CN110726507A - 工艺气体低压报警装置 - Google Patents
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Abstract
一种工艺气体低压报警装置,安装在镀膜机的气瓶上,包括报警灯、数显压力开关及连接电线,所述数显压力开关上设置有高压气管,所述高压气管与气瓶相连,所述数显压力开关具有两个常开璐输出端与常闭路输出端,所述连接电线的一端连接数显压力开关的24V和常开输出端,另一端连接报警灯的24V和报警信号线,通过新型结构的工艺气体低压报警装置,安装方便,在监控气体压力的同时又能及时的提醒操作人员更换工作气体,减少了操作人员的工作量并有效保证了工作气体的压力不会过低,防止了因工作压力低而造成的镀膜玻璃不合格,保证了玻璃镀膜工作的顺利进行,减少了不合格玻璃的出现,大大提高了镀膜效率。
Description
技术领域
本发明属于一种玻璃镀膜的辅助设备,尤其是一种工艺气体低压报警装置。
背景技术
工艺气体是镀膜玻璃生产工艺中最重要的控制对象之一。在磁控溅射镀膜的工艺原理中,靶材下方的高密度等离子体是膜层沉积的重要条件。高密度等离子体浓度的大小,即溅射电流的大小,与工艺气体流量有着密切的关系,随着工艺气体流量的增加,阴极电压降低,在恒功率的前提下阴极电流会上升,所以溅射速率会增大。为了保证镀膜工作的正常进行,就要保证流量的正常。而流量能正常调节的前提就是三种气体的气压要充足,当气压低于2个大气压是气体流量就无法正常调节了,进而影响了镀膜的溅射速率造成镀膜玻璃的不合格,既浪费靶材又损失玻璃原片,大大影响了企业的效益。在工作气体的压力检测上,镀膜设备上只是监控气体压力却没有低压报警系统,这样会要求造作人员必须经常去工作气体高压气瓶那里观察气体压力是否正常,一旦观察不及时就会造成气体压力过低影响镀膜玻璃的合格与否,这样既费时费力又不能完全避免工作气体压力过低对镀膜生产的影响。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能在监控气体压力的同时又能及时提醒操作人员更换工作气体的工艺气体低压报警装置。
为解决上述技术问题,本发明提供一种工艺气体低压报警装置,安装在镀膜机的气瓶上,包括报警灯、数显压力开关及连接电线,所述数显压力开关上设置有高压气管,所述高压气管与气瓶相连,所述数显压力开关具有两个常开璐输出端与常闭路输出端,所述连接电线的一端连接数显压力开关的24V和常开输出端,另一端连接报警灯的24V和报警信号线;
所述数显压力开关包括压力传感器、壳体、转换电路板、功能按键、显示屏、表头和信号接口,所述压力传感器固定在壳体的下端,并通过导线与转换电路板连接,转换电路板固定在壳体的圆形区域内部,转换电路板分别与功能按键和显示屏相连接,表头固定在壳体的圆形区域,信号接口固定在壳体的上端,并通过导线与转换电路板相连接。
本发明改进有,所述数显压力开关及报警灯为3个,分别于镀膜机上氩气罐、氮气罐、氧气罐相连。
本发明改进有,所述报警灯包括外壳体,所述的外壳体的内腔中心设有竖直传感棒,所述的竖直传感棒底部固定安装在接触盘上,所述的接触盘外套有绝缘套,所述的接触盘下方依次还设有垫密片和膜片,所述的竖直传感棒上部套安装有绝缘盖,所述的绝缘盖盖在外壳体的上开口,所述的竖直传感棒外套安装有弹簧,所述的弹簧夹装在绝缘盖和接触盘之间。
本发明改进有,所述的绝缘盖与外壳体之间设有孔用挡圈。
本发明改进有,在压力传感器与壳体的固定部位有卡槽结构和橡胶圈,实现压力传感器与壳体之间的旋转,压力传感器与壳体之间的旋转角度可达到最大270°。
本发明的有益效果为:通过新型结构的工艺气体低压报警装置,安装方便,在监控气体压力的同时又能及时的提醒操作人员更换工作气体,减少了操作人员的工作量并有效保证了工作气体的压力不会过低,防止了因工作压力低而造成的镀膜玻璃不合格,保证了玻璃镀膜工作的顺利进行,减少了不合格玻璃的出现,大大提高了镀膜效率。
附图说明
附图1为本发明的工艺气体低压报警装置的结构示意图;
附图2为本发明的工艺气体低压报警装置的数显压力开关的结构示意图。
标号说明:1-数显压力开关;2-报警灯;3-信号接口;4-表头;5-显示屏;6-功能按键;7-壳体;8-压力传感器。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果,以下结合实施方式并配合附图详予说明。
本发明提供一种工艺气体低压报警装置,参照附图1,安装在镀膜机的气瓶上,包括报警灯2、数显压力开关1及连接电线,所述数显压力开关2上设置有高压气管,所述高压气管与气瓶相连,所述数显压力开关2具有两个常开璐输出端与常闭路输出端,所述连接电线的一端连接数显压力开关的24V和常开输出端,另一端连接报警灯1的24V和报警信号线。
