CN110663102B - 使用初始层校正增材制造中制造的形状 - Google Patents

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Abstract

接收指示由增材制造系统通过液滴喷射而制造的抛光垫的期望形状的数据。数据包括限定期望轮廓的期望形状，期望轮廓包括具有由抛光垫上的一或多个凹槽而分开的一或多个分隔部的抛光表面。产生指示由增材制造系统通过液滴喷射而分配层所导致的期望轮廓的失真的数据。产生指示由液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自期望轮廓的失真。初始层通过液滴喷射而分配在支撑件上。由增材制造系统通过液滴喷射将覆盖层分配在初始层上，以形成抛光垫。

Description

使用初始层校正增材制造中制造的形状
技术领域
本说明书关于增材制造，特别是化学机械抛光垫的增材制造。
背景技术
通常通过在硅晶片上顺序沉积导电层、半导电层或绝缘层来在基板上形成集成电路。各种制造处理需要在基板上的层的平面化。对于某些应用而言(如，抛光金属层以在图案化层的沟槽中形成通孔、插塞和线)，将覆盖层平坦化直到图案化层的顶表面暴露。在其它应用中(如，用于光刻的介电层的平面化)，覆盖层被抛光直到期望厚度保留在下面的层之上。
化学机械抛光(CMP)是一种公认的平坦化方法。此种平坦化方法通常要求基板被安装在载体头上。基板的暴露表面通常抵靠着旋转的抛光垫而放置。载体头在基板上提供可控负载，以将基板推抵靠在抛光垫上。通常将抛光液(诸如具有磨粒的浆液)供应到抛光垫的表面。
化学机械抛光处理的一个目标是抛光均匀性。若基板上的不同区域以不同的速率抛光，则基板的一些区域可能会有太多的材料被移除(“过度抛光”)或太少的材料被移除(“欠抛光”)。除了平坦化之外，抛光垫可用于诸如磨光(buffing)的修整操作。
抛光垫通常通过模制、铸造或烧结聚氨酯材料而制成。在模制的情况下，抛光垫可一次制成一个，如通过注入成型。在铸造的情况下，将液体前驱物铸造并固化成块状物，随后将块状物切成单独的垫片。接着可将这些垫片加工成最终厚度。凹槽可加工到抛光表面中，或可形成为注入成型处理的一部分。
发明内容
本公开内容描述了使用增材制造系统制造抛光垫。
在一个方面中，一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法包括以下步骤：接收指示由增材制造系统通过液滴喷射而制造的抛光垫的期望形状的数据。数据包括限定期望轮廓的期望形状，期望轮廓包括具有由抛光垫上的一或多个凹槽而分开的一或多个分隔部的抛光表面。产生指示由增材制造系统通过液滴喷射而分配层所导致的期望轮廓的失真的数据。产生指示由液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自期望轮廓的失真。初始层通过液滴喷射而分配在支撑件上。由增材制造系统通过液滴喷射将覆盖层分配在初始层上，以形成抛光垫。
实现可包括以下特征的一或多个。
抛光垫可包括初始层。抛光垫可包括支撑件。抛光垫可从支撑件移除。失真可包括预期相对于期望轮廓较薄的区域。初始层可包括对应于区域的体素，如，由对应于区域的体素组成。区域可对应于一或多个分隔部的边缘。
初始层可对应于分隔部的边缘，且分配多个覆盖层可覆盖初始层的至少一部分并填充在边缘之间的区域。分配初始层的步骤可包括分配第一成分的第一材料，且分配多个覆盖层的步骤包括分配不同的第二成分的第二材料。初始层可为分隔部的底层。
在另一方面中，一种计算机程序产品可包括计算机可读介质，计算机可读介质编码有指令，以使得一或多个处理器：接收指示由增材制造系统通过液滴喷射而制造的抛光垫的期望形状的数据，期望形状限定期望轮廓，期望轮廓包括具有由抛光垫上的一或多个凹槽而分开的一或多个分隔部的抛光表面；产生指示由增材制造系统通过液滴喷射而分配多个层所导致的期望轮廓的失真的数据；产生指示通过液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自期望轮廓的失真；使得增材制造系统通过液滴喷射将初始层分配在支撑件上；及使得增材制造系统通过增材制造系统的液滴喷射而分配多个覆盖层在初始层上，以形成抛光垫。
实现可能包括以下特征的一或多个。
用以产生指示失真的数据的指令可包括用以识别预期相对于期望轮廓较薄的区域的指令。用以产生指示初始层的数据的指令可包括用以将对应于区域的体素指定给初始层的指令。
在另一方面中，一种增材制造系统包括支撑件、经配置以通过液滴喷射将进料材料的多层输送到支撑件上的分配器及控制器。控制器经配置以接收指示通过液滴喷射而制造的物体的期望形状的数据，期望形状限定期望轮廓，期望轮廓包括具有由一或多个凹部所分开的一或多个凸起部分的表面；产生指示由通过增材制造系统的液滴喷射而分配多个层所导致的期望轮廓的失真的数据；产生指示由分配器通过液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自期望轮廓的失真；使得分配器通过液滴喷射将初始层分配在支撑件上；及使得分配器通过增材制造系统的液滴喷射而分配多个覆盖层在初始层上，以形成物体。
实现可能包括以下特征的一或多个。
控制器可经配置以通过识别预期相对于期望轮廓较薄的区域而产生指示失真的数据。控制器可经配置以通过将对应于区域的体素指定给初始层而产生指示初始层的数据。
分配器可包括第一喷嘴和第二喷嘴，第一喷嘴经配置以输送具有第一成分的第一材料，以及第二喷嘴经配置以输送具有不同的第二成分的第二材料。控制器可经配置以使得分配器输送第一材料以形成初始层并输送第二材料以形成多个覆盖层。分配器可包括经配置以在支撑件之上横向移动的多个喷嘴。
在另一方面中，一种使用增材制造系统制造物体的方法包括以下步骤：接收指示由增材制造系统通过液滴喷射而制造的物体的期望形状的数据，期望形状限定期望轮廓，期望轮廓包括具有通过一或多个凹部所分开的一或多个突起的表面；产生指示由增材制造系统通过液滴喷射分配多个层导致的期望轮廓的失真的数据；产生指示通过液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自期望轮廓的失真；通过液滴喷射将初始层分配在支撑件上；及由增材制造系统通过液滴喷射而分配多个覆盖层在初始层上，以形成物体。
在另一方面中，一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法包括以下步骤：通过液滴喷射沉积连续层，以形成抛光垫。抛光垫包括抛光表面，抛光表面具有由一或多个凹槽分开的一或多个分隔部。沉积连续层的一层的步骤包括通过第一液滴喷射处理而分配对应于一或多个分隔部的边缘的第一区域。在固化第一区域之后，通过不同的第二液滴喷射处理在边缘之间分配对应于一或多个分隔部的内部的第二区域。
实现可能包括以下特征的一或多个。第一液滴喷射处理可包括第一聚合物且第二液滴喷射处理可包括具有不同成分的第二聚合物。第一液滴喷射处理可包括第一固化辐射，且第二液滴喷射处理可包括第二固化辐射，第二固化辐射比第一固化辐射更慢地固化层。第一固化辐射和第二固化辐射可处于不同的波长。第一固化辐射可具有比第二固化辐射更高的强度。不必将液滴喷射到对应于凹槽的区域中。
在另一方面中，一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法包括以下步骤：通过液滴喷射将第一组连续层沉积到支撑件上。沉积第一组连续层的步骤包括将抛光垫前驱物分配至对应于抛光垫的分隔部的第一区域，并将牺牲材料分配至对应于抛光垫的凹槽的第二区域。第二组连续层通过液滴喷射而沉积在第一组连续层之上。第二组连续层对应于抛光垫的下部。第一组连续层和第二组连续层提供主体。主体从支撑件上移除。从主体移除牺牲材料为抛光垫提供抛光表面，抛光表面具有由凹槽分离的分隔部。
实现可能包括以下特征的一或多个。沉积第二组连续层的步骤可包括分配抛光垫前驱物。第二组连续层可对应于抛光层的下部。第三组连续层可通过液滴喷射而沉积在第二组连续层之上。第三组连续层可具有与第二组连续层不同的成分。第二组连续层可对应于抛光层的子垫。第二组连续层可跨越第一区域和第二区域两者。
前述的优点可包括(但不限于)以下。抛光垫的几何形状可更精确地控制，从而改善抛光垫的抛光效率。此外，通过调整增材制造设备用以形成制品(如，抛光垫)的数据而不是在最初形成物品之后移除材料，校正轮廓可补偿潜在的失真。可减少由增材制造设备形成制品之后的制品的后处理量。结果，可减少进料浪费的量，并可增加产出和产量。可消除对二次加工步骤的需求。当表面被移除并且凹槽深度减小时，抛光垫的浆料捕获容积的变化可减小，从而改善晶片对晶片的均匀性。也可通过选择性蚀刻处理而移除捕获材料，以仅留下期望的材料，这在用于形成CMP窗口的光学透明材料和固定研磨的辊格式垫设计的情况下可能是有利的。
在本说明书中描述的标的的一或多个实现的细节在附图和下面的描述中阐述。从说明、图和权利要求书中，其他潜在的特征、方面和优点将变得显而易见。
附图说明
图1是抛光系统的示意性侧视图。
图2是增材制造设备的示意性侧视图。
图3A是抛光垫的实例的顶视图。
图3B是图3A的抛光垫的侧视图。
图4是用以形成制品的处理的流程图。
图5显示了基于期望形状而形成的实际形状的实例。
图6显示了基于图5的期望形状的修改而形成的实际形状。
图7显示了基于期望的形状而形成的实际形状的另一实例。
图8A-8D是用于沉积的示例性图案和方法的侧视图表示。
图9A-9E是用于沉积的示例性图案和方法的侧视图表示。
图10是增材制造设备的另一实现的示意性侧视图。
图11A是增材制造设备的另一实现的示意性侧视图。
图11B是增材制造设备的另一实现的示意性侧视图。
图12是增材制造设备的另一实现的示意性侧视图。
在各个图中类似的元件符号和标记表示类似的元件。
具体实施方式
可使用增材制造设备以形成抛光垫。增材制造设备可设置有初始图案，以分配进料进料材料。初始图案对应于待形成的抛光垫的期望形状。遗憾的是，当抛光垫由使用初始图案的增材制造设备而形成时，抛光垫的实际形状可能包括相对于抛光垫的期望形状的失真。然而，可使用几种技术来补偿此种失真。
提供给增材制造设备的初始图案可通过校正轮廓来修改以产生修改图案，以至少部分地补偿这些失真。使用修改图案而形成的所得形状可因此更接近地匹配抛光垫的期望形状。修改图案可包括附加层沉积于上的初始层。
对应于分隔部的边缘的抛光垫的部分可通过与分隔部的中心不同的技术来沉积，(如)以提供改进的侧壁的垂直度。
可沉积牺牲材料，且垫的层可沉积在牺牲层之间和之上。接着可移除此牺牲材料以提供凹槽、表面纹理以减少磨合时间，并且以卷对卷的形式制造抛光垫。
现在转到图1，抛光系统100包括可用以抛光一或多个基板104的抛光垫102。抛光系统100可包括可旋转的工作台106，抛光垫102放置在可旋转的工作台106上。在抛光步骤期间，可通过浆料供应端口或组合的浆料/漂洗臂110将抛光液体108(如，研磨浆料)供应到抛光垫102的抛光表面103。抛光液体108可含有研磨颗粒、pH调节剂，或化学活性组分。
基板104通过载体头112保持抵靠于抛光垫102。载体头112悬挂在诸如圆盘输送带的支撑结构上，并通过载体驱动轴114而连接到载体头旋转马达，使得载体头可绕轴线116旋转。抛光垫102和基板104在抛光液体108存在下的相对运动导致基板104的抛光。
参照图2，在一些实例中，可使用分配进料材料的连续层的增材制造设备120来形成抛光垫102。参照图1和图2，操作增材制造设备120以至少形成抛光垫102的抛光层122。在制造处理中，逐渐分配和固化进料材料的薄层。例如，进料材料(如，抛光垫前驱物材料)的液滴124可从分配器128(如，液滴喷射印刷机)的喷嘴126喷出，以形成进料材料的层130。分配器128类似于喷墨印刷机，但使用进料材料来形成抛光垫102而不是墨水。
控制器129可操作以控制分配器128的分配操作，且若适用的话，使用诸如灯或激光的能量源131来控制固化操作。喷嘴126越过支撑件134而平移(由箭头A显示)以在支撑件134上的构建区域的任何部分处分配进料材料。
在一些实现中，当喷嘴126平移越过支撑件134时，能量源131尾随着喷嘴126，使得通过喷嘴126分配的进料材料可被立即固化。在一些实现中，当喷嘴126在第一扫描方向上平移越过支撑件134同时分配进料材料时，能量源131引导喷嘴126。当能量源131越过支撑件134扫描时(如，在与第一扫描方向相反的第二扫描方向上)，能量源131可固化此分配的进料材料，从而提供进料材料额外的时间，以在暴露到能量源131的辐射之前达到稳定状态。在一些实现中，当喷嘴126在第一扫描方向上平移越过支撑件134时，能量源131引导喷嘴126，且当能量源在第一扫描方向上扫描时，能量源131用以将分配的进料材料固化。因此，先前分配的进料材料的层几乎可在另一层通过喷嘴126分配之前立即被固化。在一些实现中，存在有多个能量源，具有尾随着喷嘴126的能量源131和引导喷嘴126的能量源131。
对于沉积的第一层130a而言，喷嘴126可将进料材料喷射到支撑件134上。对于随后沉积的层130b而言，喷嘴126可喷射到已经固化的进料材料132上。在每个层130固化之后，新层接着沉积在先前沉积的层之上，直到制造完整的三维抛光层122。每个层由喷嘴126以储存在计算机上运行的3D绘图计算机程序中的图案而施加。每个层130小于抛光层122的总厚度的50％，如，小于10％，如，小于5％，如，小于1％。
