CN110510791A - 一种超纯水制备系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超纯水制备系统包括自来水进水管，原水泵、一级高压泵、二级高压泵、纯水输送泵和清洗水泵提供本系统的运转动力，自来水经多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级反渗透组件、EDI装置和紫外线杀菌器的过滤、杀菌，盐箱和酸碱度调节器对自来水进行硬度和酸碱度调节，所制作出的超纯水的电阻率≥15MΩ.cm@25℃，可以用于一般实验室用水、色谱、液相等使用，触摸屏中央控制装置对整个系统进行全自动控制，亦可实现自动与手动之间的切换；配备自动控制器，定期进行自我清洗、反洗、运行的切换，无需人工介入；设计采用标准化、通用化零部件，便于拆装、更换、清洗。

Description

一种超纯水制备系统

技术领域

本发明涉及水处理技术领域，尤其涉及一种超纯水制备系统。

背景技术

超纯水常用于集成电路工业中，用于半导体原材料的清洗，光刻掩膜版的制备，同时超纯水也是实验室中使用最多的物质，在仪器分析，高纯分析及配制化学试剂过程中，所使用的水的纯度非常重要，水中多余离子和可溶性有机物及杂质会对实验分析造成干扰，导致检测结果不准确，无法得到理想的实验结果。目前，大多数的实验室都存在实验用水制取困难且成本高，而传统的制水方法往往无法彻底的去除水中的多余离子，无法完全满足实验用水的需求。

因此本领域技术人员致力于开发一种电阻率接近理论值超纯水的超纯水制备系统。

发明内容

有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种水质效果好的超纯水制备系统。

为实现上述目的，本发明提供了一种超纯水制备系统，包括自来水进水管，所述自来水进水管由前至后依次通过水管串联连接有原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级高压泵、一级反渗透组件、二级高压泵、二级反渗透组件、EDI装置、纯水箱、纯水输送泵、紫外线杀菌器和取水装置；所述软水器连接有盐箱；所述二级高压泵的入口还连接有酸碱度调节器；所述取水装置设置有与所述纯水箱连接的第一回水管；所述保安过滤器的入口和所述一级反渗透组件的出口之间还并联连接有CIP清洗装置，所述CIP清洗装置包括依次通过水管串联连接的清洗水箱、清洗水泵和清洗过滤器，所述清洗水箱的入口与所述一级反渗透组件的出口连接，所述清洗过滤器的出口与所述保安过滤器的入口连接。

所述多介质过滤器设置有第一过滤控制器，所述活性炭过滤器设置有第二过滤控制器，所述保安过滤器的出口与所述一级高压泵的入口之间并联有一第一压力监测器，所述一级反渗透组件的出口连接有第一电导率仪，所述二级高压泵的入口连接有第二压力监测器，所述二级反渗透组件的出口连接有第二电导率仪，所述EDI装置设置有设置两个出口，一个出口连接一电阻率仪后与所述纯水箱连接，另一个出口连接有连接一电子流量开关后接地，所述纯水箱设置有第一电子液位计，所述纯水输送泵的出口连接有第三压力监测器，所述清洗水箱设置有第二电子液位计，所述软水器的出口与所述保安过滤器之间还设置有一第一电磁阀连接，所述二级高压泵的出口连接有酸碱度传感器；所述原水泵、第一过滤控制器、第二过滤控制器、第一电磁阀、第一压力监测器、一级高压泵、第一电导率仪、第二压力监测器、二级高压泵、酸碱度调节器、酸碱度传感器、第二电导率仪、EDI装置、电阻率仪、电子流量开关、第一电子液位计、纯水输送泵、第三压力监测器、紫外线杀菌器、清洗水泵和第二电子液位计均电连接一触摸屏中央控制装置。

所述自来水进水管和所述原水泵的入口之间设置有第一手动阀和第一压力表。

所述原水泵的出口与所述多介质过滤器的入口之间由前至后依次设置有第一单向阀和第二手动阀。

所述多介质过滤器设置有两个出口，一个出口与所述活性炭过滤器的入口连接，另一个出口连接一第二手动阀后连接有第一接地槽。

所述活性炭过滤器连接有第二接地槽，所述软水器连接有第三接地槽，所述盐箱连接有第四接地槽，所述活性炭过滤器的出口连接有第二压力表，所述软水器的出口连接有第三压力表。

