CN110553146A - 为电子加速器提供氮气的供气装置 - Google Patents

为电子加速器提供氮气的供气装置 Download PDF

Info

Publication number
CN110553146A
CN110553146A CN201910777128.1A CN201910777128A CN110553146A CN 110553146 A CN110553146 A CN 110553146A CN 201910777128 A CN201910777128 A CN 201910777128A CN 110553146 A CN110553146 A CN 110553146A
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
nitrogen
irradiation chamber
electron accelerator
pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910777128.1A
Other languages
English (en)
Inventor
张宇蔚
乌恩奇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WUXI EL PONT RADIATION TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
WUXI EL PONT RADIATION TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WUXI EL PONT RADIATION TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical WUXI EL PONT RADIATION TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201910777128.1A priority Critical patent/CN110553146A/zh
Publication of CN110553146A publication Critical patent/CN110553146A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00—Pipe-line systems
    • F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
    • F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D3/00—Arrangements for supervising or controlling working operations
    • F17D3/01—Arrangements for supervising or controlling working operations for controlling, signalling, or supervising the conveyance of a product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

本发明涉及一种为电子加速器提供氮气的供气装置。它包括电子加速器和制氮机，所述电子加速器含有屏蔽筒，屏蔽筒内有用于将其内腔分隔成真空室和辐照室的隔板，隔板上有通孔，真空室内有束流引出窗，束流引出窗下端呈密封状穿过通孔后伸入辐照室内。束流引出窗下端有用于对其钛箔进行冷却的吹嘴，所述吹嘴和辐照室分别通过第一阀门和第二阀与制氮机的出口相通。其特点是还包括控制器和传感器，所述传感器位于辐照室内。第一阀和第二阀均为电磁阀，所述制氮机、第一阀、第二阀和传感器均借助导线与控制器相连。采用这种装置，能保证被辐照产品质量，避免氮气浪费，降低生产成本。适用于为电子加速器的吹嘴和辐照室提供氮气。

Description

为电子加速器提供氮气的供气装置
技术领域
本发明涉及一种氮气输送机构。具体说，是用来为电子加速器的吹嘴和辐照室提供氮气的供气装置。
背景技术
在电子加速器制造和应用领域都知道，在利用电子加速器对产品辐照时，被辐照产品对氧气非常敏感，因此，需要使用惰性气体对被辐照产品进行隔离。否则，将难以保证被辐照产品的质量。另外，在利用电子加速器对产品辐照时，还需要利用惰性气体对束流引出窗辐射头出口处的钛箔进行冷却，以防止因钛箔温度升高带来的危害。
目前，无论是对被辐照产品进行隔离、还是对束流引出窗辐射头出口的钛箔进行冷却所用的惰性气体都是氮气。具体来说，是利用氮气基站或制氮机直接为辐照室和吹嘴提供氮气。由于利用氮气基站或制氮机直接为辐照室和吹嘴提供氮气，氮气基站或制氮机与辐照室和吹嘴间无法进行通信，使得氮气浓度不可控制。这样，不仅无法保证被辐照产品的质量，而且会造成氮气的浪费，提高生产成本。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种为电子加速器提供氮气的供气装置。采用这种装置，能保证被辐照产品的质量，避免氮气的浪费，降低生产成本。
本发明要解决的上述问题由以下技术方案实现：
本发明的为电子加速器提供氮气的供气装置，包括电子加速器和制氮机，所述电子加速器含有屏蔽筒，屏蔽筒内有用于将其内腔分隔成真空室和辐照室的隔板，隔板上有通孔，真空室内有束流引出窗，束流引出窗下端呈密封状穿过通孔后伸入辐照室内；束流引出窗下端有用于对其钛箔进行冷却的吹嘴，所述吹嘴和辐照室分别通过第一阀门和第二阀与制氮机的出口相通。其特征在于：还包括控制器和传感器，所述传感器位于辐照室内。所述第一阀和第二阀均为电磁阀，所述制氮机、第一阀、第二阀和传感器均借助导线与控制器相连。
其中，真空室的侧壁上和隔板上均有第一管孔，第一管孔内有气管，气管的两端分别与第一阀和吹相连。
辐照室所在的筒壁上有第二管孔，第二管孔内有气管接头，辐照室通过气管接头和第二阀与制氮机相通。
所述第二管孔有两个，两个第二管孔分别位于辐照室对侧的筒壁上，两个管孔内均有气管接头，制氮机通过三通管、气管和两个气管接头与辐照室相通。
由上述方案可以看出，由于本发明含有控制器和传感器，所述传感器位于辐照室内。所第一阀和第二阀均为电磁阀，所述制氮机、第一阀、第二阀和传感器均借助导线与控制器相连。通过控制器、传感器、第二阀可以实现辐照室与制氮机间的通信，即在辐照生产过程中，由传感器感应辐照室内的氮气浓度，当辐照室内的氮气浓度高于或低于所需浓度时，传感器会将此信号转变成电信号送给控制器，再由控制器给制氮机下达降低或提高氮气浓度的指令，使进入辐照室的氮气浓度符合设计要求。这样，不仅保证了被辐照产品的质量，还避免了氮气的浪费，降低了生产成本。
附图说明
图1是本发明的为电子加速器提供氮气的供气装置示意图，
具体实施方式
如图1所示，本发明的为电子加速器提供氮气的供气装置含有电子加速器、制氮机3和控制器6。所述电子加速器含有屏蔽筒1，屏蔽筒1内设置有用于将其内腔分隔成真空室10和辐照室14的隔板11，隔板11上加工有第一通孔，真空室10内设置有束流引出窗9，束流引出窗9下端呈密封状穿过隔板11上的第一通孔后伸入辐照室14内。束流引出窗9下端设置有用于对其钛箔进行冷却的吹嘴15，吹嘴15一侧的隔板11上和邻近的真空室10的侧壁上均加工有第一管孔，第一管孔内穿有气管，气管与第一管孔间呈密封状配合。所述气管8的一端与第一阀门5相连，其另一端呈密封状穿过所述第一管孔后与吹嘴15相连。
辐照室14所在的筒壁上加工有两个第二管孔，该两个第二管孔分别位于辐照室对侧的筒壁上。第二管孔内均安装有气管接头13，辐照室14通过两个气管接头13、两个气管、三通管17和第二阀4与制氮机3相通。
辐照室14内设置有传感器16。所第一阀5和第二阀4均为电磁阀，所述制氮机3、第一阀5、第二阀4和传感器16均借助导线与控制器6相连。

Claims (4)

1.为电子加速器提供氮气的供气装置，包括电子加速器和制氮机，所述电子加速器含有屏蔽筒，屏蔽筒内有用于将其内腔分隔成真空室和辐照室的隔板，隔板上有通孔，真空室内有束流引出窗，束流引出窗下端呈密封状穿过通孔后伸入辐照室内；束流引出窗下端有用于对其钛箔进行冷却的吹嘴，所述吹嘴和辐照室分别通过第一阀门和第二阀与制氮机的出口相通；其特征在于：还包括控制器和传感器，所述传感器位于辐照室内；所述第一阀和第二阀均为电磁阀，所述制氮机、第一阀、第二阀和传感器均借助导线与控制器相连。
2.根据权利要求1所述的为电子加速器提供氮气的供气装置，其特征在于：真空室的侧壁上和隔板上均有第一管孔，第一管孔内有气管，气管的两端分别与第一阀和吹嘴相连。
3.根据权利要求1所述的为电子加速器提供氮气的供气装置，其特征在于：辐照室所在的筒壁上有第二管孔，第二管孔内有气管接头，辐照室通过气管接头和第二阀与制氮机相通。
4.根据权利要求3所述的为电子加速器提供氮气的供气装置，其特征在于：第二管孔有两个，两个第二管孔分别位于辐照室对侧的筒壁上，两个管孔内均有气管接头，制氮机通过三通管、气管和两个气管接头与辐照室相通。
CN201910777128.1A 2019-08-23 2019-08-23 为电子加速器提供氮气的供气装置 Pending CN110553146A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910777128.1A CN110553146A (zh) 2019-08-23 2019-08-23 为电子加速器提供氮气的供气装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910777128.1A CN110553146A (zh) 2019-08-23 2019-08-23 为电子加速器提供氮气的供气装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110553146A true CN110553146A (zh) 2019-12-10

Family

ID=68737894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910777128.1A Pending CN110553146A (zh) 2019-08-23 2019-08-23 为电子加速器提供氮气的供气装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110553146A (zh)

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08264404A (ja) * 1995-03-28 1996-10-11 Canon Inc 処理システム及びこれを用いたデバイス生産方法
CN1155229A (zh) * 1995-10-17 1997-07-23 株式会社荏原制作所 冷却电子束加速器窗口叶片的方法和装置
KR19990048129A (ko) * 1997-12-08 1999-07-05 이해규 폐수처리용 기울임형 반응기
US20020094306A1 (en) * 1998-02-25 2002-07-18 Shinichi Hara Processing apparatus, measuring apparatus, and device manufacturing method
JP2002333499A (ja) * 2001-05-08 2002-11-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 照射窓冷却装置
CN1568125A (zh) * 2003-06-10 2005-01-19 清华大学 一种电子束的束流引导装置
CN101262734A (zh) * 2008-04-28 2008-09-10 苏州中核华东辐照有限公司 一种电子帘加速器钛窗冷却系统
CN102729373A (zh) * 2012-06-15 2012-10-17 北京市射线应用研究中心 一种电子束辐照硫化轮胎部件束下传输装置
CN206389599U (zh) * 2016-12-09 2017-08-08 四川智研科技有限公司 一种自屏蔽加速器气体保护辐照装置
CN108257705A (zh) * 2018-03-16 2018-07-06 中广核达胜加速器技术有限公司 一种辐照工业废水用控制处理系统
CN108622976A (zh) * 2018-07-11 2018-10-09 中广核达胜加速器技术有限公司 一种液体辐照装置
CN109390071A (zh) * 2018-09-26 2019-02-26 浙江美浓世纪集团有限公司 一种在eb固化电子帘加速器中使用的制氮脱氧方法
CN210891056U (zh) * 2019-08-23 2020-06-30 无锡爱邦辐射技术有限公司 为电子加速器提供氮气的供气装置

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08264404A (ja) * 1995-03-28 1996-10-11 Canon Inc 処理システム及びこれを用いたデバイス生産方法
CN1155229A (zh) * 1995-10-17 1997-07-23 株式会社荏原制作所 冷却电子束加速器窗口叶片的方法和装置
KR19990048129A (ko) * 1997-12-08 1999-07-05 이해규 폐수처리용 기울임형 반응기
US20020094306A1 (en) * 1998-02-25 2002-07-18 Shinichi Hara Processing apparatus, measuring apparatus, and device manufacturing method
JP2002333499A (ja) * 2001-05-08 2002-11-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 照射窓冷却装置
CN1568125A (zh) * 2003-06-10 2005-01-19 清华大学 一种电子束的束流引导装置
CN101262734A (zh) * 2008-04-28 2008-09-10 苏州中核华东辐照有限公司 一种电子帘加速器钛窗冷却系统
CN102729373A (zh) * 2012-06-15 2012-10-17 北京市射线应用研究中心 一种电子束辐照硫化轮胎部件束下传输装置
CN206389599U (zh) * 2016-12-09 2017-08-08 四川智研科技有限公司 一种自屏蔽加速器气体保护辐照装置
CN108257705A (zh) * 2018-03-16 2018-07-06 中广核达胜加速器技术有限公司 一种辐照工业废水用控制处理系统
CN108622976A (zh) * 2018-07-11 2018-10-09 中广核达胜加速器技术有限公司 一种液体辐照装置
CN109390071A (zh) * 2018-09-26 2019-02-26 浙江美浓世纪集团有限公司 一种在eb固化电子帘加速器中使用的制氮脱氧方法
CN210891056U (zh) * 2019-08-23 2020-06-30 无锡爱邦辐射技术有限公司 为电子加速器提供氮气的供气装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005526913A5 (zh)
CN210891056U (zh) 为电子加速器提供氮气的供气装置
CN102024694B (zh) 等离子处理装置
WO2016200788A3 (en) Apparatus and method for conditioning molten glass
CN105307377A (zh) 一种中子源
CN105436672B (zh) 一种空心阴极环状负压电弧焊接方法
CN110553146A (zh) 为电子加速器提供氮气的供气装置
CN209763591U (zh) 一种用于钢管生产线的在线空冷装置
CN108091587B (zh) 一种工艺腔室及半导体装置
CN115070150A (zh) 在线三腔真空焊接炉及真空焊接工艺
ZA957060B (en) Method and apparatus for expanding tobacco
CN103189959B (zh) 用于辐照表面的具有底座的辐射器
CN103762310B (zh) 衬底预处理设备
CN108963393A (zh) 水气双冷高功率微波馈入窗
CN212716774U (zh) 一种汽轮机轴封装置
CN210065890U (zh) 一种射频等离子体氧化氮化设备
CN112201406A (zh) 一种交联电缆生产线交联管氮气纯度自动控制装置及方法
CN113929041B (zh) 一种适用于吹灌封一体机的容器灌装机构
CN221025850U (zh) 一种在同一炉腔完成压力包排气封装的设备的供料装置
CN205308470U (zh) 一种带有自动排气装置的球磨机
CN204272476U (zh) 一种等离子清洗系统的电极改进结构
CN220233085U (zh) 下电极组件和晶圆加工设备
CN208789056U (zh) 一种制瓶机气电结构旋转配气机构
CN111795781B (zh) 一种汽车冷却水管气密性检测装置及其检测方法
CN104481840A (zh) 压缩机及其加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination