CN110726374A - 基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法 - Google Patents
基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110726374A CN110726374A CN201910877887.5A CN201910877887A CN110726374A CN 110726374 A CN110726374 A CN 110726374A CN 201910877887 A CN201910877887 A CN 201910877887A CN 110726374 A CN110726374 A CN 110726374A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical fiber
- fiber
- mode
- strain
- fabry
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法,由传输单模光纤(1)、空芯光纤(2)和传感单模光纤(3)构成整体结构,在该结构中形成法珀腔(4);其中:所述传输单模光纤(1)用于传输入射光和出射光;所述空芯光纤(2)与传输单模光纤(1)的后端面紧密熔接,形成的异质光纤‑微管熔接点,所述传感单模光纤(3)用于应变的传感;所述法珀腔(4)作为应变敏感元件,引起传感单模光纤(3)的折射率和传感长度均发生变化,从而改变法珀腔(4)的干涉相位。本发明具有较长的传感长度,可以有效测量分布范围较大的应变;制作成本较低,同时便于大批量制作;能够在测量应变的基础上,同时实现温度参量的测量。
Description
技术领域
本发明涉及光纤传感领域,该传感器可以用于检测应变不均匀区域的平均应变。
背景技术
应变传感广泛应用于民生、国防安全等多个领域中,比如航天器、船舶、桥梁、大坝、核电站等重点部位的结构健康监控。传统的电阻应变技术因其元件易受到测量环境的化学腐蚀、传输信号易受电磁干扰等因素影响,在长期实时监测方面有较大局限,同时由于传感器尺寸有限,因此只能对有限范围的应变进行测量。光纤法布里-珀罗(F-P)传感器以其紧凑的尺寸、抗电磁干扰、抗腐蚀等诸多优点,引起了大量用于应变传感的研究。但是,常规的光纤法珀应变传感器的传感长度由于空气腔的传输损耗,制作的成本较高以及结构的稳定的因素,都不能满足应变分布范围较大的应变传感。
发明内容
为了克服现有技术中存在的上述一系列问题,本发明提出一种基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法,所实现的传感器结构具有传感长度较长的特点,该传感器结构可以避免传统光纤法布里-珀罗传感器腔长有限、无法测量较大应变分布范围的缺陷。
本发明的一种基于单模光纤的光纤法珀应变传感器结构,该传感器为传输单模光纤1、空芯光纤2和传感单模光纤3所构成的一个整体结构,且在该结构中形成法珀腔4;其中:
所述传输单模光纤1用于传输入射光和出射光;
所述空芯光纤2与传输单模光纤1的后端面紧密熔接,形成的异质光纤-微管熔接点,
所述传感单模光纤3用于应变的传感;
在不同的应变环境下,所述法珀腔4作为应变敏感元件,引起传感单模光纤3的折射率和传感长度均发生变化,从而改变法珀腔4的干涉相位。
本发明的一种基于单模光纤的光纤法珀罗应变传感器制作方法,具体包括以下步骤:
步骤1、采用外径125μm、内径9μm的单模光纤,量取长度为50mm~100mm,用光纤切割刀将单模光纤的端面切平,制成传输单模光纤;
步骤2、采用外径为150μm、内径75μm的空芯光纤,一端经光纤切割刀切平后,与传输单模光纤的后端面通过熔接机进行手动熔接,在熔接时采用小放电量接近150mA,并且熔接时电弧放电中心要与空芯光纤偏离230μm~40μm的距离;熔接后,使用光纤切割刀将空芯光纤的前端面切平,保留空芯光纤的长度为30μm~50μm,空芯光纤与传输单模光纤之间形成紧密的异质光纤-微管熔接点;
步骤3、采用外径125μm、内径9μm的单模光纤,一端经光纤切割刀切平后,与空芯光纤的后端面通过熔接机进行手动熔接,制成传感单模光纤,手动熔接的方法同步骤二,熔接后,使用光纤切割刀将传感单模光纤的另一个端面切平,形成法珀腔,切割的位置决定了传感长度L2,保留传感单模光纤的长度为5cm~10cm;
从而使传输单模光纤、空芯光纤和传感单模光纤形成一个整体结构。
本发明的利用一种基于单模光纤的光纤法珀罗应变传感器的测量方法,该测量方法具体包括以下步骤:
将法珀腔4的干涉相位表示:
其中,λ是输入光的波长,实现应变测量转化为光程差测量,折射率的变化表达式如下:
将干涉光谱信号的总光强表示为
其中,I1、I2和I3是三束反射光的光强;
求出法珀腔的粗略光程差Δ=2k/Nδv,其中,N是傅里叶变换的采样点数,k是对应法珀腔频率分量峰值的横坐标,δv=δλ/λ2是傅里叶变换的采样间隔;构造理想带通滤波器,分离出法珀腔自己的干涉光谱;
