CN110459947A - 一种高精度平凹激光腔单光路对准装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高精度平凹激光腔单光路对准装置及方法，属于固体激光器激光腔调节领域；将负光焦度镜组内嵌至谐振腔腔内的凹面腔镜对准光路上，使凹面腔镜和平面腔镜一样，在对准时折返回平行光，该平行光在准直物镜焦面处得到对准标记物的清晰像，通过终端放大装置实现与对准面中心的高精度对准，从而实现谐振腔的高精度对准，针对不同曲率半径R的凹面腔镜，调整负光焦度镜组焦距f′以及负光焦度镜组与凹面腔镜的间距d，只要使得负光焦度镜组焦点与凹面腔镜球心重合即可使凹面腔镜对准光路产生平行的折返光，该发明的对准精度不会因为激光腔的凹面腔镜半径不同而下降。

Description

一种高精度平凹激光腔单光路对准装置及方法

技术领域

本发明涉及固体激光器激光腔调节的技术领域，特别是涉及一种高精度平凹激光腔单光路对准装置及方法。

背景技术

固体激光器在民用、军事、加工、医疗和科学研究领域有着广泛用途。它常用于舞台灯光、测距、相干测量、打孔、切割和焊接、大气检测、光谱研究、外科和眼科手术等方面。固体激光技术在我国发展极为迅速,尤其在中小功率固体激光技术上,产业化道路已很成熟。但产线上固体激光器的制作流程大多依然遵循传统的单线模式，有严格的先后流程。通常在启动泵浦源的基础上再通过人工调试谐振腔。谐振腔的对准技术能在泵浦源缺位的情况下对准谐振腔，实现腔体模块与泵浦源模块分离。固体激光器的模块化设计能优化其产线组织形式，提高生产效率。同时，也能提高产品的互换性。

平凹谐振腔是固体激光器中常用的基本腔型。由于平面腔镜和凹面腔镜具有不同的屈光特征，对于同一对准光，经凹面和平面腔镜反射后，经过一定的传输距离，会产生大小不一的对准斑，使得谐振腔整体对准精度下降。光学精密工程第14卷第5期提供了“一种基于高斯光束的平凹激光腔对准方法”，通过在准直的高斯光束后加一透镜系统,调整准直高斯光束到一种非准直的状态，使由凹面腔镜和平面腔镜反射回来的光斑直径大小相仿，从而易于实现对准。

该现有技术在凹面腔镜曲率半径R＝50mm，平凹腔到对准屏间距L＝889mm时，基于优选的对准光路在对准屏上获得了来自于平、凹腔镜的直径分别为5.1mm、4.8mm的两个对准斑。设定两光斑与对准屏中心标记的对准误差δ＝0.8mm，获得了3.18′的腔镜对准精度。

该方法实质是牺牲了平面腔镜的对准精度来平衡两腔镜对准精度。可以预见，随着凹面腔镜曲率半径的减小，由于平、凹腔镜的屈光差异进一步增大，其平衡的难度会增大，对准精度会恶化。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种高精度平凹激光腔单光路对准装置及方法，相较现有技术，拥有更高的对准精度，对不同凹面半径的平凹谐振对准精度稳定，不下降。

本发明采用如下技术方案：一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，包括光源、对准标记物、立方分光棱镜、准直物镜、负光焦度镜组、对准终端和对准装置框架；

