式；同理，在设置更多口径的输气管道，或更换其他口径比例关系时，可采用类比的方式得出输气管道的数量。

进一步的，对上述技术方案中公开的计算输气管道数的方式进行优化，具体确定输气管道的设置和通气方式，举出如下可行的方案：通过一次运算和二次运算所获得的粗输气管道和中输气管道作为持续开启的输气管道；通过三次运算所获得的商值若不存在余数，则取商值数的细输气管道作为持续开启的输气管道，若三次运算所获得的商值存在余数，则还需开启一条细输气管道间歇式供气。

进一步的，上述技术方案中公开的间歇式供气的细输气管道，采用如下方式进行供气：所述的开启一条细输气管道间歇式供气，具体方式为以开启度k的值，确定在单位时间内该条间歇式供气的细输气管道的供气时间。

上述内容对流量控制方法进行了详细说明，本发明还提供了一种流量控制装置，此处进行详细说明，具体如下：

一种气体流量控制装置，包括出气装置，所述的出气装置内设置有第二空腔，第二空腔连通供气侧装置和用气侧装置，且第二空腔与供气侧装置和/或用气侧装置之间设置有流量控制结构，所述的流量控制结构包括若干连通第二空腔的排气孔，所述的每个排气孔均由单独的控制阀控制通断。

上述公开的流量控制装置，通过出气装置控制供气侧装置和用气侧装置的气体流通，按照前文中公开的气体流量控制方法，实现了气体流量的控制，提高了流量控制的精度，实现对通入波峰焊、回流焊炉中的氮气流量进行实时控制，实现供需同步，减少氮气浪费。

进一步的，对上述技术方案中的排气孔配置方式进行优化，举出如下可行的方案：所述的排气孔至少包括口径为c的粗输气通道、口径为b的中输气通道和口径为a的细输气通道，其中c＝4b＝16a。

再进一步，对上述技术方案中公开的输气管道的配置方式继续优化，举出如下可行的方式：所述的细输气通道的数量为四，所述的中输气通道的数量为四，且所述的粗输气通道的数量为六。

进一步的，对上述技术方案中公开的气体流量控制装置进行优化，举出如下可行的方案：所述的供气侧装置与第二空腔之间设置有第三空腔，所述的第三空腔的腔径大于第二空腔的腔径，且第三空腔与第二空腔连通。

进一步的，对上述技术方案中公开的出气装置进行细化，举出如下可行的方案：所述的出气装置包括分流体，所述的第二空腔和第三空腔均设置在分流体上且贯穿分流体，分流体的一端设置第二底部盖板并封闭第二空腔和第三空腔在该端的端口；分流体的另一端设置有出气盖板并封闭第二空腔和第三空腔在该端的端口，出气盖板上设置有连通第二空腔的出气接口。

进一步的，对上述技术方案中公开的第二底部盖板结构进行优化，举出如下可行的方案：所述的第二底部盖板上设置有压力传感器，压力传感器用于测量第二空腔和第三空腔内的气压值。

进一步的，对上述技术方案中公开的分流体结构进行优化，举出如下可行的技术方案：所述的第三空腔内的气体进入控制阀内，再由控制阀进入第二空腔。

进一步的，对上述技术方案中公开的分流体结构进行优化，举出如下可行的方案：所述的分流体上设置有连通第三空腔的第二孔道，供气侧装置的气体通过第二孔道进入第三空腔内。

进一步的，对上述技术方案中公开的控制装置进行优化，举出如下可行的方案：所述的控制装置还包括进气装置，所述的进气装置包括本体，本体内设置有第一空腔，第一空腔连通气源，并为出气装置供气；本体上设置有连通第一空腔的第一孔道，第一空腔内的气体从第一孔道内排出并输送至出气装置。

再进一步，对上述技术方案中公开的控制装置进行优化，举出如下可行的方案：所述的第一空腔贯穿本体，本体的一端设置有第一底部盖板并封闭第一空腔在该端的端口；本体的另一端设置有进气盖板并封闭第一空腔在该端的端口，所述的进气盖板上设置有连通第一空腔的进气接口。

进一步的，供气侧装置的气压一般较高，而用气侧装置的气压需要低于供气侧装置，故对控制装置的结构进行优化，举出如下可行的方案：所述的进气装置与出气装置之间还设置有减压阀，减压阀的进气口侧与进气装置的第一孔道连通，减压阀的出气口侧与出气装置的第二孔道连通。

