CN110646171A - 一种测量光源平行性的方法 - Google Patents

一种测量光源平行性的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110646171A
CN110646171A CN201911050909.7A CN201911050909A CN110646171A CN 110646171 A CN110646171 A CN 110646171A CN 201911050909 A CN201911050909 A CN 201911050909A CN 110646171 A CN110646171 A CN 110646171A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ccd camera
light
light source
horizontal direction
grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201911050909.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110646171B (zh
Inventor
张雪鹏
马俊林
曾琪峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Original Assignee
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS filed Critical Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority to CN201911050909.7A priority Critical patent/CN110646171B/zh
Publication of CN110646171A publication Critical patent/CN110646171A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110646171B publication Critical patent/CN110646171B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0242Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

一种测量光源平行性的方法属于光电测量技术领域,对于具体的测量和计算方法进行优化和改进。该方法包括如下步骤:将待测光源、测量光栅和CCD相机从左至右依次设置在同一光轴上;将测量光栅的图形设置在在CCD相机上;待测光源发出的平行光平行于光轴,照射到测量光栅上,将测量光栅上面的条纹图形垂直投影到CCD相机上;通过CCD相机上的设置图形和测量光栅的投影图形比对,判断待测光源的光线是发散还是汇聚,再通过已知的测量光栅与CCD相机的距离,计算出光线的发散角度或者是汇聚角度。本发明测量更准确,观察更直观,测量精度更高。

