CN110382430A - 具有基于氮化钛的ir反射层的可热处理涂覆制品 - Google Patents

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Abstract

本发明提出了涂覆制品，其包括夹置在至少电介质层之间的至少一个功能性红外(IR)反射层。所述电介质层可具有或包含氮化硅等。所述IR反射层中的至少一者具有或包含氮化钛(例如，TiN)。

Description

具有基于氮化钛的IR反射层的可热处理涂覆制品
本发明涉及涂覆制品和/或其制备方法，该涂覆制品包括夹置在至少电介质层之间的至少一个(例如，两个或更多个)功能性红外(IR)反射层。在示例性实施方案中，IR反射层中的至少一者具有或包含氮化钛(例如，TiN)。涂层可被设计成使得涂覆制品实现以下中的一者或多者：期望的玻璃侧和/或膜侧反射可见光着色(在某些示例性实施方案中不太红)；期望地低太阳能热增益系数(SHGC)；期望的可见光透射率(TY或Tvis)；在任选的热处理(HT)诸如热回火时的热稳定性；期望地低法向发射率(En)；和/或期望地高光线-太阳能增益比(LSG)。此类涂覆制品可用于单片窗、中空玻璃(IG)窗单元、层压窗和/或其他合适的应用中。
背景技术
在一些窗应用中期望低太阳能因数(SF)和太阳能热增益系数(SHGC)值，特别是在温暖气候下。根据EN标准410计算的太阳能因数(SF)涉及通过玻璃进入房间等的总能量和入射太阳能之间的比率。因此，应当理解，较低SF值表示良好的太阳能保护，防止受窗/玻璃保护的房间等的不期望的加热。低SF值表示涂覆制品(例如，IG窗单元)，该涂覆制品能够在热的环境条件期间在夏季月份保持房间相当凉爽。因此，在热环境中有时期望低SF值。也期望高光线-太阳能增益(LSG)值。LSG被计算为Tvis/SHGC。LSG值越高，透射的可见光越多并且被涂覆制品透射的热量越少。虽然对于涂覆制品诸如IG窗单元和/或单片窗有时期望低SF和SHGC值以及高LSG值，但达到此类值可能以牺牲着色和/或反射率值为代价。特别地，达到低SF和SHGC值的常规尝试常常导致涂层的不期望地高可见光反射率值和/或不期望的可见光着色。因此，在不使用深色玻璃基板的情况下，设计用于单片窗应用的常规低E涂层通常不能用于提供低可见光透射率(例如，15％至36％)、低SHGC性能。通常期望但困难的是，在窗应用中实现涂覆制品的可接受的可见光透射率(TY或Tvis)、期望的反射着色(例如，期望的a*和b*反射色值)、低SF、低SHGC和高LSG的组合，尤其如果期望使用非深色的玻璃基板。
SF(G因数；EN410-673 2011)和SHGC(NFRC-2001)值由全光谱(Tvis、Rg和Rf)计算，并且通常用分光光度计(诸如Perkin Elmer 1050)测量。SF测量在单片涂覆玻璃上进行，并且计算值可应用于单片、IG和层压应用。
某些已知的太阳能控制涂层使用NbN、NbZr或NbZrN作为IR反射层。例如，参见美国专利文件2012/0177899和美国专利号8,286,395。然而，本发明人已惊讶地发现，仅使用这些材料NbN、NbZr或NbZrN作为IR反射层的太阳能控制涂层对于给定IR反射层厚度在法向发射率(En)方面缺乏。对于给定IR反射层厚度，本发明人已发现此类涂层具有不期望地高法向发射率(En)值、不期望地高SHGC值；以及不期望地低LSG值。
公开了美国专利文件2012/0177899(以引用方式并入本文)中的太阳能控制涂层，该涂层具有玻璃/Si3N4/NiCr/Si3N4/NiCr/Si3N4的层叠堆，其中NiCr层可被氮化。虽然美国专利文件2012/0177899的层叠堆提供合理的太阳能控制并且是总体良好的涂层，但它们在某些方面是缺乏的。例如，实施例1、4和5中的玻璃侧可见光反射率值(RGY)分别为36％、36.87％和15.82％。美国‘899中的实施例1和4是不期望的，因为玻璃侧可见光反射率(RGY)值太高，分别为36％和36.87％，并且因为玻璃侧反射a*值负得过多，分别为-17.8和-15.95。并且当RGY在实施例5中减少至15.82％时，这导致实施例5中的玻璃侧反射a*色值变得相当红，并且值为+2.22。虽然本发明的某些示例性实施方案在某些情况下可具有红色反射着色，但本发明的其他示例性实施方案已被设计成实现期望的可见光反射率值和不是红色或不是太红的着色的组合。
根据本发明的示例性实施方案，期望涂层被设计成使得在窗应用中涂覆制品具有可接受的可见光透射率(TY或Tvis)、期望的反射着色(例如，期望的a*和b*的反射色值)、低SF、低SHGC和高LSG的组合。需注意，随着可见光透射率增加，参数诸如SF和SHGC也可增加，并且En可减小，这基于例如用于给定应用的给定涂覆制品的期望透射。根据本发明的某些示例性实施方案的涂覆制品基本上减少红色反射颜色，同时保持低可见光反射率，同时保持良好的机械、化学和环境耐久性以及低发射率特性。
在本发明的某些示例性实施方案中，某些应用诸如单片窗应用期望不是显著红色的反射着色。换句话讲，某些应用诸如单片窗应用期望负的或不大于+1.6或+1.0的反射a*色值(高于+1.6的玻璃侧和/或膜侧反射a*值常常被认为太红)。在玻璃侧反射(RG[或外面，或外部]Y)和/或膜侧反射(RF[或内部]Y)a*值中此类反射a*值是期望的。
本发明的某些实施方案涉及包括夹置在至少电介质层之间的两个或更多个功能性红外(IR)反射层的涂覆制品和/或其制备方法。电介质层可具有或包含氮化硅等。在某些示例性实施方案中，IR反射层具有或包含氮化钛(例如，TiN)。已令人惊讶地且出乎意料地发现，在给定的太阳能控制涂层中使用氮化钛用于IR反射层令人惊讶地导致改善的发射率、SHGC和/或LSG值，并且可被设计成令人惊讶地改善反射a*值，这在窗应用中常常是期望的特性。根据本发明的实施方案的涂层可被设计成使得在任何任选的热处理诸如热回火之前和/或之后，涂覆制品实现以下中的一者或多者：不是太红的期望的玻璃侧和/或膜侧反射可见光着色；期望地低太阳能热增益系数(SHGC)；期望的可见光透射率(TY或Tvis)；在任选的热处理(HT)诸如热回火时的热稳定性；期望地低法向发射率(emissivity/emittance(En))；和/或期望地高光线-太阳能增益比(LSG)。此类涂覆制品可用于单片窗、中空玻璃(IG)窗单元、层压窗和/或用于建筑或车辆目的的其他合适的应用中。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，该涂层包括：第一电介质层，其包含氮化硅；第一红外(IR)反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第一电介质层上方的玻璃基板上；第二电介质层，其包含氮化硅，在包含氮化硅的至少第一电介质层和包含钛的氮化物的第一IR反射层上方的玻璃基板上；第二层IR反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第二电介质层上方的玻璃基板上；第三电介质层，其包含氮化硅，在包含钛的氮化物的至少第二IR反射层上方的玻璃基板上；其中该涂层不含基于银的IR反射层；并且其中整体地测量的涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，该涂层包括：第一电介质层；第一红外(IR)反射层，其包含钛的氮化物，在至少第一电介质层上方的玻璃基板上；第二电介质层，其包含氮化硅，在至少第一电介质层和包含钛的氮化物的第一IR反射层上方的玻璃基板上；第二层IR反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第二电介质层上方的玻璃基板上；第三电介质层，在包含钛的氮化物的至少第二IR反射层上方的玻璃基板上；其中该涂层不含基于银的IR反射层；并且其中整体地测量的涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，该涂层包括：第一电介质层，其包含氮化硅；第一红外(IR)反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第一电介质层上方的玻璃基板上；第二电介质层，其包含氮化硅，在包含氮化硅的至少第一电介质层和包含钛的氮化物的第一IR反射层上方的玻璃基板上；第二层IR反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第二电介质层上方的玻璃基板上；第三电介质层，其包含氮化硅，在包含钛的氮化物的至少第二IR反射层上方的玻璃基板上；其中该涂层不含基于银的IR反射层；并且其中整体地测量的涂覆制品具有约12％至70％的可见光透射率和以下中的一者或多者：(a)不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，(b)-10至+1.6的玻璃侧反射a*值，(c)不大于约16％的膜侧可见光反射率，以及(d)-8至+1.6的膜侧反射a*色值。
在本发明的某些示例性实施方案中，提供了涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，该涂层包括：第一电介质层，其包含氮化硅；第一红外(IR)反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第一电介质层上方的玻璃基板上；第二电介质层，其包含氮化硅，在包含氮化硅的至少第一电介质层和包含钛的氮化物的第一IR反射层上方的玻璃基板上；其中该涂层不含基于银的IR反射层；并且其中整体地测量的涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、至少1.00的LSG，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
因此，本发明涵盖单片窗单元、IG窗单元、层压窗单元，以及如受权利要求书保护的包括其上具有涂层的玻璃基板的任何其他制品。需注意，可通过下列步骤进行单片测量：从IG窗单元和/或层压窗单元去除涂覆基板，并且然后进行单片测量。还应当指出，对于给定的涂层，单片窗单元的SF和SHGC值将显著高于具有相同涂覆制品的IG窗单元的SF和SHGC值。
附图说明
图1是根据本发明的一个示例性实施方案的单片涂覆制品(热处理或未经热处理)的局部截面图。
具体实施方式
现在更特别地参考附图，其中类似的附图标记在整个若干视图中表示类似的部件。
涂层8被设计成使得在窗应用等中使用的涂覆制品具有可接受的可见光透射率(TY或Tvis)、期望的反射着色(例如，期望的a*和b*反射色值)、低SF、低SHGC和高LSG的组合。
本发明的某些实施方案涉及在玻璃基板1上具有涂层9的涂覆制品和/或其制备方法，其中涂层包括夹置在至少电介质层2、4、6、7之间的两个或更多个功能性红外(IR)反射层3和5。电介质层2、4和6可具有或包含氮化硅等。具有或包含氧化锆或任何其他合适的材料的透明电介质外涂层7是任选的。在某些示例性实施方案中，IR反射层3和5具有或包含氮化钛(例如，TiN)。已令人惊讶地且出乎意料地发现，在给定的太阳能控制涂层中使用氮化钛用于IR反射层3和5令人惊讶地导致改善的发射率、SHGC和/或LSG值，并且可被设计成令人惊讶地改善反射a*值，这在窗应用中常常是期望的特性。根据本发明的实施方案的涂层可被设计成使得在任何任选的热处理诸如热回火之前和/或之后，涂覆制品实现以下中的一者或多者：不是太红的期望的玻璃侧和/或膜侧反射可见光着色；期望地低太阳能热增益系数(SHGC)；期望的可见光透射率(TY或Tvis)；在任选的热处理(HT)诸如热回火时的热稳定性；期望地低法向发射率(emissivity/emittance(En))；和/或期望地高光线-太阳能增益比(LSG)。此类涂覆制品可用于单片窗、中空玻璃(IG)窗单元、层压窗和/或用于建筑或车辆目的的其他合适的应用中。
在本发明的某些示例性实施方案中，可任选地对涂覆制品进行热处理，并且涂覆制品优选地被设计成可热处理的。如本文所用，术语“热处理(heat treatment)”和“热处理(heat treating)”意指将制品加热到足以实现含玻璃制品的热回火、热弯曲和/或热强化的温度。该定义包括例如在烘箱或炉中在至少约580摄氏度、更优选地在至少约600摄氏度(例如，约650摄氏度)的温度下加热涂覆制品足够的时间段以允许回火、弯曲和/或热强化。在某些情况下，HT可持续至少约4分钟或5分钟。在本发明的不同实施方案中，涂覆制品可以进行或可以不进行热处理。
图1为根据本发明的示例性实施方案的涂覆制品的截面图。在图1实施方案中，太阳能控制涂层8包括两个IR反射层3和5，以及透明电介质层2、4、6和7。涂覆制品包括至少玻璃基板1(例如，约1.0mm至12.0mm厚，更优选地4mm至8mm厚的透明、绿色、青铜色、灰色、蓝色或蓝色-绿色玻璃基板，其中示例性玻璃基板厚度为6mm)、透明电介质层2、4、6(例如，具有或包含氮化硅[例如，Si3N4]、氮氧化硅、氮化硅锆或一些其他合适的电介质)，以及IR反射层3、5。应当理解，IR反射层3和/或5在本发明的某些示例性实施方案中可以是氮化的。IR反射层3和5具有或包含氮化钛(例如，TiN，优选地化学计量或基本上化学计量类型)。IR反射层3和5在本发明的某些示例性实施方案中具有或包含TiNx，其中x优选地为0.8至1.2，更优选地为0.9至1.1，其中示例值为约1.0。与例如“x”过低的情况相比，这些“x”值提供改善/降低的发射率值。虽然IR反射层3和5在某些情况下可包含一些少量氧，但优选的是这些层3和5基本上不含氧，诸如氧不超过8％的氧，更优选地不超过约5％的氧，并且最优选地不超过约3％或2％的氧(在某些实施方案中，(原子％)。涂覆制品可任选地包括透明电介质外涂层7，该外涂层具有或包含保护材料诸如氧化锆(例如ZrO2)或氮氧化硅。任选地，具有任何合适的化学计量的具有或包含氮氧化硅和/或氮氧化锆硅的电介质层在某些示例性实施方案中可定位在层叠堆上部部分的层6和7之间并接触层6和7。在本发明的某些示例性实施方案中，涂层8不包括Ag或Au的或者基于Ag或Au的任何金属IR阻挡层或反射层。在本发明的某些示例性实施方案中，IR反射层3和5反射至少一些IR辐射，并且不接触任何其他金属或基于金属的IR反射层。在某些示例性实施方案中，每个层可包含其他材料，诸如掺杂剂。应当理解，在本发明的某些另选地实施方案中，也可提供其他层，或者可省略某些层，并且可使用不同材料。需注意，在本发明的某些另选的实施方案中可省略层5至6，使得提供仅具有一个IR反射层3的涂层。
图1的总体涂层8在某些示例性实施方案中包括至少所示的层，并且特别地层7是任选的。应注意，本文所用的术语“氧化物”和“氮化物”包括各种化学计量。例如，术语氮化硅(对于层2、4、6中的一者或多者)包括化学计量的Si3N4以及非化学计量的氮化硅，并且这些层可掺杂有其他材料诸如Al和/或O。在本发明的不同实施方案中，可经由磁控溅射、任何其他类型的溅射或经由任何其他合适的技术将所示的层沉积在玻璃基板1上。应注意，可在图1所示的叠堆中提供其他层，诸如在层2和层3之间、或在层3和层4之间、或者在基板1和层2之间等。通常，其他层也可设置在涂层的其他位置。因此，虽然涂层8或其层在基板1“上”或“由基板1支撑”(直接或间接)，但是可在它们之间提供其他层。因此，例如，图1中所示的层系统8及其层被认为是在基板1“上”，即使在其间可提供其他层(即，本文使用的术语“在......上”和“由......支撑”不限于直接接触)。然而，在优选的实施方案中可能存在如图1所示的直接接触。
在本发明的某些示例性实施方案中，电介质层2、4和6可各自具有1.7至2.7(在550nm处)、更优选地在某些实施方案中1.9至2.5、并且最优选地在本发明的优选的实施方案中约2.0至2.06的折射率“n”。在本发明的某些示例性实施方案中，这些层2、4、6中的一个、两个、三个或全部可具有或包含氮化硅和/或氮氧化硅。在其中层2、4、6包含氮化硅(例如，Si3N4)的本发明的此类实施方案中，包含用于形成这些层的Si的溅射靶可以或可以不与按重量计至多1％至20％(例如，8％)铝或不锈钢(例如，SS#316)混合，其量大约出现在如此形成的层中。即使使用这种量的铝和/或不锈钢，此类层仍被认为是电介质层。在某些示例性实施方案中，IR反射层3和5中的每一者均设置在相应的氮化物层(例如，基于氮化硅的层2、4、6)之间，以便在可能的热处理(例如，热回火、热弯曲和/或热强化)期间减少或防止IR反射层的氧化，从而允许在多个视角下进行热处理之后实现可预测的着色。虽然图1以单片形式示出了根据本发明的一个实施方案的涂覆制品，但根据本发明的其他实施方案的涂覆制品可包括IG(中空玻璃)窗单元等。
回到图1的实施方案，可使用与本文所讨论的一个或多个需求一致的各种厚度。根据本发明的某些示例性实施方案，用于在玻璃基板1上的图1实施方案的相应的层的示例性厚度(以埃为单位)和材料如以下在某些示例性实施方案中为了实现期望的透射率、反射着色和可见光反射率与期望地低SF和/或SHGC值和/或期望地高LSG值的组合(为了远离玻璃基板1而列出层)所示的：
表1(图1实施方案中的厚度)
上表1涉及实施方案例如其中涂层8被设计成使得在任何任选的热处理诸如热回火之前和/或之后，涂覆制品实现下列中的一者、两者、三者、四者、五者或全部六者：期望的玻璃侧和/或膜侧反射可见光着色，诸如不太红的反射颜色(例如，具有负值或不大于+1.6的小正值的反射a*色值)；期望地低SHGC；期望的可见光透射率；在任选的HT诸如热回火时的热稳定性；期望地低En；和/或期望地高LSG。在某些示例性实施方案中，已出乎意料地发现，当上部IR反射层5实际上比下部IR反射层3厚至少20％(更优选地厚至少40％)时，可令人惊讶地改善膜侧反射a*值。在某些示例性实施方案中，上部IR反射层5比下部IR反射层3厚至少更优选地至少并且有时至少在本发明的某些示例性实施方案中，中心电介质层4实际上比电介质层2和6中的每一者厚至少更优选地至少并且有时至少以便提供改善的着色和/或反射率值，尤其在低可见光透射应用中。
在任何任选的热处理(HT)(诸如热回火)之前和/或之后，在本发明的某些示例性实施方案中，根据图1实施方案的涂覆制品具有如下在表2中的颜色/光学特性(整体地测量的)。应当注意，下标“G”代表玻璃侧反射，下标“T”代表透射，并且下标“F”代表膜侧反射。如本领域中已知的，玻璃侧(G)意指从涂覆制品的玻璃侧(与层/膜侧相反)观察时。膜侧(F)意指当从涂覆制品的涂层设置在其上的侧面观察时。下面列出的表3示出了在HT诸如热回火(对于表3整体地测量)之后根据本发明的某些示例性实施方案的涂覆制品的某些特性。除了表3中的热稳定性数据涉及HT涂覆制品并且证明在HT时的稳定性之外，表2中的以下特性根据光源C，2度观测器，并且适用于本文的HT和非HT涂覆制品。
表2：颜色/光学特性(图1实施方案单片)
表3：热稳定性(HT后的图1；除表2之外)
仅出于示例的目的，实施例1至8表示本发明的不同示例性实施方案，并在以下示出。
实施例
根据本发明的各种实施方案，将实施例1至10中的层溅射沉积在4mm厚的透明玻璃基板上。实施例2和6被设计成具有中性着色，并且实施例4和8被设计成具有蓝色着色。相对于玻璃侧反射颜色(-10至+1.6的玻璃侧反射a*值)，实施例1至8全部几乎没有或没有红色着色。
同时，相对于膜侧反射颜色(-10至+1.6的膜侧反射a*值)，实施例2、4和6至8也几乎没有或没有红色着色，并且与实施例1、3和5相比实现这一点的变化是意料不到的且令人惊讶的。实施例中各层的不同厚度被设计用于不同期望的可见光透射应用。实施例9至10为仅具有一个IR反射层(图1中的层5和6不存在)的涂层。光学测量为单片测量。除非另外指明，否则实施例1至10的光学数据根据光源C，2度观测器。在每个实施例中，氮化硅层掺杂有约8％的Al。TiN层为近似化学计量的。层厚度以为单位。下表4中的“L”代表层(例如，L2意指图1中所示的层2，L3意指图1中所示的层3等)。
表4：实施例的层叠堆
整体地测量，退火并且在热回火(HT)之前，实施例1至5具有以下特性。
表5：光学数据(HT前；实施例1至5)
整体地测量，在热回火(HT)之后，实施例1至5具有以下特性。
表6：光学数据(HT后；实施例1至5)
整体地测量，退火并且在热回火(HT)之前，实施例6至10具有以下特性。
表7：光学数据(HT前；实施例6至10)
整体地测量，在热回火(HT)之后，实施例6至10具有以下特性。
表8：光学数据(HT后；实施例6至10)
实施例1至8中的每一者均根据本发明的各种示例性实施方案。如上所述，实施例1至8全部具有期望的可见光透射率、低玻璃侧可见光反射率、期望地低SHGC、期望地高LSG，以及相对于玻璃侧反射颜色(-10至+1.6的玻璃侧反射a*值)几乎没有或没有红色着色。同时，相对于膜侧反射颜色(-10至+1.6的膜侧反射a*值)，实施例2、4、6和8也几乎没有或没有红色着色，并且与实施例1、3和5相比实现这一点的变化是意料不到的且令人惊讶的。可以看出，在实施例2、4、6和8中，在第一IR反射层3和第二IR反射层5之间的厚度比率或厚度值的变化出乎意料地导致膜侧反射a*色值朝中性偏移，以减少或去除红色膜侧反射颜色(与实施例1、3和5相比)。因此，在某些示例性实施方案中，已出乎意料地发现，当上部IR反射层5实际上比下部IR反射层3厚至少20％(更优选地厚至少40％)时，可令人惊讶地改善/减少膜侧反射a*值。在某些示例性实施方案中，上部IR反射层5比下部IR反射层3厚至少更优选地至少并且有时至少
实施例9至10为单IR反射层涂层。当期望40％至60％的可见光透射率时，此类实施方案是优选的。当期望小于40％的可见光透射率时，期望如图1所示的双IR反射层涂层，使得避免高且淡红色反射颜色。
在本发明的一个示例性实施方案中，提供了涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，该涂层包括：第一电介质层，其包含氮化硅；第一红外(IR)反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第一电介质层上方的玻璃基板上；第二电介质层，其包含氮化硅，在包含氮化硅的至少第一电介质层和包含钛的氮化物的第一IR反射层上方的玻璃基板上；第二层IR反射层，其包含钛的氮化物，在包含氮化硅的至少第二电介质层上方的玻璃基板上；第三电介质层，其包含氮化硅，在包含钛的氮化物的至少第二IR反射层上方的玻璃基板上；其中该涂层不含基于银的IR反射层；并且其中整体地测量的涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
在前述一段落的涂覆制品中，涂层在某些实施方案中仅含有两个IR反射层。
在前述两个段落中任一段的涂覆制品中，包含氮化硅的第二电介质层可定位在第一IR反射层和第二IR反射层之间并直接接触第一IR反射层和第二IR反射层。
在前述三个段落中任一段的涂覆制品中，包含钛的氮化物的第二IR反射层可包含TiNx，其中x为0.8至1.2，更优选地为0.9至1.1。
在前述四个段落中任一段的涂覆制品中，第一IR反射层和第二IR反射层中的一者或两者可包含TiNx，其中x为0.8至1.2，更优选地为0.9至1.1。
在前述五个段落中任一段的涂覆制品中，第一IR反射层和第二IR反射层中的一者或两者可含有0％至8％的氧(原子％)，更优选地0％至5％的氧(原子％)，并且最优选地0％至3％的氧(原子％)。
在前述六个段落中任一段的涂覆制品中，整体地测量的涂覆制品可具有不大于约16％的膜侧可见光反射率。
在前述七个段落中任一段的涂覆制品中，整体地测量的涂覆制品可具有-8至+1.6的膜侧反射a*色值。
在前述八个段落中任一段的涂覆制品中，第二IR反射层可比第一IR反射层厚至少20％(更优选地厚至少40％)。
在前述九个段落中任一段的涂覆制品中，第二IR反射层实际上可比第一IR反射层厚至少更优选地至少并且有时至少
在前述十个段落中任一段的涂覆制品中，第一IR反射层和/或第二IR反射层可基本上由钛的氮化物组成。
在前述十一个段落中任一段的涂覆制品中，涂层还可包括包含锆的氧化物的外涂层。
在前述十二个段落中任一段的涂覆制品中，玻璃基板可以是透明或灰色玻璃基板。
在前述十三个段落中任一段的涂覆制品中，整体地测量的涂覆制品可具有-8至+1.5的玻璃侧反射a*值和/或-8至+1.5的膜侧反射a*值。
在前述十四个段落中任一段的涂覆制品中，涂覆制品可具有15％至60％、更优选地15％至50％并且在某些实施方案中15％至36％的可见光透射率。
在前述十五个段落中任一段的涂覆制品中，涂覆制品可具有-12至+4的玻璃侧反射b*值和/或-20至+9的膜侧反射b*值。
在前述十六个段落中任一段的涂覆制品中，涂层可基本上由包含氮化硅的第一电介质层、第二电介质层和第三电介质层以及第一IR反射层和第二IR反射层组成，并且可任选地包括包含锆的氧化物的外涂层。
在前述十七个段落中任一段的涂覆制品中，包含氮化硅的第一电介质层、第二电介质层和第三电介质层中的一者或多者还可包含氧和/或可掺杂有铝。
在前述十八个段落中任一段的涂覆制品中，涂覆制品可经热回火或简单退火，而不经热处理。
在前述十九个段落中任一段的涂覆制品中，涂覆制品可以为单片窗。
在前述二十个段落中任一段的涂覆制品中，整体地测量的涂覆制品可具有下列各项中的一项或多项：不大于0.52的SHGC值、不大于0.50的法向发射率(En)和至少0.70的LSG。
在前述二十一个段落中任一段的涂覆制品中，整体地测量的涂覆制品可具有不大于0.25的SHGC值、不大于0.28的法向发射率(En)和至少0.70的LSG。
在前述二十二个段落中任一段的涂覆制品中，整体地测量的涂覆制品可具有至少1.00的LSG。
在前述二十三个段落中任一段的涂覆制品中，包含氮化硅的第二电介质层可比包含氮化硅的第一电介质层厚至少(更优选地至少并且有时至少)。
在前述二十四个段落中任一段的涂覆制品中，第一IR反射层可直接接触第一电介质层。
在前述二十五个段落中任一段的涂覆制品中，第二IR反射层可直接接触包含氮化硅的第二电介质层和第三电介质层中的每一者。
在前述二十六个段落中任一段的涂覆制品中，第一IR反射层可为约至厚(更优选地约至厚)，并且/或者包含钛的氮化物的第二IR反射层可为约至厚(更优选地约至厚)。
一旦给出上述公开内容，许多其他特征、修改和改善对于本领域技术人员将变得显而易见。因此，此类其他特征、修改和改善被认为是本发明的一部分，本发明的范围由以下权利要求确定。

Claims (50)

1.一种涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，所述涂层包括：
包含氮化硅的第一电介质层；
包含钛的氮化物的第一红外(IR)反射层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方；
包含氮化硅的第二电介质层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层和所述包含钛的氮化物的第一IR反射层上方；
包含钛的氮化物的第二层IR反射层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第二电介质层上方；
包含氮化硅的第三电介质层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含钛的氮化物的第二IR反射层上方；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；并且
其中整体地测量的所述涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
2.根据权利要求1所述的涂覆制品，其中所述涂层仅含有两个IR反射层。
3.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含氮化硅的第二电介质层定位在所述第一IR反射层和第二IR反射层之间并直接接触所述第一IR反射层和第二IR反射层。
4.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含钛的氮化物的第二IR反射层包含TiNx，其中x为0.8至1.2。
5.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含钛的氮化物的第二IR反射层包含TiNx，其中x为0.9至1.1。
6.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层和第二IR反射层各自都包含TiNx，其中x为0.8至1.2。
7.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层和第二IR反射层各自都包含TiNx，其中x为0.9至1.1。
8.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层含有0％至8％的氧(原子％)。
9.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层含有0％至5％的氧(原子％)。
10.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层含有0％至8％的氧(原子％)。
11.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层含有0％至5％的氧(原子％)。
12.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层和第二IR反射层各自都包含0％至5％的氧(原子％)。
13.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中整体地测量的所述涂覆制品具有不大于约16％的膜侧可见光反射率。
14.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中整体地测量的所述涂覆制品具有-8至+1.6的膜侧反射a*色值。
15.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层比所述第一IR反射层厚至少20％。
16.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层比所述第一IR反射层厚至少40％。
17.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层形态上比所述第一IR反射层厚至少
18.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层形态上比所述第一IR反射层厚至少
19.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层形态上比所述第一IR反射层厚至少
20.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层基本上由所述钛的氮化物组成。
21.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂层还包括包含锆的氧化物的外涂层。
22.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述玻璃基板为透明玻璃基板。
23.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中整体地测量的所述涂覆制品具有-8至+1.5的玻璃侧反射a*值以及-8至+1.5的膜侧反射a*值。
24.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有15％至36％的可见光透射率。
25.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有-12至+4的玻璃侧反射b*值以及-20至+9的膜侧反射b*值。
26.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂层基本上由包含氮化硅的所述第一电介质层、第二电介质层和第三电介质层以及所述第一IR反射层和第二IR反射层组成，并且可任选地包括包含锆的氧化物的外涂层。
27.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中包含氮化硅的所述第一电介质层、第二电介质层和第三电介质层中的一者或多者还包含氧并且掺杂有铝。
28.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品被热回火。
29.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品为整体式窗。
30.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中整体地测量的所述涂覆制品具有不大于0.52的SHGC值、不大于0.50的法向发射率(En)和至少0.70的LSG。
31.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中整体地测量的所述涂覆制品具有不大于0.25的SHGC值、不大于0.28的法向发射率(En)和至少0.70的LSG。
32.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中整体地测量的所述涂覆制品具有至少1.00的LSG。
33.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述包含氮化硅的第二电介质层比所述包含氮化硅的第一电介质层厚至少
34.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层直接接触所述第一电介质层。
35.根据任一前述权利要求所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层为约至厚，并且所述第二IR反射层为约至厚。
36.一种涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，所述涂层包括：
第一电介质层；
包含钛的氮化物的第一红外(IR)反射层，其在所述玻璃基板上在至少所述第一电介质层上方；
包含氮化硅的第二电介质层，其在所述玻璃基板上在至少所述第一电介质层和所述包含钛的氮化物的第一IR反射层上方；
包含钛的氮化物的第二层IR反射层，其所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第二电介质层上方；
第三电介质层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含钛的氮化物的第二IR反射层上方；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；并且
其中整体地测量的所述涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
37.根据权利要求36所述的涂覆制品，其中所述涂层仅含有两个IR反射层。
38.根据权利要求36至37中任一项所述的涂覆制品，其中所述包含氮化硅的第二电介质层定位在所述第一IR反射层和第二IR反射层之间并直接接触所述第一IR反射层和第二IR反射层。
39.根据权利要求36至38中任一项所述的涂覆制品，其中所述包含钛的氮化物的第二层IR反射层包含TiNx，其中x为0.8至1.2。
40.根据权利要求36至39中任一项所述的涂覆制品，其中所述第一IR反射层和第二IR反射层各自含有0％至5％的氧(原子％)。
41.一种涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，所述涂层包括：
包含氮化硅的第一电介质层；
包含钛的氮化物的第一红外(IR)反射层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方；
包含氮化硅的第二电介质层，其所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层和所述包含钛的氮化物的第一IR反射层上方的；
包含钛的氮化物的第二层IR反射层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第二电介质层上方；
包含氮化硅的第三电介质层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含所述钛的氮化物的第二IR反射层上方；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；并且
其中整体地测量的所述涂覆制品具有约12％至70％的可见光透射率和以下中的一者或多者：(a)不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，(b)-10至+1.6的玻璃侧反射a*值，(c)不大于约16％的膜侧可见光反射率，以及(d)-8至+1.6的膜侧反射a*色值。
42.根据权利要求41所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层比所述第一IR反射层厚至少20％。
43.根据权利要求41至42中任一项所述的涂覆制品，其中所述第二IR反射层比所述第一IR反射层厚至少40％。
44.一种制造包括由玻璃基板支撑的涂层的涂覆制品的方法，所述方法包括：
溅射沉积包含氮化硅的第一电介质层；
在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方溅射沉积包含钛的氮化物的第一红外(IR)反射层；
在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层和所述第一IR反射层上方溅射沉积包含氮化硅的第二电介质层；
在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第二电介质层上方溅射沉积包含钛的氮化物的第二层IR反射层；以及
在所述玻璃基板上在至少所述包含所述钛的氮化物的第二IR反射层上方溅射沉积包含氮化硅的第三电介质层；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；并且
其中整体地测量的所述涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、不大于约16％的玻璃侧可见光反射率，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
45.一种涂覆制品，其包括由玻璃基板支撑的涂层，所述涂层包括：
包含氮化硅的第一电介质层；
包含钛的氮化物的第一红外(IR)反射层，其在所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层上方；
包含氮化硅的第二电介质层，其所述玻璃基板上在至少所述包含氮化硅的第一电介质层和所述包含钛的氮化物的第一IR反射层上方；
其中所述涂层不含基于银的IR反射层；并且
其中整体地测量的所述涂覆制品具有：约12％至70％的可见光透射率、至少1.00的LSG，以及-10至+1.6的玻璃侧反射a*值。
46.根据权利要求45所述的涂覆制品，其中所述涂层仅含有一个IR反射层。
47.根据权利要求45至46中任一项所述的涂覆制品，其中所述涂覆制品具有40％至60％的可见光透射率。
48.根据权利要求45至47中任一项所述的涂覆制品，其中所述IR反射层定位在所述包含氮化硅的第一电介质层和第二电介质层之间并直接接触所述第一电介质层和第二电介质层。
49.根据权利要求45至48中任一项所述的涂覆制品，其中所述IR反射层基本上由所述钛的氮化物组成。
50.根据权利要求45至49中任一项所述的涂覆制品，其中所述玻璃基板为透明玻璃基板。
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