进一步的，为提高进气装置与出气装置的连接稳定性，对控制装置进行优化：所述的进气装置与出气装置之间还设置有连接装置。

再进一步，所述的控制装置还包括控制电路板，控制电路板用于启停控制阀；控制电路板连接有信号输入端口，信号输入端口用于外部开度信号的输入。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

(1)本发明的可调节大流量氮气，可以对通入波峰焊、回流焊炉中氮气进行全流量控制，减去了固定流量，为用户最大限度的节约氮气。

(2)本发明的控制精度高、无死区，能实现0～100％的开度控制。

(3)本发明中具有减压阀，可以输入0～1Mpa的氮气，用户无需再自行安装和调节气源压力。

(4)本发明的出气端压力可调，根据不同的场合调整本发明的出气压力。

(5)本发明的进气装置和出气装置中均有大量的空腔，使得气源稳定，不会出现流量波动的情况，使得控制准确。

(6)本发明可以实时监测气源、出气压力、出气流量，实现智能控制。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅表示出了本发明的部分实施例，因此不应看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。

图1为本发明中进气装置的示意图；

图2为本发明中本体的示意图；

图3为本发明的第一底部盖板示意图；

图4为本发明中进气盖板示意图；

图5为本发明中出气装置的示意图；

图6为本发明中分流体的示意图；

图7为本发明中分流体的切面图；

图8为本发明中第二底部盖板的示意图；

图9为本发明中出气盖板的示意图；

图10为本发明中出气装置侧视图；

图11为本发明中减压阀示意图；

图12为本发明中连接装置示意图；

图13为本发明的整体示意图。

上述附图中，各标号的含义为：

1-进气装置

101-本体，102-第一底部盖板，103-进气盖板，104-第一空腔，105-第二密封结构，106-第一螺纹孔，107-第一凸起，108-第一孔道，109-第三密封结构，110-第一凹槽，111-第二螺纹孔，112-进气接口，113-第三螺纹孔；

2-出气装置

201-分流体，202-第二底部盖板，203-出气盖板，204-出气接口，205-保护罩，206-信号输入端口，207-第二空腔，208-第三空腔，209-第四密封结构，210-第六密封结构，211-第四螺纹孔，212-出气通道，213-进气通道，214-第二凸起；215-压力凹槽，216-第五螺纹孔，217-第三孔道，218-第四孔道，219-第九密封结构，220-第十密封结构，221-第三凸台，222-第六螺纹孔，223-出气接口，224-控制电路板，225-控制阀，226-第二凹槽，227-第八密封结构，228-第二孔道；

3-减压阀

301-进气口侧，302-出气口侧；

4-连接装置

401-第七螺纹孔，402-中心通孔。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本发明做进一步阐释。

在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本发明，但并不构成对本发明的限定。本文公开的特定结构和功能细节仅用于描述本发明的示例实施例。然而，可用很多备选的形式来体现本发明，并且不应当理解为本发明限制在本文阐述的实施例中。

本文使用的术语仅用于描述特定实施例，并且不意在限制本发明的示例实施例。如本文所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”意在包括复数形式，除非上下文明确指示相反意思。还应当理解术语“包括”、“包括了”、“包含”、和/或“包含了”当在本文中使用时,指定所声明的特征、整数、步骤、操作、单元和/或组件的存在性,并且不排除一个或多个其他特征、数量、步骤、操作、单元、组件和/或他们的组合存在性或增加。

还应当注意到在一些备选实施例中，所出现的功能/动作可能与附图出现的顺序不同。例如,取决于于所涉及的功能/动作,实际上可以实质上并发地执行,或者有时可以以相反的顺序来执行连续示出的两个图。

在下面的描述中提供了特定的细节,以便于对示例实施例的完全理解。然而,本领域普通技术人员应当理解可以在没有这些特定细节的情况下实现示例实施例。例如可以在框图中示出系统，以避免用不必要的细节来使得示例不清楚。在其他实施例中，可以不以非必要的细节来示出众所周知的过程、结构和技术，以避免使得示例实施例不清楚。