根据公式m=Δ/λm,计算一个特定干涉波峰λm的干涉级次m,将m取整后,记为m’,求出精确光程差Δ'=m'λm;
当应变ε施加于被测物体时,光程差、光纤的折射率分别发生改变;
折射率变化量表示为
其中,p11,p12是材料的应变弹光系数,υ是泊松比,ε=ΔL2/L2是应变;
光程差变化量表示为:
从而实现应变信息转化为光程差信息。
本发明的优点和积极效果如下:
1、本发明的光纤法珀传感器具有较长的传感长度,可以有效测量分布范围较大的应变。
2、本发明提出的光纤法珀传感器采用单模光纤和空芯光纤,制作方法只用到了熔接技术,制作成本较低,同时便于大批量制作。
3、本发明提出的光纤法珀传感器能够在测量应变的基础上,同时实现温度参量测量。
附图说明
图1是本发明的基于单模光纤的光纤法珀应变传感器结构示意图;
图2是光纤法布里-珀罗应变传感器测量方法所使用的传感系统结构示意图;
图3是光纤法布里-珀罗应变传感器输出的反射光谱示意图;
图4是法珀腔的干涉光谱示意图;
图5是光纤法布里-珀罗应变传感器的传感器应变响应曲线示意图。
附图标记:
1、传输单模光纤,2、空芯光纤,3、传感单模光纤,4、扫描光源,5、光纤耦合器,6、基于单模光纤的光纤法珀应变传感器,7、计算机,8、纯弯曲梁应变测量装置,9、旋转手轮。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步的详细描述。
如图1所示,为本发明的基于单模光纤的光纤法珀应变传感器结构示意图。该传感器由传输单模光纤1、空芯光纤2和传感单模光纤3构成一个整体结构,该结构中形成法珀腔4。
所述传输单模光纤1用于传输入射光和出射光;
所述空芯光纤2与传输单模光纤1的后端面紧密熔接,形成的异质光纤-微管熔接点,
所述传感单模光纤3用于应变的传感。
所述法珀腔4作为应变敏感元件,利用光纤的弹光效应,在不同的应变环境下,传感单模光纤3的折射率nSMF和传感长度L2(法珀腔4的腔长)均发生变化,从而改变法珀腔4的干涉相位其中,λ是输入光的波长,实现应变测量转化为光程差测量,光程差变化量表示为:
折射率的变化表示为:
其中p11、p12是传感单模光纤的应变弹光系数,υ是泊松比,ε=ΔL2/L2是应变,
结合上述公式(1)(2),光程差的变化量简化表示为
从而实现应变信息转化为光程差信息。
本发明的基于单模光纤的光纤法珀罗应变传感器制作方法,具体包括以下步骤:
步骤1、采用外径125μm、内径9μm的单模光纤,量取长度为50mm~100mm(足够长即可),用光纤切割刀将单模光纤的端面切平,制成传输单模光纤;
步骤2、采用外径为150μm、内径75μm的空芯光纤,一端经光纤切割刀切平后,与传输单模光纤的后端面通过熔接机进行手动熔接,形成紧密的异质光纤-微管熔接点。考虑到空芯光纤熔接时易塌陷的缺点,在熔接时采用小放电量(大约150mA),并且熔接时电弧放电中心要偏离空芯光纤一定距离(大约30μm~40μm)。熔接后,使用光纤切割刀将空芯光纤的前端面切平,保留空芯光纤的长度为30μm~50μm;
步骤3、采用外径125μm、内径9μm的单模光纤,一端经光纤切割刀切平后,与空芯光纤的后端面通过熔接机进行手动熔接,制成传感单模光纤,手动熔接的方法同步骤二,熔接后,使用光纤切割刀将传感单模光纤的另一个端面切平,形成法珀腔FP2,切割的位置决定了传感长度L2,保留传感单模光纤的长度为5cm~10cm。从而使传输单模光纤1、空芯光纤2和传感单模光纤3形成一个整体结构,即本发明中的光纤法珀应变传感器6。
如图2所示,为基于本发明的基于单模光纤的光纤法珀罗应变传感器组建的传感系统,包括扫描光源4、光纤耦合器5、基于单模光纤的光纤法珀应变传感器6、计算机7、纯弯曲梁应变测量装置8。扫描光源4发出的光经过光纤耦合器5进入光纤法珀应变传感器6,光纤法珀应变传感器6反射面的反射光形成干涉,反射信号经光纤耦合器5被扫描光源4接收,计算机7与扫描光源4连接,记录反射回的干涉光谱信号并进行解调处理。其中,所述基于单模光纤的光纤法珀应变传感器6粘贴于纯弯曲梁应变测量装置8的金属梁表面,所述纯弯曲梁应变测量装置8的应变的变化由旋转手轮9控制。干涉光谱信号的总光强表示为
其中,I1、I2和I3是三束反射光的光强。如图3所示,为光纤法布里-珀罗应变传感器输出的反射光谱示意图。其中的反射光谱是不同光谱频率成分的叠加。
求出法珀腔的粗略光程差Δ=2k/Nδv,其中,N是傅里叶变换的采样点数,k是对应法珀腔频率分量峰值的横坐标,δv=δλ/λ2是傅里叶变换的采样间隔;构造理想带通滤波器,分离出法珀腔自己的干涉光谱。
根据公式m=Δ/λm,计算一个特定干涉波峰λm的干涉级次m,将m取整后记为m’,求出精确光程差Δ'=m'λm;
在室温下,进行传感器应变解调实验,使用纯弯曲梁应变测量装置8提供应变,应变从0με增加到1000με,间隔50με进行扫描,采集每个应变下的干涉光谱信号,提取法珀腔4的干涉光谱的漂移.
如图4所示,是法珀腔的干涉光谱示意图。随着应变的增加,干涉光谱逐渐向波长变大的方向移动。
如图5所示,是光纤法布里-珀罗应变传感器的传感器应变响应曲线示意图,解调出来的光程差为ΔFP2。
