CN110647261A - 触摸模组、触摸显示装置及触控方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种触摸模组、触摸显示装置及触控方法，属于显示设备领域。触摸模组包括依次层叠的第一电极层、绝缘层和第二电极层，第一电极层包括沿第一方向间隔排列的多个第一网状电极，第二电极层包括沿第二方向间隔排列的多个第二网状电极，第一方向和所述第二方向相交。通过第一网状电极和第二网状电极分别具有磁性隧道结，或者，第一网状电极、绝缘层和第二网状电极构成磁性隧道结，能够同时感应电容和电磁的变化，实现触摸模组电磁触控和电容触控功能，减低制作难度和生产成本。

Description

触摸模组、触摸显示装置及触控方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种触摸模组、触摸显示装置及触控方法。

背景技术

随着技术的发展，触摸屏由于方便使用，越来越受到大家青睐。按照工作原理的不同，触摸屏可以分为电阻触摸屏、电容触摸屏、电磁触摸屏等。其中，电容触摸屏通常通过感应手指的触摸来识别触控位置，电磁触摸屏则是通过感应电磁笔的磁场带来的磁通量变化识别触控位置。

为了实现手指和电磁笔的双触控，目前通常是将电容触摸屏所需的电容触摸模组和电磁触摸屏所需的电磁触摸模组分别固定在显示屏上，制作工艺复杂，成本高。

发明内容

本发明实施例提供了一种本发明实施例提供了一种触摸模组、触摸显示装置及触控方法，能够通过一个触摸模组同时感应电容和电磁的变化，减低制作难度和生产成本。所述技术方案如下：

一方面，本发明实施例提供了一种触摸模组，所述触摸模组包括：依次层叠的第一电极层、绝缘层和第二电极层，所述第一电极层包括沿第一方向间隔排列的多个第一网状电极，所述第二电极层包括沿第二方向间隔排列的多个第二网状电极，所述第一网状电极沿所述第二方向延伸，所述第二网状电极沿所述第一方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交；所述第一网状电极和所述第二网状电极分别具有磁性隧道结，或者，所述第一网状电极、所述绝缘层和所述第二网状电极构成磁性隧道结。

可选地，所述第一网状电极和所述第二网状电极中的一个包括一个磁钉扎材料层，所述第一网状电极和所述第二网状电极中的另一个包括一个磁自由导电材料层，在所述第一网状电极和所述第二网状电极的相交处，所述第一网状电极、所述绝缘层和所述第二网状电极构成磁性隧道结。

可选地，所述绝缘层的厚度为1～2nm。

可选地，所述触摸模组还包括保护层，所述保护层位于所述磁自由导电材料层远离所述绝缘层的一侧。

可选地，所述第一网状电极包括依次层叠的第一磁钉扎材料层、第一子绝缘层和第一磁自由导电材料层，所述第一磁钉扎材料层、所述第一子绝缘层和所述第一磁自由导电材料层构成磁性隧道结；所述第二网状电极包括依次层叠的第二磁钉扎材料层、第二子绝缘层和第二磁自由导电材料层，所述第二磁钉扎材料层、第二子绝缘层和第二磁自由导电材料层构成磁性隧道结。

可选地，所述第一网状电极还包括第一保护层，所述第一保护层位于所述第一磁自由导电材料层远离所述第一子绝缘层的一侧，所述第二网状电极还包括第二保护层，所述第二保护层位于所述第二磁自由导电材料层远离所述第二子绝缘层的一侧。

可选地，所述触摸模组还包括多个第一块状电极和多个第二块状电极，所述多个第一块状电极与所述第一电极层相连每个所述第一网状电极分别连接一个所述第一块状电极，每个所述第二网状电极分别连接一个所述第二块状电极。

可选地，所述第一电极层和所述第二电极层分别还包括接地线，所述接地线围绕所述多个第一网状电极和所述第二网状电极设置。

另一方面，本发明实施例还提供了一种触摸显示装置，包括显示模组和设置显示模组上的如前述的触摸模组。

又一方面，本发明实施例还提供了一种触控方法，使用前述触摸模组实现，所述方法包括：

向驱动电极输入驱动信号，所述第一网状电极和所述第二网状电极中的一个为驱动电极；

通过各个感应电极获取感应信号，所述第一网状电极和所述第二网状电极中的另一个为感应电极；

根据所述各个感应电极获取到的感应信号，确定所述驱动电极与所述各个感应电极相交处的电信号变化；

根据各个所述相交处的电信号变化确定触控位置，所述电信号变化用于反应所述磁性隧道结的电阻变化，或者，反应所述驱动电极和所述感应电极之间的电容变化。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