实施例1

本实施例公开了一种气体流量控制方法，用于调节气体的流量，包括：

S001：在供气侧和用气侧之间设置若干口径不同的输气通道，每个输气通道由单独的控制阀控制开启和关闭；

S002：根据开度信号计算输气通道的需开启截面积；

S003：开启适当数量的控制阀，使对应被开启的输气通道的供气截面积之和等于输气通道的需开启截面积；若需开启截面积无法与整数个输气通道的供气截面积之和相等，则多开启一条输气通道进行间歇式供气。

上述公开的方法，通过开启若干条输气通道进行标准供气，在气体流量出现无法调节为整数根输气管道标准供气时，将额外采用一根输气管道进行间歇式供气，如此在整个供气过程中满足了精准的流量控制。

对上述技术方案中公开的输气管道的配置方案进行优化，在多种可行的方案中列举一种，所述的口径不同的输气管道，包括：

口径为a的细输气管道、口径为b的中输气管道和口径为c的输气管道，所述的输气管道的口径的大小关系为c＝4b＝16a，其中，以细输气管道的截面积作为单位截面积。

上述三种口径的管道是优选方案，除此之外还可配置更多中口径的输气管道，以达到更为精确的气体流量控制。

上述技术方案中公开了需开启截面积，针对其具体的确定方式，此处进行详细说明，根据开度信号计算输气通道的需开启截面积，包括：

所有的输气管道的截面积之和作为流通总面积，以开启度k与流通总面积的乘积作为需开启截面积，其中开启度取值0～100％；将需开启截面积转换为单位截面积，同时进行一次运算：需开启截面积除以16所得商为粗输气管道数；再进行二次运算：将一次运算余数除以4所得商所得商作为中输气管道数；再进行三次运算：将二次运算的余数除以1所得商作为细输气管道数，存在余数的，以进一法确定商值。

以上是设置三种口径的输气管道，且口径比例为c＝4b＝16a关系下的需开启截面积对应输气管道的计算方式；同理，在设置更多口径的输气管道，或更换其他口径比例关系时，可采用类比的方式得出输气管道的数量。

对上述技术方案中公开的计算输气管道数的方式进行优化，具体确定输气管道的设置和通气方式，举出如下可行的方案：通过一次运算和二次运算所获得的粗输气管道和中输气管道作为持续开启的输气管道；通过三次运算所获得的商值若不存在余数，则取商值数的细输气管道作为持续开启的输气管道，若三次运算所获得的商值存在余数，则还需开启一条细输气管道间歇式供气。

上述技术方案中公开的间歇式供气的细输气管道，采用如下方式进行供气：所述的开启一条细输气管道间歇式供气，具体方式为以开启度k的值，确定在单位时间内该条间歇式供气的细输气管道的供气时间。

具体的，在本实施例中，所述的细输气通道的数量为四，直径为0.8mm；所述的中输气通道的数量为四，直径为1.6mm；且所述的粗输气通道的数量为六，直径为3.2mm。以细输气管道的截面积为单位截面积，则流通总面积为116单位截面积。在本实施例中，假设开启度k等于80％，那么需开启截面积为80％×116＝92.8，粗输气管道的打开个数应为5个(92.8÷16＝16×5+12.8)，中输气管道的打开个数应为3个(12.8÷4＝4×3+0.8)，细输气管道的打开个数应为0.8个。由于细输气管道的打开个数为小数，则采取细输气管道的打开个数为1个，且在单位时间内的打开时间为0.8×单位时间(单位时间可以设定)。

经实测，通入0.2Mpa的氮气时，本发明最大开度时氮气流量可达1200L/min，超过了波峰焊、回流焊炉所需的氮气流量。将本实施例中的方法用于控制通入波峰焊、回流焊炉中的氮气流量时，所有氮气流量全部通过本方法进行调节，不需要向炉内通入固定流量，最大限度地为SMT企业节约了氮气。同时，由于本方法将口径精确到毫米级，对流量调节十分精确，可以将波峰焊、回流焊炉内的氧气浓度控制误差维持在50ppm以内，控制精度极高。

实施例2

如图1～图13所示，上述实施例对流量控制方法进行了详细说明，本实施例提供一种流量控制装置，此处进行详细说明，具体如下：

一种气体流量控制装置，包括出气装置2，所述的出气装置2内设置有第二空腔207，第二空腔207连通供气侧装置和用气侧装置，且第二空腔207与供气侧装置和/或用气侧装置之间设置有流量控制结构，所述的流量控制结构包括若干连通第二空腔207的排气孔，所述的每个排气孔均由单独的控制阀控制通断。在本实施例中，所述的控制阀225采用电磁阀。

