CN110488481A - 一种显微镜对焦方法、显微镜及相关设备 - Google Patents
一种显微镜对焦方法、显微镜及相关设备 Download PDFInfo
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Abstract
本申请实施例公开了一种显微镜对焦方法、显微镜及相关设备，方法包括：获取镜头获取的初始图像；对初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；利用清晰度评价函数对第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一感兴趣区域的第一清晰图像；将第一清晰图像与第一背景进行拼接。上述方法通过划分目标物体的区域，然后单独对区域中的物体通过清晰度评价进行对焦，其中的目标物体是装置中的小零件，获得目标物体的清晰图像，然后再将清晰的图像和背景拼接，解决自动对焦图像中的由于装置主体和零件不在同一平面导致零件模糊的问题，以便于能够对零件的缺陷进行准确的判断。
Description
技术领域
本申请涉及显微镜对焦技术领域，尤其涉及一种显微镜对焦方法、显微镜及相关设备。
背景技术
随着芯片制造业的发展，人们对芯片封装的缺陷检测要求越来越高，芯片在封装前后均需要进行检测。目前对芯片进行检测的装置在检测过程中要自动对焦，然而市场上的芯片，其芯片主体的面积比较大，金线的面积比较小，同时金线的排布还有高低之分。然而现有技术中，首先将显微镜获得的图像用清晰度评价函数进行评价，然后利用爬山算法搜索，获得清晰度函数评价最优位置，再自动调节控制对焦的驱动电机实现自动对焦。然而清晰度函数评价最优位置的通常是使得图像大部分清晰的位置，因此会以芯片主体为基准进行对焦，导致金线是模糊的，无法对金线的缺陷进行准确的判断。
发明内容
本申请实施例提供了一种显微镜对焦方法、显微镜及相关设备，解决自动对焦图像中的由于装置主体和零件不在同一平面导致零件模糊的问题。
有鉴于此，本申请第一方面提供了一种显微镜对焦方法，所述方法包括：
获取镜头获取的初始图像；
对所述初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；
利用清晰度评价函数对所述第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第一感兴趣区域的第一清晰图像；
将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接。
优选地，所述将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接之前，还包括：
利用清晰度评价函数对所述第一背景进行清晰度评价；
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一清晰背景；
所述将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接具体为：
将所述第一清晰图像与所述第一清晰背景进行拼接。
优选地，所述将所述第一清晰图像与所述背景进行拼接之后，还包括：
对所述第一清晰图像进行边缘检测，得到第二目标物体的第二感兴趣区域和第二背景；
利用清晰度评价函数对所述第二感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第二感兴趣区域的第二清晰图像；
将所述第二清晰图像与所述第二背景进行拼接。
优选地，所述根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第一感兴趣区域的第一清晰图像包括：
获取自动对焦过程中所述第一感兴趣区域中的M帧图像，所述M为大于或等于2的整数；
获取所述M帧图像清晰度；
计算所述M帧图像清晰度数值；
对比所述M帧图像清晰度数值；
获取所述M帧图像清晰度数值的极大值；
确定极大值所在图像帧，其中所述图像帧为M帧图像之一；
获取所述图像帧作为第一清晰图像。
本申请第二方面提供了一种显微镜，包括：
镜头，用于获取初始图像；
边缘检测单元，用于对所述初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；
评价单元，用于利用清晰度评价函数对所述第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
对焦单元，用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第一感兴趣区域的第一清晰图像；
拼接单元，用于将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接。
优选地，所述评价单元，还用于利用清晰度评价函数对所述第一背景进行清晰度评价；
所述对焦单元，还用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一清晰背景；