触摸模组包括依次层叠的第一电极层、绝缘层和第二电极层，第一电极层包括沿第一方向间隔排列的多个第一网状电极，第二电极层包括沿第二方向间隔排列的多个第二网状电极，第一网状电极和第二网状电极中的一个为感应电极，第一网状电极和第二网状电极中的另一个为驱动电极，第一网状电极沿第二方向延伸，第二网状电极沿第一方向延伸，第一方向和所述第二方向相交，使得第一网状电极和第二网状电极之间有多个交叉点。

当使用电磁笔触控时，在电磁笔磁场作用下，电磁笔与触摸模组接触点位的磁性隧道结被导通，电子可以通过磁性隧道结，使得接触点位的电阻减少。而其他部分的磁性隧道结未被导通，电阻维持不变。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极和第二网状电极的相交处的电阻变化，从而根据电阻变化便可确定电阻发生变化的位置即电磁笔的触控位置，实现触摸模组电磁触控功能。

当手指触控时，指尖会影响第一网状电极和第二网状电极之间的电容量，导致第一网状电极和第二网状电极的相交处的电容值出现变化。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极和第二网状电极的相交处的电容变化，从而根据电容变化便可确定电磁笔的触控位置，实现触摸模组电容触控功能。

通过第一网状电极和第二网状电极分别具有磁性隧道结，或者，第一网状电极、绝缘层和第二网状电极构成磁性隧道结，能够同时感应电容和电磁的变化，实现触摸模组电磁触控和电容触控功能，实现电磁电容触控的集成化，减低制作难度和生产成本，保证触控模组的轻薄化。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是隧道磁电阻效应原理示意图；

图2是隧道磁电阻效应原理示意图；

图3是本发明实施例提供的一种触摸模组的截面示意图；

图4是本发明实施例提供的一种第一电极层的结构图；

图5是本发明实施例提供的一种第二电极层的结构图；

图6是本发明实施例提供的一种触摸模组的截面示意图；

图7为根据示例性实施例示出的一种触控方法的流程图；

图8为根据示例性实施例示出的一种触摸模组制作方法的流程图；

图9为根据示例性实施例示出的一种触摸模组制作方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

为了更好地理解本发明的内容，下面先介绍隧道磁电阻效应原理的基本原理。图1和图2为磁性隧道结的隧道磁电阻效应原理示意图。如图1和图2所示，磁性隧道结(Magnetic Tunnel Junction，MTJ)为磁性多层膜结构，包括磁钉扎层1、磁自由层2和绝缘层3，绝缘层3位于磁钉扎层1和磁自由层2之间。

如图1所示，虚线箭头表示电子传输方向，实线箭头(竖直方向)表示磁化方向。若磁钉扎层1和磁自由层2这两个磁性层的磁化方向互相平行(磁钉扎层1和磁自由层2中两个竖直方向的箭头方向平行)，则在一个磁性层中，多数自旋子带的电子将进入另一磁性层中多数自旋子带的空态，少数自旋子带的电子也将进入另一磁性层中少数自旋子带的空态，电子容易通过绝缘层3，因此，总的隧穿电流较大。如图2所示，若磁钉扎层1和磁自由层2这两个磁性层的磁化方向反平行(磁钉扎层1和磁自由层2中两个竖直方向的箭头方向反平行)，情况则刚好相反，即在一个磁性层中，多数自旋子带的电子将进入另一磁性层中少数自旋子带的空态，而少数自旋子带的电子也将进入另一磁性层中多数自旋子带的空态，电子不易通过绝缘层3。图2中右侧的斜向虚线箭头表示电子无法穿过绝缘层3而被挡回来，此时，隧穿电流比较小。

可见，磁钉扎层1和磁自由层2磁化方向平行时隧穿电流比磁化方向反平行时大，因此，磁钉扎层1和磁自由层2磁化方向平行时的电阻比反平行时的电阻小。通过施加外磁场可以改变磁钉扎层1和磁自由层2的磁化方向，从而出现隧道磁电阻效应(TunnelingMagneto Resistance，TMR)，使得隧穿电阻发生变化。