上述公开的流量控制装置，通过出气装置2控制供气侧装置和用气侧装置的气体流通，按照前文中公开的气体流量控制方法，实现了气体流量的控制，提高了流量控制的精度，实现对通入波峰焊、回流焊炉中的氮气流量进行实时控制，实现供需同步，减少氮气浪费。

对上述技术方案中的排气孔配置方式进行优化，举出如下可行的方案：所述的排气孔至少包括口径为c的粗输气通道、口径为b的中输气通道和口径为a的细输气通道，其中c＝4b＝16a。

对上述技术方案中公开的输气管道的配置方式继续优化，举出如下可行的方式：所述的细输气通道的数量为四，所述的中输气通道的数量为四，且所述的粗输气通道的数量为六。

对上述技术方案中公开的气体流量控制装置进行优化，举出如下可行的方案：所述的供气侧装置与第二空腔207之间设置有第三空腔208，所述的第三空腔208的腔径大于第二空腔207的腔径，且第三空腔208与第二空腔207连通。

在本实施例中，将排气孔作为连通密封腔和第二空腔207的出气通道212，同时将第三空腔208连通至密封腔的气孔作为进气通道213。一个进气通道213和一个出气通道212为一组，在分流体201上的开口位置与控制阀225阀芯的位置相对应。当某一个控制阀225在控制信号的驱动下打开时，就可以通过这一组进气通道213和出气通道212将第三空腔208和第二空腔207连通，再通过与第二空腔207连通的出气接口223通入到波峰焊、回流焊炉中对应的位置。

为了保护本发明中的控制阀225，在分流体201上的控制阀225外部，设置有保护罩205，将所有控制阀225包裹起来，并灌封密闭。

作为优选方案，在保护罩205中设置一张控制电路板224，该控制电路板224上包括了所有控制阀225的接口、驱动电路、MCU(微控制器)、信号输入端口206。

对上述技术方案中公开的出气装置2进行细化，举出如下可行的方案：所述的出气装置2包括分流体201，所述的第二空腔207和第三空腔208均设置在分流体201上且贯穿分流体201，分流体201的一端设置第二底部盖板202并封闭第二空腔207和第三空腔208在该端的端口；分流体201的另一端设置有出气盖板203并封闭第二空腔207和第三空腔208在该端的端口，出气盖板203上设置有连通第二空腔207的出气接口204。

本实施例中，第二底部盖板202与分流体201之间设置有分别用于密封第二空腔207的第五密封结构、用于密封第三空腔208的第七密封结构；所述的出气盖板203与分流体201之间设置有分别用于密封第二空腔207的第四密封结构209、用于密封第三空腔208的第六密封结构210。出气盖板203上设置有第六螺纹孔222，且出气盖板203通过螺栓与分流体201连接固定。

本实施例中，所述的分流体201的一端面上设置有第四螺纹孔211并用于螺纹连接出气盖板203，在另一端面处的第二底部盖板202上设置第五螺纹孔216并用于连接至分流体201。

为了固定分流体201，在分流体201外侧的四角处，与空腔垂直的方向，设置有四个第二凸起214，在第二凸起214中间设置有螺栓过孔。

对上述技术方案中公开的第二底部盖板202结构进行优化，举出如下可行的方案：所述的第二底部盖板202上设置有压力传感器，压力传感器用于测量第二空腔207和第三空腔208内的气压值。

本实施例中，在第二底部盖板202上设置有第三孔道217和第四孔道218，所述的压力传感器数量为二且分别设置在第三孔道217和第四孔道218内。在所述第二底部盖板202上设置有用于安装压力电路板的压力凹槽215，所述的第三孔道217和第四孔道218均设置在压力凹槽215内，在压力凹槽215内四角处及中间位置设置有带有螺纹孔的第三凸台221。

利用压力传感器分别测试第二、第三空腔208内的压力，以实现对氮气压力实时监测，并通过此压力对控制阀225开关控制进行补偿。通过压力传感器之间的差值还可以计算从第三腔体流入第二腔体的氮气流量，即通入到波峰焊、回流焊炉中的氮气流量。