由于解调得到的光程差与应变呈线性比例关系,可以进而实现对应变的测量。
Claims (3)
1.一种基于单模光纤的光纤法珀应变传感器结构,其特征在于,该传感器为传输单模光纤(1)、空芯光纤(2)和传感单模光纤(3)所构成的一个整体结构,且在该结构中形成法珀腔(4);其中:
所述传输单模光纤(1)用于传输入射光和出射光;
所述空芯光纤(2)与传输单模光纤(1)的后端面紧密熔接,形成的异质光纤-微管熔接点,
所述传感单模光纤(3)用于应变的传感;
在不同的应变环境下,所述法珀腔(4)作为应变敏感元件,引起传感单模光纤(3)的折射率和传感长度均发生变化,从而改变法珀腔(4)的干涉相位。
2.一种基于单模光纤的光纤法珀罗应变传感器制作方法,其特征在于,具体包括以下步骤:
步骤1、采用外径125μm、内径9μm的单模光纤,量取长度为50mm~100mm,用光纤切割刀将单模光纤的端面切平,制成传输单模光纤;
步骤2、采用外径为150μm、内径75μm的空芯光纤,一端经光纤切割刀切平后,与传输单模光纤的后端面通过熔接机进行手动熔接,在熔接时采用小放电量接近150mA,并且熔接时电弧放电中心要与空芯光纤偏离230μm~40μm的距离;熔接后,使用光纤切割刀将空芯光纤的前端面切平,保留空芯光纤的长度为30μm~50μm,空芯光纤与传输单模光纤之间形成紧密的异质光纤-微管熔接点;
步骤3、采用外径125μm、内径9μm的单模光纤,一端经光纤切割刀切平后,与空芯光纤的后端面通过熔接机进行手动熔接,制成传感单模光纤,手动熔接的方法同步骤二,熔接后,使用光纤切割刀将传感单模光纤的另一个端面切平,形成法珀腔,切割的位置决定了传感长度L2,保留传感单模光纤的长度为5cm~10cm;
从而使传输单模光纤、空芯光纤和传感单模光纤形成一个整体结构。
3.利用如权利要求1所述的一种基于单模光纤的光纤法珀罗应变传感器的测量方法,其特征在于,该测量方法具体包括以下步骤:
将法珀腔4的干涉相位表示:
其中,λ是输入光的波长,实现应变测量转化为光程差测量,折射率的变化表达式如下:
将干涉光谱信号的总光强表示为
其中,I1、I2和I3是三束反射光的光强;
求出法珀腔的粗略光程差Δ=2k/Nδv,其中,N是傅里叶变换的采样点数,k是对应法珀腔频率分量峰值的横坐标,δv=δλ/λ2是傅里叶变换的采样间隔;构造理想带通滤波器,分离出法珀腔自己的干涉光谱;
根据公式m=Δ/λm,计算一个特定干涉波峰λm的干涉级次m,将m取整后,记为m’,求出精确光程差Δ'=m'λm;
当应变ε施加于被测物体时,光程差、光纤的折射率分别发生改变;
折射率变化量表示为
其中,p11,p12是材料的应变弹光系数,υ是泊松比,ε=ΔL2/L2是应变;
光程差变化量表示为:
从而实现应变信息转化为光程差信息。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910877887.5A CN110726374B (zh) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910877887.5A CN110726374B (zh) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110726374A true CN110726374A (zh) | 2020-01-24 |
CN110726374B CN110726374B (zh) | 2021-12-07 |
Family
ID=69219134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910877887.5A Active CN110726374B (zh) | 2019-09-17 | 2019-09-17 | 基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110726374B (zh) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111272092A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-12 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 基于波纹管弹簧结构的光纤应变传感器及其制备方法 |
CN111272306A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-12 | 西安石油大学 | 一种基于双密闭腔的光纤微结构传感器件制备方法 |
CN111595256A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-08-28 | 西北大学 | 耐高温光纤应变传感器 |