所述对准标记物和所述立方分光棱镜依次处于所述光源前方光路上；

所述立方分光棱镜将所述光源光路转折90°；

所述准直物镜和所述负光焦度镜组依次处于所述立方分光棱镜转折后的光路上，所述准直物镜所处位置使其可将所述对准标记物处发出的光准直出射；

所述对准终端相对于所述准直物镜处于所述立方分光棱镜的另一侧，处于接收所述对准标记物(2)像的位置；

所述光源、所述对准标记物、所述立方分光棱镜、所述准直物镜、所述负光焦度镜组和所述对准终端通过所述对准装置框架固定装配；

所述负光焦度镜组通过所述对准装置框架单侧连接所述准直物镜，使所述负光焦度镜组和所述准直物镜之间留有间隙。

优选地，所述光源为发光光谱处于凹面腔镜和平面腔镜反射带谱段内且与所述对准终端灵敏谱段匹配的LED光源。

优选地，所述对准标记物为中央刻有十字形缝隙的透光屏。

优选地，所述立方分光棱镜对所述光源的波长半反半透分光。

优选地，所述负光焦度镜组和所述准直物镜为单片负透镜，所述负光焦度镜组焦距小于所述凹面腔镜的曲率半径；

关于所述负光焦度镜组焦距小于所述凹面腔镜的曲率半径的说明：根据共轴球面腔的稳定条件，空腔时，平凹谐振腔的稳定条件要求腔长小于凹面腔镜半径；考虑到实际谐振腔中有折射率大于1的激活介质，实际的稳腔腔长比空腔时短，所以，稳腔的凹面腔镜球心必定在腔外。负光焦度镜组内嵌在腔体内，其焦点要求和凹面腔镜球心重合，则其焦距必小于凹面腔镜的曲率半径。

优选地，所述对准终端为如下三种形式之一：

1】所述对准终端包括对准面和目镜组，用于接收所述对准标记物像的所述对准面为处于所述目镜组焦面处的分划板平面，所述目镜组将所述对准面上的所述对准标记物像进行放大供人眼观看；

2】所述对准终端包括所述对准面、视频数据线、摄像头和监视器，用于接收所述对准标记物像的所述对准面为安装在所述摄像头内的电荷耦合器件(CCD)或互补金属氧化物半导体(CMOS)成像器件，所述摄像头和所述监视器通过所述视频数据线相连，所述监视器将所述对准面上的所述对准标记物像进行放大显示；

3】所述对准终端包括所述对准面、视频数据线、所述摄像头和计算机，用于接收所述对准标记物像的所述对准面为安装在所述摄像头内的电荷耦合器件(CCD)或互补金属氧化物半导体(CMOS)成像器件，所述摄像头和所述计算机通过所述视频数据线相连，所述计算机将所述对准面上的所述对准标记物像进行放大显示。

优选地，所述对准面在同光路光轴交点处设置有中心对准标记。

优选地，所述负光焦度镜组和所述准直物镜之间留有的间隙可供所述平面腔镜及平面腔镜调节装置嵌入。

一种高精度平凹激光腔单光路对准装置的对准方法，包括以下步骤：

1】点亮所述光源：用所述光源照明所述对准标记物，由所述对准标记物发出的光经所述立方分光棱镜转折，再经所述准直物镜后平行出射形成平行的对准光束，再经所述负光焦度镜组后形成发散的对准光束；

2】安装谐振腔定位装置：将与待对准平凹谐振腔其它参数一样，仅所述平面腔镜对所述光源波长反射率减半的标准平凹谐振腔模块安装在所述谐振腔定位装置上，反复调校所述谐振腔定位装置相对对准装置位置，使得凹面腔镜球心与负光焦度镜组焦点重合，使得由所述凹面腔镜和所述平面腔镜在所述对准面上生成的所述对准标记物的像均与其中心标记重合，固定所述谐振腔定位装置相对对准装置位置，卸下标准平凹谐振腔；

3】安装待对准平凹谐振腔支架：将谐振腔连接件连带固定在其上的凹面腔镜调节装置和所述平面腔镜调节装置安装在所述谐振腔定位装置上；

4】安装所述凹面腔镜：将所述凹面腔镜以腔镜面朝向所述负光焦度镜组的方式中心垂直于对准光路安装在所述凹面腔镜调节装置上，使所述凹面腔镜球心与所述负光焦度镜组焦点重合；

5】调试所述凹面腔镜：经所述凹面腔镜反射的对准光通过所述负光焦度镜组、所述准直物镜和所述立方分光棱镜后在所述对准终端内的所述对准面上形成所述对准标记物的像，该像与所述对准面中心标记的间距被所述目镜组、所述监视器或所述计算机放大，调节所述凹面腔镜调节装置，使得所述对准标记物的像与所述对准面中心标记重合；

6】安装所述平面腔镜：将所述平面腔镜以腔镜面背对所述准直物镜的方式中心垂直于对准光路安装在所述平面腔镜调节装置上；

7】调试所述平面腔镜：经所述平面腔镜反射的对准光通过所述准直物镜和所述立方分光棱镜后在所述对准终端内的所述对准面上形成所述对准标记物的像，该像与所述对准面中心标记的间距被所述目镜组、所述监视器或所述计算机放大，调节所述平面腔镜调节装置，使得所述对准标记物的像与所述对准面中心标记重合；

8】形成标准谐振腔模块：所述谐振腔连接件连带固定在其上的所述凹面腔镜调节装置、所述平面腔镜调节装置、所述凹面腔镜和所述平面腔镜形成标准谐振腔模块，从所述谐振腔定位装置中取下该标准谐振腔模块；

9】批量对准：反复重复步骤3】-8】，形成更多的标准谐振腔模块。

与现有技术相比，本发明具有的优点：

1】拥有更高的对准精度。针对凹面腔镜和平面腔镜具有不同的屈光特征，本发明将对准装置中的负光焦度镜组内嵌至谐振腔腔内，不影响用于平面腔镜对准的平行光束，只修正同光路上凹面腔镜的对准光束，使由凹面腔镜折返的对准光束与由平面腔镜折返的对准光束一样同为平行光。这两路平行光各携带有对应腔镜的倾斜角度信息，通过准直物镜后在位于其焦面上的对准面上形成对准标记物的清晰像。该清晰像与对准面中心标记对准精度高。设对准标记像与对准面中心标记的对准误差为δ，则单一腔镜的对准误差为δ/(2F′)rad。其中F′为准直物镜焦距。

针对对准终端的3种形式。对准精度计算过程如下：

第一种形式为目视对准终端，对准终端的对准面即为目镜组焦面处的分划板，分划板上的中心标记以及对准标记像经过目镜放大后供人眼观看。人眼的极限分辨角约为1′，如果使用目镜的倍数为10倍，那么通过目镜放大后，人眼的分辨角能到达6″，即在明视距离250mm处恰好能分辨间隔约0.0073mm的两个点，此即为对准误差δ，如果取F′＝300mm，则单一腔镜对准精度可达2.5″，谐振腔的对准精度为单一腔镜的两倍，即5″。

第二种形式为摄像头-监视器对准终端。对准终端的对准面即为摄像头的摄像元件CCD或是CMOS成像器件，通过视频数据线将电视信号传送给监视器。极限分辨率约为1′的人眼刚好能分辨明视距离处的监视器屏幕上间距0.073mm的两个点，设显示器屏幕尺寸对摄像元件放大了20倍，则人眼刚好能分辨对准平面上间隔0.00365mm的两个点，此即为对准误差δ，如果取F’＝300mm，则单一腔镜对准精度可达1.25″,谐振腔的对准精度为单一腔镜的两倍，即2.5″。

第三种形式为摄像头-数据采集卡-计算机对准终端。对准终端的对准面即为摄像头的摄像元件CCD或是CMOS成像器件，通过视频数据线及图像采集卡将模拟视频信号传送给计算机。该形式的单一腔镜对准精度和第二种形式相仿。如果取F′＝300mm，则谐振腔的对准精度为2.5″。

相较现有技术单面腔镜3.18′的对准精度，该发明的对准精度提高了几十倍。随着F′的增大，对准优势会进一步增加。

2】对不同凹面半径的平凹谐振腔对准精度稳定，不下降。

现有技术通过破坏高斯光束准直性，牺牲平面镜的对准精度来平衡凹面镜的对准精度。当平、凹面腔镜屈光特性差异增大，即凹面腔镜半径减小，平衡难度会增大，激光腔对准精度会下降。

本发明装置及方法在对准凹面腔镜时，将负光焦度镜组内嵌至谐振腔腔内的凹面腔镜对准光路上，但不影响平面腔镜对准的平行光光路。针对不同曲率半径R的凹面腔镜，调整负光焦度镜组焦距f′以及负光焦度镜组与凹面腔镜的间距d，只要使得负光焦度镜组焦点与凹面腔镜球心重合即可使凹面腔镜对准光路产生平行的折反光，和平面腔镜对准时折返回来的平行光一起，先后在处于准直物镜的焦面上的对准面上得到对准标记物的清晰像，该清晰像与对准面中心对准精度高。不会因为激光腔的凹面腔镜半径不同而下降。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的对准终端三种形式示意图。