抛光层122可形成在支撑件134上。在一些实例中，支撑件134包括刚性基座，或包括柔性膜，如，聚四氟乙烯(PTFE)层。若支撑件134包括柔性膜，则支撑件134形成抛光垫102的一部分。例如，支撑件134可包括抛光垫102的背衬层136(图1所示)或位于背衬层和抛光层122之间的层。若支撑件134包括抛光垫102的背衬层136，则在抛光垫102的制造完成之后，支撑件134不会从抛光垫102移除。参照图1，抛光垫102被安装到抛光系统100，其中背衬层136(如，支撑件134)面向可旋转工作台106。
若支撑件134不包括抛光垫102的背衬层136，则可在抛光垫102的制造完成之后将抛光层122从支撑件134移除。在一些实现中，支撑件134可包括被保护膜覆盖的刚性基座。抛光垫102可制造在保护膜上。此后，可在刚性基座上更换保护膜，并在新保护膜上制造新的抛光垫。保护膜可从抛光垫上移除，如，当抛光垫被移除时，保护膜可保留在刚性基座上，或保护膜可从刚性基座分离，并接着从抛光垫上剥离。
进料材料的层130的固化可通过聚合来完成。例如，进料材料的层130可为单体，且单体可通过紫外线(UV)固化而原位聚合。进料材料可在沉积后立即有效固化，或可沉积垫前驱物材料的整个层130，并接着整个层130同时固化。替代地，液滴124可为在冷却时固化的聚合物熔体。在另一实现中，设备120通过散布粉末层并将黏合剂材料的液滴喷射到粉末层上来产生抛光层122。在这种情况下，粉末可包括增材剂，如，磨粒。
在一些实现中，背衬层136也可通过3D印刷处理而制造。例如，背衬层136和抛光层122可由设备120以不间断的操作而制造。通过使用不同的固化量(如，不同强度的紫外线辐射)，或使用不同的材料，可向背衬层136提供不同于抛光层122的硬度。在其它实现中，背衬层136通过传统处理而制造，并接着固定到抛光层122。例如，抛光层122可通过薄的黏合剂层(如，作为压敏黏合剂)而固定到背衬层136。
在一些实现中，参照图2、图3A和图3B，当形成抛光层122时，设备120可选择性地分配及/或选择性地固化进料材料的一部分，以在抛光层122中形成凹槽138。凹槽138可承载抛光液体108(显示于图1中)。凹槽138可具有几乎任何图案，诸如同心圆、直线、交叉影线、螺旋及类似图案。假设存在凹槽，在凹槽138之间的分隔部140限定抛光表面103。抛光表面103(如，包括在凹槽138之间的分隔部140)可为抛光垫102的总水平表面积的约25-90％(如，70-90％)。因此，凹槽138可占据抛光垫102的总水平表面积的10％-75％(如，10-30％)。在凹槽138之间的分隔部可具有约0.1至2.5mm的横向宽度。
参照图3A和图3B所示的实例，在一些实现中，凹槽138包括同心圆形凹槽。这些凹槽138可以间距P而均匀地间隔开。间距P是在相邻凹槽138之间的径向距离。在凹槽138之间的分隔部140具有宽度Wp。每个凹槽138由侧壁142限定，侧壁142从凹槽138的底表面144延伸并终止于抛光表面103处，如，在分隔部140处。每个凹槽138可具有深度Dg和宽度Wg。
侧壁142可从抛光表面103向下延伸且大致垂直于抛光表面103。在这方面，侧壁基本上垂直于分配在支撑件134上的进料材料的层130。此外，分隔部140基本平行地延伸到分配在支撑件134上的进料材料的层130。
每个抛光周期导致抛光垫102的磨损，通常以当抛光表面103磨耗时使抛光垫102变薄的形式。具有基本上垂直的侧壁142的凹槽的宽度Wg不会随着抛光垫磨损而改变。因此，大致垂直的侧壁142确保抛光垫102在抛光垫102的操作寿命期间具有基本均匀的表面积。如于此所述，用以形成抛光垫102的制造处理可包括补偿操作，以防止抛光表面103为非平面的，如，用以确保抛光表面103的平面性或平坦性，并用以制造如垂直于抛光表面103的侧壁142。
凹槽138可具有约0.34mm的最小宽度Wg。每个凹槽138可具有在0.34mm与2.71mm之间的宽度Wg，如，在约0.38mm与1.02mm之间。具体而言，凹槽138可具有大约0.51mm或0.68mm的宽度Wg。在凹槽138之间的间距P可在约0.68和6.10mm之间，如，在约2.29mm和5.40mm之间。具体而言，间距可为大约2.03或3.05mm。在凹槽138之间的每个分隔部140可具有至少0.34mm的宽度Wp。凹槽宽度Wg与分隔部宽度Wp的比例可选择在约0.10和0.4之间。所述比例可为大约0.2或0.3。
在一些实现中，若抛光垫102包括背衬层136，则凹槽138可完全延伸穿过抛光层122。在一些实现中，凹槽138可延伸穿过抛光层122的厚度约20-80％，如40％。凹槽138的深度Dg可为0.25至1mm。抛光层122可具有在约1mm与3mm之间的厚度T。应该选择厚度T，使得在凹槽138的底表面144和背衬层136之间的距离Dp在约0.5mm和4mm之间。具体而言，距离Dp可为约1或2mm。
参照图4，显示了用以形成抛光垫102的制造处理200。例如，包括控制器129的增材制造设备120可执行制造处理200的操作。
接收指示待制造的抛光垫102的期望形状的数据(202)。指示形状的数据(包括指示期望形状的数据)可由二维或三维位图来限定。例如，每个位可指示材料是否应该存在于物体中的对应体素中。在一些实现中，形状数据包括表示计算机辅助设计(CAD)模型的数据。例如，若形状数据对应于指示期望形状的数据，则CAD模型可表示待制造的抛光垫102。
在一些实例中，参照图5，期望形状包括期望特征300。当增材制造设备120形成期望形状时，没有指示期望形状的数据的进一步操纵，如，分配进料材料并固化或允许进料材料固化，以形成期望形状，可基于指示包括期望特征300的期望形状的数据来形成实际特征310。例如，为了形成矩形的期望特征300，控制分配器128以分配平行的进料材料的层130。对于每一层而言，固化具有与矩形的期望特征300的宽度相对应的具有均匀宽度的进料材料的选定部分。通过简单地不将任何进料材料分配到物体(如，抛光垫)上的相应区域中而可提供凹部(如，凹槽)。
在此分配和固化处理期间，进料材料的材料性质和增材制造设备120的沉积技术可能导致实际特征310的边缘变得非期望地被倒圆或倒角。具体而言，若根据基于指示期望形状的数据而确定的原始图案来分配进料材料的层130，则所得到的形状包括如关于实际特征310所描绘的倒圆或倒角。
例如，如图5所示，尽管期望特征300的顶表面302是平面的，但实际特征310的对应顶表面312是非平面的。由于顶表面312上的倒角效应，期望特征300的横向边缘304a、304b具有比由增材制造设备120所形成的实际特征的实际横向边缘314a、314b更大的长度。期望特征300可对应于在凹槽138之间的分隔部140(显示于图3A和图3B中)。在这方面，顶表面312上的倒圆或倒角效应可使得由分隔部140限定的抛光表面103变成非平面。不限于任何特定理论，喷射到先前沉积的层上的进料材料(如，液体垫前驱物材料)的液滴可(如，由于润湿)而扩散并沿特征300的侧面向下流动，导致倒圆。
回头参照图4，产生指示来自期望轮廓(由通过增材制造系统的液滴喷射分配多层引起)的失真的数据(204)。也就是说，产生了预期的失真轮廓。为了减少倒圆或倒角效应(用预期的失真轮廓预测)，可修改指示所需形状的数据。在这方面，产生或接收指示分配进料材料以补偿抛光垫失真的修改图案的数据(206)。失真包括抛光垫102的抛光表面103的失真。在一些情况下，这些失真由增材制造设备120引起，如于此所述。修改后的图案不同于分配进料材料的原始图案，因为修改的图案说明了实际特征310相对于期望特征的失真。在这方面，在一些实现中，基于在实际特征310与期望特征300之间的相对差异来确定指示修改图案的数据。
例如，如图6所示，指示修改形状的数据包括指示修改特征320的数据。即使期望特征300的顶表面302是平面的，修改特征320的顶表面322也是非平面的，以补偿由原始图案所形成的实际特征310的顶表面312的失真。基于在期望特征300和实际特征310之间的相对差异来确定修改特征320。修改特征320的顶表面322是凹的，以补偿实际特征310的顶表面312的凸起。在这方面，基于指示期望形状的数据和指示使用原始图案形成的实际形状的数据的组合来确定指示修改形状的数据。
回头参照图4，根据修改的图案通过液滴喷射而分配进料材料的初始层(208)。基于指示用以分配进料材料的修改的图案的数据而形成得到的实际特征330，修改的图案基于指示修改形状的数据来确定。
当根据指示修改图案的数据控制分配器128以分配进料材料的层130时，固化的进料材料的层130的选定部分的尺寸和形状可通过特征的高度而变化。这与形成实际特征310的处理形成对比，其中固化的进料材料的选定部分在层与层之间是一致的，因为期望特征300的宽度在层与层之间是一致的。
修改特征320包括具有随层而变的宽度的凹入部分326。分配进料材料以形成凹入部分326的修改图案与用以形成期望特征300的顶部部分的原始图案的对应部分不同，因为用于修改图案的进料材料的层130的选定固化部分具有不同的宽度和形状。这些变化的宽度和形状补偿了存在于实际特征310中的失真，使得与使用原始图案而形成的实际特征310相比，使用修改图案而形成的所得实际特征330具有减小的凸度。例如，与实际特征310的顶表面312相比，实际特征330的顶表面332具有增加的平面性和平坦性。通过有意地控制进料材料在哪里被分配和固化，由修改图案所限定的此校正可更好地使得到的抛光垫102的形状与抛光垫102的原始期望形状匹配。
例如，控制器129可接收初始数据对象，如，指定待制造的物体的初始或预期形状的计算机辅助设计(CAD)兼容文件，如，位图。数据对象可储存在非暂时性计算机可读介质上。控制器129可经程序化以产生修改的数据对象，如，修改的位图，修改的数据对象包括用于减少倒圆或倒角的特征。修改的数据对象可基于由初始数据对象所指示的预期形状及指示由增材制造程序引入的预期形状的变化的数据。因此，当使用修改的数据对象(如，修改的位图)制造抛光垫102时，它更接近地匹配期望设计。
图7显示了期望特征400和根据指示期望特征400的数据而确定的分配和固化图案所形成的实际特征410的另一个实例。在此特定实例中，期望特征400具有680μm的宽度和500μm的高度，但其他尺寸在实施处理中是适当的。如图所示，实际特征410具有非平面的顶表面和倾斜的侧壁。
期望特征400是恒定宽度的特征，如，分离抛光垫102的凹槽138的分隔部140。分隔部140的恒定宽度可改善晶片对晶片的抛光均匀性。此外，抛光垫102的抛光功效可取决于抛光表面103的平面性。使用于此所述的处理，可产生指示修改图案的数据，使得使用修改图案而形成的所得实际特征更接近地匹配期望特征400。特别地，修改图案对应于具有使用于此所述的处理而确定的附加校正轮廓的原始图案。附加校正轮廓补偿使用原始图案而形成的实际特征410的失真。
图8A-8C的实例是由制造设备120分配和固化的层的横截面。在一些实现中，指示于此描述的形状的数据包括待形成的形状或所形成的形状的位图表示。位图的每个位可对应于待形成的抛光垫102的特征的体素。
例如，图8A显示待沉积以形成期望特征400的第一层804。为了补偿失真，沿着特征的两个相对边缘的分隔部806的两个外部区域被分配并沉积以形成分隔部806的周边。两个外部区域可由提供与第一边缘相邻的第一区域的第一组体素802a和提供与第二边缘相邻的第二区域的第二组体素802b来限定。
如图8B所示，在固化第一边缘802a和第二边缘802b之后，连续层808沉积在初始层804的顶上。连续层808具有足够的材料以填充在提供边缘的第一组体素802a与第二组体素802b之间的分隔部806的剩余部分，并在第一组体素802a和第二组体素802b的顶上沉积附加层。所形成的凹入形状至少部分地补偿由于沉积多个连续层而导致的期望特征的失真。
如图8C所示，在沉积多个连续层810之后，所得特征(如，分隔部806)可具有顶表面812，顶表面812带有较少遭受倒圆及/或其他形式的失真的边缘814。
初始数据对象不需要包括初始层，而修改数据对象包含初始层。特别地，控制器可确定正在制造的物体会发生的失真，并接着产生初始层，以补偿这些失真。例如，控制器可识别预期相对于期望轮廓而言很薄的区域。通过将对应于区域的体素分配给初始层，可使这些区域更厚。
替代地，初始数据对象可包括初始层，而修改后数据对象包括修改初始层。例如，通过修改对应于初始层中的区域的体素，以沉积更多材料，以便使彼等区域中的初始层更厚，可使得相对于期望轮廓预期变薄的区域更厚。
在一些实现中，第二层808可通过不同的第二液滴喷射处理而形成。例如，第一层804可通过喷射具有第一成分的液滴而形成，且第二层可通过喷射具有不同的第二成分的液滴而形成。例如，第一材料可为第一聚合物，而第二层808可为第二聚合物。第一材料可为在其他类似环境条件下比第二材料更快固化的组合物。
作为另一个实例，沉积第一层804的步骤可包括将第一固化辐射施加到第一层804，而沉积第二层808的步骤可包括施加第二固化辐射，第二固化辐射固化第二层808比第一固化辐射固化第一层804更慢。在一些实现中，第一固化辐射和第二固化辐射在喷射液滴和施加相应的固化辐射之间具有不同的波长，不同的强度，或不同的延迟。
尽管图8A-8C显示了直接沉积在支撑件134上的第一层804，如图8D所示，第一层804可形成在形成将制造的物体的主体(如，抛光垫的主体)的多个层820之上。在这种情况下，第一层820是突出于主体上方的特征的第一层(如，分隔部)。在这种情况下，层804仍然位于分隔部806的周边处。
