CN110718435A - 一种抖动控制器(Dither Controller) - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种抖动控制器(Dither Controller)，属于半导体制造领域。抖动控制器(Dither Controller)包括：AC/DC模块(1)、开关电源(2)、信号控制板(3)、伺服驱动器(4)。该控制器需外接220VAC市电，为AC/DC模块(1)和开关电源(2)提供输入电源；AC/DC模块(1)为伺服驱动器(4)提供直流工作电压；开关电源(2)为信号控制板(3)提供所需的工作电压；信号控制板(3)通过模拟信号控制伺服驱动器(4)输出电流的幅值、波形和频率，同时进行电流反馈信号的采集；外部控制器与信号控制板(3)进行信息的交换。
Description
技术领域
本发明涉及离子注入机的抖动控制器(Dither Controller)，涉及离子注入机，属于半导体装备制造领域。
背景技术
Q3聚焦磁透镜放置于质量分析磁铁之后、平行透镜之前的束线系统中，对束流的调节作用很大。在束流的传输过程中，通过对束流的垂直和水平方向聚焦或散焦的调节作用，对于提高束流传输效率有重要作用。抖动控制器(Dither Controller)作用于Q3聚焦磁透镜，因而设计一种性能优良的的抖动控制器 (Dither Controller)是必要的，然而目前国内各研发生产厂家所生产使用的抖动控制器(Dither Controller)存在结构过于复杂、参数指标达不到要求或者性能不够理想等缺点。
发明内容
本发明提供了一种抖动控制器(Dither Controller)，该控制器可以输出 Q3聚焦磁透镜所需的工作电流。通过调节束流水平和垂直方向的聚焦和散焦，可提高束流的传输效率，进而完成离子注入工艺。
本发明通过以下技术方案实现：
抖动控制器(Dither Controller)基本框图如图1所示，它包括4个主要功能部分：AC/DC模块(1)、开关电源(2)、信号控制板(3)、伺服驱动器 (4)。各功能单元的实现电路及作用如下：
AC/DC模块(1)：220VAC市电为输入电压，通过变压器降压后，然后经过整流、滤波和稳压电路，得到稳定的供电电源，为伺服驱动器(4)提供合适的直流工作电压。
开关电源(2)：为信号控制板(3)提供所需的直流工作电压，包括±15V、 5V和24V。
信号控制板(3)：可将0～10V模拟信号转换为-5V～+5V、93Hz的三角波控制信号；可将-3V～+3V的PWM信号转换为0～10V模拟量信号；可接收数字信号和反馈数字信号。
伺服驱动器(4)：工作电压为+22～+90VDC，最大持续输出电流为10A，峰值输出电流为20A，可通过模拟信号控制，且具有电流监测功能。作用于驱动负载。
本发明具有如下显著优点：
1、结构简单、可靠性好，各模块连接方便，易维护。
2、可驱动负载电感范围较大，400uH～40mH。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。
图1是抖动控制器(Dither Controller)结构框图。
图2是抖动控制器(Dither Controller)的原理图。
具体实施方式
下而结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为本发明的限定。
如图1、图2，一种抖动控制器(Dither Controller)，该控制器需220VAC 市电供电，连接AC/DC模块(1)和开关电源(2)，提供输入电源；AC/DC模块 (1)连接伺服驱动器(4)，提供50VDC工作电压；开关电源(2)连接信号控制板(3)，提供所需的±15V、5V和24VDC工作电压；信号控制板(3)通过连接器连接外部控制器，可实现上位机远程控制，接收0～10V模拟量控制信号并转换为-5V～+5V的三角波控制信号，接收数字信号实现高低电平使能信号的输出，同时将-3V～+3V的PWM电流反馈信号转换为0～10V模拟信号和低电平的错误信号传输回外部控制器，以达到监测功能；信号控制板(3)连接伺服驱动器(4)，输出-5V～+5V的三角波模拟信号控制驱动器的输出电流值，通过低电平使能信号控制驱动器的使能输出，同时接收-3V～+3V的PWM电流反馈信号和低电平错误信号；伺服驱动器(4)连接线圈负载，输出电流驱动负载。
本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (3)
1.一种抖动控制器(Dither Controller)，主要包括：AC/DC模块(1)、开关电源(2)、信号控制板(3)、伺服驱动器(4)。该控制器需外接220VAC市电，为AC/DC模块(1)和开关电源(2)提供输入电源；AC/DC模块(1)为伺服驱动器(4)提供直流工作电压；开关电源(2)为信号控制板(3)提供所需的工作电压；信号控制板(3)通过模拟信号控制伺服驱动器(4)输出电流的幅值、波形和频率，同时进行电流反馈信号的采集；外部控制器与信号控制板(3)进行信息的交换。
2.如权利要求1所述的一种抖动控制器(Dither Controller)，其特征在于，信号控制板能输出幅值为±5V、波形为三角波、且频率为93Hz的控制信号。
3.如权利要求1所述的一种抖动控制器(Dither Controller)，其特征在于，伺服驱动器能输出与控制信号相同波形和频率的电流，而且具有电流监测功能。
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2018
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Addressee: Zhongkexin Electronic Equipment Co., Ltd., Beijing Document name: Notification of Passing Preliminary Examination of the Application for Invention |
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Application publication date: 20200121 |