CN111609809A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-09-01 | 西北大学 | 基于应变增敏结构的光纤高温应变测量传感器 |
CN111928937A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-11-13 | 安徽大学 | 光纤震动传感探头及光纤微震监测系统 |
CN112710408A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-27 | 天津大学 | 基于pdms弧形反射面的光纤法珀温度传感头及其制备方法 |
CN113188691A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-07-30 | 上海大学 | 一种光纤法布里-珀罗密封腔压力传感器及制备方法 |
CN113432750A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-09-24 | 武汉工程大学 | 基于空芯光纤的高灵敏度温度传感器及其制作方法 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5301001A (en) * | 1992-02-12 | 1994-04-05 | Center For Innovative Technology | Extrinsic fiber optic displacement sensors and displacement sensing systems |
JP2001280922A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Tokyo Sokki Kenkyusho Co Ltd | 光ファイバ式ひずみセンサ及びその製造方法 |
WO2005121697A1 (en) * | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Fiso Technologies Inc. | Optical fiber strain sensor |
CN101397021A (zh) * | 2007-09-28 | 2009-04-01 | 北京佳讯飞鸿电气股份有限公司 | 基于光纤光栅的车辆运行监测系统 |
CN101614662A (zh) * | 2009-07-24 | 2009-12-30 | 重庆大学 | 全光纤环型反射面结构的微型f-p折射率传感器 |
RU2432568C1 (ru) * | 2010-06-11 | 2011-10-27 | Государственное учебно-научное учреждение Международный учебно-научный лазерный центр МГУ имени М.В. Ломоносова (МЛЦ МГУ имени М.В. Ломоносова) | Сенсорное устройство на основе планарных и цилиндрических полых световодов с интегрированной интерферометрической системой |
CN102772200A (zh) * | 2012-08-06 | 2012-11-14 | 山东省科学院激光研究所 | 脉诊信号传感器探头及光纤脉诊信息采集系统 |
CN106482765A (zh) * | 2016-09-27 | 2017-03-08 | 华中科技大学 | 一种f‑p微腔光纤传感器及其制作方法 |
CN106772815A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 无锡联河光子技术有限公司 | 一种补偿光纤光栅滤波器温漂的方法及光纤光栅滤波器 |
CN108195411A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-22 | 北京信息科技大学 | 基于飞秒刻写光纤f-p腔级联fbg的微结构传感器 |
CN108332654A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-07-27 | 东北大学 | 一种腔长可控的微型光纤法布里-铂罗干涉仪制作方法 |
CN109141698A (zh) * | 2018-07-16 | 2019-01-04 | 石家庄铁道大学 | 一种无缝线路钢轨温度力和附加力的测试方法及系统 |
CN109580546A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-04-05 | 天津大学 | 一种光纤法珀气体折射率和温度传感器及系统、测量方法 |
CN110186548A (zh) * | 2019-05-13 | 2019-08-30 | 天津大学 | 基于光纤微结构膜片的光纤f-p声传感器及其制作方法 |