图3是本发明实施例提供的一种触摸模组的结构示意图。如图3所示，触摸模组依次层叠的第一电极层100、绝缘层200和第二电极层300。

图4是本发明实施例提供的一种第一电极层的结构图。如图4所示，第一电极层100包括沿第一方向X间隔排列的多个第一网状电极100a。

图5是本发明实施例提供的一种第二电极层300的结构图。如图5所示，第二电极层300包括沿第二方向Y间隔排列的多个第二网状电极300a。

第一网状电极100a和第二网状电极300a中的一个为感应电极(Tx)，第一网状电极100a和第二网状电极300a中的另一个为驱动电极(Rx)，第一网状电极100a沿第二方向Y延伸，第二网状电极300a沿第一方向X延伸，第一方向X和第二方向Y相交，使得每个第一网状电极100a和多个第二网状电极300a之间有多个相交处。第一网状电极100a和第二网状电极300a分别具有磁性隧道结，或者，第一网状电极100a、绝缘层和第二网状电极300a构成磁性隧道结。

当使用电磁笔触控时，在电磁笔磁场作用下，电磁笔与触摸模组接触点位的磁性隧道结被导通，电子可以通过磁性隧道结电阻减少。而其他部分的磁性隧道结未被导通，电阻维持不变。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电阻变化，从而根据电阻变化便可确定电阻发生变化的位置即电磁笔的触控位置，实现电磁电容触控的集成化，实现触摸模组电磁触控功能，保证触控模组的轻薄化。

当手指触控时，指尖会影响第一网状电极100a和第二网状电极300a之间的电容量，导致第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电容值出现变化。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电容变化，从而根据电阻变化便可确定电磁笔的触控位置，实现触摸模组电容触控功能。

通过第一网状电极100a和第二网状电极300a分别具有磁性隧道结，或者，第一网状电极100a、绝缘层和第二网状电极300a构成磁性隧道结，能够同时感应电容和电磁的变化，实现触摸模组电磁触控和电容触控功能，减低制作难度和生产成本。且由于可以同时检测电容触控信号和电磁触控信号，而不必像同时设置电容感应单元和电磁感应单元的触摸模组一样，分时检测电容触控信号和电磁触控信号。因此，可以提高触摸模组的触控的灵敏度和响应速度

在一些实施例中，第一网状电极100a和第二网状电极300a中的一个包括一个磁钉扎材料层，第一网状电极100a和第二网状电极300a中的另一个包括一个磁自由导电材料层，在第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处，第一网状电极100a、绝缘层200和第二网状电极300a构成磁性隧道结。

第一网状电极100a、绝缘层200和第二网状电极300a构成磁性隧道结，是指在没有外部磁场作用的情况下，磁钉扎材料层和磁自由导电材料层两个磁性层的磁化方向反平行，磁性隧道结未被导通。在外部磁场作用的情况下，磁钉扎材料层和磁自由导电材料层两个磁性层的磁化方向平行，磁性隧道结被导通。

当电磁笔触控时，在电磁笔磁场作用下，电磁笔与触摸模组接触点位的磁性隧道结被导通，电子可以通过磁性隧道结中的绝缘层，使得磁性隧道结的电阻减小。而其他部分的磁性隧道结未被导通，电阻维持不变。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电阻变化，从而根据电阻变化便可确定电阻发生变化的位置即电磁笔的触控位置，实现触摸模组电磁触控功能。

当手指触控时，指尖会影响第一网状电极100a和第二网状电极300a之间的电容量，导致第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电容值出现变化。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电容变化，从而根据电阻变化便可确定电磁笔的触控位置，实现触摸模组电容触控功能。

再次参见图3，在本公开实施例中，触摸模组还包括保护层200a，保护层200a位于磁自由导电材料层远离绝缘层200的一侧。保护层200a的材料可以是CuNi，厚度为31～51nm。保护层200a可以防止磁自由导电材料层被腐蚀或氧化，避免增加磁自由导电材料层的电阻。

示例性地，该触摸模组还包括透明基板600，第一网状电极100a、绝缘层200和第二网状电极300a依次层叠在透明基板600上。示例性地，透明基板600可以是玻璃基板，例如无机玻璃基板。

