CN110581671A - 一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器 - Google Patents
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Abstract
一种双足夹紧式高承载精密直线驱动装置，以解决现有压电直线驱动器驱动力小，承载能力弱，输出精度低等问题。本发明由滑动上板、滑动上板安装螺栓、封装盖、封装盖固定螺栓、直线驱动定子、导轨组件固定螺栓、基座组件、直线驱动定子固定螺栓、导轨组件组成。本发明通过柔性铰链夹持机构实现驱动装置大输出力，通过导轨组件上置，直线驱动定子下置实现高承载，直线菱形铰链驱动连接梁上设置弹性梁，通过调节导轨加载螺钉与弹性梁挤压力实现驱动装置的预紧力微调节，同时利用驱动足保证驱动装置性能稳定输出。本发明具有结构简单、分辨率高、负载能力强、性能稳定、预紧调节方便等优点，在微纳加工制造领域有着广泛应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，属于精密微纳驱动与微定位技术领域。
背景技术
随着科学技术的进步以及国内外精密制造技术的不断发展，微/纳米级的高精度驱动器需求不断增加。压电驱动器因具有体积小、结构简单、精度高、成本低、无电磁干扰等优势，对半导体行业、生物工程、医疗器械等精密制造行业的发展有着至关重要的推动作用。
压电直线驱动器主要采用压电材料作为激励元件，结合柔性铰链结构增大驱动装置的输出力，并保证其输出精度以及性能稳定性，广泛应用于微纳加工、显微操作、生物医疗等技术领域，现有的压电直线驱动器存在驱动力小，承载能力弱，输出精度低等缺陷，严重制约着其在精密微纳加工制造行业的发展。
鉴于上述缺陷，设计一种高承载、高精度并具有稳定输出性能的压电直线驱动器显得至关重要。
发明内容
为解决已有压电直线驱动器结构复杂、分辨率低、负载能力差、预紧调节复杂能问题，本发明公开了一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器。
本发明所采用的技术方案：
为达到上述目的，本发明提供一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，该双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器主要由滑动上板、滑动上板安装螺栓、封装盖、封装盖固定螺栓、直线驱动定子、导轨组件固定螺栓、基座组件、直线驱动定子固定螺栓、导轨组件组成；其中，所述滑动上板通过滑动上板安装螺栓安装于导轨组件上，所述封装盖通过封装盖固定螺栓固定安装于基座组件上，所述直线驱动定子通过直线驱动定子固定螺栓固定连接于基座组件上，所述导轨组件通过导轨组件固定螺栓安装于基座组件上。
所述滑动上板设有滑动上板安装沉头孔、滑动上板下表面；所述滑动上板安装螺栓穿过滑动上板安装沉头孔与导轨组件连接；所述封装盖上设有封装固定通孔、封装盖下表面、螺栓安装槽；所述封装盖固定螺栓嵌于螺栓安装槽中，通过固定通孔固定连接封装盖和基座组件，所述封装盖下表面贴于基座组件上。
所述直线驱动定子包括导轨加载螺钉、压电陶瓷叠堆、直线菱形铰链、压电陶瓷叠堆保护板、预紧螺钉、驱动足；所述压电陶瓷叠堆通过压电陶瓷叠堆保护板镶嵌安装于直线菱形铰链中，所述直线菱形铰链通过直线驱动定子固定螺栓固定安装于基座组件上，压电陶瓷叠堆保护板接触安装于压电陶瓷叠堆与直线菱形铰链之间，所述驱动足胶粘于直线菱形铰链上。