Description

一种测量光源平行性的方法
技术领域
本发明属于光电测量技术领域,具体涉及一种测量光源平行性的方法。
背景技术
在光电测量、光电仪器设备领域,很多时候都会用到平行光照明,有的情况下对于光源的平行性还有着很高的要求,需要测出平行光源的发散或者汇聚的角度,以此判断是否达到设计要求。
现有技术中测量光源平行性有很多方法,包括文献:“光电系统光轴平行性检测方法研究”;专利:一种光轴平行性检测系统及方法(CN201810084572.0)、一种光轴平行性检测系统(CN201820146941.X)、一种检测和评价光源平行性的方法(CN201611224745.1)和一种精确测量光源平行性的方法和装置(CN201510967508.3)等。
发明内容
为了解决现有技术中存在的问题,本发明提供了一种测量光源平行性的方法,对于具体的测量和计算方法进行优化和改进。
本发明解决技术问题所采用的技术方案如下:
一种测量光源平行性的方法,测量设备包括:待测光源、测量光栅和CCD相机,该方法包括如下步骤:
步骤一:将待测光源、测量光栅和CCD相机沿光轴依次设置,所述测量光栅的图形为十字形,所述十字形由多个周期条纹组成;
步骤二:在所述CCD相机上设置十字形,所述CCD相机的十字形的宽度与测量光栅的十字形宽度相同,所述CCD相机的十字形的长度和高度大于测量光栅的十字形的长度和高度;
步骤三:待测光源发光照射到测量光栅上,将测量光栅上面的十字形投影到CCD相机上;调整所述测量光栅和CCD相机的位置,使所述CCD相机上设置的十字形的宽度与投影到CCD相机上图像的宽度重合,完成待测光源、测量光栅和CCD相机位置的校准;
步骤四:在CCD相机上,当测量光栅水平方向的第M个条纹的投影位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向的边缘时,待测光源发出的光为平行光;当测量光栅水平方向的第M个条纹的投影在位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的外部时,判断待测光源的光线是发散的;当测量光栅水平方向的第M个条纹的投影在位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的内部时,判断待测光源的光线是汇聚的;根据已知的测量光栅与CCD相机的距离,和通过CCD相机测量到第M个条纹距离所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的距离,计算出光线的发散角度或者是汇聚角度,实现了一种测量光源平行性的方法。
优选的,步骤一所述的周期条纹包括水平周期条纹和竖直周期条纹;两种条纹结构相同,所述水平周期条纹和竖直周期条纹都为明暗相间的周期条纹,黑白比为1:1,暗条纹为封闭的区域,明条纹为透光区域。
优选的,在所述CCD相机前设置一个放大倍率大于1的远心镜头。
优选的,所述步骤四中:在CCD相机上,当测量光栅水平方向有M个条纹的投影位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向的边缘内时,待测光源发出的光为平行光;当测量光栅水平方向有M-X个条纹的投影位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的内时,判断待测光源的光线是发散的;当测量光栅的投影在水平方向有M+X个条纹位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的内时,判断待测光源的光线是汇聚的;根据二分之X个条纹的宽度比上已知的测量光栅与CCD相机的距离,得到发散角或者汇聚角的正切值。
优选的,所述发散角为θ=arctanMtx/2L(M-x),汇聚角为θ=arctanMtx/2L(M+x),其中t为测量光栅条纹的宽度,L为测量光栅与CCD相机的距离。
优选的,所述步骤四中:在CCD相机上,当测量光栅的投影在水平方向的距离为D,且D内有M个条纹时,待测光源发出的光为平行光;当测量光栅的投影在水平方向的距离为D1,且D1大于D时,判断待测光源的光线是发散的;当测量光栅的投影在水平方向的距离为D2,且D2小于D时,判断待测光源的光线是汇聚的;根据二分之D1减D的距离比上已知的测量光栅与CCD相机的距离,得到发散角的正切值;根据二分之D减D2的距离比上已知的测量光栅与CCD相机的距离,得到汇聚角的正切值。
优选的于,所述发散角为θ=arctan(D1-D)/2L,汇聚角为θ=arctan(D-D2)/2L,其中L为测量光栅与CCD相机的距离。
优选的,所述步骤四中,水平方向替换成垂直方向。
本发明的有益效果是:本发明提供了优于现有技术的一种测量光源平行性的方法,测量更准确,观察更直观,测量精度更高。不去计算单个周期内投影条纹宽度的变化,而是采用对比和测量多个周期投影的总宽度与CCD相机上的测量线的宽度,再利用几何关系判断光线是发散还是汇聚,并计算出光线发散或者汇聚的角度值。
附图说明