对上述技术方案中公开的分流体201结构进行优化，举出如下可行的技术方案：所述的第三空腔208内的气体进入控制阀内，再由控制阀进入第二空腔207。

对上述技术方案中公开的分流体201结构进行优化，举出如下可行的方案：所述的分流体201上设置有连通第三空腔208的第二孔道228，供气侧装置的气体通过第二孔道228进入第三空腔208内。本实施例中，分流体201上设置第二孔道228的端面上设置有第二凹槽226，所述的第二孔道228设置在第二凹槽226内。

对上述技术方案中公开的控制装置进行优化，举出如下可行的方案：所述的控制装置还包括进气装置1，所述的进气装置1包括本体101，本体101内设置有第一空腔104，第一空腔104连通气源，并为出气装置2供气；本体101上设置有连通第一空腔104的第一孔道108，第一空腔104内的气体从第一孔道108内排出并输送至出气装置2。

在本实施例中，第一孔道108为直径为Φ28mm的圆孔。为了固定本体101，在本体101的外侧的四角处，与空腔垂直的方向，设置有四个第一凸起107，在第一凸起107中间设置有螺栓过孔。同时，第一孔道108的孔口处设置有第三密封结构109。

对上述技术方案中公开的控制装置进行优化，举出如下可行的方案：所述的第一空腔104贯穿本体101，本体101的一端设置有第一底部盖板102并封闭第一空腔104在该端的端口；本体101的另一端设置有进气盖板103并封闭第一空腔104在该端的端口，所述的进气盖板103上设置有连通第一空腔104的进气接口112。具体的，所述的本体101上设置有第一螺纹孔106，进气盖板103通过螺栓连接至本体101上。

优选的，第一底部盖板102为表面光滑的长方体，其长宽与本体101空腔的端面相同，且第一底部盖板102通过螺栓连接固定至本体101上。同样的，进气盖板103也为长兴体结构并通过螺栓连接固定至本体101上。第一底部盖板102与本体101之间设置有第一密封结构，进气盖板103与本体101之间设置有第二密封结构105。在本实施例中，所述的第一底部盖板102上设置有第二螺纹孔111，第一底部盖板102通过螺栓连接至本体101。所述的进气盖板103上设置有第三螺纹孔113，进气盖板103通过螺栓连接至本体101。

供气侧装置的气压一般较高，而用气侧装置的气压需要低于供气侧装置，故对控制装置的结构进行优化，举出如下可行的方案：所述的进气装置1与出气装置2之间还设置有减压阀3，减压阀3的进气口侧301与进气装置1的第一孔道108连通，减压阀3的出气口侧302与出气装置2的第二孔道228连通。在第二孔道228的孔口处设置有第八密封结构227。本实施例中，在第一孔道108所在的本体101端面，设置有第一凹槽110，所述的第一孔道108设置在第一凹槽110内。

本实施例中所采用的减压阀3为现有技术，优先选择品牌为SMC，输出压力为0～1Mpa的减压阀3。在本实施例中所述减压阀3输出压力默认调至0.25Mpa。

为提高进气装置1与出气装置2的连接稳定性，对控制装置进行优化：所述的进气装置1与出气装置2之间还设置有连接装置4。

所述连接装置4为长方体，其中心为贯穿的中心通孔402，可以容纳减压阀3的两端穿过。在连接装置4的侧面设置有螺纹孔，分别与进气装置1、出气装置2上的凸起中的第七螺纹孔

401对应，可以使用螺栓固定连接。

具体的，在本实施例中，所述连接装置4为两个。所述连接装置4固定在进气装置1和出气装置2之间，位于进气装置1和出气装置2长边两端。连接装置4将减压阀3固定在进气装置1和出气装置2之间，使得减压阀3进气口与第一孔道108、减压阀3出气口与第二孔道228连通，并利用第三密封圈、第八密封圈密封连接。

在本实施例中，所有的密封结构均包括密封槽和设置在密封槽内的密封圈。

所述的控制装置还包括控制电路板224，控制电路板224用于启停控制阀；控制电路板224连接有信号输入端口206，信号输入端口206用于外部开度信号的输入。

以上即为本发明列举的实施方式，但本发明不局限于上述可选的实施方式，本领域技术人员可根据上述方式相互任意组合得到其他多种实施方式，任何人在本发明的启示下都可得出其他各种形式的实施方式。上述具体实施方式不应理解成对本发明的保护范围的限制，本发明的保护范围应当以权利要求书中界定的为准，并且说明书可以用于解释权利要求书。