所述直线菱形铰链设有铰链安装孔、铰链安装基座、铰链连接横梁、直梁柔性铰链、弹性梁、加载螺纹孔、驱动足配合面、加载让位槽、驱动连接梁、铰链连接梁、端部安装基座、预紧螺纹孔、端部安装孔、直圆型柔性铰链；所述铰链安装孔设置在铰链安装基座上，直线驱动定子固定螺栓通过铰链安装孔将铰链安装基座固定于基座组件上，所述铰链安装基座上设置有铰链安装孔，对称分布于铰链连接横梁两侧，所述直梁柔性铰链连接铰链安装基座和铰链连接横梁，所述铰链连接梁与驱动连接梁之间设置有直圆型柔性铰链，所述加载螺纹孔、驱动足配合面、加载让位槽设置于驱动连接梁上，所述加载螺纹孔与导轨加载螺钉螺纹连接，所述驱动足配合面上胶粘有驱动足，所述加载让位槽为加工工艺槽，所述驱动连接梁对称分布于直线菱形铰链两侧，所述端部安装基座与驱动连接梁之间设置有直圆型柔性铰链，端部安装基座上设置有预紧螺纹孔、端部安装孔，所述预紧螺纹孔与预紧螺钉螺纹配合，所述端部安装孔穿过直线驱动定子固定螺栓，将端部安装基座固定于基座组件上，所述直圆型柔性铰链分别设置在铰链连接横梁和铰链连接梁、铰链连接梁和端部安装基座之间；所述驱动足采用陶瓷耐磨材料加工而成，驱动足上设置有驱动足背面，与驱动足配合面胶粘连接。
所述基座组件包括底板、导轨组件安装块螺栓、导轨组件安装块；所述底板上安装有导轨组件安装块螺栓和导轨组件安装块；所述底板上设置有封装盖固定螺纹孔、驱动器铰链安装螺纹孔、底板上表面、安装块安装槽、安装块固定螺纹孔、驱动器端部安装螺纹孔，所述封装盖固定螺纹孔与封装盖固定螺栓螺纹连接，所述驱动器铰链安装螺纹孔与直线驱动定子固定螺栓螺纹连接，将端部安装基座固定于底板上，所述底板与封装盖下表面接触配合，所述安装块安装槽上设置有安装块固定螺纹孔，所述驱动器端部安装螺纹孔与直线驱动定子固定螺栓螺纹连接，将铰链安装基座固定于底板上；所述导轨组件安装块螺栓通过与安装块固定螺纹孔螺纹连接将导轨组件安装块固定于底板上，所述导轨组件安装块嵌于安装块安装槽中；所述导轨组件安装块上设置有导轨组件安装螺纹孔、导轨组件安装块上表面、导轨组件安装块安装凸台、导轨组件安装块安装孔；所述导轨组件安装螺纹孔对称设置于导轨组件安装块上表面，通过与导轨组件固定螺栓螺纹连接固定导轨组件，所述导轨组件安装块上表面与固定导轨组件接触，所述导轨组件安装块安装凸台对称设置有导轨组件安装块安装孔，导轨组件安装块安装凸台嵌于安装块安装槽中，所述导轨组件安装块安装孔用于放置导轨组件安装块螺栓，导轨组件安装块螺栓通过与安装块固定螺纹孔螺纹连接固定导轨组件安装块。
所述导轨组件包括固定导轨、活动导轨、导轨支架、导轨安装架、固定导轨固定螺栓；所述固定导轨通过固定导轨固定螺栓安装固定于导轨安装架上，所述活动导轨与固定导轨之间安装有导轨支架；所述固定导轨上设置有固定导轨安装孔、固定导轨下表面；所述固定导轨安装孔穿过固定导轨固定螺栓，所述固定导轨下表面与导轨安装架接触；所述活动导轨上设置有活动导轨安装螺纹孔、活动导轨上表面；所述活动导轨安装螺纹孔与滑动上板安装螺栓螺纹配合，所述活动导轨上表面与滑动上板下表面接触配合；所述导轨安装架上设置有固定导轨安装螺纹孔、螺栓让位槽、导轨支撑梁、导轨安装架固定孔、导轨安装架下表面；所述固定导轨安装螺纹孔与固定导轨固定螺栓螺纹连接，所述螺栓让位槽为工艺槽，所述导轨支撑梁设置于导轨安装架中间，导轨安装架固定孔穿过导轨组件固定螺栓，导轨组件固定螺栓将导轨安装架固定于导轨组件安装块上，所述导轨安装架下表面与导轨组件安装块上表面接触配合。
本发明的有益效果：
本发明提供一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，本发明采用柔性铰链机构实现直线驱动器的位移输出，采用导轨组件上置的方式减小驱动装置体积，增大驱动器的负载容量；直线驱动定子下置直接与底座固定，通过调节驱动连接梁上的导轨加载螺钉调节驱动足与活动导轨之间的正压力，从而保证驱动装置的输出稳定性。本发明具有结构简单、分辨率高、负载能力强、性能稳定、预紧调节方便等优点，在精密加工制造、显微镜光学对焦、半导体行业有着很好的应用前景。
附图说明
图1所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的整体装配图；
图2所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的滑动板结构示意图；
图3所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的封装盖结构示意图；
图4所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的直线驱动器装配示意图；
图5所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的直线菱形铰链结构示意图；
图6所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的驱动足结构示意图；
图7所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的基座组件装配示意图；
图8所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的底板结构示意图；
图9所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的导轨组件安装块结构示意图；
图10所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的导轨组件装配示意图；
图11所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的固定导轨结构示意图；
图12所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的活动导轨结构示意图
图13所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的导轨安装架结构示意图；
图14所示为本发明提出的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的导轨安装架结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：结合图1~图14说明本实施方式，本实施方式提供了一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器的具体实施方式，所述双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器具体实施方式表述如下：
所述一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器主要由滑动上板1、滑动上板安装螺栓2、封装盖3、封装盖固定螺栓4、直线驱动定子5、导轨组件固定螺栓6、基座组件7、直线驱动定子固定螺栓8、导轨组件9组成；其中，所述滑动上板1通过滑动上板安装螺栓2安装于导轨组件9上，所述封装盖3通过封装盖固定螺栓4固定安装于基座组件7上，所述直线驱动定子5通过直线驱动定子固定螺栓8固定连接于基座组件7上，所述导轨组件9通过导轨组件固定螺栓6安装于基座组件7上。
所述滑动上板1设有滑动上板安装沉头孔1-1、滑动上板下表面1-2；所述滑动上板安装螺栓2穿过滑动上板安装沉头孔1-1与导轨组件9连接。
所述封装盖3上设有封装固定通孔3-1、封装盖下表面3-2、螺栓安装槽3-3；所述封装盖固定螺栓4嵌于螺栓安装槽3-3中，通过固定通孔3-1固定连接封装盖3和基座组件7，所述封装盖下表面3-2贴于基座组件7上，实现封装盖3与基座组件7的稳定装配。
所述直线驱动定子5包括导轨加载螺钉5-1、压电陶瓷叠堆5-2、直线菱形铰链5-3、压电陶瓷叠堆保护板5-4、预紧螺钉5-5、驱动足5-6；所述导轨加载螺钉5-1用于微调直线驱动定子5与导轨组件9之间的接触力，所述压电陶瓷叠堆5-2通过压电陶瓷叠堆保护板5-5镶嵌安装于直线菱形铰链5-3中，用于驱动直线菱形铰链5-3，所述直线菱形铰链5-3通过直线驱动定子固定螺栓8固定安装于基座组件7上，压电陶瓷叠堆保护板5-4接触安装于压电陶瓷叠堆5-2与直线菱形铰链5-3之间，所述预紧螺钉5-5用于调节压电陶瓷叠堆5-2、压电陶瓷叠堆保护板5-4和直线菱形铰链5-3之间的预压力，从而提高直线驱动定子5的稳定性，所述驱动足5-6胶粘于直线菱形铰链5-3上。
所述直线菱形铰链5-3设有铰链安装孔5-3-1、铰链安装基座5-3-2、铰链连接横梁5-3-3、直梁柔性铰链5-3-4、弹性梁5-3-5、加载螺纹孔5-3-6、驱动足配合面5-3-7、加载让位槽5-3-8、驱动连接梁5-3-9、铰链连接梁5-3-10、端部安装基座5-3-11、预紧螺纹孔5-3-12、端部安装孔5-3-13、直圆型柔性铰链5-3-14；所述铰链安装孔5-3-1设置在铰链安装基座5-3-2上，直线驱动定子固定螺栓8通过铰链安装孔5-3-1将铰链安装基座5-3-2固定于基座组件7上，所述铰链安装基座5-3-2上设置有铰链安装孔5-3-1，对称分布于铰链连接横梁5-3-3两侧，所述直梁柔性铰链5-3-4连接铰链安装基座5-3-2和铰链连接横梁5-3-3，所述铰链连接梁5-3-10与驱动连接梁5-3-9之间设置有直圆型柔性铰链5-3-14，所述弹性梁5-3-5用于调节直线驱动定子5与导轨组件9之间的预紧力，所述加载螺纹孔5-3-6、驱动足配合面5-3-7、加载让位槽5-3-8设置于驱动连接梁5-3-9上，所述加载螺纹孔5-3-6与导轨加载螺钉5-1螺纹连接，所述驱动足配合面5-3-7上胶粘有驱动足5-6，所述加载让位槽5-3-8为加工工艺槽，便于加工弹性梁5-3-5，所述驱动连接梁5-3-9对称分布于直线菱形铰链5-3两侧，所述端部安装基座5-3-11与驱动连接梁5-3-9之间设置有直圆型柔性铰链5-3-14，端部安装基座5-3-11上设置有预紧螺纹孔5-3-12、端部安装孔5-3-13，所述预紧螺纹孔5-3-12与预紧螺钉5-5螺纹配合，所述端部安装孔5-3-13穿过直线驱动定子固定螺栓8，将端部安装基座5-3-11固定于基座组件7上，所述直圆型柔性铰链5-3-14分别设置在铰链连接横梁5-3-3和铰链连接梁5-3-10、铰链连接梁5-3-10和端部安装基座5-3-11之间，使得驱动连接梁5-3-9收缩夹紧导轨组件9。
所述驱动足5-6采用陶瓷耐磨材料加工而成，驱动足5-6上设置有驱动足背面5-6-1，与驱动足配合面5-3-7胶粘连接。
所述基座组件7包括底板7-1、导轨组件安装块螺栓7-2、导轨组件安装块7-3；所述导轨组件安装块螺栓7-2将导轨组件安装块7-3安装于底板7-1上。
所述底板7-1上设置有封装盖固定螺纹孔7-1-1、驱动器铰链安装螺纹孔7-1-2、底板上表面7-1-3、安装块安装槽7-1-4、安装块固定螺纹孔7-1-5、驱动器端部安装螺纹孔7-1-6，所述封装盖固定螺纹孔7-1-1与封装盖固定螺栓4螺纹连接起固定作用，所述驱动器铰链安装螺纹孔7-1-2与直线驱动定子固定螺栓8螺纹连接，将铰链安装基座5-3-2固定于底板7-1上，所述底板上表面7-1-3与封装盖下表面3-2接触配合，所述安装块安装槽7-1-4上设置有安装块固定螺纹孔7-1-5，所述驱动器端部安装螺纹孔7-1-6与直线驱动定子固定螺栓8螺纹连接，将端部安装基座5-3-11固定于底板7-1上；所述导轨组件安装块螺栓7-2通过与安装块固定螺纹孔7-1-5螺纹连接将导轨组件安装块7-3固定于底板7-1上，所述导轨组件安装块7-3嵌于安装块安装槽7-1-4中。
所述导轨组件安装块7-3上设置有导轨组件安装螺纹孔7-3-1、导轨组件安装块上表面7-3-2、导轨组件安装块安装凸台7-3-3、导轨组件安装块安装孔7-3-4；所述导轨组件安装螺纹孔7-3-1对称设置于导轨组件安装块上表面7-3-2，通过与导轨组件固定螺栓6螺纹连接固定导轨组件9，所述导轨组件安装块上表面7-3-2与固定导轨组件9接触，所述导轨组件安装块安装凸台7-3-3对称设置有导轨组件安装块安装孔7-3-4，导轨组件安装块安装凸台7-3-3嵌于安装块安装槽7-1-4中，所述导轨组件安装块安装孔7-3-4用于放置导轨组件安装块螺栓7-2，导轨组件安装块螺栓7-2通过与安装块固定螺纹孔7-1-5螺纹连接固定导轨组件安装块7-3。
所述导轨组件9包括固定导轨9-1、活动导轨9-2、导轨支架9-3、导轨安装架9-4、固定导轨固定螺栓9-5；所述固定导轨9-1通过固定导轨固定螺栓9-5安装固定于导轨安装架9-4上，所述活动导轨9-2与固定导轨9-1之间安装有导轨支架9-3，导轨支架9-3起限位导向作用。
所述固定导轨9-1上设置有固定导轨安装孔9-1-1、固定导轨下表面9-1-2；所述固定导轨安装孔9-1-1穿过固定导轨固定螺栓9-5，所述固定导轨下表面9-1-2与导轨安装架9-4接触起限位作用。
所述活动导轨9-2上设置有活动导轨安装螺纹孔9-2-1、活动导轨上表面9-2-2；所述活动导轨安装螺纹孔9-2-1与滑动上板安装螺栓2螺纹配合，起连接紧固作用，所述活动导轨上表面9-2-2与滑动上板下表面1-2接触配合。
所述导轨安装架9-4上设置有固定导轨安装螺纹孔9-4-1、螺栓让位槽9-4-2、导轨支撑梁9-4-3、导轨安装架固定孔9-4-4、导轨安装架下表面9-4-5；所述固定导轨安装螺纹孔9-4-1与固定导轨固定螺栓9-5螺纹连接，起固定固定导轨9-1作用，所述螺栓让位槽9-4-2为工艺槽，便于直线驱动定子固定螺栓8安装固定，所述导轨支撑梁9-4-3设置于导轨安装架9-4中间，增强导轨安装架9-4强度，导轨安装架固定孔9-4-4穿过导轨组件固定螺栓6，导轨组件固定螺栓6将导轨安装架9-4固定于导轨组件安装块7-3上，所述导轨安装架下表面9-4-5与导轨组件安装块上表面7-3-4接触配合。
工作原理：
所述一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器采用直线驱动器双足夹持驱动方式，压电陶瓷叠堆通入锯齿波电信号产生伸缩变形，驱动直线菱形铰链使得直线菱形铰链中的驱动连接梁向内收缩，驱动足与活动导轨接触正压力变大，同时产生沿压电陶瓷叠堆伸长方向的驱动摩擦力带动导轨组件产生向前运动。其中，通过调节导轨加载螺钉使得弹性梁变形从而增大直线驱动定子与导轨组件之间的预紧力，调节导轨加载螺钉可以实现适当微调直线驱动定子与导轨组件之间的预紧力，达到最佳驱动效果。压电陶瓷叠堆在锯齿波电信号激励下缓慢伸长，此时，驱动足与活动导轨之间是静摩擦力，静摩檫力为驱动力，通过静摩擦力驱动导轨前进一段位移，此阶段为“粘”阶段；当压电陶瓷叠堆快速收缩变形时，直线菱形铰链快速恢复到初始状态，此阶段驱动足快速回退与活动导轨之间产生滑动摩擦力，活动导轨组件由于惯性，产生一小段位移回退，此阶段为“滑”阶段。重复上述，“粘-滑”过程，实现导轨组件持续位移输出。
综上所述，本发明提供一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，本发明采用柔性铰链机构实现直线驱动器的位移输出，采用导轨组件上置的方式减小驱动装置体积，增大驱动器的负载容量；直线驱动定子下置直接与底座固定，通过调节驱动连接梁上的导轨加载螺钉调节驱动足与活动导轨之间的正压力，从而保证驱动装置的输出稳定性。本发明具有结构简单、分辨率高、负载能力强、性能稳定、预紧调节方便等优点，在精密加工制造、显微镜光学对焦、半导体行业有着很好的应用前景。
Claims (6)
1.一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，其特征在于，该驱动装置主要由滑动上板（1）、滑动上板安装螺栓（2）、封装盖（3）、封装盖固定螺栓（4）、直线驱动定子（5）、导轨组件固定螺栓（6）、基座组件（7）、直线驱动定子固定螺栓（8）、导轨组件（9）组成；其中，所述滑动上板（1）通过滑动上板安装螺栓（2）安装于导轨组件（9）上，所述封装盖（3）通过封装盖固定螺栓（4）固定安装于基座组件（7）上，所述直线驱动定子（5）通过直线驱动定子固定螺栓（8）固定连接于基座组件（7）上，所述导轨组件（9）通过导轨组件固定螺栓（6）安装于基座组件（7）上。
2.根据权利要求1所述的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，其特征在于，所述滑动上板（1）设有滑动上板安装沉头孔（1-1）、滑动上板下表面（1-2）；所述滑动上板安装螺栓（2）穿过滑动上板安装沉头孔（1-1）与导轨组件（9）连接；所述封装盖（3）上设有封装固定通孔（3-1）、封装盖下表面（3-2）、螺栓安装槽（3-3）；所述封装盖固定螺栓（4）嵌于螺栓安装槽（3-3）中，通过固定通孔（3-1）固定连接封装盖（3）和基座组件（7），所述封装盖下表面（3-2）贴于基座组件（7）上。
3.根据权利要求1所述的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，其特征在于，所述直线驱动定子（5）包括导轨加载螺钉（5-1）、压电陶瓷叠堆（5-2）、直线菱形铰链（5-3）、压电叠堆保护板（5-4）、预紧螺钉（5-5）、驱动足（5-6）；所述压电陶瓷叠堆（5-2）通过压电叠堆保护板（5-5）镶嵌安装于直线菱形铰链（5-3）中，所述直线菱形铰链（5-3）通过直线驱动定子固定螺栓（8）固定安装于基座组件（7）上，压电叠堆保护板（5-4）接触安装于压电陶瓷叠堆（5-2）与直线菱形铰链（5-3）之间，所述驱动足（5-6）胶粘于直线菱形铰链（5-3）上。
4.根据权利要求3所述的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，其特征在于，所述直线菱形铰链（5-3）设有铰链安装孔（5-3-1）、铰链安装基座（5-3-2）、铰链连接横梁（5-3-3）、直梁柔性铰链（5-3-4）、弹性梁（5-3-5）、加载螺纹孔（5-3-6）、驱动足配合面（5-3-7）、加载让位槽（5-3-8）、驱动连接梁（5-3-9）、铰链连接梁（5-3-10）、端部安装基座（5-3-11）、预紧螺纹孔（5-3-12）、端部安装孔（5-3-13）、直圆型柔性铰链（5-3-14）；所述铰链安装孔（5-3-1）设置在铰链安装基座（5-3-2）上，直线驱动定子固定螺栓（8）通过铰链安装孔（5-3-1）将铰链安装基座（5-3-2）固定于基座组件（7）上，所述铰链安装基座（5-3-2）上设置有铰链安装孔（5-3-1），对称分布于铰链连接横梁（5-3-3）两侧，所述直梁柔性铰链（5-3-4）连接铰链安装基座（5-3-2）和铰链连接横梁（5-3-3），所述铰链连接梁（5-3-10）与驱动连接梁（5-3-9）之间设置有直圆型柔性铰链（5-3-14），所述加载螺纹孔（5-3-6）、驱动足配合面（5-3-7）、加载让位槽（5-3-8）设置于驱动连接梁（5-3-9）上，所述加载螺纹孔（5-3-6）与导轨加载螺钉（5-1）螺纹连接，所述驱动足配合面（5-3-7）上胶粘有驱动足（5-6），所述加载让位槽（5-3-8）为加工工艺槽，所述驱动连接梁（5-3-9）对称分布于直线菱形铰链（5-3）两侧，所述端部安装基座（5-3-11）与驱动连接梁（5-3-9）之间设置有直圆型柔性铰链（5-3-14），端部安装基座（5-3-11）上设置有预紧螺纹孔（5-3-12）、端部安装孔（5-3-13），所述预紧螺纹孔（5-3-12）与预紧螺钉（5-5）螺纹配合，所述端部安装孔（5-3-13）穿过直线驱动定子固定螺栓（8），将端部安装基座（5-3-11）固定于基座组件（7）上，所述直圆型柔性铰链（5-3-14）分别设置在铰链连接横梁（5-3-3）和铰链连接梁（5-3-10）、铰链连接梁（5-3-10）和端部安装基座（5-3-11）之间；所述驱动足（5-6）采用陶瓷耐磨材料加工而成，驱动足（5-6）上设置有驱动足背面（5-6-1），与驱动足配合面（5-3-7）胶粘连接。
5.根据权利要求1所述的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，其特征在于，所述基座组件（7）包括底板（7-1）、导轨组件安装块螺栓（7-2）、导轨组件安装块（7-3）；所述底板（7-1）上安装有导轨组件安装块螺栓（7-2）和导轨组件安装块（7-3）；所述底板（7-1）上设置有封装盖固定螺纹孔（7-1-1）、驱动器铰链安装螺纹孔（7-1-2）、底板上表面（7-1-3）、安装块安装槽（7-1-4）、安装块固定螺纹孔（7-1-5）、驱动器端部安装螺纹孔（7-1-6），所述封装盖固定螺纹孔（7-1-1）与封装盖固定螺栓（4）螺纹连接，所述驱动器铰链安装螺纹孔（7-1-2）与直线驱动定子固定螺栓（8）螺纹连接，将端部安装基座（5-3-11）固定于底板（7-1）上，所述底板（7-1）与封装盖下表面（2-2）接触配合，所述安装块安装槽（7-1-4）上设置有安装块固定螺纹孔（7-1-5），所述驱动器端部安装螺纹孔（7-1-6）与直线驱动定子固定螺栓（8）螺纹连接，将铰链安装基座（5-3-2）固定于底板（7-1）上；所述导轨组件安装块螺栓（7-2）通过与安装块固定螺纹孔（7-1-5）螺纹连接将导轨组件安装块（7-3）固定于底板（7-1）上，所述导轨组件安装块（7-3）嵌于安装块安装槽（7-1-4）中；所述导轨组件安装块（7-3）上设置有导轨组件安装螺纹孔（7-3-1）、导轨组件安装块上表面（7-3-2）、导轨组件安装块安装凸台（7-3-3）、导轨组件安装块安装孔（7-3-4）；所述导轨组件安装螺纹孔（7-3-1）对称设置于导轨组件安装块上表面（7-3-2），通过与导轨组件固定螺栓（6）螺纹连接固定导轨组件（9），所述导轨组件安装块上表面（7-3-2）与固定导轨组件（9）接触，所述导轨组件安装块安装凸台（7-3-3）对称设置有导轨组件安装块安装孔（7-3-4），导轨组件安装块安装凸台（7-3-3）嵌于安装块安装槽（7-1-4）中，所述导轨组件安装块安装孔（7-3-4）用于放置导轨组件安装块螺栓（7-2），导轨组件安装块螺栓（7-2）通过与安装块固定螺纹孔（7-1-5）螺纹连接固定导轨组件安装块（7-3）。
6.根据权利要求1所述的一种双足夹紧式高承载精密压电直线驱动器，其特征在于，所述导轨组件（9）包括固定导轨（9-1）、活动导轨（9-2）、导轨支架（9-3）、导轨安装架（9-4）、固定导轨固定螺栓（9-5）；所述固定导轨（9-1）通过固定导轨固定螺栓（9-5）安装固定于导轨安装架（9-4）上，所述活动导轨（9-2）与固定导轨（9-1）之间安装有导轨支架（9-3）；所述固定导轨（9-1）上设置有固定导轨安装孔（9-1-1）、固定导轨下表面（9-1-2）；所述固定导轨安装孔（9-1-1）穿过固定导轨固定螺栓（9-5），所述固定导轨下表面（9-1-2）与导轨安装架（9-4）接触；所述活动导轨（9-2）上设置有活动导轨安装螺纹孔（9-2-1）、活动导轨上表面（9-2-2）；所述活动导轨安装螺纹孔（9-2-1）与滑动上板安装螺栓（2）螺纹配合，所述活动导轨上表面（9-2-2）与滑动上板下表面（1-2）接触配合；所述导轨安装架（9-4）上设置有固定导轨安装螺纹孔（9-4-1）、螺栓让位槽（9-4-2）、导轨支撑梁（9-4-3）、导轨安装架固定孔（9-4-4）、导轨安装架下表面（9-4-5）；所述固定导轨安装螺纹孔（9-4-1）与固定导轨固定螺栓（9-5）螺纹连接，所述螺栓让位槽（9-4-2）为工艺槽，所述导轨支撑梁（9-4-3）设置于导轨安装架（9-4）中间，导轨安装架固定孔（9-4-4）穿过导轨组件固定螺栓（6），导轨组件固定螺栓（6）将导轨安装架（9-4）固定于导轨组件安装块（7-3）上，所述导轨安装架下表面（9-4-5）与导轨组件安装块上表面（7-3-4）接触配合。
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2019
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