图1本发明一种测量光源平行性的方法原理图;
图2本发明一种测量光源平行性的方法中测量光栅图;
图3本发明一种测量光源平行性的方法中CCD相机图案;
图4本发明一种测量光源平行性的方法中测量光栅在CCD相机投影图。
图中:1、待测光源,2、测量光栅,21、水平周期条纹,211、暗条纹,212、明条纹,22、竖直周期条纹,3、CCD相机,33、十字图形。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。
一种测量光源平行性的方法,测量设备包括:待测光源1、测量光栅2和CCD相机3,该方法包括如下步骤:
步骤一:如图1所示,将待测光源1、测量光栅2和CCD相机3从左至右依次设置在同一光轴上,如图2所示,所述测量光栅2的图形为十字图形33;所述十字图形包括水平周期条纹21和竖直周期条纹22;两种条纹结构相同,所述水平周期条纹21和竖直周期条纹22都为明暗相间的周期条纹,条纹黑白比为1:1,暗条纹211为封闭的区域,明条纹212为透光区域;在本实施例中,明条纹212和暗条纹211宽度为t,t可根据测量结果精度的设置,每个方向上的条纹个数均为N。
步骤二:将所述测量光栅2的图形设置在所述CCD相机3上。如图3所示,CCD相机3上设置有与测量光栅2匹配的特定图形,包括水平测量线31A、水平测量线31B、竖直测量线32A、竖直测量线32B和十字图形33。水平测量线31A与水平测量线31B平行,两条水平测量线之间的距离小于测量光栅2水平周期条纹21的总长度Nt;竖直测量线32A与竖直测量线32B平行,两条竖直测量线之间距离小于测量光栅2竖直周期条纹22总长度Nt。十字图形33的宽度与测量光栅20条纹高度相同。
步骤三:待测光源1发出的光平行于光轴,照射到测量光栅2上,将测量光栅2上面的条纹图形垂直投影到CCD相机3上;调整所述测量光栅2和CCD相机3的相对位置,使所述CCD相机3上设置的十字图像33的宽度与投影到CCD相机3上图像的宽度重合,完成待测光源1、测量光栅2和CCD相机3位置的校准;
步骤四:在CCD相机3上,当测量光栅2水平方向的第M个条纹的投影位于所述CCD相机3上设置的十字图像33水平方向的边缘时,待测光源1发出的光为平行光;当测量光栅2水平方向的第M个条纹的投影在位于所述CCD相机3上设置的十字图像33水平方向边缘的外部时,判断待测光源1的光线是发散的;当测量光栅2水平方向的第M个条纹的投影在位于所述CCD相机3上设置的十字图像33水平方向边缘的内部时,判断待测光源1的光线是汇聚的;根据已知的测量光栅2与CCD相机3的距离,和通过CCD相机3测量到第M个条纹距离所述CCD相机3上设置的十字形水平方向边缘的距离,计算出光线的发散角度或者是汇聚角度,实现了一种测量光源平行性的方法。
本实施例中,步骤四有两种计算方法,一种为,如图4所示,观察测量光栅2的水平周期条纹21投影到CCD相机3的投影图形,此时如果CCD相机3上的水平测量线31A和水平测量线31B之间的测量光栅2的水平周期条纹21的投影正好为M个条纹,则说明待测光源1的平行性满足该测量方法设计精度要求;如果CCD相机3上的水平测量线31A和水平测量线31B之间之间的测量光栅2的水平周期条纹21的投影条纹为M-x个,则说明待测光源1光束在水平方向上发散,水平周期条纹21的投影条纹变宽,发散角通过几何关系计算为:θ=arctanMtx/2L(M-x),其中L为测量光栅2与CCD相机3之间的距离;如果CCD相机3上的水平测量线31A和水平测量线31B之间的测量光栅2的水平周期条纹21的投影条纹为M+x个,则说明待测光源光束在水平方向上汇聚,水平周期条纹21的投影条纹变窄宽,汇聚角通过几何关系计算为:θ=arctanMtx/2L(M+x)。
待测光源1光束在竖直方向测量方法也完全相同,使用竖直周期条纹22的投影的个数与竖直测量线32A和竖直测量线32B的关系测量计算。
待测光源1的光线平行性的测量精度主要取决于测量光栅2明暗条纹的宽度t和对于单个条纹宽度t的分辨程度。一般来说,通过人眼计算条纹个数多于M或者少于M的个数x,测量精度会高于1/4条纹宽度t;通过图像处理计算,精度会更高。可以在CCD相机3前安装放大倍率>1的远心镜头,提高对于单个条纹投影宽度t分辨,从而可以使得宽度t的值更小,提高测量精度。
步骤四中的另一种计算方法:观察测量光栅2的水平周期条纹21投影到CCD相机30的十字图形33的长度为D,如果D=Mt,则说明待测光源1光束在水平方向上平行性满足该测量方法设计精度要求;如果D1>Mt,则说明待测光源10光束在水平方向上发散,水平周期条纹21的投影条纹变宽,发散角通过几何关系计算为:θ=arctan(D1-D)/2L,其中L为测量光栅2与CCD相机3之间的距离;如果D2<Mt,则说明待测光源1光束在水平方向上汇聚,水平周期条纹21的投影条纹变窄,汇聚角通过几何关系计算为θ=arctan(D-D2)/2L。
待测光源1光束在竖直方向测量方法也完全相同,使用竖直周期条纹22的长度与竖直测量线32A和竖直测量线32B的关系测量计算。