Claims (10)

1.一种气体流量控制方法，用于调节气体的流量，其特征在于，包括：

在供气侧和用气侧之间设置若干口径不同的输气通道，每个输气通道由单独的控制阀控制开启和关闭；

根据开度信号计算输气通道的需开启截面积；

开启适当数量的控制阀，使对应被开启的输气通道的供气截面积之和等于输气通道的需开启截面积；若需开启截面积无法与整数个输气通道的供气截面积之和相等，则多开启一条输气通道进行间歇式供气。

2.根据权利要求1所述的气体流量控制方法，其特征在于，所述的口径不同的输气管道，包括：

口径为a的细输气管道、口径为b的中输气管道和口径为c的输气管道，所述的输气管道的口径的大小关系为c＝4b＝16a，其中，以细输气管道的截面积作为单位截面积。

3.根据权利要求2所述的气体流量控制方法，其特征在于，根据开度信号计算输气通道的需开启截面积，包括：

所有的输气管道的截面积之和作为流通总面积，以开启度k与流通总面积的乘积作为需开启截面积，其中开启度取值0～100％；将需开启截面积转换为单位截面积，同时进行一次运算：需开启截面积除以16所得商为粗输气管道数；再进行二次运算：将一次运算余数除以4所得商所得商作为中输气管道数；再进行三次运算：将二次运算的余数除以1所得商作为细输气管道数，存在余数的，以进一法确定商值。

4.根据权利要求3所述的气体流量控制方法，其特征在于：通过一次运算和二次运算所获得的粗输气管道和中输气管道作为持续开启的输气管道；通过三次运算所获得的商值若不存在余数，则取商值数的细输气管道作为持续开启的输气管道，若三次运算所获得的商值存在余数，则还需开启一条细输气管道间歇式供气。

5.一种气体流量控制装置，用于按照权利要求1-4中任一项所述的控制方法实现流量控制，其特征在于：包括出气装置(2)，所述的出气装置(2)内设置有第二空腔(207)，第二空腔(207)连通供气侧装置和用气侧装置，且第二空腔(207)与供气侧装置和/或用气侧装置之间设置有流量控制结构，所述的流量控制结构包括若干连通第二空腔(207)的排气孔，所述的每个排气孔均由单独的控制阀(225)控制通断。

6.根据权利要求5所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的排气孔至少包括口径为c的粗输气通道、口径为b的中输气通道和口径为a的细输气通道，其中c＝4b＝16a。

7.根据权利要求5所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的出气装置(2)包括分流体(201)，所述的第二空腔(207)和第三空腔(208)均设置在分流体(201)上且贯穿分流体(201)，分流体(201)的一端设置第二底部盖板(202)并封闭第二空腔(207)和第三空腔(208)在该端的端口；分流体(201)的另一端设置有出气盖板(203)并封闭第二空腔(207)和第三空腔(208)在该端的端口，出气盖板(203)上设置有连通第二空腔(207)的出气接口(204)。

8.根据权利要求5所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的控制装置还包括进气装置(1)，所述的进气装置(1)包括本体(101)，本体(101)内设置有第一空腔(104)，第一空腔(104)连通气源，并为出气装置(2)供气；本体(101)上设置有连通第一空腔(104)的第一孔道(108)，第一空腔(104)内的气体从第一孔道(108)内排出并输送至出气装置(2)。

9.根据权利要求8所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的第一空腔(104)贯穿本体(101)，本体(101)的一端设置有第一底部盖板(102)并封闭第一空腔(104)在该端的端口；本体(101)的另一端设置有进气盖板(103)并封闭第一空腔(104)在该端的端口，所述的进气盖板(103)上设置有连通第一空腔(104)的进气接口(112)。

10.根据权利要求8所述的气体流量控制装置，其特征在于：所述的进气装置(1)与出气装置(2)之间还设置有减压阀(3)，减压阀(3)的进气口侧(301)与进气装置(1)的第一孔道(108)连通，减压阀(3)的出气口侧(302)与出气装置(2)的第二孔道(228)连通。

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