所述拼接单元，还用于将所述第一清晰图像与所述第一清晰背景进行拼接。
优选地，所述边缘检测单元，还用于对所述第一清晰图像进行边缘检测，得到第二目标物体的第二感兴趣区域和第二背景；
所述评价单元，还用于利用清晰度评价函数对所述第二感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
所述对焦单元，还用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第二感兴趣区域的第二清晰图像；
所述拼接单元，还用于将所述第二清晰图像与所述第二背景进行拼接。
优选地，所述对焦单元包括：
第一获取单元，用于获取自动对焦过程中所述第一感兴趣区域中的M帧图像，所述M为大于或等于2的整数；
第二获取单元，用于获取所述M帧图像清晰度；
计算单元，用于计算所述M帧图像清晰度数值；
对比单元，用于对比所述M帧图像清晰度数值；
第三获取单元，用于获取所述M帧图像清晰度数值的极大值；
确定单元，用于确定极大值所在图像帧，其中所述图像帧为M帧图像之一；
第四获取单元，用于获取所述图像帧作为第一清晰图像。
本申请第三方面提供一种显微镜对焦设备，所述设备包括处理器以及存储器：
所述存储器用于存储程序代码，并将所述程序代码传输给所述处理器；
所述处理器用于用于根据所述程序代码中的指令，执行如上述第一方面所述的显微镜对焦方法。
本申请第四方面提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质用于存储程序代码，所述程序代码用于执行上述第一方面所述的显微镜对焦方法。
从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：
本申请实施例中，提供了一种显微镜对焦方法，包括：获取镜头获取的初始图像；对初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；利用清晰度评价函数对第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一感兴趣区域的第一清晰图像；将第一清晰图像与第一背景进行拼接。
上述方法通过划分目标物体的区域，然后单独对区域中的物体通过清晰度评价进行对焦，其中的目标物体是装置中的小零件，获得目标物体的清晰图像，然后再将清晰的图像和背景拼接，解决自动对焦图像中的由于装置主体和零件不在同一平面导致零件模糊的问题，以便于能够对零件的缺陷进行准确的判断。
附图说明
图1为本申请实施例中一种显微镜对焦方法的方法流程图；
图2为本申请实施例中爬山搜索法的示意图；
图3为本申请实施例所提供的显微镜的组成单元示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请第一方面提供了一种显微镜对焦方法，请参阅图1，图1为本申请实施例中一种显微镜对焦方法的方法流程图，包括：
101、获取镜头获取的初始图像。
首先是图像的获取，需要获取镜头获取的初始图像，初始图像实际上就是显微镜的视场，包括背景和目标物体。
102、对初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景。
以背景技术中提到的芯片检测为例，由于金线、芯片、背景之间均有明显的差异，通过现有技术中的边缘检测可以很容易检测到其边缘，例如利用canny等边缘检测的算子检测到金线的边缘。当检测边缘之后，边缘框出的区域则是感兴趣区域，而感兴趣区域以外的则为背景。感兴趣区域可以为矩形、圆、椭圆、不规则多边形等任意形状。
103、利用清晰度评价函数对第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价。
在确定了感兴趣区域后，运行清晰度评价函数对感兴趣区域中的图像进行评价。
清晰度评价函数有：
1)绝对方差函数：
F1＝∑∑|g(x,y)-g(x+1,y)|；
该评价函数方法只选取了水平方向相邻的两个像素的灰度值之差作为图像灰度变化的判断依据，是目前最简单的清晰度评价函数。其中g(x,y)是第一个像素的坐标，g(x+1,y)是后一个像素的坐标。
2)梯度向量模方函数：
该函数利用了X和y两个方向上梯度变化大小作为图像清晰度的判断依据，由于相邻两个像素点受环境的干扰相对一致，所以将相邻两个像素点的灰度值相减能抑制部分噪声，相比于绝对方差函数可以进一步增大函数清晰度比率。其中，M和N分别是水平方向和竖直方向上的像素个数。
104、根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一感兴趣区域的第一清晰图像。
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，清晰度评价函数对焦。
第一种获取清晰图像的方法为：首先获取自动对焦过程中感兴趣区域中的M帧图像，所述M为大于或等于2的整数；然后根据搜索策略获取M帧图像中一帧图像的清晰度，并根据获取的清晰度计算得到一个清晰度数值，接着继续根据搜索策略获取M帧图像中的其他帧图像的清晰度，并对其进行计算，并重复获取并计算得到M个清晰度的数值，将数值连接起来得到一条连续不间断的折线，曲线的最高点(极值)处也就是清晰度数值为极值，从而可以得出感兴趣区域的对焦图像处于清晰度数值为极值的帧图像处，并由此完成了对焦。
另一种获取清晰图像的方法为爬山搜索法：由于越靠近焦点的位置图像越清晰，拍摄一张图片1，计算清晰度1。电动机驱动镜头前进一定步长，再拍摄一张图片2，计算清晰度2，比较两张图像清晰度，如果清晰度2大于清晰度1，说明图像2比图像去更清晰，焦点位置在前面，则镜头继续前进。反之则后退。如此下去，当前面的清晰度，如图2，达到4的位置，位置4清晰度位置3的时候小，说明位置3的清晰度更好，则镜头不要再前进了，而是要后退。并且缩短步长，进一步搜索。如此反复直到步长小于一定值时结束，得到清晰图像。
105、将第一清晰图像与第一背景进行拼接。
获得了目标物体的清晰图像之后将清晰图像与背景图像拼接，则得到了对焦后的完整图像。
本申请实施例所提供的显微镜对焦方法，包括：获取镜头获取的初始图像；对初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；利用清晰度评价函数对第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一感兴趣区域的第一清晰图像；将第一清晰图像与第一背景进行拼接。上述方法通过划分目标物体的区域，然后单独对区域中的物体通过清晰度评价进行对焦，其中的目标物体是装置中的小零件，获得目标物体的清晰图像，然后再将清晰的图像和背景拼接，解决自动对焦图像中的由于装置主体和零件不在同一平面导致零件模糊的问题，以便于能够对零件的缺陷进行准确的判断。
本申请第二实施例提供了一种显微镜对焦方法，包括：
201、获取镜头获取的初始图像。
202、对初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景。
本申请实施例针对初始图像中多个目标处于不同焦点的前提下，对多目标物体分别进行逐个对焦，使得每一个目标都清晰。因此，先将第一目标物体与第一背景区分开。以背景技术中的芯片检测为例，第一目标物体为芯片的金线，第一背景为除金线以外的区域。
203、利用清晰度评价函数对第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价。
利用清晰度评价函数对金线所在区域的图像进行清晰度评价。
204、根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一感兴趣区域的第一清晰图像。
经过对焦之后，得到金线的清晰图像。
205、利用清晰度评价函数对第一背景进行清晰度评价。
第一背景包括了芯片主体和实际背景。
206、根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一清晰背景；
需要说明的是，由于芯片主体的面积比较大，因此清晰度函数评价最优位置通常是使得图像大部分清晰的位置，因此会以芯片主体为基准进行对焦。对焦完成的第一清晰背景中芯片主体为清晰的。
207、将第一清晰图像与第一清晰背景进行拼接。
将清晰的金线和清晰的芯片主体的图像进行拼接，得到了最终图像，最终图像里的芯片整个都是清晰的，实现了对金线的缺陷进行准确判断的目的。
208、对第一清晰图像进行边缘检测，得到第二目标物体的第二感兴趣区域和第二背景。
进一步的，由于金线的排布可能有高低之分，因此第一清晰图像中的进行可能只对一个焦距的金线进行了对焦，还存在其他焦距的金线，在景深小的情况下，这个位置清晰了，另外一个位置就模糊了。将其他焦距的金线定为第二金线，对第一清晰图像进行边缘检测，得到第二金线所在的第二感兴趣区域，第二感兴趣区域以外的清晰金线作为第二背景。缩小感兴趣区域的方式也有两种，一种是缩放式缩小感兴趣区域；另外一种是间隔式缩小感兴趣区域，将大区域分成均匀的小区域。
209、利用清晰度评价函数对第二感兴趣区域中的图像进行清晰度评价。
利用清晰度评价函数对第二金线所在区域进行清晰度评价。
210、根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第二感兴趣区域的第二清晰图像。
本步骤的处理方式与上述步骤204中类似，将对第二金线进行对焦，得到清晰的第二金线。
211、将第二清晰图像与第二背景进行拼接。
将清晰第二金线与已经过对焦的清晰金线拼接，得到完整的清楚的原貌。当然，此处仅仅是对存在两个焦距的金线的情况进行了说明，如果还存在不清楚的金线，反复上述步骤，能够实现将金线全部位置对焦清楚。
本实施例仅仅是应用了芯片领域的一个例子，另外也可以将通到对不同位置的对焦得到不同位置清晰图像的方法应用于其他方面。
上述实施例所提供的显微镜对焦方法，在第一实施例的基础上，能够对不同焦距的零件进行分别对焦，得到清晰的整个图像，以便于对装置各个零件的缺陷均能进行准确的判断。利用图像检测的手段检测出感兴趣的区域，在计算评价函数的过程中减少了计算量，同时避免了全局计算清晰度评价函数而对焦的清晰部分不是想要的部分。此外，本方法可以通过自动对焦可以得到物体不同焦距的清晰图片，进而拼接起来，可应用于其他2.5维的建模数据。
本申请第二方面提供了一种显微镜，请参阅图3，图3为本申请实施例所提供的显微镜的组成单元示意图，包括：
镜头301，用于获取初始图像；
边缘检测单元302，用于对初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；
评价单元303，用于利用清晰度评价函数对第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
对焦单元304，用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一感兴趣区域的第一清晰图像；
拼接单元305，用于将第一清晰图像与第一背景进行拼接。
优选地，评价单元303，还用于利用清晰度评价函数对第一背景进行清晰度评价；
对焦单元304，还用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一清晰背景；
拼接单元305，还用于将第一清晰图像与第一清晰背景进行拼接。
优选地，边缘检测单元302，还用于对第一清晰图像进行边缘检测，得到第二目标物体的第二感兴趣区域和第二背景；
评价单元305，还用于利用清晰度评价函数对第二感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
对焦单元304，还用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第二感兴趣区域的第二清晰图像；
拼接单元305，还用于将第二清晰图像与第二背景进行拼接。
优选地，对焦单元304包括：
第一获取单元3041，用于获取自动对焦过程中第一感兴趣区域中的M帧图像，M为大于或等于2的整数；
第二获取单元3042，用于获取M帧图像清晰度；
计算单元3043，用于计算M帧图像清晰度数值；
对比单元3044，用于对比M帧图像清晰度数值；
第三获取单元3045，用于获取M帧图像清晰度数值的极大值；
确定单元3046，用于确定极大值所在图像帧，其中图像帧为M帧图像之一；
第四获取单元3047，用于获取图像帧作为第一清晰图像。
本申请第三方面提供一种显微镜对焦设备，设备包括处理器以及存储器：
存储器用于存储程序代码，并将程序代码传输给处理器；
处理器用于用于根据程序代码中的指令，执行如上述第一方面的显微镜对焦方法。
本申请第四方面提供一种计算机可读存储介质，其特征在于，计算机可读存储介质用于存储程序代码，程序代码用于执行上述第一方面的显微镜对焦方法。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
本申请的说明书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例例如能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
应当理解，在本申请中，“至少一个(项)”是指一个或者多个，“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，用于描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，“A和/或B”可以表示：只存在A，只存在B以及同时存在A和B三种情况，其中A，B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。“以下至少一项(个)”或其类似表达，是指这些项中的任意组合，包括单项(个)或复数项(个)的任意组合。例如，a，b或c中的至少一项(个)，可以表示：a，b，c，“a和b”，“a和c”，“b和c”，或“a和b和c”，其中a，b，c可以是单个，也可以是多个。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统，装置和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。
集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(英文全称：Read-Only Memory，英文缩写：ROM)、随机存取存储器(英文全称：Random Access Memory，英文缩写：RAM)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上，以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种显微镜对焦方法，其特征在于，包括：
获取镜头获取的初始图像；
对所述初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；
利用清晰度评价函数对所述第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第一感兴趣区域的第一清晰图像；
将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接。
2.根据权利要求1所述的显微镜对焦方法，其特征在于，所述将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接之前，还包括：
利用清晰度评价函数对所述第一背景进行清晰度评价；
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一清晰背景；
所述将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接具体为：
将所述第一清晰图像与所述第一清晰背景进行拼接。
3.根据权利要求1所述的显微镜对焦方法，其特征在于，所述将所述第一清晰图像与所述背景进行拼接之后，还包括：
对所述第一清晰图像进行边缘检测，得到第二目标物体的第二感兴趣区域和第二背景；
利用清晰度评价函数对所述第二感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第二感兴趣区域的第二清晰图像；
将所述第二清晰图像与所述第二背景进行拼接。
4.根据权利要求1所述的显微镜对焦方法，其特征在于，所述根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第一感兴趣区域的第一清晰图像包括：
获取自动对焦过程中所述第一感兴趣区域中的M帧图像，所述M为大于或等于2的整数；
获取所述M帧图像清晰度；
计算所述M帧图像清晰度数值；
对比所述M帧图像清晰度数值；
获取所述M帧图像清晰度数值的极大值；
确定极大值所在图像帧，其中所述图像帧为M帧图像之一；
获取所述图像帧作为第一清晰图像。
5.一种显微镜，其特征在于，包括：
镜头，用于获取初始图像；
边缘检测单元，用于对所述初始图像进行边缘检测，得到第一目标物体的第一感兴趣区域和第一背景；
评价单元，用于利用清晰度评价函数对所述第一感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
对焦单元，用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第一感兴趣区域的第一清晰图像；
拼接单元，用于将所述第一清晰图像与所述第一背景进行拼接。
6.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，
所述评价单元，还用于利用清晰度评价函数对所述第一背景进行清晰度评价；
所述对焦单元，还用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的第一清晰背景；
所述拼接单元，还用于将所述第一清晰图像与所述第一清晰背景进行拼接。
7.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，
所述边缘检测单元，还用于对所述第一清晰图像进行边缘检测，得到第二目标物体的第二感兴趣区域和第二背景；
所述评价单元，还用于利用清晰度评价函数对所述第二感兴趣区域中的图像进行清晰度评价；
所述对焦单元，还用于根据清晰度评价调整显微镜的焦距，获取对焦完成的所述第二感兴趣区域的第二清晰图像；
所述拼接单元，还用于将所述第二清晰图像与所述第二背景进行拼接。
8.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，所述对焦单元包括：
第一获取单元，用于获取自动对焦过程中所述第一感兴趣区域中的M帧图像，所述M为大于或等于2的整数；
第二获取单元，用于获取所述M帧图像清晰度；
计算单元，用于计算所述M帧图像清晰度数值；
对比单元，用于对比所述M帧图像清晰度数值；
第三获取单元，用于获取所述M帧图像清晰度数值的极大值；
确定单元，用于确定极大值所在图像帧，其中所述图像帧为M帧图像之一；
第四获取单元，用于获取所述图像帧作为第一清晰图像。
9.一种显微镜对焦设备，其特征在于，所述设备包括处理器以及存储器：
所述存储器用于存储程序代码，并将所述程序代码传输给所述处理器；
所述处理器用于用于根据所述程序代码中的指令执行权利要求1-4任一项所述的显微镜对焦方法。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质用于存储程序代码，所述程序代码用于执行权利要求1-4任一项所述的显微镜对焦方法。
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