图9A-9C的实例是由增材制造设备120分配和固化的层的横截面。在一些实现中，指示于此描述的形状的数据包括待形成的形状或所形成的形状的位图表示。位图的每个位可对应于待形成的抛光垫102的特征的体素。
例如，图9A显示待沉积以形成期望特征400的第一层904。为了补偿失真，分配和沉积两个外部区域(包括与第一边缘相邻的第一区域和与第二边缘相邻的第二区域)，以形成分隔部906的周边。第一组体素902a可提供第一区域，而第二组体素902b可提供第二区域。
如图9B所示，在固化第一组体素902a和第二组体素902b之后，第三组体素908沉积在由第一层904形成的边界之间。也就是说，连续层908具有足够的材料来填充分隔部906的剩余部分及在第一组体素902a与第二组体素902b之间的沉积区域。在此实例中，形成很少甚至没有凹入形状。相反地，边缘部分(902a和902b)通过更好地保持侧壁的垂直性的处理而形成。这至少部分地补偿了实际特征410的失真。实际上，边缘部分(902a和902b)用作壁，以保留将形成分隔部908的中心部分的抛光垫前驱物的其余部分。
在一些实现中，可通过不同的第二液滴喷射处理来沉积第三组体素908。例如，第一组体素902a和第二组体素902b可使用比用于形成第三组体素908的液滴的材料(如，第二聚合物)更快固化的材料(诸如第一聚合物)的液滴而形成。
在一些实现中，沉积第一组体素902a和第二组体素902b的步骤可包括第一固化辐射，而沉积第三组体素908的步骤可包括第二固化辐射，第二固化辐射固化第三组体素908比第一固化辐射固化第一组体素902a和第二组体素902b更慢。在此种实现中，第一固化辐射和第二固化辐射可处于不同的波长或不同的强度。设备可包括不同的能量源(如，不同的UV光)，以提供不同的波长或强度。替代地，可在不同的功率水平下驱动相同的能量源，以提供不同的强度。
如图9C所示，此处理可重复，直到沉积多个连续层910。边缘部分902a、902b用于形成提供分隔部906的垂直外表面的壁，其中分隔部的内部由第三组体素908提供。假定捕获材料未被移除并提供了抛光垫的一部分，则边缘部分902a、902b将是分隔部的周边内部并邻接分隔部的周边的区域。控制器可经程序化以从数据文件确定这些区域。
如图9D所示，在一些实现中，可(如，通过选择性蚀刻处理)移除捕获材料(亦即，第一组体素902a和第二组体素902b的材料)。这只留下第三组体素908的材料残留。在此种情况下，边缘部分902a、902b将是分隔部的周边外且邻接分隔部的周边的区域。再次地，控制器可经程序化以从数据文件确定这些区域。
若第三组体素908由光学透明材料(如，用于形成CMP窗口)所形成，则此种技术可能是有利的。此种技术对于固定磨料、辊格式的垫设计也是有利的。此种技术也可用于第三组体素908的二次聚合物固化，其中体素902a和902b的材料被用作掩模。
在一些实现中，分隔部的至少中心部分(亦即，第三组体素)经历二次聚合物固化处理。捕获材料(亦即，第一组体素902a和第二组体素902b的材料)可在二次固化之后被移除。
尽管图9A-9C显示了直接沉积在支撑件134上的层910，如图9E所示，提供分隔部的多个层910可形成在形成正在制造的物体的主体(如，抛光垫的主体)的多个层920之上。在此种情况下，第一层904是突出于主体的上方的特征(如，分隔部)的第一层。
图10显示了通过液滴喷射将第一组连续层1010沉积到支撑件134上的示例性处理。沉积第一组连续层1010的步骤包括将抛光垫前驱物1008a从第一喷射器1006a分配到第一组区域，诸如区域1004b，对应于抛光垫的分隔部。另外，沉积第一组连续层1010的步骤包括将牺牲材料1008b从第二喷射器1006b分配到一组第二区域，诸如区域1004a，对应于与抛光垫的凹槽。第一喷射器1006a和第二喷射器1006b可从不同的进料材料源抽取。特别地，牺牲材料1008b可与垫前驱物1008a同时沉积。同时沉积允许用第一喷射器1006a和第二喷射器1006b的一个单程来沉积整个层。牺牲材料1008b至少部分地减少了若通过在固化之前和固化期间将沉积的垫前驱物1008a保持就位而自行沉积垫前驱物1008a可能发生的失真。
在第一组连续层1010被沉积之后，通过液滴喷射在第一组连续层1010之上沉积多个第二连续层1012。第二组连续层1012跨越第一区域1004b和第二区域1004a两者。在一些实现中，第二组连续层1012的一些或全部对应于抛光垫的抛光层的下部并且由抛光垫前驱物1008a形成。在一些实现中，第二组连续层1012的一些或全部被形成为具有与第一组连续层1010不同的材料成分，并可对应于抛光垫的背衬层(如，子垫)。此种层可由不同的材料(如，不同的前驱物)形成，或可喷射相同的前驱物，但是不同地处理，如，经受更多或更少的固化，以提供不同程度的聚合并因此具有不同的硬度。
在此种实现中，抛光垫是颠倒制造的。也就是说沉积材料的最上层对应于抛光垫的基座或下部。第一组连续层1010和第二组连续层1012提供抛光垫的主体。
一旦抛光垫材料的沉积完成，则将抛光垫的主体从支撑件134移除。牺牲材料1008b从主体移除，如，通过选择性地蚀刻牺牲材料，或通过提起抛光垫的主体同时牺牲材料保留在支撑件上，以提供具有抛光表面的抛光垫，抛光表面具有由凹槽分隔的分隔部。
在一些实现中，第三组连续层通过液滴喷射而沉积在第二组连续层1012之上。第三组连续层可具有与第二组连续层1012不同的成分。第二组连续层1012可对应于抛光垫的下部(也被称为抛光层的子垫)。
参照图11A，在一些实现中，支撑件134的顶表面包括纹理(如，突起1100)，且抛光垫前驱物1008被喷射以填充在突起之间的空间，以便在抛光垫上产生互补纹理，如，凹槽。特定地，沉积第一组连续层1110包括从喷射器1106分配抛光垫前驱物1108，以形成分隔部第一组区域，诸如，区域1104，对应于抛光垫的分隔部。在第一组连续层1110被沉积之后，多个第二连续层1112被沉积在第一组连续层1010之上。第二组连续层1112跨越第一区域1004和突起1110两者。
第一组连续层1110可包括两至一百层。第二组连续层1110还可包括两至一百层。
在一些实现中，第二组连续层1112的一些或全部对应于抛光垫的抛光层的下部并且由抛光垫前驱物1008形成。在一些实现中，第二组连续层1112的一些或全部形成为具有与第一组连续层1110不同的材料成分，并且可对应于抛光垫的背衬层(如，子垫)。此种层可由不同的材料(如，不同的前驱物)形成，或可喷射相同的前驱物，但是不同地处理，如，经受更多或更少的固化以提供不同程度的聚合并因此具有不同的硬度。
参照图11B，不是在支撑件134中形成纹理，而是可通过放置在支撑件134上的膜1120来提供纹理。在此种情况下，抛光垫前驱物被喷射到膜1120上，且膜1120在制造之后从抛光垫移除。所述膜可为聚四氟乙烯、聚乙烯或其他塑料或含氟聚合物的层。