-
2019
- 2019-09-17 CN CN201910877887.5A patent/CN110726374B/zh active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5301001A (en) * | 1992-02-12 | 1994-04-05 | Center For Innovative Technology | Extrinsic fiber optic displacement sensors and displacement sensing systems |
JP2001280922A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Tokyo Sokki Kenkyusho Co Ltd | 光ファイバ式ひずみセンサ及びその製造方法 |
WO2005121697A1 (en) * | 2004-06-07 | 2005-12-22 | Fiso Technologies Inc. | Optical fiber strain sensor |
CN101397021A (zh) * | 2007-09-28 | 2009-04-01 | 北京佳讯飞鸿电气股份有限公司 | 基于光纤光栅的车辆运行监测系统 |
CN101614662A (zh) * | 2009-07-24 | 2009-12-30 | 重庆大学 | 全光纤环型反射面结构的微型f-p折射率传感器 |
RU2432568C1 (ru) * | 2010-06-11 | 2011-10-27 | Государственное учебно-научное учреждение Международный учебно-научный лазерный центр МГУ имени М.В. Ломоносова (МЛЦ МГУ имени М.В. Ломоносова) | Сенсорное устройство на основе планарных и цилиндрических полых световодов с интегрированной интерферометрической системой |
CN102772200A (zh) * | 2012-08-06 | 2012-11-14 | 山东省科学院激光研究所 | 脉诊信号传感器探头及光纤脉诊信息采集系统 |
CN106482765A (zh) * | 2016-09-27 | 2017-03-08 | 华中科技大学 | 一种f‑p微腔光纤传感器及其制作方法 |
CN106772815A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 无锡联河光子技术有限公司 | 一种补偿光纤光栅滤波器温漂的方法及光纤光栅滤波器 |
CN108195411A (zh) * | 2017-12-29 | 2018-06-22 | 北京信息科技大学 | 基于飞秒刻写光纤f-p腔级联fbg的微结构传感器 |
CN108332654A (zh) * | 2018-01-25 | 2018-07-27 | 东北大学 | 一种腔长可控的微型光纤法布里-铂罗干涉仪制作方法 |
CN109141698A (zh) * | 2018-07-16 | 2019-01-04 | 石家庄铁道大学 | 一种无缝线路钢轨温度力和附加力的测试方法及系统 |
CN109580546A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-04-05 | 天津大学 | 一种光纤法珀气体折射率和温度传感器及系统、测量方法 |
CN110186548A (zh) * | 2019-05-13 | 2019-08-30 | 天津大学 | 基于光纤微结构膜片的光纤f-p声传感器及其制作方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
TIAN JIAJUN等: "Cascaded-cavity Fabry–Perot interferometer for simultaneous measurement of temperature and strain with cross-sensitivity compensation", 《OPTICS COMMUNICATIONS》 * |
梁福平等: "《传感器原理及检测技术》", 30 September 2010, 武汉:华中科技大学出版设 * |
王坤: "基于干涉原理和布拉格光栅的光纤传感器研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》 * |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111272306A (zh) * | 2020-02-25 | 2020-06-12 | 西安石油大学 | 一种基于双密闭腔的光纤微结构传感器件制备方法 |
CN111272092A (zh) * | 2020-03-16 | 2020-06-12 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 基于波纹管弹簧结构的光纤应变传感器及其制备方法 |
CN111595256A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-08-28 | 西北大学 | 耐高温光纤应变传感器 |
CN111609809A (zh) * | 2020-07-13 | 2020-09-01 | 西北大学 | 基于应变增敏结构的光纤高温应变测量传感器 |
CN111928937A (zh) * | 2020-08-25 | 2020-11-13 | 安徽大学 | 光纤震动传感探头及光纤微震监测系统 |
CN111928937B (zh) * | 2020-08-25 | 2022-06-24 | 安徽大学 | 光纤震动传感探头及光纤微震监测系统 |
CN112710408A (zh) * | 2020-12-16 | 2021-04-27 | 天津大学 | 基于pdms弧形反射面的光纤法珀温度传感头及其制备方法 |
CN113188691A (zh) * | 2021-04-21 | 2021-07-30 | 上海大学 | 一种光纤法布里-珀罗密封腔压力传感器及制备方法 |
CN113188691B (zh) * | 2021-04-21 | 2023-01-20 | 上海大学 | 一种光纤法布里-珀罗密封腔压力传感器及制备方法 |
CN113432750A (zh) * | 2021-05-20 | 2021-09-24 | 武汉工程大学 | 基于空芯光纤的高灵敏度温度传感器及其制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110726374B (zh) | 2021-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110726374B (zh) | 基于单模光纤的光纤法珀应变传感器及制作方法、测量方法 | |
CN108225657B (zh) | 一种具有光学游标效应的光纤fp气压传感器及其制备方法 | |
US11112316B2 (en) | Optical fiber temperature sensor | |
CN108572047B (zh) | 一种基于多个法布里-珀罗微腔的光纤气压传感装置 | |
CN206618528U (zh) | 一种基于多个法布里‑珀罗微腔的光纤气压传感装置 | |
CN106052727B (zh) | 一种基于光纤微型法布里-珀罗腔的传感器装置 | |
CN206362915U (zh) | 一种基于fbg构建非本征f‑p谐振腔和磁流体的磁场传感器 | |
WO2022160822A1 (zh) | 一种基于悬浮光纤错位熔接的高灵敏度高温传感器 | |
CN107515054B (zh) | 一种基于迈克尔逊干涉仪的光纤温度和折射率测量传感装置 | |
CN107121726B (zh) | 光纤双参量传感器及其制备方法 | |
CN208155479U (zh) | 双腔结构的光纤温度与压力传感器 | |
CN112924082B (zh) | 一种基于悬浮芯光纤和边孔光纤的高灵敏度气压传感器 | |
CN101303300A (zh) | 微型光纤f-p传感器及制作方法、基于传感器的液体测试仪 | |
CN105181191A (zh) | 一种可调谐光纤微型法布里-珀罗压力传感装置 | |
CN102778306A (zh) | 光子晶体光纤折射率温度传感器、制作方法及测量系统 | |
CN108844919B (zh) | 包层反射式倾斜光纤光栅折射率传感器及制作、测量方法 | |
CN103196474A (zh) | 一种光纤珐珀传感器制作方法及由其构成的检测装置 | |
CN210221338U (zh) | 一种基于并联游标效应的光纤高温传感器 | |
CN108037308A (zh) | 一种基于游标效应的级联iffpi风速传感器及其检测装置 | |
CN218002459U (zh) | 一种基于游标效应的光纤应变传感器 | |
CN101900575B (zh) | 一种基于有源谐振腔和与之级联的无源谐振腔的光传感器 | |
CN108318452A (zh) | 一种强度调制型四锥光纤湿度传感器 | |
CN106052913A (zh) | 一种高灵敏度的压力传感装置 | |
CN211825681U (zh) | 一种基于锥形扁平单模光纤内刻写fbg的氢气传感器 | |
CN113030545B (zh) | 一种基于磁流体填充边孔光纤的电流传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |