CN110645306A - 一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法，设备包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器，其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、振动传出杆，缓冲器由线圈和磁铁、大力振动传递杆组成，利用缓冲器的磁铁切割磁感线运动起到阻尼缓冲的作用减振，利用隔振器的扭转弹簧和振动传递杆下弹簧作用起到对于轻微振动的高敏感度，响应速度快的阻振效果，效果是，首次采用磁铁‑线圈的增大系统阻尼量的方法，从而到达快速削弱大幅振动，减小晶棒因振动受损的潜在隐患；当振幅变小或者振源频率变低时，隔振器不仅保护内部的结构，还提高隔振的性能。
Description
技术领域
本发明涉及一种落地用隔振缓冲设备，特别涉及一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法。
背景技术
随着科技的进步，大尺寸硅单晶的生产已经越来越普遍，同样硅单晶的重量也越来越重，重量达到了200公斤以上，拉制好的硅单晶在落地前，表面较热，工作人员无法用手触摸，此时通过籽晶悬挂在半空中，在剪断籽晶时，稍有不慎有可能会导致单晶底部因受到地面的撞击导致晶体的断裂，更严重可能会对工作人员的安全带来威胁，现在这一问题的解决上，国内外解决方法还不成熟。
发明内容
为了降低单晶断裂的危险和减小对工作人员潜在的安全隐患，本发明提供一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备及实现方法,具体技术方案是，一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，包括上壳体、柔性受力弹簧、外壳体、振动传递杆下弹簧、隔振器、弹性件、缓冲器，其中隔振器包括振动接收杆、扭转弹簧、振动传递杆、关节式连接结构，振动传出杆，用扭转弹簧将振动传递杆的锤骨端与振动接收杆的砧骨端在一起，振动传递杆末端与振动传出杆由关节式连接结构连接在一起，其特征在于：所述的缓冲器由环路闭合线圈和磁铁、大力振动传递杆组成，所述的大力振动传递杆一端有螺纹、另一端固定磁性体，大力振动传递杆螺固在上壳体(1)内上端面中心，所述的弹性件为有中心孔的环状体，环绕中心孔有四个均匀对称的通孔，弹性件底端面的四个均匀对称的通孔处有与振动接收杆上端面相同的凹槽，四个杨氏模量大于环状弹性件的柔性受力弹簧高于弹性件厚度，置于四个均匀对称的通孔内并固定在上壳体内上端面，四个隔振器两两项背放置，其四个振动接收杆置于四个均匀对称的凹槽内，并紧压在受力弹簧上，弹性件置于上壳体内，隔振器柔性受力弹簧、关节式连接结构的内置弹簧、扭转弹簧、振动传递杆下弹簧未工作时都处于压缩状态，以增加隔振器内部零件间的紧凑性，隔振器的振动传递杆中间部位的下侧面固定振动传递杆下弹簧一端，振动传递杆下弹簧另一端固定于外壳体内，隔振器的振动传出杆置于大地上，所述的外壳体内径大于上壳体外径，外壳体内底面的中心处有带内孔的凸台，环路闭合线圈固定于凸台的内孔内，环路闭合线圈内径大于磁铁外径，当大力振动传递杆带动磁铁向下运动时，磁铁可穿入环路闭合线圈内，上壳体部分置于外壳体内，上壳体可在外壳体内沿轨道上下滑动成动配合，由于磁铁的直径大于凸台上孔的直径，所以不会弹出外壳体。
所述的柔性受力弹簧的杨氏模量大于环状弹性件。
实现方法是，大尺寸硅单晶的激振力加于上壳体上，由于外激振力较大，激振力的频率或振幅就较大，此时，由柔性受力弹簧将激振力传入四个隔振器，四个隔振器被压缩的形变量较大，振动接收杆与振动传递杆的连接处会抵住振动传递杆内轮廓，迫使隔振器成一体的上下运动，弹性件被压缩，带动磁铁进入了圆形环路闭合线圈内，根据楞次阻尼定律，磁铁在环路闭合线圈内做切割磁感线运动时，会起到阻尼缓冲的作用，这样，较大的振动会在较短的时间内消除，当振动减少到一定量时，外激振力变小，柔性受力弹簧将激振力传入将激振力传入隔振器的振动接收杆，隔振器的振动接收杆、振动传递杆以扭转弹簧为轴转动。振动传递杆下弹簧被压缩，由于隔振器的结构可将振动信号放大，振动能力经扭转弹簧、振动传递杆下弹簧和关节式连接结构的同时作用下迅速衰减，隔振器对于轻微的振动可起到敏感度高，响应速度快的阻振效果，这种工作方式不仅可以保护系统内部的零部件，还可起到很好的保护晶棒的作用。