对于上面论述的各种实现的任一种而言，代替分配器128在支撑件134之上扫描，支撑件可为可移动的。例如，参照图12，支撑件134可为连续的带。带134可由驱动轮160驱动，驱动轮160由一或多个致动器供电以移动带(如箭头B所示)，以将分配的抛光垫前驱物运送到能量源131下方，以固化前驱物以形成抛光垫为片。尽管仅显示了一个分配器128和能量源131，但可存在有多个分配器和能量源沿着带134串联布置，使得多个层可连续地形成在带上，以形成抛光垫的整个厚度。接着可将固化的抛光垫片162从带134提起并缠绕在接收辊164上。
控制器(如，控制器129)可用数字电子电路或计算机软件，固件或硬件，或上述的组合来实现。控制器可包括一或多个计算机程序产品，亦即，有形地实施在信息载体中的一或多个计算机程序，如，在非暂时性机器可读储存介质中或在传播信号中，以通过数据处理设备(如，可程序化处理器，计算机，或多个处理器或计算机)执行，或控制数据处理设备的操作。计算机程序(也称为程序，软件，软件应用程序，或代码)可用任何形式的程序语言编写，包括编译或解译语言，且可以任何形式进行部署，包括作为独立程序或作为模块，部件，子例程，或适用于计算环境的其他单元。计算机程序可部署在一个站点处或分布在多个站点处并通过通讯网络互连的一台计算机上或多台计算机上而执行。
在本说明书中描述的处理和逻辑流程可由执行一或多个计算机程序的一或多个可程序化处理器执行，以通过对输入数据进行操作并产生输出来执行功能。处理和逻辑流程也可由专用逻辑电路(如，FPGA(现场可程序门阵列)或ASIC(专用集成电路))执行，且设备也可实现为专用逻辑电路。
所描述的系统的控制器129和其他计算装置部分可包括用以储存数据对象(如，计算机辅助设计(CAD)兼容文件)的非暂时性计算机可读介质，文件标识进料材料应被形成于每一层的图案。例如，数据对象可为STL格式的文件，3D制造格式(3MF)的文件或增材制造文件格式(AMF)的文件。例如，控制器可从远程计算机接收数据对象。控制器129中的处理器(如，由固件或软件控制)可解释从计算机接收的数据对象，以产生用以控制增材制造设备120的部件所需的信号集合，而以期望的图案来沉积及/或固化每个层。
已经描述了许多实现。然而，将理解可进行各种修改。
图6所示的方式是沉积进料材料的一或多个额外层，以补偿小于期望值的特征的高度。例如，进料材料的一或多个额外层可沉积在发生倒圆或倒角的区域中。然而，替代地或附加地，沉积在层中的进料材料的量可补偿小于期望值的高度特征。例如，可针对位于高度特征小于期望值的区域(如，发生倒圆或倒角的区域)中的体素，增加液滴的尺寸或喷射的液滴的数量。
在一些实现中，取决于待分配液滴124的位置来改变进料材料的容积的分布。进料材料的液滴124的容积在分配操作期间变化。例如，回头参照图6，用于形成特征的边缘322a、322b的液滴124的容积可小于用于形成特征的内部部分322c的液滴124的容积。控制器129基于进料材料的材料性质确定用于形成边缘322a、322b的适当重量和用于形成内部部分322c的重量。分配器128可分配较少的进料材料，以最小化进料材料的滚落。当分配器128移动以形成特征的内部部分322c时，液滴的容积增加。在一些实现中，液滴124的容积限定从特征的边缘322a、322b到中心的梯度。取决于进料材料的润湿效果，当能量源131(若存在的话)被操作时，此种类型的容积控制可用以调节固化的进料材料的量。例如，若能量源131跨越支撑件134扫描以固化所分配的进料材料的不同部分，则对于能量源131的每一程而言，液滴容积控制可允许较少的进料材料滚落，同时将更多的进料材料注入在特征的边缘322a、322b处，以减小于此描述的倒角效果。
在一些实现中，分配多种类型的进料材料。增材制造设备120包括(例如)两个或更多个分配器，每个分配器分配不同类型的进料材料。在一些情况下，单个分配器(如，分配器128)接收多种类型的进料材料并分配多种类型的进料材料的混合物。因为第一类型的进料材料的性质可能与第二类型的进料材料的性质不同，所以对分配第一类型的进料材料的原始图案的修改可包括比对原始图案的修改更大或更小的缩放量，以分配第二类型的进料材料。替代地，若控制液滴重量，则可将第一类型的进料材料的液滴的重量控制为高于或低于第二类型的进料材料的液滴的重量。在一些情况下，第一类型的进料材料的液滴的尺寸可被控制为大于或小于第二类型的进料材料的液滴的尺寸。
在一些实现中，多种类型的进料材料形成抛光垫102的不同部分，(例如)用以形成抛光层122和背衬层136，或用以形成抛光层122的不同部分，(如)以提供具有跨越抛光表面横向变化的抛光性质的抛光层。第二类型的进料材料可包括具有增材剂的第一类型的进料材料，增材剂相对于第一类型的进料材料改变第二类型的进料材料的性质。增材剂包括(例如)可调节未固化进料材料的性质的表面活性剂，该性质例如ζ电位、亲水性等。
进料材料的层的每一层的厚度和体素的每一个的尺寸可随实现而变化。在一些实现中，当分配在支撑件134上时，每个体素可具有(例如)10μm至50μm(如，10μm至30μm，20μm至40μm，30μm至50μm，大约20μm，大约30μm，或大约50μm)的宽度。每层可具有预定的厚度。厚度可为(例如)1至80μm(如，2至40μm(如，2μm至4μm，5μm至7μm，10μm至20μm，25μm至40μm))。
尽管已经在制造抛光垫的上下文中描述了方法和设备，但方法和设备可适用于通过增材制造来制造其他制品。在此情况下，除了抛光表面之外，将会简单地存在有待制造的物体的顶表面，且顶表面中将存在有凹部。修改后的图案可至少部分地补偿由增材制造系统引起的失真。
另外，尽管已经在通过液滴喷射制造的上下文中描述了方法和设备，但方法及设备可适于通过其他增材制造技术而制造，所述其他增材制造技术如，选择性粉末分配，接着烧结。
因此，其他实现在权利要求书的范围内。

Claims (27)

1.一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法，所述方法包含以下步骤：
接收指示由所述增材制造系统通过液滴喷射而制造的所述抛光垫的期望形状的数据，所述期望形状限定期望轮廓，所述期望轮廓包括抛光表面，所述抛光表面具有多个分隔部，所述多个分隔部具有实质平坦顶表面并且由所述抛光垫上的一或多个凹槽而分开；
产生指示由所述增材制造系统通过液滴喷射而分配多层所导致的所述期望轮廓的多个失真的数据，所述多个失真包括从所述多个分隔部的所述实质平坦顶表面的变化；
产生指示由液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自所述期望轮廓的所述多个分隔部的所述实质平坦顶表面的所述失真，所述初始层延伸跨越小于所述多个分隔部的至少一个分隔部的宽度的全部；
通过液滴喷射而分配所述初始层在支撑件上，所述初始层提供所述抛光垫的一部分；及
由所述增材制造系统通过液滴喷射将多个覆盖层分配在所述初始层上，以形成所述抛光垫的所述多个分隔部，所述多个覆盖层每个延伸跨越所述多个分隔部的每个特定分隔部的整个宽度。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述失真包含预期相对于所述期望轮廓较薄的区域。
3.如权利要求2所述的方法，其中所述初始层由对应于所述区域的体素所组成。
4.如权利要求3所述的方法，其中所述区域对应于所述多个分隔部的边缘。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述初始层对应于所述分隔部的边缘，且分配所述多个覆盖层覆盖所述初始层的至少一部分并填充在所述边缘之间的区域。
6.如权利要求1所述的方法，其中分配所述初始层的步骤包含分配第一成分的第一材料，且分配所述多个覆盖层的步骤包含分配不同的第二成分的第二材料。
7.一种计算机程序产品，包含非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质编码有指令，以使得一或多个处理器：
接收指示由增材制造系统通过液滴喷射而制造的抛光垫的期望形状的数据，所述期望形状限定期望轮廓，所述期望轮廓包括抛光表面，所述抛光表面具有多个分隔部，所述多个分隔部具有实质平坦顶表面并且由所述抛光垫上的一或多个凹槽而分开；
产生指示由所述增材制造系统通过液滴喷射而分配多个层所导致的所述期望轮廓的失真的数据，所述多个失真包括从所述多个分隔部的所述实质平坦顶表面的变化；
产生指示通过液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自所述期望轮廓的所述多个分隔部的所述实质平坦顶表面的所述失真，所述初始层延伸跨越小于所述多个分隔部的至少一个分隔部的宽度的全部；
使得增材制造系统通过液滴喷射将所述初始层分配在支撑件上，所述初始层提供所述抛光垫的一部分；及
使得所述增材制造系统通过所述增材制造系统的液滴喷射而分配多个覆盖层在所述初始层上，以形成所述抛光垫的所述多个分隔部，所述多个覆盖层每个延伸跨越所述多个分隔部的每个特定分隔部的整个宽度。
8.一种增材制造系统，所述系统包含：
支撑件；
分配器，经配置以通过液滴喷射将进料材料的多层输送到所述支撑件上；及
控制器，所述控制器经配置以
接收指示通过液滴喷射而制造的物体的期望形状的数据，所述期望形状限定期望轮廓，所述期望轮廓包括表面，所述表面具有多个突起，所述多个突起具有实质平坦顶表面并且由一或多个凹部所分开；
产生指示由所述增材制造系统通过所述液滴喷射而分配所述多个层所导致的所述期望轮廓的多个失真的数据，所述多个失真包括从所述实质平坦顶表面的变化；
产生指示由所述分配器通过液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自所述期望轮廓的所述多个突起的所述实质平坦顶表面的所述失真，所述初始层延伸跨越小于所述多个突起的至少一个突起的宽度的全部；
使得所述分配器通过液滴喷射将所述初始层分配在支撑件上，所述初始层提供物体的一部分；及
使得所述分配器通过所述增材制造系统的液滴喷射而分配多个覆盖层在所述初始层上，以形成所述物体的所述多个突起，所述多个覆盖层每个延伸跨越所述多个突起的每个特定突起的整个宽度。
9.一种使用增材制造系统制造物体的方法，所述方法包含以下步骤：
接收指示由所述增材制造系统通过液滴喷射而制造的所述物体的期望形状的数据，所述期望形状限定期望轮廓，所述期望轮廓包括表面，所述表面具有多个突起，所述多个突起具有实质平坦顶表面并且通过一或多个凹部所分开；
产生指示由所述增材制造系统通过液滴喷射分配多个层导致的所述期望轮廓的失真的数据，所述多个失真包括从所述实质平坦顶表面的变化；
产生指示通过液滴喷射分配的初始层的数据，以至少部分地补偿来自所述期望轮廓的所述多个突起的所述实质平坦顶表面的所述失真，所述初始层延伸跨越小于所述多个突起的至少一个突起的宽度的全部；
通过液滴喷射将所述初始层分配在支撑件上，所述初始层提供物体的一部分；及
通过所述增材制造系统的液滴喷射而分配多个覆盖层在所述初始层上，以形成所述物体的所述多个突起，所述多个覆盖层每个延伸跨越所述多个突起的每个特定突起的整个宽度。
10.一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法，所述方法包含以下步骤：
通过液滴喷射沉积多个连续层，以形成所述抛光垫，所述抛光垫包含抛光表面，所述抛光表面具有由一或多个凹槽分开的多个分隔部，每个分隔部包括内部部分和围绕所述内部部分的边缘部分，并且相邻分隔部的边缘部分由所述一或多个凹槽中的凹槽分开，且其中沉积所述连续层的一层的步骤包括以下步骤
通过第一液滴喷射处理而分配对应于所述多个分隔部的边缘部分的第一区域，并且不将液滴喷射到对应于所述相邻分隔部的边缘部分之间的凹槽的第三区域中；
固化所述第一区域，
在固化所述第一区域之后，通过不同的第二液滴喷射处理分配对应于在所述边缘部分之间的所述多个分隔部的所述内部部分的第二区域，以及
固化所述第二区域。
11.如权利要求10所述的方法，其中所述第一液滴喷射处理分配第一成分的液滴且所述第二液滴喷射处理分配不同的第二成分的液滴。
12.如权利要求11所述的方法，所述方法包含以下步骤：移除由所述第一成分形成的所述多个连续层的一或多个部分。
13.一种计算机程序产品，包含非暂时性计算机可读介质，所述非暂时性计算机可读介质编码有指令，以使一或多个处理器：
接收指示由增材制造系统通过液滴喷射制造的抛光垫的期望形状的数据，所述抛光垫包含抛光表面，所述抛光表面具有由一或多个凹槽分开的多个分隔部，每个分隔部包括内部部分和围绕所述内部部分的边缘部分，并且相邻分隔部的边缘部分由所述一或多个凹槽中的凹槽分开；
从所述数据确定与所述多个分隔部的边缘部分相对应的第一区域及与所述分隔部的内部部分相对应的第二区域；及
使得所述增材制造系统通过液滴喷射沉积多个连续层，以形成所述抛光垫，其中用以使所述增材制造系统沉积所述多个连续层的指令包括指令，所述指令使得所述增材制造系统
通过第一液滴喷射处理分配对应于所述多个分隔部的所述边缘部分的所述第一区域，并且不将液滴喷射到对应于所述相邻分隔部的所述边缘部分之间的所述凹槽的第三区域中，
固化所述第一区域；
在固化所述第一区域之后，通过不同的第二液滴喷射处理分配对应于所述边缘部分之间的所述内部部分的所述第二区域；以及
固化所述第二区域。
14.一种增材制造系统，所述系统包含：
支撑件；
至少一个分配器，经配置以通过液滴喷射将垫前驱物材料的多个层输送到所述支撑件上；
至少一个能量源；及
控制器，经配置以
接收指示由增材制造系统通过液滴喷射制造的抛光垫的期望形状的数据，所述抛光垫包含抛光表面，所述抛光表面具有由一或多个凹槽分开的多个分隔部，每个分隔部包括内部部分和围绕所述内部部分的边缘部分，并且相邻分隔部的边缘部分由所述一或多个凹槽中的凹槽分开；及
使得所述至少一个分配器和所述至少一个能量源通过液滴喷射来沉积多个连续层并固化所述多个连续层，以形成所述抛光垫，其中所述控制器经配置以对于与所述多个分隔部对应的多个层的每一层而言，使得所述至少一个分配器和所述至少一个能量源通过第一液滴喷射和固化处理而分配和固化对应于所述多个分隔部的边缘部分的第一区域，而不将液滴喷射到对应于所述相邻分隔部的所述边缘部分之间的所述凹槽的第三区域中，并在固化所述第一区域之后通过不同的第二液滴喷射和固化处理来分配和固化与所述边缘部分之间的所述分隔部的内部相对应的第二区域。
15.一种使用增材制造系统制造物体的方法，所述方法包含以下步骤：
通过液滴喷射沉积多个连续层，以形成所述物体，所述物体包含表面，所述表面具有由一或多个凹部分开的多个突起，每个突起包括内部部分和围绕所述内部部分的边缘部分，并且相邻突起的边缘部分由所述一或多个凹部中的凹部分开，且其中沉积所述连续层的一层的步骤包括以下步骤
通过第一液滴喷射处理分配对应于所述多个突起的边缘部分的第一区域，并且不将液滴喷射到对应于所述相邻突起的所述边缘部分之间的所述凹部的第三区域中，
固化所述第一区域，
在固化所述第一区域之后，通过不同的第二液滴喷射处理分配对应于在所述边缘部分之间的所述多个突起的内部部分的第二区域；以及
固化所述第二区域。
16.一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法，所述方法包含以下步骤：
通过液滴喷射将多个第一连续层沉积到支撑件上，其中沉积所述多个第一连续层的步骤包括以下步骤
将抛光垫前驱物分配至对应于所述抛光垫的分隔部的第一区域，及
将牺牲材料分配至对应于所述抛光垫的凹槽的第二区域；
通过液滴喷射将多个第二连续层沉积在所述多个第一连续层之上，所述多个第二连续层对应于所述抛光垫的下部，所述多个第一连续层和所述多个第二连续层提供主体；
从所述支撑件移除所述主体；及
从所述主体移除所述牺牲材料，以提供所述抛光垫，所述抛光垫包含抛光表面，所述抛光表面具有由所述凹槽分离的所述分隔部。
17.如权利要求16所述的方法，所述方法包含以下步骤：固化所述抛光垫前驱物并固化所述牺牲材料。
18.如权利要求17所述的方法，其中所述抛光垫前驱物包含第一聚合物前驱物且所述牺牲材料包含具有不同成分的第二聚合物前驱物。
19.如权利要求16所述的方法，其中所述多个第二连续层跨越所述第一区域和所述第二区域两者。
20.如权利要求16所述的方法，其中移除所述牺牲材料的步骤包含：将所述抛光垫从所述牺牲材料蚀刻掉或提升所述抛光垫离开所述牺牲材料。
21.一种增材制造系统，所述系统包含：
支撑件；
第一分配器，经配置以通过液滴喷射分配抛光垫前驱物；
第二分配器，经配置以分配牺牲材料；
至少一个能量源；及
控制器，经配置以
接收指示由所述增材制造系统通过液滴喷射而制造的抛光垫的期望形状的数据，所述抛光垫包含抛光表面，所述抛光表面具有由一或多个凹槽分开的一或多个分隔部；以及
使所述第一分配器通过液滴喷射来沉积多个连续层到所述抛光垫的下部上，所述控制器配置为使得所述第一分配器将所述抛光垫前驱物输送到与所述抛光垫的分隔部相对应的第一区域，及
使得所述第二分配器将所述牺牲材料输送到毗邻所述第一区域的第二区域，以形成对齐所述分隔部的垂直表面的壁，其中相邻分隔部之间的间隙与所述抛光垫中的凹槽相对应。
22.一种使用增材制造系统制造物体的方法，所述方法包含以下步骤：
通过液滴喷射将多个第一连续层沉积到支撑件上，其中沉积所述多个第一连续层的步骤包括以下步骤
将聚合物前驱物分配至对应于所述物体的表面上的突起的第一区域，
将牺牲材料分配到对应于所述物体的所述表面上的凹部的第二区域；及
固化所述聚合物前驱物；
通过液滴喷射在所述多个第一连续层之上沉积多个第二连续层，所述多个第二连续层对应于所述物体的下部，所述多个第一连续层和所述多个第二连续层提供主体；
从所述支撑件移除所述主体；及
从所述主体移除所述牺牲材料，以提供包含具有由所述凹部分开的所述突起的所述表面的所述物体。
23.一种使用增材制造系统制造抛光垫的方法，所述方法包含以下步骤：
将膜放置在支撑件上，所述膜具有形成在膜的上表面中的多个凹部，以限定来自所述膜的连续底部的多个整体突起；
通过液滴喷射将多个第一连续层沉积到支撑件上的所述膜上，以形成所述抛光垫的抛光层，且其中沉积所述多个第一连续层的步骤包括以下步骤
对于所述多个第一连续层的每个相应第一层而言，从所述多个第一连续层分配多个第一层，
将抛光层前驱物的液滴喷射到在所述突起之间的所述凹部中，以形成所述相应第一层，及
在沉积随后的第一层之前固化所述相应第一层，及
对于所述多个第二连续层的每个相应第二层而言，从所述多个第一连续层分配多个第二层在所述多个第一层之上，
喷射所述抛光层前驱物的液滴以形成所述相应第二层，每个相应第二层跨越所述突起和所述凹部，及
在沉积随后的第二层之前固化所述相应第二层；及
将所述抛光层从所述膜移除，所述抛光层具有表面，所述表面具有对应于所述多个整体突起的凹槽、将所述凹槽分开的分隔部及跨越并支撑所述分隔部的下部。
24.如权利要求23所述的方法，其中所述支撑件包含具有所述突起的刚性基座。
25.如权利要求24所述的方法，其中所述支撑件包含具有所述突起的膜，所述膜布置在所述刚性基座上。
26.一种增材制造系统，所述系统包含：
支撑件，具有在所述支撑件上的膜，所述膜具有形成在所述膜的上表面中的多个凹部，以限定来自所述膜的连续底部的多个整体突起；
分配器，经配置以通过液滴喷射分配抛光层前驱物，以形成抛光垫的多个第一连续层；
至少一个能量源，以固化所述抛光层前驱物；及
控制器，经配置以
对于多个第一层的每个相应第一层而言，
使得所述分配器将抛光层前驱物的多个液滴喷射到在所述突起之间的所述凹部中，以形成所述相应第一层，及
在沉积随后的第一层之前使得所述能量源固化所述相应第一层，及
对于多个第二层的每个相应第二层而言，
使得所述分配器喷射所述抛光层前驱物的液滴，以形成所述相应第二层，每个相应第二层跨越所述突起和所述凹部，及
在沉积随后的第二层之前使得所述能量源固化所述相应第二层。
27.如权利要求26所述的系统，其中所述支撑件包含具有所述突起的刚性基座，或者所述支撑件包含具有所述突起的膜，所述膜布置在刚性基座上。
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