所述第一电磁阀并联连接有一第三手动阀，所述第一电磁阀的入口与所述第三手动阀的入口连接，所述第一电磁阀的出口与所述第三手动阀的出口连接。

所述保安过滤器的入口与所述第一电磁阀的出口连接有一清洗水注入管，所述清洗水注入管上靠近所述保安过滤器的出口设置有第四手动阀，所述一级反渗透组件的出口连接有清洗水排出管，所述清洗水排出管上设置有第五手动阀，所述清洗水注入管的入口与所述清洗过滤器的出口通过一第二十一手动阀连接，所述清洗水排出管的出口深入所述清洗水箱中。

所述清洗过滤器的入口与所述清洗水泵的出口之间设置有第二十二手动阀和第六单向阀连接，所述清洗水泵的入口与所述清洗水箱的出口之间设置有第二十三手动阀连接，所述清洗水箱的上端连接有向下延伸的清洗溢流管，所述清洗溢流管的出口连接有第九接地槽，所述清洗水箱的下端还连接有与所述第九接地槽连接的第二十四手动阀。

所述一级反渗透组件包括若干个串联连接的一级反渗透柱，所述一级反渗透柱设置有两个出口，最后一个所述一级反渗透柱的一个出口与所述保安过滤器的入口由一第二回水管连接，所述第二回水管上由前至后依次设置有第六手动阀和第二单向阀；所述一级高压泵的出口与所述一级反渗透组件的入口之间由前至后还依次设置有第三单向阀、第七手动阀和第四压力表。

所述清洗水排出管的中部还连接有一第一排水管，所述第一排水管上由前至后设置有第八手动阀、第二电磁阀和第五接地槽，最后一个所述一级反渗透柱的一个出口连接有与所述第一排水管并联连接的第二排水管，所述第二排水管的入口与所述第二电磁阀的入口连接，所述第二排水管的出口与所述第五接地槽连接，所述第二排水管上由前至后设置有第九手动阀和第一流量计。

所述二级高压泵的入口还连接有一第二流量计，所述二级高压泵的出口由前至后依次连接有第四单向阀和第十手动阀，所述酸碱度传感器与所述第十手动阀的出口连接；所述酸碱度调节器由酸碱箱和安装在所述酸碱箱上的电动注入器构成，所述酸碱箱上还设置有第三电子液位计，所述电动注入器和第三电子液位计与所述触摸屏中央控制装置电连接。

所述二级反渗透组件包括若干个串联连接的二级反渗透柱，所述二级反渗透组件的入口连接有第五压力表，所述二级反渗透柱设置有两个出口，最后一个所述二级反渗透柱的一个出口由前至后依次连接有第十一手动阀、第三流量计和第六接地槽，所述第十一手动阀还连接有一第六压力表，若干个所述二级反渗透柱的另一个出口连接有一第四流量计后与所述EDI装置的入口连接。

所述EDI装置设置有两个并联的入口和两个出口，所述EDI装置的一个入口由前至后依次连接有第七压力表和所述第十二手动阀，另一个入口由前至后依次连接有第八压力表和所述第十三手动阀，所述EDI装置的一个出口由前至后依次连接有第十四手动阀、第九压力表和第五流量计，所述第五流量计的出口与所述电阻率仪连接后与所述纯水箱连接，所述EDI装置的另一个出口由前至后依次连接有第十四手动阀、第九压力表、电子流量开关和第七接地槽。

所述纯水箱的上端连接有向下延伸的溢流管，所述溢流管的出口连接有第八接地槽，所述纯水箱的下端还连接有与所述第八接地槽连接的第十五手动阀。

所述纯水箱的下端还设置有与所述纯水输送泵入口连接的第十六手动阀，所述纯水输送泵的出口由前至后依次连接有第五单向阀和第十七手动阀，所述纯水输送泵、第五单向阀和第十七手动阀设置有并联的两组，两个所述第十七手动阀的出口与所述第三压力监测器连接后与所述紫外线杀菌器的入口连接；所述紫外线杀菌器并联连接有第十八手动阀，所述紫外线杀菌器的入口还连接有第十九手动阀，出口还连接有第二十手动阀，所述第十八手动阀的入口与所述第十九手动阀的入口连接，所述第十八手动阀的出口与所述第二十手动阀的出口连接后与所述取水装置的入口连接。

所述取水装置包括若干个并联连接在所述第一回水管上的取水阀，所述取水阀连接有刷卡控制器；所述触摸屏中央控制装置设置有一PLC控制系统。

本发明的有益效果是：本发明的超纯水制备系统，包括自来水进水管，原水泵、一级高压泵、二级高压泵、纯水输送泵和清洗水泵提供本系统的运转动力，自来水经多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级反渗透组件、EDI装置和紫外线杀菌器的过滤、杀菌，盐箱和酸碱度调节器对自来水进行硬度和酸碱度调节，所制作出的超纯水的电阻率为≥15MΩ.cm@25℃，优于中国实验室用水规格GB/T6682-2008一级水标准；TOC<5ppb**，微生物<1cfu/ml，颗粒（>0.22um）<1个/ml，可以用于一般实验室用水、色谱、液相等使用，触摸屏中央控制装置对整个系统进行全自动控制，亦可实现自动与手动之间的切换；配备自动控制器，定期进行自我清洗、反洗、运行的切换，无需人工介入；设计采用标准化、通用化零部件，便于拆装、更换、清洗。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的局部结构示意图之一；

图3是本发明的局部结构示意图之二；

图4是本发明的局部结构示意图之三；

图5是本发明的局部结构示意图之四；

图6是本发明的局部结构示意图之五；

图7是本发明的局部结构示意图之六；

图8是本发明的局部结构示意图之七；

图9是本发明的局部结构示意图之八

图10是本发明的局部结构示意图之九。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，需注意的是，在本发明的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方式构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

如图1至图10所示，图中实线为管路连接方式，虚线为电路连接方式，一种超纯水制备系统，包括自来水进水管1，自来水进水管1由前至后依次通过水管串联连接有原水泵2、多介质过滤器3、活性炭过滤器4、软水器5、保安过滤器6、一级高压泵7、一级反渗透组件8、二级高压泵9、二级反渗透组件10、EDI装置11、纯水箱12、纯水输送泵13、紫外线杀菌器14和取水装置15；软水器5连接有盐箱16；二级高压泵9的入口还连接有酸碱度调节器17；取水装置15设置有与纯水箱12连接的第一回水管18；保安过滤器6的入口和一级反渗透组件8的出口之间还并联连接有CIP清洗装置，CIP清洗装置包括依次通过水管串联连接的清洗水箱31、清洗水泵32和清洗过滤器33，清洗水箱31的入口与一级反渗透组件8的出口连接，清洗过滤器33的出口与保安过滤器6的入口连接。

原水泵、一级高压泵、二级高压泵、纯水输送泵和清洗水泵提供本系统的运转动力，自来水经多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级反渗透组件、EDI装置和紫外线杀菌器的过滤、杀菌，盐箱和酸碱度调节器对自来水进行硬度和酸碱度调节，多介质过滤器内填装粒径为0.8-1.6mm的无烟煤、粒径为0.5-0.8mm的石英砂、粒径为2-4mm的砾石，无烟煤、石英砂、砾石的质量百分比分别为38%、48%、14%；活性炭过滤器内填装质量百分比分别为17%和83%的石英砂和椰壳活性炭，石英砂作为垫层；所制作出的超纯水的电阻率为≥15MΩ.cm@25℃， 优于中国实验室用水规格GB/T6682-2008一级水标准；TOC<5ppb**，微生物<1cfu/ml，颗粒（>0.22um）<1个/ml，可以用于一般实验室用水、色谱、液相等使用，触摸屏中央控制装置对整个系统进行全自动控制，亦可实现自动与手动之间的切换；配备自动控制器，定期进行自我清洗、反洗、运行的切换，无需人工介入；设计采用标准化、通用化零部件，便于拆装、更换、清洗。

多介质过滤器3设置有第一过滤控制器19，活性炭过滤器4设置有第二过滤控制器20，保安过滤器6的出口与一级高压泵7的入口之间并联有一第一压力监测器21，一级反渗透组件8的出口连接有第一电导率仪22，二级高压泵9的入口连接有第二压力监测器23，二级反渗透组件10的出口连接有第二电导率仪24，EDI装置11设置有设置两个出口，一个出口连接一电阻率仪25后与纯水箱12连接，另一个出口连接有连接一电子流量开关26后接地，纯水箱12设置有第一电子液位计27，纯水输送泵13的出口连接有第三压力监测器28，清洗水箱14设置有第二电子液位计29，软水器5的出口与保安过滤器6之间还设置有一第一电磁阀34连接，二级高压泵9的出口连接有酸碱度传感器35；原水泵2、第一过滤控制器19、第二过滤控制器20、第一电磁阀34、第一压力监测器21、一级高压泵7、第一电导率仪22、第二压力监测器23、二级高压泵9、酸碱度调节器17、酸碱度传感器35、第二电导率仪24、EDI装置11、电阻率仪25、电子流量开关26、第一电子液位计27、纯水输送泵13、第三压力监测器28、紫外线杀菌器14、清洗水泵32和第二电子液位计29均电连接一触摸屏中央控制装置30。

自来水进水管1和原水泵2的入口之间设置有第一手动阀36和第一压力表37；原水泵2的出口与多介质过滤器3的入口之间由前至后依次设置有第一单向阀38和第二手动阀39；多介质过滤器3设置有两个出口，一个出口与活性炭过滤器4的入口连接，另一个出口连接一第二手动阀40后连接有第一接地槽41；活性炭过滤器4连接有第二接地槽42，软水器5连接有第三接地槽43，盐箱16连接有第四接地槽44，活性炭过滤器4的出口连接有第二压力表45，软水器5的出口连接有第三压力表46。

第一电磁阀34并联连接有一第三手动阀47，第一电磁阀34的入口与第三手动阀47的入口连接，第一电磁阀34的出口与第三手动阀47的出口连接。

保安过滤器6的入口与第一电磁阀34的出口连接有一清洗水注入管48，清洗水注入管48上靠近保安过滤器6的出口设置有第四手动阀49，一级反渗透组件8的出口连接有清洗水排出管50，清洗水排出管50上设置有第五手动阀51，清洗水注入管48的入口与清洗过滤器33的出口通过一第二十一手动阀93连接，清洗水排出管50的出口深入清洗水箱31中。

清洗过滤器33的入口与清洗水泵32的出口之间设置有第二十二手动阀94和第六单向阀95连接，清洗水泵32的入口与清洗水箱31的出口之间设置有第二十三手动阀96连接，清洗水箱31的上端连接有向下延伸的清洗溢流管97，清洗溢流管97的出口连接有第九接地槽98，清洗水箱31的下端还连接有与第九接地槽98连接的第二十四手动阀99。

一级反渗透组件8包括若干个串联连接的一级反渗透柱81，一级反渗透柱81设置有两个出口，最后一个一级反渗透柱81的一个出口与保安过滤器6的入口由一第二回水管52连接，第二回水管52上由前至后依次设置有第六手动阀53和第二单向阀54；一级高压泵7的出口与一级反渗透组件8的入口之间由前至后还依次设置有第三单向阀55、第七手动阀56和第四压力表57。

清洗水排出管50的中部还连接有一第一排水管58，第一排水管58上由前至后设置有第八手动阀59、第二电磁阀60和第五接地槽61，最后一个一级反渗透柱81的一个出口连接有与第一排水管58并联连接的第二排水管62，第二排水管62的入口与第二电磁阀60的入口连接，第二排水管62的出口与第五接地槽61连接，第二排水管62上由前至后设置有第九手动阀63和第一流量计64。

二级高压泵9的入口还连接有一第二流量计65，二级高压泵9的出口由前至后依次连接有第四单向阀66和第十手动阀67，酸碱度传感器35与第十手动阀67的出口连接；酸碱度调节器17由酸碱箱171和安装在酸碱箱171上的电动注入器172构成，酸碱箱171上还设置有第三电子液位计173，电动注入器172和第三电子液位计173与触摸屏中央控制装置30电连接。

二级反渗透组件10包括若干个串联连接的二级反渗透柱101，二级反渗透组件10的入口连接有第五压力表68，二级反渗透柱101设置有两个出口，最后一个二级反渗透柱101的一个出口由前至后依次连接有第十一手动阀69、第三流量计70和第六接地槽71，第十一手动阀69还连接有一第六压力表72，若干个二级反渗透柱101的另一个出口连接有一第四流量计73后与EDI装置11的入口连接。

EDI装置11设置有两个并联的入口和两个出口，EDI装置11的一个入口由前至后依次连接有第七压力表74和第十二手动阀75，另一个入口由前至后依次连接有第八压力表76和第十三手动阀77，EDI装置11的一个出口由前至后依次连接有第十四手动阀78、第九压力表79和第五流量计80，第五流量计80的出口与电阻率仪25连接后与纯水箱12连接，EDI装置11的另一个出口由前至后依次连接有第十四手动阀81、第九压力表82、电子流量开关26和第七接地槽83。

纯水箱12的上端连接有向下延伸的溢流管84，溢流管84的出口连接有第八接地槽85，纯水箱12的下端还连接有与第八接地槽85连接的第十五手动阀86；纯水箱12的下端还设置有与纯水输送泵13入口连接的第十六手动阀87，纯水输送泵13的出口由前至后依次连接有第五单向阀88和第十七手动阀89，纯水输送泵13、第五单向阀88和第十七手动阀89设置有并联的两组，两个第十七手动阀88的出口与第三压力监测器28连接后与紫外线杀菌器14的入口连接；紫外线杀菌器14并联连接有第十八手动阀90，紫外线杀菌器14的入口还连接有第十九手动阀91，出口还连接有第二十手动阀92，第十八手动阀90的入口与第十九手动阀91的入口连接，第十八手动阀90的出口与第二十手动阀92的出口连接后与取水装置15的入口连接。

取水装置15包括若干个并联连接在第一回水管18上的取水阀151，取水阀151连接有刷卡控制器152，刷卡控制器152用于控制按需取水，第一回水管18用于回收用不完的水；触摸屏中央控制装置30设置有一PLC控制系统100。

本发明的工作原理为：

多介质过滤器内填装粒径为0.8-1.6mm的无烟煤、粒径为0.5-0.8mm的石英砂、粒径为2-4mm的砾石，无烟煤、石英砂、砾石的质量百分比分别为38%、48%、14%；活性炭过滤器内填装质量百分比分别为17%和83%的石英砂和椰壳活性炭，石英砂作为垫层；软水器内装阳离子交换树脂用于软化水的硬度；盐箱内装氯化钠，用于软水器内阳离子交换树脂的再生；保安过滤器内部采用PP熔喷、线绕、折叠、钛滤芯等管状滤芯作为过滤元件，为一级反渗透组件提供保护；一级反渗透组件内设置有反渗透膜(RO)；紫外线杀菌器提供紫外线消毒。

在制取超纯水时，关闭CIP清洗装置、第四手动阀49和第五手动阀51，开启第一手动阀36、第一电磁阀34或第三手动阀47、第七手动阀56、第十手动阀67、第十二手动阀75、第十三手动阀77、第十四手动阀78、第十六手动阀87、第五单向阀88、第十七手动阀89、第十九手动阀91和第二十手动阀92，启动原水泵、一级高压泵、二级高压泵、纯水输送泵提供本系统的运转动力，自来水经多介质过滤器、活性炭过滤器、软水器、保安过滤器、一级反渗透组件、EDI装置和紫外线杀菌器的过滤、杀菌，盐箱和酸碱度调节器对自来水进行硬度和酸碱度调节，最后经取水阀151得到超纯水，由刷卡控制器152对取水阀151进行控制，触摸屏中央控制装置30上显示各传感器或监测器的相关水质数据，实时监控，自动化程度高。

在清洗一级反渗透组件8时，关闭制取超纯水时的相关阀门，开启第四手动阀49、第五手动阀51、第二十一手动阀93、第二十二手动阀94、第二十三手动阀96、第七手动阀56，启动清洗水泵32和一级高压泵7，清洗水箱31内的清洁水便沿清洗水泵32、清洗过滤器33、清洗水注入管48、保安过滤器6、一级高压泵7、一级反渗透组件8和清洗水箱31循环流动，完成一级反渗透组件8的清洗作业。

以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思做出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种超纯水制备系统，包括自来水进水管（1），其特征是：所述自来水进水管（1）由前至后依次通过水管串联连接有原水泵（2）、多介质过滤器（3）、活性炭过滤器（4）、软水器（5）、保安过滤器（6）、一级高压泵（7）、一级反渗透组件（8）、二级高压泵（9）、二级反渗透组件（10）、EDI装置（11）、纯水箱（12）、纯水输送泵（13）、紫外线杀菌器（14）和取水装置（15）；

所述软水器（5）连接有盐箱（16）；所述二级高压泵（9）的入口还连接有酸碱度调节器（17）；所述取水装置（15）设置有与所述纯水箱（12）连接的第一回水管（18）；