本发明的技术效果是，采用柔性受力弹簧杨氏模量大于弹性件杨氏模量作为振动传送介质，当激振力的频率或振幅不同时，本系统可选择是否要保护隔振器启动缓冲器，这样不仅提高了隔振器的使用寿命，还可保护晶棒安全；
同时首次提出了隔振器特殊结构，完成当隔振系统的振幅大或者振源频率高时，振动接收杆与振动传递杆的连接处会抵住振动传递杆内轮廓，迫使隔振器成一体的上下运动，在缓冲器的磁铁、线圈的作用下可快速消除系统内部的振能，当振幅变小或者振源频率变低时，此时又转化为隔振器减振，这种设计不仅可以保护内部的结构，还可以提高隔振性能。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的隔振器结构示意图。
具体实施方式
如图1、图2所示，一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，包括上壳体1、柔性受力弹簧2、外壳体3、振动传递杆下弹簧4、隔振器5、弹性件6、缓冲器7，其中隔振器5包括振动接收杆5-1、扭转弹簧5-2、振动传递杆5-3、关节式连接结构5-4，振动传出杆5-5，用扭转弹簧5-2将振动传递杆5-3的锤骨端与振动接收杆5-1的砧骨端在一起，振动传递杆5-3末端与振动传出杆5-5由关节式连接结构5-4连接在一起。
缓冲器7由环路闭合线圈7-1和磁铁7-2、大力振动传递杆7-3组成，大力振动传递杆7-3一端有螺纹、另一端固定磁性体7-2，大力振动传递杆7-3螺固在上壳体1内上端面中心，弹性件6为有中心孔的环状体，环绕中心孔有四个均匀对称的通孔，弹性件6底端面的四个均匀对称的通孔处有与振动接收杆7-3上端面相同的凹槽，四个杨氏模量大于环状弹性件6的柔性受力弹簧2高于弹性件6厚度，置于四个均匀对称的通孔内并固定在上壳体1内上端面，四个隔振器5两两项背放置，其四个振动接收杆5-1置于四个均匀对称的凹槽内，并紧压在受力弹簧2上，弹性件6置于上壳体1内，隔振器柔性受力弹簧2、关节式连接结构5-4的内置弹簧、扭转弹簧5-2、振动传递杆下弹簧4未工作时都处于压缩状态，以增加隔振器5内部零件间的紧凑性。
隔振器5的振动传递杆5-3中间部位的下侧面固定振动传递杆下弹簧4一端，振动传递杆下弹簧4另一端固定于外壳3内，隔振器5的振动传出杆5-5置于大地上。
外壳体3内径大于上壳体1外径，外壳体3内底面的中心处有带内孔的凸台3-2，环路闭合线圈7-1固定于凸台3-2的内孔内，环路闭合线圈7-1内径大于磁铁7-2外径，当大力振动传递杆7-3带动磁铁7-2向下运动时，磁铁7-2可穿入环路闭合线圈7-1内，上壳体1部分置于外壳体3内，上壳体1可在外壳体3内沿轨道上下滑动成动配合，由于磁铁7-2的直径大于凸台3-2上孔的直径，所以不会弹出外壳体（3）。
柔性受力弹簧2的杨氏模量大于环状弹性件6。
实现方法是，大尺寸硅单晶的激振力加于上壳体1上，由于外激振力较大，激振力的频率或振幅就较大，此时，由柔性受力弹簧2将激振力传入四个隔振器5，四个隔振器5被压缩的形变量较大，振动接收杆5-1与振动传递杆5-3的连接处会抵住振动传递杆5-3内轮廓，迫使隔振器5成一体的上下运动，弹性件6被压缩，带动磁铁7-2进入了圆形环路闭合线圈7-1内，根据楞次阻尼定律，磁铁在环路闭合线圈7-1内做切割磁感线运动时，会起到阻尼缓冲的作用，这样，较大的振动会在较短的时间内消除，当振动减少到一定量时，外激振力变小，柔性受力弹簧2将激振力传入将激振力传入隔振器5的振动接收杆5-1，隔振器5的振动接收杆5-1、振动传递杆5-3以扭转弹簧5-2为轴转动。振动传递杆下弹簧4被压缩，由于隔振器的结构可将振动信号放大，振动能力经扭转弹簧5-2、振动传递杆下弹簧4和关节式连接结构5-4的同时作用下迅速衰减，隔振器5对于轻微的振动可起到敏感度高，响应速度快的阻振效果，这种工作方式不仅可以保护系统内部的零部件，还可起到很好的保护晶棒的作用。
其中，
上壳体1作用：晶棒的冲击力作用于上壳体1上；
振动传递杆下弹簧4的作用：衰减隔振器内部的振能；
柔性受力弹簧2作用：将上壳体接收的激振力传递到隔振系统；
弹性件6作用：将上壳体接收的激振力传递到隔振系统；
振动传递杆下拉伸弹簧4作用：起到使隔振器快速复位的作用；
弹性件6作用：将上壳体1接收的动能传递到振动接收杆；
外壳体3作用：支撑隔振器、缓冲器；
隔振器5作用：保护内部零部件延长使用寿命；
缓冲器7作用：增大系统阻尼，快速消除动能。
Claims (3)
1.一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，包括上壳体(1)、柔性受力弹簧（2）、外壳体（3）、振动传递杆下弹簧（4）、隔振器（5）、弹性件（6）、缓冲器（7），其中隔振器（5）包括振动接收杆（5-1）、扭转弹簧（5-2）、振动传递杆（5-3）、关节式连接结构（5-4），振动传出杆（5-5），用扭转弹簧（5-2）将振动传递杆（5-3）的锤骨端与振动接收杆（5-1）的砧骨端在一起，振动传递杆（5-3）末端与振动传出杆（5-5）由关节式连接结构（5-4）连接在一起，其特征在于：所述的缓冲器（7）由环路闭合线圈（7-1）和磁铁（7-2）、大力振动传递杆（7-3）组成，所述的大力振动传递杆（7-3）一端有螺纹、另一端固定磁性体（7-2），大力振动传递杆（7-3）螺固在上壳体(1)内上端面中心，所述的弹性件（6）为有中心孔的环状体，环绕中心孔有四个均匀对称的通孔，弹性件（6）底端面的四个均匀对称的通孔处有与振动接收杆（7-3）上端面相同的凹槽，四个柔性受力弹簧（2）均高于弹性件（6）厚度，置于四个均匀对称的通孔内并固定在上壳体(1)内上端面，四个隔振器（5）两两项背放置，其四个振动接收杆（5-1）置于四个均匀对称的凹槽内，并紧压在受力弹簧（2）上，弹性件（6）置于上壳体(1)内，隔振器柔性受力弹簧（2）、关节式连接结构（5-4）的内置弹簧、扭转弹簧（5-2）、振动传递杆下弹簧（4）未工作时都处于压缩状态，以增加隔振器（5）内部零件间的紧凑性，隔振器（5）的振动传递杆（5-3）中间部位的下侧面固定振动传递杆下弹簧（4）一端，振动传递杆下弹簧（4）另一端固定于外壳体（3）内，隔振器（5）的振动传出杆（5-5）置于大地上，所述的外壳体（3）内径大于上壳体(1)外径，外壳体（3）内底面的中心处有带内孔的凸台（3-2），环路闭合线圈（7-1）固定于凸台（3-2）的内孔内，环路闭合线圈（7-1）内径大于磁铁（7-2）外径，当大力振动传递杆（7-3）带动磁铁（7-2）向下运动时，磁铁（7-2）可穿入环路闭合线圈（7-1）内，上壳体(1)部分置于外壳体（3）内，上壳体(1)可在外壳体（3）内沿轨道上下滑动成动配合，由于磁铁（7-2）的直径大于凸台（3-2）上孔的直径，所以不会弹出外壳体（3）。
2.如权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备，其特征在于：所述的柔性受力弹簧（2）的杨氏模量大于环状弹性件（6）。
3.采用权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶落地用隔振缓冲设备的实现方法，其特征在于：实现方法是，大尺寸硅单晶的激振力加于上壳体(1)上，由于外激振力较大，激振力的频率或振幅就较大，此时，由柔性受力弹簧（2）将激振力传入四个隔振器（5），四个隔振器（5）被压缩的形变量较大，振动接收杆（5-1）与振动传递杆（5-3）的连接处会抵住振动传递杆（5-3）内轮廓，迫使隔振器（5）成一体的上下运动，弹性件（6）被压缩，带动磁铁（7-2）进入了圆形环路闭合线圈（7-1）内，根据楞次阻尼定律，磁铁在环路闭合线圈（7-1）内做切割磁感线运动时，会起到阻尼缓冲的作用，这样，较大的振动会在较短的时间内消除，当振动减少到一定量时，外激振力变小，柔性受力弹簧（2）将激振力传入将激振力传入隔振器（5）的振动接收杆（5-1），隔振器（5）的振动接收杆（5-1）、振动传递杆（5-3）以扭转弹簧（5-2）为轴转动；
振动传递杆下弹簧（4）被压缩，由于隔振器的结构可将振动信号放大，振动能力经扭转弹簧（5-2）、振动传递杆下弹簧（4）和关节式连接结构（5-4）的同时作用下迅速衰减，隔振器（5）对于轻微的振动可起到敏感度高，响应速度快的阻振效果，这种工作方式不仅可以保护系统内部的零部件，还可起到很好的保护晶棒的作用。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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