图3是本发明的工作原理图。

附图标记说明:1、光源 2、对准标记物 3、立方分光棱镜 4、准直物镜 5、负光焦度镜组 6、对准终端 7、对准装置框架 8、凹面腔镜 9、平面腔镜 10、凹面腔镜调节装置 11、平面腔镜调节装置 12、谐振腔连接件 13、谐振腔定位装置 14、对准面 15、目镜组 16、视频数据线 17、摄像头 18、监视器 19、计算机 20、凹面腔镜球心 21、负光焦度镜组焦点。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的优选实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1、图2、图3，一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，包括光源1、对准标记物2、立方分光棱镜3、准直物镜4、负光焦度镜组5、对准终端6和对准装置框架7；

所述对准标记物2和所述立方分光棱镜3依次处于所述光源1前方光路上；

所述立方分光棱镜3将所述光源1光路转折90°；

所述准直物镜4和所述负光焦度镜组5依次处于所述立方分光棱镜3转折后的光路上，所述准直物镜4所处位置可将所述对准标记物2处发出的光准直出射；

所述对准终端6相对于所述准直物镜4处于所述立方分光棱镜3的另一侧，处于接收所述对准标记物(2)像的位置；

所述光源1、所述对准标记物2、所述立方分光棱镜3、所述准直物镜4、所述负光焦度镜组5和所述对准终端6通过所述对准装置框架7固定装配；

所述负光焦度镜组5通过所述对准装置框架7单侧连接所述准直物镜4，使所述负光焦度镜组5和所述准直物镜4之间留有间隙。

优选地，所述光源1为发光光谱处于凹面腔镜8和平面腔镜9反射带谱段内且与所述对准终端6灵敏谱段匹配的LED光源。

优选地，所述对准标记物2为中央刻有十字形缝隙的透光屏。

优选地，所述立方分光棱镜3对所述光源1的波长半反半透分光。

优选地，所述负光焦度镜组5和所述准直物镜4为单片负透镜，所述负光焦度镜组5焦距小于所述凹面腔镜8的曲率半径；

关于所述负光焦度镜组5焦距小于所述凹面腔镜8的曲率半径的说明：根据共轴球面腔的稳定条件，空腔时，平凹谐振腔的稳定条件要求腔长小于凹面腔镜8半径；考虑到实际谐振腔中有折射率大于1的激活介质，实际的稳腔腔长比空腔时短，所以，稳腔的凹面腔镜球心必定在腔外。负光焦度镜组5内嵌在腔体内，其焦点要求和凹面腔镜球心重合，则其焦距必小于凹面腔镜8的曲率半径。

优选地，所述对准终端6为如下三种形式之一：

1】所述对准终端6包括对准面14和目镜组15，用于接收所述对准标记物2像的所述对准面14为处于所述目镜组焦面处的分划板平面，所述目镜组15将所述对准面14上的所述对准标记物2像进行放大供所述人眼观看；

2】所述对准终端6包括所述对准面14、视频数据线16、摄像头17和监视器18，用于接收所述对准标记物2像的所述对准面14为安装在所述摄像头17内的电荷耦合器件CCD或互补金属氧化物半导体CMOS成像器件，所述摄像头17和所述监视器18通过所述视频数据线16相连，所述监视器18将所述对准面14上的所述对准标记物2像进行放大显示；

3】所述对准终端6包括所述对准面14、视频数据线16、所述摄像头17和计算机19，用于接收所述对准标记物2像的所述对准面14为安装在所述摄像头17内的电荷耦合器件CCD或互补金属氧化物半导体CMOS成像器件，所述摄像头17和所述计算机19通过所述视频数据线16相连，所述计算机19将所述对准面14上的所述对准标记物2像进行放大显示。

优选地，所述对准面14在同光路光轴交点处设置有中心对准标记。

优选地，所述负光焦度镜组5和所述准直物镜4之间留有的间隙可供所述平面腔镜9及平面腔镜调节装置11嵌入。

一种高精度平凹激光腔单光路对准装置的对准方法，包括以下步骤：

1】点亮所述光源1：用所述光源1照明所述对准标记物2，由所述对准标记物2发出的光经所述立方分光棱镜3转折，再经所述准直物镜4后平行出射形成平行的对准光束，再经所述负光焦度镜组5后形成发散的对准光束；

2】安装谐振腔定位装置13：将与待对准平凹谐振腔其它参数一样，仅所述平面腔镜9对所述光源1波长反射率减半的标准平凹谐振腔模块安装在所述谐振腔定位装置13上，反复调校所述谐振腔定位装置13相对对准装置位置，使得凹面腔镜球心20与负光焦度镜组焦点21重合，使得由所述凹面腔镜8和所述平面腔镜9在所述对准面14上生成的所述对准标记物2的像均与其中心标记重合，固定所述谐振腔定位装置13相对对准装置位置，卸下标准平凹谐振腔；

3】安装待对准平凹谐振腔支架：将谐振腔连接件12连带固定在其上的凹面腔镜调节装置10和所述平面腔镜调节装置11安装在所述谐振腔定位装置13上；

4】安装所述凹面腔镜8：将所述凹面腔镜8以腔镜面朝向所述负光焦度镜组5的方式中心垂直于对准光路安装在所述凹面腔镜调节装置10上，使所述凹面腔镜球心20与所述负光焦度镜组焦点21重合；

5】调试所述凹面腔镜8：经所述凹面腔镜8反射的对准光通过所述负光焦度镜组5、所述准直物镜4和所述立方分光棱镜3后在所述对准终端6内的所述对准面14上形成所述对准标记物2的像，该像与所述对准面14中心标记的间距被所述目镜组15、所述监视器18或所述计算机19放大，调节所述凹面腔镜调节装置10，使得所述对准标记物2的像与所述对准面14中心标记重合；

6】安装所述平面腔镜9：将所述平面腔镜9以腔镜面背对所述准直物镜4的方式中心垂直于对准光路安装在所述平面腔镜调节装置11上；

7】调试所述平面腔镜9：经所述平面腔镜9反射的对准光通过所述准直物镜4和所述立方分光棱镜3后在所述对准终端6内的所述对准面14上形成所述对准标记物2的像，该像与所述对准面14中心标记的间距被所述目镜组15、所述监视器18或所述计算机19放大，调节所述平面腔镜调节装置11，使得所述对准标记物2的像与所述对准面14中心标记重合；

8】形成标准谐振腔模块：所述谐振腔连接件12连带固定在其上的所述凹面腔镜调节装置10、所述平面腔镜调节装置11、所述凹面腔镜8和所述平面腔镜9形成标准谐振腔模块，从所述谐振腔定位装置13中取下该标准谐振腔模块；

9】批量对准：反复重复步骤3】-8】，形成更多的标准谐振腔模块。

不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，包括光源(1)、对准标记物(2)、立方分光棱镜(3)、准直物镜(4)、负光焦度镜组(5)、对准终端(6)和对准装置框架(7)；

所述对准标记物(2)和所述立方分光棱镜(3)依次处于所述光源(1)前方光路上；

所述立方分光棱镜(3)将所述光源(1)光路转折90°；

所述准直物镜(4)和所述负光焦度镜组(5)依次处于所述立方分光棱镜(3)转折后的光路上，所述准直物镜(4)所处位置可将所述对准标记物(2)处发出的光准直出射；

所述对准终端(6)相对于所述准直物镜(4)处于所述立方分光棱镜(3)的另一侧，处于接收所述对准标记物(2)像的位置；

所述光源(1)、所述对准标记物(2)、所述立方分光棱镜(3)、所述准直物镜(4)、所述负光焦度镜组(5)和所述对准终端(6)通过所述对准装置框架(7)固定装配；

所述负光焦度镜组(5)通过所述对准装置框架(7)单侧连接所述准直物镜(4)，使所述负光焦度镜组(5)和所述准直物镜(4)之间留有间隙。

2.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述光源(1)为发光光谱处于凹面腔镜(8)和平面腔镜(9)反射带谱段内且与所述对准终端(6)灵敏谱段匹配的LED光源。

3.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述对准标记物(2)为中央刻有十字形缝隙的透光屏。

4.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述立方分光棱镜(3)对所述光源(1)的波长半反半透分光。

5.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述负光焦度镜组(5)和所述准直物镜(4)为单片负透镜，所述负光焦度镜组(5)焦距小于所述凹面腔镜(8)的曲率半径。

6.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述对准终端(6)为如下三种形式之一：

1】所述对准终端(6)包括对准面(14)和目镜组(15)，所述对准面(14)为处在所述目镜组(15)焦面处的分划板平面；

2】所述对准终端(6)包括所述对准面(14)、视频数据线(16)、摄像头(17)和监视器(18)，所述对准面(14)为安装在所述摄像头(17)内的电荷耦合器件(CCD)或互补金属氧化物半导体(CMOS)成像器件，所述摄像头(17)和所述监视器(18)通过所述视频数据线(16)相连；

3】所述对准终端(6)包括所述对准面(14)、视频数据线(16)、所述摄像头(17)和计算机(19)，所述对准面(14)为安装在所述摄像头(17)内的电荷耦合器件(CCD)或互补金属氧化物半导体(CMOS)成像器件，所述摄像头(17)和所述计算机(19)通过所述视频数据线(16)相连。

7.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述对准面(14)在同光轴交点处设置有中心对准标记。

8.根据权利要求1所述的一种高精度平凹激光腔单光路对准装置，其特征在于，所述负光焦度镜组(5)和所述准直物镜(4)之间留有的间隙可供所述平面腔镜(9)及平面腔镜调节装置(11)嵌入。

9.一种高精度平凹激光腔单光路对准装置的对准方法，其特征在于：包括以下步骤：

1】点亮所述光源(1)：用所述光源(1)照明所述对准标记物(2)，由所述对准标记物(2)发出的光经所述立方分光棱镜(3)转折，再经所述准直物镜(4)后平行出射形成平行的对准光束，再经所述负光焦度镜组(5)后形成发散的对准光束；

2】安装谐振腔定位装置(13)：将与待对准平凹谐振腔其它参数一样，仅所述平面腔镜(9)对所述光源(1)波长反射率减半的标准平凹谐振腔模块安装在所述谐振腔定位装置(13)上，反复调校所述谐振腔定位装置(13)相对对准装置位置，使得凹面腔镜球心(20)与负光焦度镜组焦点(21)重合，使得由所述凹面腔镜(8)和所述平面腔镜(9)在所述对准面(14)上生成的所述对准标记物(2)的像均与其中心标记重合，固定所述谐振腔定位装置(13)相对对准装置位置，卸下标准平凹谐振腔；

3】安装待对准平凹谐振腔支架：将谐振腔连接件(12)连带固定在其上的凹面腔镜调节装置(10)和所述平面腔镜调节装置(11)安装在所述谐振腔定位装置(13)上；

4】安装所述凹面腔镜(8)：将所述凹面腔镜(8)以腔镜面朝向所述负光焦度镜组(5)的方式中心垂直于对准光路安装在所述凹面腔镜调节装置(10)上，使所述凹面腔镜球心(20)与所述负光焦度镜组焦点(21)重合；

5】调试所述凹面腔镜(8)：经所述凹面腔镜(8)反射的对准光通过所述负光焦度镜组(5)、所述准直物镜(4)和所述立方分光棱镜(3)后在所述对准终端(6)内的所述对准面(14)上形成所述对准标记物(2)的像，该像与所述对准面(14)中心标记的间距被所述目镜组(15)、所述监视器(18)或所述计算机(19)放大，调节所述凹面腔镜调节装置(10)，使得所述对准标记物(2)的像与所述对准面(14)中心标记重合；

6】安装所述平面腔镜(9)：将所述平面腔镜(9)以腔镜面背对所述准直物镜(4)的方式中心垂直于对准光路安装在所述平面腔镜调节装置(11)上；

7】调试所述平面腔镜(9)：经所述平面腔镜(9)反射的对准光通过所述准直物镜(4)和所述立方分光棱镜(3)后在所述对准终端(6)内的所述对准面(14)上形成所述对准标记物(2)的像，该像与所述对准面(14)中心标记的间距被所述目镜组(15)、所述监视器(18)或所述计算机(19)放大，调节所述平面腔镜调节装置(11)，使得所述对准标记物(2)的像与所述对准面(14)中心标记重合；

8】形成标准谐振腔模块：所述谐振腔连接件(12)连带固定在其上的所述凹面腔镜调节装置(10)、所述平面腔镜调节装置(11)、所述凹面腔镜(8)和所述平面腔镜(9)形成标准谐振腔模块，从所述谐振腔定位装置(13)中取下该标准谐振腔模块；

9】批量对准：反复重复步骤3】-8】，形成更多的标准谐振腔模块。