具体的,报警装置包括三个24V报警灯,三个数显压力开关,连接电线若干米。数显压力开关是集压力测量,显示,控制于一体的智能化高精度压力控制设备,具有两路独立的继电器输出(常开路和常闭路)。其结构是用高压气管引出气瓶中的气体接入数显压力开关上,连接电线分别接数显压力开关的24V和常开信号线,另一端接报警灯的24V和报警信号线。数显压力开关的低压报警设为2个大气压。这样当气瓶内的压力低于两个大气压时,数显压力开关的常开继电器闭合,报警信号线导通,报警灯就会报警来提醒操作人员更换气体。
具体的,参照附图2,所述数显压力开关包括压力传感器8、壳体7、转换电路板、功能按键6、显示屏5、表头4和信号接口3,所述压力传感器8固定在壳体7的下端,并通过导线与转换电路板连接,转换电路板固定在壳体7的圆形区域内部,转换电路板分别与功能按键6和显示屏5相连接,表头4固定在壳体7的圆形区域,信号接口3固定在壳体7的上端,并通过导线与转换电路板相连接。
在压力传感器8与壳体7的固定部位有卡槽结构和橡胶圈,实现压力传感器8与壳体7之间的旋转,压力传感器8与壳体7之间的旋转角度可达到最大270°。表头4与壳体7的固定部位有卡槽结构和橡胶圈,实现表头4与壳体7之间的旋转,功能按键6和显示屏5之间的相对位置通过表头4上的圆形孔和方形孔固定,功能按键6对应三个圆形孔,显示屏5对应一个方形孔。所述信号接口3包括开关量输出接口和通信输出接口,即上述的两个常开璐输出端与常闭路输出端,显示屏5可实现压力数值的数字显示,其压力数值的单位,可以是MPa、PSI和Bar,可以通过表头4上功能按键6调节。
压力开关的压力传感器8与壳体7、壳体7与表头4之间可以旋转,整个压力开关可以实现二维旋转,方便从多角度观察压力数据;压力开关结构一体化设计,体积小,紧凑,实现在较窄空间的使用。
本实施例中,所述数显压力开关及报警灯为3个,分别于镀膜机上氩气罐、氮气罐、氧气罐相连,只要任意一种气体工作气压小于2个大气压就会报警。
本实施中,所述报警灯包括外壳体7,所述的外壳体7的内腔中心设有竖直传感棒,所述的竖直传感棒底部固定安装在接触盘上,所述的接触盘外套有绝缘套,所述的接触盘下方依次还设有垫密片和膜片,所述的竖直传感棒上部套安装有绝缘盖,所述的绝缘盖盖在外壳体7的上开口,所述的竖直传感棒外套安装有弹簧,所述的弹簧夹装在绝缘盖和接触盘之间。
具体的,所述的绝缘盖与外壳体7之间设有孔用挡圈,通过这种结构,是整个报警灯结构简单,而且使用寿命长,精确可靠。
采用本发明的工艺气体低压报警装置,在实际应用中能够有效的监控气体压力,当压力低于2个大气压是立刻报警,从而有效的保证了工作气体的压力,进而保证了玻璃镀膜工作的顺利进行,减少了不合格玻璃的出现,大大提高了镀膜效率。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (5)
1.一种工艺气体低压报警装置,安装在镀膜机的气瓶上,其特征在于,包括报警灯、数显压力开关及连接电线,所述数显压力开关上设置有高压气管,所述高压气管与气瓶相连,所述数显压力开关具有两个常开路输出端与常闭路输出端,所述连接电线的一端连接数显压力开关的24V和常开输出端,另一端连接报警灯的24V和报警信号线;
所述数显压力开关包括压力传感器、壳体、转换电路板、功能按键、显示屏、表头和信号接口,所述压力传感器固定在壳体的下端,并通过导线与转换电路板连接,转换电路板固定在壳体的圆形区域内部,转换电路板分别与功能按键和显示屏相连接,表头固定在壳体的圆形区域,信号接口固定在壳体的上端,并通过导线与转换电路板相连接,上述连接均为电连接。
2.根据权利要求1所述的工艺气体低压报警装置,其特征在于,所述数显压力开关及报警灯为3个,分别于镀膜机上氩气罐、氮气罐、氧气罐相连。
3.根据权利要求1所述的工艺气体低压报警装置,其特征在于,所述报警灯包括外壳体,所述的外壳体的内腔中心设有竖直传感棒,所述的竖直传感棒底部固定安装在接触盘上,所述的接触盘外套有绝缘套,所述的接触盘下方依次还设有垫密片和膜片,所述的竖直传感棒上部套安装有绝缘盖,所述的绝缘盖盖在外壳体的上开口,所述的竖直传感棒外套安装有弹簧,所述的弹簧夹装在绝缘盖和接触盘之间。
4.根据权利要求3所述的工艺奇特低压报警装置,其特征在于,所述的绝缘盖与外壳体之间设有孔用挡圈。
5.根据权利要求1所述的工艺气体低压报警装置,其特征在于,在压力传感器与壳体的固定部位有卡槽结构和橡胶圈,实现压力传感器与壳体之间的旋转,压力传感器与壳体之间的旋转角度可达到最大270°。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114381685A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-04-22 | 昆山英利悦电子有限公司 | 一种铝合金车钥匙碳氮化钛镀膜工艺 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202011000064U1 (de) * | 2011-01-12 | 2011-03-17 | AFRISO-EURO-INDEX Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Leckanzeigevorrichtung mit elektronischem Drucksensor |
CN102416929A (zh) * | 2011-09-27 | 2012-04-18 | 芜湖市安芜汽车制动元件有限公司 | 一种报警灯 |
CN103196625A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 北京长城电子装备有限责任公司 | 语音播报型数字压力计 |
CN203216665U (zh) * | 2013-03-07 | 2013-09-25 | 华捷科技有限公司 | 智能精密数字压力表 |
CN103744311A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-23 | 上海天沐自动化仪表有限公司 | 数字式智能压力开关 |
CN204905149U (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 毛维芳 | 一种数显压力开关 |
CN206373484U (zh) * | 2016-12-07 | 2017-08-04 | 长春日轻轨道客车装备有限公司 | 一种带有气压过低报警装置的搅拌摩擦焊焊接设备 |
CN206405571U (zh) * | 2017-01-14 | 2017-08-15 | 中山市三浦金属制品有限公司 | 带有低压报警装置的不锈钢管焊接系统 |
CN109458557A (zh) * | 2018-10-12 | 2019-03-12 | 九江中船消防设备有限公司 | 一种气体灭火系统的压力动态监测及显示装置 |
CN209014185U (zh) * | 2018-11-06 | 2019-06-21 | 中山思维信息科技有限公司 | 一种高精度数显气压压力表 |
CN209264175U (zh) * | 2018-11-30 | 2019-08-16 | 王柳森 | 无线远传报警数显压力计 |
-
2019
- 2019-10-24 CN CN201911015177.8A patent/CN110726507A/zh not_active Withdrawn
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202011000064U1 (de) * | 2011-01-12 | 2011-03-17 | AFRISO-EURO-INDEX Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Leckanzeigevorrichtung mit elektronischem Drucksensor |
CN102416929A (zh) * | 2011-09-27 | 2012-04-18 | 芜湖市安芜汽车制动元件有限公司 | 一种报警灯 |
CN203216665U (zh) * | 2013-03-07 | 2013-09-25 | 华捷科技有限公司 | 智能精密数字压力表 |
CN103196625A (zh) * | 2013-03-22 | 2013-07-10 | 北京长城电子装备有限责任公司 | 语音播报型数字压力计 |
CN103744311A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-23 | 上海天沐自动化仪表有限公司 | 数字式智能压力开关 |
CN204905149U (zh) * | 2015-09-08 | 2015-12-23 | 毛维芳 | 一种数显压力开关 |
CN206373484U (zh) * | 2016-12-07 | 2017-08-04 | 长春日轻轨道客车装备有限公司 | 一种带有气压过低报警装置的搅拌摩擦焊焊接设备 |
CN206405571U (zh) * | 2017-01-14 | 2017-08-15 | 中山市三浦金属制品有限公司 | 带有低压报警装置的不锈钢管焊接系统 |
CN109458557A (zh) * | 2018-10-12 | 2019-03-12 | 九江中船消防设备有限公司 | 一种气体灭火系统的压力动态监测及显示装置 |
CN209014185U (zh) * | 2018-11-06 | 2019-06-21 | 中山思维信息科技有限公司 | 一种高精度数显气压压力表 |
CN209264175U (zh) * | 2018-11-30 | 2019-08-16 | 王柳森 | 无线远传报警数显压力计 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114381685A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-04-22 | 昆山英利悦电子有限公司 | 一种铝合金车钥匙碳氮化钛镀膜工艺 |
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