Claims (8)

1.一种测量光源平行性的方法,测量设备包括:待测光源、测量光栅和CCD相机,其特征在于,该方法包括如下步骤:
步骤一:将待测光源、测量光栅和CCD相机沿光轴依次设置,所述测量光栅的图形为十字形,所述十字形由多个周期条纹组成;
步骤二:在所述CCD相机上设置十字形,所述CCD相机的十字形的宽度与测量光栅的十字形宽度相同,所述CCD相机的十字形的长度和高度大于测量光栅的十字形的长度和高度;
步骤三:待测光源发光照射到测量光栅上,将测量光栅上面的十字形投影到CCD相机上;调整所述测量光栅和CCD相机的位置,使所述CCD相机上设置的十字形的宽度与投影到CCD相机上图像的宽度重合,完成待测光源、测量光栅和CCD相机位置的校准;
步骤四:在CCD相机上,当测量光栅水平方向的第M个条纹的投影位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向的边缘时,待测光源发出的光为平行光;当测量光栅水平方向的第M个条纹的投影在位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的外部时,判断待测光源的光线是发散的;当测量光栅水平方向的第M个条纹的投影在位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的内部时,判断待测光源的光线是汇聚的;根据已知的测量光栅与CCD相机的距离,和通过CCD相机测量到第M个条纹距离所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的距离,计算出光线的发散角度或者是汇聚角度,实现了一种测量光源平行性的方法。
2.根据权利要求1所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,步骤一所述的周期条纹包括水平周期条纹和竖直周期条纹;两种条纹结构相同,所述水平周期条纹和竖直周期条纹都为明暗相间的周期条纹,黑白比为1:1,暗条纹为封闭的区域,明条纹为透光区域。
3.根据权利要求1所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,在所述CCD相机前设置一个放大倍率大于1的远心镜头。
4.根据权利要求1所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,所述步骤四中:在CCD相机上,当测量光栅水平方向有M个条纹的投影位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向的边缘内时,待测光源发出的光为平行光;当测量光栅水平方向有M-X个条纹的投影位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的内时,判断待测光源的光线是发散的;当测量光栅的投影在水平方向有M+X个条纹位于所述CCD相机上设置的十字形水平方向边缘的内时,判断待测光源的光线是汇聚的;根据二分之X个条纹的宽度比上已知的测量光栅与CCD相机的距离,得到发散角或者汇聚角的正切值。
5.根据权利要求5所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,所述发散角为θ=arctanMtx/2L(M-x),汇聚角为θ=arctanMtx/2L(M+x),其中t为测量光栅条纹的宽度,L为测量光栅与CCD相机的距离。
6.根据权利要求1所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,所述步骤四中:在CCD相机上,当测量光栅的投影在水平方向的距离为D,且D内有M个条纹时,待测光源发出的光为平行光;当测量光栅的投影在水平方向的距离为D1,且D1大于D时,判断待测光源的光线是发散的;当测量光栅的投影在水平方向的距离为D2,且D2小于D时,判断待测光源的光线是汇聚的;根据二分之D1减D的距离比上已知的测量光栅与CCD相机的距离,得到发散角的正切值;根据二分之D减D2的距离比上已知的测量光栅与CCD相机的距离,得到汇聚角的正切值。
7.根据权利要求5所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,所述发散角为θ=arctan(D1-D)/2L,汇聚角为θ=arctan(D-D2)/2L,其中L为测量光栅与CCD相机的距离。
8.根据权利要求1、4或6所述的一种测量光源平行性的方法,其特征在于,所述步骤四中,水平方向替换成垂直方向。
CN201911050909.7A 2019-10-31 2019-10-31 一种测量光源平行性的方法 Active CN110646171B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911050909.7A CN110646171B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 一种测量光源平行性的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911050909.7A CN110646171B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 一种测量光源平行性的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110646171A true CN110646171A (zh) 2020-01-03
CN110646171B CN110646171B (zh) 2021-11-02

Family

ID=68995304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911050909.7A Active CN110646171B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 一种测量光源平行性的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110646171B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113182671A (zh) * 2021-03-23 2021-07-30 深圳市大族数控科技股份有限公司 一种振镜调光工具、方法及装置

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63100309A (ja) * 1986-10-16 1988-05-02 Tokai Rika Co Ltd 平坦度測定装置
JP2008185528A (ja) * 2007-01-31 2008-08-14 Fujinon Corp 光束平行度測定装置
CN101339013A (zh) * 2008-08-27 2009-01-07 中国科学院光电技术研究所 可见与红外复合光路光轴平行度检测仪的装调和标定
CN102313642A (zh) * 2011-08-30 2012-01-11 浙江大学 一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置
CN104111163A (zh) * 2014-07-23 2014-10-22 中国科学院上海光学精密机械研究所 凸透镜焦距的测量装置和测量方法
CN105606039A (zh) * 2015-12-22 2016-05-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种精确测量光源平行性的方法及装置
CN105910631A (zh) * 2016-04-07 2016-08-31 广东工业大学 绝对式光栅尺及其测量方法
CN106840608A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种检测和评价光源平行性的方法
CN106959082A (zh) * 2017-04-27 2017-07-18 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种多光轴系统光轴平行度检测方法及系统
CN107121079A (zh) * 2017-06-14 2017-09-01 华中科技大学 一种基于单目视觉的曲面高度信息测量装置及方法
CN107817094A (zh) * 2017-09-14 2018-03-20 西安科佳光电科技有限公司 一种高精度同向双光轴以及多光轴平行性调校方法
CN108803053A (zh) * 2018-06-06 2018-11-13 北京邮电大学 三维光场显示系统