所述保安过滤器（6）的入口和所述一级反渗透组件（8）的出口之间还并联连接有CIP清洗装置，所述CIP清洗装置包括依次通过水管串联连接的清洗水箱（31）、清洗水泵（32）和清洗过滤器（33），所述清洗水箱（31）的入口与所述一级反渗透组件（8）的出口连接，所述清洗过滤器（33）的出口与所述保安过滤器（6）的入口连接。

2.如权利要求1所述的超纯水制备系统，其特征是：所述多介质过滤器（3）设置有第一过滤控制器（19），所述活性炭过滤器（4）设置有第二过滤控制器（20），所述保安过滤器（6）的出口与所述一级高压泵（7）的入口之间并联有一第一压力监测器（21），所述一级反渗透组件（8）的出口连接有第一电导率仪（22），所述二级高压泵（9）的入口连接有第二压力监测器（23），所述二级反渗透组件（10）的出口连接有第二电导率仪（24），所述EDI装置（11）设置有设置两个出口，一个出口连接一电阻率仪（25）后与所述纯水箱（12）连接，另一个出口连接有连接一电子流量开关（26）后接地，所述纯水箱（12）设置有第一电子液位计（27），所述纯水输送泵（13）的出口连接有第三压力监测器（28），所述清洗水箱（14）设置有第二电子液位计（29），所述软水器（5）的出口与所述保安过滤器（6）之间还设置有一第一电磁阀（34）连接，所述二级高压泵（9）的出口连接有酸碱度传感器（35）；所述原水泵（2）、第一过滤控制器（19）、第二过滤控制器（20）、第一电磁阀（34）、第一压力监测器（21）、一级高压泵（7）、第一电导率仪（22）、第二压力监测器（23）、二级高压泵（9）、酸碱度调节器（17）、酸碱度传感器（35）、第二电导率仪（24）、EDI装置（11）、电阻率仪（25）、电子流量开关（26）、第一电子液位计（27）、纯水输送泵（13）、第三压力监测器（28）、紫外线杀菌器（14）、清洗水泵（32）和第二电子液位计（29）均电连接一触摸屏中央控制装置（30）。

3.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述自来水进水管（1）和所述原水泵（2）的入口之间设置有第一手动阀（36）和第一压力表（37）；

所述原水泵（2）的出口与所述多介质过滤器（3）的入口之间由前至后依次设置有第一单向阀（38）和第二手动阀（39）；

所述多介质过滤器（3）设置有两个出口，一个出口与所述活性炭过滤器（4）的入口连接，另一个出口连接一第二手动阀（40）后连接有第一接地槽（41）；

所述活性炭过滤器（4）连接有第二接地槽（42），所述软水器（5）连接有第三接地槽（43），所述盐箱（16）连接有第四接地槽（44），所述活性炭过滤器（4）的出口连接有第二压力表（45），所述软水器（5）的出口连接有第三压力表（46）。

4.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述第一电磁阀（34）并联连接有一第三手动阀（47），所述第一电磁阀（34）的入口与所述第三手动阀（47）的入口连接，所述第一电磁阀（34）的出口与所述第三手动阀（47）的出口连接；

所述保安过滤器（6）的入口与所述第一电磁阀（34）的出口连接有一清洗水注入管（48），所述清洗水注入管（48）上靠近所述保安过滤器（6）的出口设置有第四手动阀（49），所述一级反渗透组件（8）的出口连接有清洗水排出管（50），所述清洗水排出管（50）上设置有第五手动阀（51），所述清洗水注入管（48）的入口与所述清洗过滤器（33）的出口通过一第二十一手动阀（93）连接，所述清洗水排出管（50）的出口深入所述清洗水箱（31）中；

所述清洗过滤器（33）的入口与所述清洗水泵（32）的出口之间设置有第二十二手动阀（94）和第六单向阀（95）连接，所述清洗水泵（32）的入口与所述清洗水箱（31）的出口之间设置有第二十三手动阀（96）连接，所述清洗水箱（31）的上端连接有向下延伸的清洗溢流管（97），所述清洗溢流管（97）的出口连接有第九接地槽（98），所述清洗水箱（31）的下端还连接有与所述第九接地槽（98）连接的第二十四手动阀（99）。

5.如权利要求4所述的超纯水制备系统，其特征是：所述一级反渗透组件（8）包括若干个串联连接的一级反渗透柱（81），所述一级反渗透柱（81）设置有两个出口，最后一个所述一级反渗透柱（81）的一个出口与所述保安过滤器（6）的入口由一第二回水管（52）连接，所述第二回水管（52）上由前至后依次设置有第六手动阀（53）和第二单向阀（54）；所述一级高压泵（7）的出口与所述一级反渗透组件（8）的入口之间由前至后还依次设置有第三单向阀（55）、第七手动阀（56）和第四压力表（57）；

所述清洗水排出管（50）的中部还连接有一第一排水管（58），所述第一排水管（58）上由前至后设置有第八手动阀（59）、第二电磁阀（60）和第五接地槽（61），最后一个所述一级反渗透柱（81）的一个出口连接有与所述第一排水管（58）并联连接的第二排水管（62），所述第二排水管（62）的入口与所述第二电磁阀（60）的入口连接，所述第二排水管（62）的出口与所述第五接地槽（61）连接，所述第二排水管（62）上由前至后设置有第九手动阀（63）和第一流量计（64）。

6.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述二级高压泵（9）的入口还连接有一第二流量计（65），所述二级高压泵（9）的出口由前至后依次连接有第四单向阀（66）和第十手动阀（67），所述酸碱度传感器（35）与所述第十手动阀（67）的出口连接；所述酸碱度调节器（17）由酸碱箱（171）和安装在所述酸碱箱（171）上的电动注入器（172）构成，所述酸碱箱（171）上还设置有第三电子液位计（173），所述电动注入器（172）和第三电子液位计（173）与所述触摸屏中央控制装置（30）电连接。

7.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述二级反渗透组件（10）包括若干个串联连接的二级反渗透柱（101），所述二级反渗透组件（10）的入口连接有第五压力表（68），所述二级反渗透柱（101）设置有两个出口，最后一个所述二级反渗透柱（101）的一个出口由前至后依次连接有第十一手动阀（69）、第三流量计（70）和第六接地槽（71），所述第十一手动阀（69）还连接有一第六压力表（72），若干个所述二级反渗透柱（101）的另一个出口连接有一第四流量计（73）后与所述EDI装置（11）的入口连接。

8.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述EDI装置（11）设置有两个并联的入口和两个出口，所述EDI装置（11）的一个入口由前至后依次连接有第七压力表（74）和所述第十二手动阀（75），另一个入口由前至后依次连接有第八压力表（76）和所述第十三手动阀（77），所述EDI装置（11）的一个出口由前至后依次连接有第十四手动阀（78）、第九压力表（79）和第五流量计（80），所述第五流量计（80）的出口与所述电阻率仪（25）连接后与所述纯水箱（12）连接，所述EDI装置（11）的另一个出口由前至后依次连接有第十四手动阀（81）、第九压力表（82）、电子流量开关（26）和第七接地槽（83）。

9.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述纯水箱（12）的上端连接有向下延伸的溢流管（84），所述溢流管（84）的出口连接有第八接地槽（85），所述纯水箱（12）的下端还连接有与所述第八接地槽（85）连接的第十五手动阀（86）；

所述纯水箱（12）的下端还设置有与所述纯水输送泵（13）入口连接的第十六手动阀（87），所述纯水输送泵（13）的出口由前至后依次连接有第五单向阀（88）和第十七手动阀（89），所述纯水输送泵（13）、第五单向阀（88）和第十七手动阀（89）设置有并联的两组，两个所述第十七手动阀（88）的出口与所述第三压力监测器（28）连接后与所述紫外线杀菌器（14）的入口连接；所述紫外线杀菌器（14）并联连接有第十八手动阀（90），所述紫外线杀菌器（14）的入口还连接有第十九手动阀（91），出口还连接有第二十手动阀（92），所述第十八手动阀（90）的入口与所述第十九手动阀（91）的入口连接，所述第十八手动阀（90）的出口与所述第二十手动阀（92）的出口连接后与所述取水装置（15）的入口连接。

10.如权利要求2所述的超纯水制备系统，其特征是：所述取水装置（15）包括若干个并联连接在所述第一回水管（18）上的取水阀（151），所述取水阀（151）连接有刷卡控制器（152）；所述触摸屏中央控制装置（30）设置有一PLC控制系统（100）。