在一些实施例中，磁钉扎材料层可以设置在绝缘层200靠近透明基板600的一侧，磁自由导电材料层设置在绝缘层200远离透明基板600的一侧。在使用具有较高导电性的金属薄膜作为磁自由导电材料层的情况下，由于对外部光有较高的反射率和雾度值，会使磁自由导电材料层容易被人眼看到以及产生眩目的问题。磁钉扎材料层能够通过吸收来减少入射到金属层本身的光的量和从金属层反射的光的量。此时，磁钉扎材料层可以起到黑化消影的作用，提高磁自由导电材料层消影的效果。

示例性地，磁钉扎材料层的材料可以为Ni80Fe20，厚度可以为1-100nm。磁自由导电材料层的材料可以为Fe或Co，厚度可以为1-100nm。

在一种示例性的实现方式中，绝缘层200的材料可以为氧化铝，厚度可以为1-2nm，以保证电子能够顺利穿过绝缘层200，产生隧道磁电阻效应。

磁钉扎材料层、磁自由导电材料层和绝缘层200可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

参见图4和图5，第一网状电极100a和第二网状电极300a均为金属网状结构。金属网状结构可以是由数个菱形网格串接而成，在其他实现方式中，金属网状结构也可以是由数个三角形网格或矩形网格等多边形网格串接而成。每个金属网状结构可以包含多个金属线条，避免由于单一金属线较细时容易折断，导致的信号不通。由于细密的金属网状结构能够实现触摸模组的整面覆盖，因此，该触摸模组可以拥有较高的触控分辨率。

将金属网状结构的金属线的粗细按照裸眼分辨不出的标准进行设计，通过将金属线路制作为更为细密的丝线，达到裸眼分辨不出的程度，这样就不会看到金属线路，从而实现金属线消影的作用。触控触感更为精细、灵敏，线路更为细密，触控分辨率更高。

触摸模组还包括多个第一块状电极400和多个第二块状电极500，每个第一网状电极100a分别连接一个第一块状电极400，每个第二网状电极300a分别连接一个第二块状电极500。

这里，第一块状电极400可以用来向第一网状电极100a传递信号，或者传递第一网状电极100a上的信号。如图4所示，第一块状电极400与第一网状电极100a的一侧边连接，从而使得该第一块状电极400可以同时与第一网状电极100a的多个金属线条连接，从而实现信号的快速传输。这里的第一块状电极400的数量可以与第一网状电极100a的数量相等。

同样的，第二块状电极500的作用即数量设置与第一块状电极400类似，不做赘述。

在一些实施例中，触控位置可以采用以下方式获取：通过第一块状电极或第二块状电极中的一个向对应的网状电极输入驱动信号；通过第一块状电极或第二块状电极中的另一个获取网状电极的感应信号；根据感应信号确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电阻变化；根据电阻变化确定触控位置。

以上获取触控位置方式可以参见图7所示的方法实施例的相关内容。

第一块状电极400和第二块状电极500的数量可以由用户的精度要求确定，第一块状电极400数量越多则每个第一网状电极100a的覆盖范围就越小，第二块状电极500数量越多则每个第二网状电极300a的覆盖范围就越小，因此，触控识别的精度越高，定位越准确。

可以理解的，第一块状电极400和第二块状电极500的数量也可以根据触摸模组的大小来确定，触摸模组的尺寸越大，对应需要的第一块状电极400和第二块状电极500的数量也越多。

另外，第一块状电极400和第二块状电极500的尺寸也可以根据用户的精度要求、触摸模组的大小中的至少一个来确定。

在一些实施例中，第一电极层100和第二电极层300分别还可以包括接地线150，接地线150分别围绕多个第一网状电极100a和所述第二网状电极300a设置，以防止静电的集聚，影响触控位置判断的准确性。每个电极层上的接地线的数量可以为多根。

图6是本发明实施例提供的另一种触摸模组的结构示意图。与图3所述的实施例相比，如图6所示的实施例的第一网状电极100a包括依次层叠的第一磁钉扎材料层110、第一子绝缘层120和第一磁自由导电材料层130，即第一网状电极100a的磁钉扎材料层110、子绝缘层120和磁自由导电材料层130可以形成一个磁性隧道结。第二网状电极300a包括依次层叠的第二磁钉扎材料层310、第二子绝缘层320和第二磁自由导电材料层330，即第二网状电极300a的磁钉扎材料层310、子绝缘层320和磁自由导电材料层330也可以形成一个磁性隧道结。

当使用电磁笔触控时，在电磁笔磁场作用下，电磁笔与触摸模组接触点位的磁性隧道结被导通，即第一网状电极100a的磁性隧道结和第二网状电极300a的磁性隧道结均被导通，电子可以通过磁性隧道结，第一网状电极100a和第二网状电极300a的电阻均减小。而其他部分的磁性隧道结未被导通，电阻维持不变。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电阻变化，从而根据电阻变化便可确定电阻发生变化的位置即电磁笔的触控位置，实现触摸模组电磁触控功能。

当手指触控时，指尖会影响第一网状电极100a和第二网状电极300a之间的电容量，导致第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电容值出现变化。通过驱动电极输入驱动信号，通过感应电极获取感应信号，根据感应信号可以确定第一网状电极100a和第二网状电极300a的相交处的电容变化，从而根据电阻变化便可确定电磁笔的触控位置，实现触摸模组电容触控功能。

再次参见图6，第一网状电极100a还包括第一保护层140，第一保护层140位于第一磁自由导电材料层130远离第一子绝缘层120的一侧，第二网状电极300a还包括第二保护层340，第二保护层340位于第二磁自由导电材料层330远离第二子绝缘层320的一侧。第一保护层140和第二保护层340可以防止磁自由导电材料层被腐蚀或氧化，避免对磁自由导电材料层的导电效果产生影响。

这里，第一保护层140、第二保护层340的材料及厚度可以参考前述保护层200a，这里不做赘述。

本发明实施例还提供了一种触摸显示装置，包括显示模组和设置在显示模组上的如图3～图6所示的触摸模组。通过第一网状电极100a和第二网状电极300a分别具有磁性隧道结，或者，第一网状电极100a、绝缘层200和第二网状电极300a构成磁性隧道结，能够同时感应电容和电磁的变化，实现触摸模组电磁触控和电容触控功能，减低制作难度和生产成本。

本发明实施例还提供了一种触控方法，使用图3～图6所示触摸模组实现。图7为根据示例性实施例示出的一种触控方法的流程图，所述方法包括：

S11：向驱动电极输入驱动信号。

这里的驱动电极为第一网状电极和第二网状电极中的一个。相应的，第一网状电极和第二网状电极中的另一个为感应电极。

参见图4，可以采用第一网状电极100a作为驱动电极，此时可以通过第一块状电极400向发送第一网状电极100a输入驱动信号。

在实现时，可以通过集成电路(Integrated Circuit，IC)驱动多个第一网状电极100a依次扫描输入驱动信号。示例性地，集成电路采用时钟信号作为驱动信号输入驱动电极。

S12：通过各个感应电极获取感应信号。

参见图5，当通过第一网状电极输入该驱动信号时，通过所有第二网状电极获取感应信号。这里，可以通过各个第二网状电极300a对应的第二块状电极500获取第二网状电极300a的感应信号。

由于第一网状电极和多个第二网状电极存在多个相交处，相交处可能分布在多个第二网状电极中，因此，通过所有第二网状电极获取感应信号可以作为后续确定触控位置的基础。

S13：根据各个感应电极获取到的感应信号，确定驱动电极与各个感应电极相交处的电信号变化。

其中，感应信号包含了对应第一网状电极和所有第二网状电极的相交处的电压信号。由于电磁笔与触摸模组接触点位的磁性隧道结被导通，接触点位的电阻发生变化，其电压必然会发生变化，也即感应信号变化。通过各个感应电极获取到的感应信号，确定感应信号的变化变化，可以指示出各个感应电极和驱动电极相交处电阻的变化。例如，在多个感应电极获取到的感应信号中，存在一个感应电极获取到的感应信号与其他感应电极获取到的感应信号间的差值超过阈值，说明该感应电极与驱动信号的相交处发生触摸，则确定触控位置为该感应电极与驱动信号的相交处。

示例性地，感应电极将感应信号发送给模拟数字转换器(Analog to DigitalConverter，ADC)，ADC用于将感应信号转换成数字信号，并发送给微控制单元(Microcontroller Unit，MCU)，以便于MCU基于该数字信号确定电压变化，从而确定哪个相交处电阻变化，进而确定触控位置。

以上是以电磁笔触控为例说明的，在另一种情况中，当采用手指触控时，指尖与触摸模组接触点位的磁性隧道结被导通，接触点位的电容发生变化，该电容变化导致电压变化。因此，在这种情况下，基于感应信号的变化可以确定哪个相交处电阻变化，进而确定触控位置。

S14：根据各个相交处的电信号变化确定触控位置，电信号变化用于反应磁性隧道结的电阻变化，或者，反应驱动电极和感应电极之间的电容变化。

示例性地，触摸模组包括16个第一电极(分别为TX1，TX2…TX16)和15个第二电极(分别为RX1，RX2…RX15)，当检测到TX5输入的驱动信号在RX5上的感应信号的电压变化，即可确定触控位置为TX5和RX5的交点。

其中，第一电极和第二电极的数量可以由用户的精度要求确定，第一电极数量越多则每个第一网状电极的覆盖范围就越小，第二块状电极500数量越多则每个第二网状电极的覆盖范围就越小，因此，触控识别的精度越高，定位越准确。

可以理解的，第一电极和第二电极的数量也可以根据触摸模组的大小来确定，触摸模组的尺寸越大，对应需要的第一块状电极400和第二块状电极500的数量也越多。

图8为根据示例性实施例示出的一种触摸模组制作方法的流程图，该方法用于制作如图3所示的显示基板。如图8所示，该制作方法包括：

S21：提供透明基板。

示例性地，透明基板可以是玻璃基板，例如无机玻璃基板。

S22：在衬底基板上形成第二电极层；

第二电极层可以为磁钉扎材料层也可以为磁自由导电材料层。磁钉扎材料层的材料可以为Ni80Fe20，厚度可以为1-100nm。磁自由导电材料层的材料可以为Fe或Co，厚度可以为1-100nm。磁钉扎材料层和磁自由导电材料层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

在形成磁钉扎材料层和磁自由导电材料层后，可以通过刻蚀方式制作呈网状的第一网状电极。

S23：在第二电极层上形成绝缘层；

绝缘层的材料可以为氧化铝，厚度可以为1-2nm，绝缘层200可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

S24：在绝缘层上形成第一电极层；

当第二电极层为磁钉扎材料层时，第一电极层可以为磁自由导电材料层。当第二电极层为磁自由导电材料层时，第一电极层可以为磁钉扎材料层。磁钉扎材料层的材料可以为Ni80Fe20，厚度可以为1-100nm。磁自由导电材料层的材料可以为Fe或Co，厚度可以为1-100nm。磁钉扎材料层和磁自由导电材料层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

在形成磁钉扎材料层和磁自由导电材料层后，可以通过刻蚀方式制作呈网状的第二网状电极。

在一些实施例中，在S21-S24的完成后上该制作方法还可以包括：

S25：在第一电极层上形成保护层。

保护层的材料可以是CuNi，厚度为31～51nm。保护层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

图9为根据示例性实施例示出的一种触摸模组制作方法的流程图，该方法用于制作如图4所示的显示基板。如图9所示，该制作方法包括：

S31：提供透明基板；

示例性地，透明基板可以是玻璃基板，例如无机玻璃基板。

S32：在衬底基板上形成第二保护层；

第二保护层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

第二保护层的材料及厚度可以参考前述保护层，这里不做赘述。

S33：在第二保护层上形成第二磁自由导电材料层；

第二磁自由导电材料层的材料可以为Fe或Co，厚度可以为1-100nm。第二磁自由导电材料层，可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。在形成磁自由导电材料层后，还可以通过刻蚀方式制作网状电极。

S34：在第二磁自由导电材料层上形成第二子绝缘层；

第二子绝缘层的材料可以为氧化铝，厚度可以为1-2nm，第二子绝缘层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

S35：在第二子绝缘层上形成第二磁钉扎材料层；

第二磁钉扎材料层的材料可以为Ni80Fe20，厚度可以为1-100nm。第二磁钉扎材料层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

在形成磁钉扎材料层后，可以通过刻蚀方式制作网状电极。

S36：在第二磁钉扎材料层上形成绝缘层；

绝缘层的材料可以为氧化铝，厚度可以为1-2nm，绝缘层200可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

S37：在绝缘层上形成第一保护层；

第一保护层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

第一保护层的材料及厚度可以参考前述保护层，这里不做赘述。

S38：在第一保护层上形成第一磁自由导电材料层；

第一磁自由导电材料层的材料可以为Fe或Co，厚度可以为1-100nm。第一磁自由导电材料层，可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

在形成磁自由导电材料层后，可以通过刻蚀方式制作网状电极。

S39：在第一磁自由导电材料层上形成第一子绝缘层；

第一子绝缘层的材料可以为氧化铝，厚度可以为1-2nm，第二子绝缘层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

S310：在第一子绝缘层上形成第一磁钉扎材料层。

第一磁钉扎材料层的材料可以为Ni80Fe20，厚度可以为1-100nm。第一磁钉扎材料层可以通过诸如直接溅射方法、反应溅射方法、蒸发沉积方法等的方法形成，但是不限于此。

在形成磁钉扎材料层后，可以通过刻蚀方式制作网状电极。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种触摸模组，其特征在于，所述触摸模组包括：

依次层叠的第一电极层(100)、绝缘层(200)和第二电极层(300)，所述第一电极层(100)包括沿第一方向间隔排列的多个第一网状电极(100a)，所述第二电极层(300)包括沿第二方向间隔排列的多个第二网状电极(300a)，所述第一网状电极(100a)沿所述第二方向延伸，所述第二网状电极(300a)沿所述第一方向延伸，所述第一方向和所述第二方向相交；

所述第一网状电极(100a)和所述第二网状电极(300a)分别具有磁性隧道结，或者，所述第一网状电极(100a)、所述绝缘层和所述第二网状电极(300a)构成磁性隧道结。

2.根据权利要求1所述的触摸模组，其特征在于，所述第一网状电极(100a)和所述第二网状电极(300a)中的一个包括一个磁钉扎材料层，所述第一网状电极(100a)和所述第二网状电极(300a)中的另一个包括一个磁自由导电材料层，在所述第一网状电极(100a)和所述第二网状电极(300a)的相交处，所述第一网状电极(100a)、所述绝缘层(200)和所述第二网状电极(300a)构成磁性隧道结。

3.根据权利要求2所述的触摸模组，其特征在于，所述绝缘层(200)的厚度为1～2nm。

4.根据权利要求2所述的触摸模组，其特征在于，所述触摸模组还包括保护层(200a)，所述保护层(200a)位于所述磁自由导电材料层远离所述绝缘层(200)的一侧。

5.根据权利要求1所述的触摸模组，其特征在于，所述第一网状电极(100a)包括依次层叠的第一磁钉扎材料层(110)、第一子绝缘层(120)和第一磁自由导电材料层(130)，所述第一磁钉扎材料层(110)、所述第一子绝缘层(120)和所述第一磁自由导电材料层(130)构成磁性隧道结；

所述第二网状电极(300a)包括依次层叠的第二磁钉扎材料层(310)、第二子绝缘层(320)和第二磁自由导电材料层(330)，所述第二磁钉扎材料层(310)、第二子绝缘层(320)和第二磁自由导电材料层(330)构成磁性隧道结。

6.根据权利要求5所述的触摸模组，其特征在于，所述第一网状电极(100a)还包括第一保护层(140)，所述第一保护层(140)位于所述第一磁自由导电材料层(130)远离所述第一子绝缘层(120)的一侧，所述第二网状电极(300a)还包括第二保护层(340)，所述第二保护层(340)位于所述第二磁自由导电材料层(330)远离所述第二子绝缘层(320)的一侧。

7.根据权利要求1至6任一项所述的触摸模组，其特征在于，所述触摸模组还包括多个第一块状电极(400)和多个第二块状电极(500)，每个所述第一网状电极(100a)分别连接一个所述第一块状电极(400)，每个所述第二网状电极(300a)分别连接一个所述第二块状电极(500)。

8.根据权利要求1至6任一项所述的触摸模组，其特征在于，所述第一电极层(100)和所述第二电极层(300)分别还包括接地线(150)，所述接地线(150)围绕所述多个第一网状电极(100a)和所述第二网状电极(300a)设置。

9.一种触摸显示装置，其特征在于，所述触摸显示装置包括显示模组和设置在所述显示模组上的如权利要求1至8任一项所述的触摸模组。

10.一种触控方法，其特征在于，基于如权利要求1至8任一项所述的触摸模组实现，所述方法包括：

向驱动电极输入驱动信号，所述第一网状电极和所述第二网状电极中的一个为驱动电极；

通过各个感应电极获取感应信号，所述第一网状电极和所述第二网状电极中的另一个为感应电极；

根据所述各个感应电极获取到的感应信号，确定所述驱动电极与所述各个感应电极相交处的电信号变化；

根据各个所述相交处的电信号变化确定触控位置，所述电信号变化用于反应所述磁性隧道结的电阻变化，或者，反应所述驱动电极和所述感应电极之间的电容变化。

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