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63100309A (ja) * 1986-10-16 1988-05-02 Tokai Rika Co Ltd 平坦度測定装置
JP2008185528A (ja) * 2007-01-31 2008-08-14 Fujinon Corp 光束平行度測定装置
CN101339013A (zh) * 2008-08-27 2009-01-07 中国科学院光电技术研究所 可见与红外复合光路光轴平行度检测仪的装调和标定
CN102313642A (zh) * 2011-08-30 2012-01-11 浙江大学 一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置
CN104111163A (zh) * 2014-07-23 2014-10-22 中国科学院上海光学精密机械研究所 凸透镜焦距的测量装置和测量方法
CN105606039A (zh) * 2015-12-22 2016-05-25 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种精确测量光源平行性的方法及装置
CN105910631A (zh) * 2016-04-07 2016-08-31 广东工业大学 绝对式光栅尺及其测量方法
CN106840608A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种检测和评价光源平行性的方法
CN106959082A (zh) * 2017-04-27 2017-07-18 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种多光轴系统光轴平行度检测方法及系统
CN107121079A (zh) * 2017-06-14 2017-09-01 华中科技大学 一种基于单目视觉的曲面高度信息测量装置及方法
CN107817094A (zh) * 2017-09-14 2018-03-20 西安科佳光电科技有限公司 一种高精度同向双光轴以及多光轴平行性调校方法
CN108803053A (zh) * 2018-06-06 2018-11-13 北京邮电大学 三维光场显示系统

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PENG GAO ET AL.: ""Parallel two-step phase-shifting digital holograph microscopy based on a grating pair"", 《JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA A》 *
曾嫦娥等: ""脉冲激光测距机接收轴与瞄准轴平行性测试方法研究"", 《中国会议》 *
杨旸: ""多光轴光学系统光轴平行性校准技术研究"", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技II辑》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113182671A (zh) * 2021-03-23 2021-07-30 深圳市大族数控科技股份有限公司 一种振镜调光工具、方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN110646171B (zh) 2021-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108332708B (zh) 激光水平仪自动检测系统及检测方法
US8218153B2 (en) Apparatus and method for improving the measurement accuracy of digital 3D geometrical measurement systems
CN106933071B (zh) 调焦调平装置及方法
JP7306867B2 (ja) 光学式変位計
CN103091992A (zh) 一种工件位置校正装置及其校正方法
CN107121079B (zh) 一种基于单目视觉的曲面高度信息测量装置及方法
CN110702009A (zh) 一种基于逆向Hartmann计算机辅助法的三维测量系统
WO2016145582A1 (zh) 相位偏移校准方法、3d形状检测的方法、系统及投影系统
EP2420796B1 (en) Shape measuring method and shape measuring apparatus using white light interferometry
JP4679313B2 (ja) 表面平滑性測定装置
JP2008292296A (ja) 透明膜の膜厚測定方法およびその装置
CN110646171B (zh) 一种测量光源平行性的方法
KR101875467B1 (ko) 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법
JP6035031B2 (ja) 複数の格子を用いた三次元形状計測装置
US7570351B2 (en) Method and system for measuring the curvature of an optical surface
CN112461141A (zh) 结构光3d测高装置及测高方法
CN208187381U (zh) 激光水平仪自动检测系统
CN108151674B (zh) 一种提高光学检测仪器精度的方法与装置
JP2020180916A (ja) 光学式変位計
KR101436403B1 (ko) 정현파 격자를 이용한 섀도우모아레 방법 및 이를 이용한 측정 장치
US20210310799A1 (en) Apparatus, measurement system and method for capturing an at least partially reflective surface using two reflection patterns
Bergues et al. External visual interface for a Nikon 6D autocollimator
Lovchy Modeling a broad-band single-coordinate autocollimator with an extended mark and a detector in the form of a linear-array camera
JP5786999B2 (ja) 三次元形状計測装置、三次元形状計測装置のキャリブレーション方法
TWI645158B (zh) 三維量測裝置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant