CN110346294B - 一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法 - Google Patents

一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110346294B
CN110346294B CN201910523601.3A CN201910523601A CN110346294B CN 110346294 B CN110346294 B CN 110346294B CN 201910523601 A CN201910523601 A CN 201910523601A CN 110346294 B CN110346294 B CN 110346294B
Authority
CN
China
Prior art keywords
panel
scanning
light source
multispectral
transmission mechanism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201910523601.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110346294A (zh
Inventor
周鹏
徐科
王磊
杨朝霖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Science and Technology Beijing USTB
Original Assignee
University of Science and Technology Beijing USTB
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Science and Technology Beijing USTB filed Critical University of Science and Technology Beijing USTB
Priority to CN201910523601.3A priority Critical patent/CN110346294B/zh
Publication of CN110346294A publication Critical patent/CN110346294A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110346294B publication Critical patent/CN110346294B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明提供一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法,属于表面缺陷检测技术领域。该系统包括多光谱线扫描相机、光源阵列和传送机构,多光谱线扫描相机位于传送机构上方,且扫描线垂直传送机构,光源阵列位于多光谱线扫描相机和传送机构之间。该方法采用多个方向照明光源覆盖细微划伤缺陷的显像扇区,使亚像素大小的细微划伤缺陷清晰成像;采用多光谱线扫描相机扫描成像,实现动态检测;检测算法排除了镜面光斑的影响,适用于对含曲面的面板进行划伤检测。

Description

一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法
技术领域
本发明涉及表面缺陷检测技术领域,特别是指一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法。
背景技术
手机外壳等产品,对面板的质量要求高,铝、不锈钢、塑料等材质的面板表面,容易受硬物划伤产生细微的划伤缺陷。划伤缺陷宽度小,最小的达到微米尺度,只能在特定光照角度下显像,因此采用人工肉眼观测的质检措施,质检效率低,人工成本高,容易产生漏检。
基于机器视觉的自动化表面检测技术,广泛应用于对面板产品的表面质量检测中,在针对细微划伤类缺陷检测中存在问题:
1)现有的表面检测系统,合理视野情况下,经济像素分辨率为0.05~0.5mm/pixel,而细微划伤缺陷的宽度为微米尺度。像素尺度大于划伤尺度时,出现采样均化现象,降低划伤缺陷与背景的对比度,因此仅在划伤缺陷出现镜面反射时,由才能使图像中细微划伤从背景中突出,满足条件的入射光角度范围称为“显像扇区”。
2)细微划伤的镜面反射角较小且朝向随机,现有的机器视觉检测设备通常采用明场、暗场照明等有限方向的照明系统,照明方向不能覆盖不同划伤的“显像扇区”;而采用穹顶光源全向照明系统具有与无影灯相似的模糊化效果,细微划伤与背景混淆难以区分。
3)存在一定曲面的面板产品,单一方向的光源在曲面上易产生高光斑点,干扰缺陷检测。
因此,有必要改进成像系统和检测方法,提高细微划伤缺陷的成像质量和检测效率。申请号为CN201210292335的专利采用两个条形光源扫描金属平面微小缺陷,提高了横向的缺陷成像质量,但对于纵向的缺陷不敏感;申请号为CN201810099920的专利采用多个方向光源轮流照明,用于测量静态平面物体的表面粗糙度,不便于对流水线上的面板产品进行快速动态检测。
本发明利用多光谱线扫描相机,对流水线上的面板产品进行快速动态表面检测;从多个方向照明的单色平行光源,入射角度足以覆盖细微划伤缺陷的显像扇区,从而提高细微划伤缺陷成像质量;检测算法排除了镜面光斑的影响,适用于对含曲面的面板进行划伤检测。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法,适用于对含有曲面的面板类产品进行表面质量检测,能够发现亚像素大小的细微划伤缺陷。
该系统包括多光谱线扫描相机、光源阵列和传送机构,多光谱线扫描相机位于传送机构上方,且多光谱线扫描相机的扫描线垂直传送机构运动方向,光源阵列位于多光谱线扫描相机和传送机构之间,传送机构上放置被测面板。
其中,光源阵列中光源数量为n台,n大于等于3,均为单色平行光源,其波长与多光谱扫描相机中的n个光谱对应。
被测面板为赤道面,多光谱扫描相机光轴为极轴,光源阵列的光源围绕极轴排列为两个环形,光源从等间隔的经度角入射,内环入射纬度角范围30°~40°,外环入射纬度角范围为50~80°。
传送机构匀速平动,多光谱线扫描相机逐行扫描产生n幅多光谱图像。
采用该系统进行检测的方法,其特征在于:包括步骤如下:
S1:扫描均匀漫反射标定平板的多光谱图像Ei,(1≤i≤n),标定光强向量
Figure BDA0002097477830000021
反映了光源Ai,(1≤i≤n)在扫描线上的光强分布,其中w为扫描线宽,h为扫描线数;
S2:扫描被测面板的多光谱图像Ii,(1≤i≤n),被测面板的图像光信号来自于光源阵列在被测面板上的反射光;
S3:定位面板区域Ω,计算区域内均化图像
Figure BDA0002097477830000022
S4:阈值化提取亮反射区域
Figure BDA0002097477830000031
其中t为用户设置灵敏度,mi为均化图像均值
Figure BDA0002097477830000032
S5:用形态学Tophat运算提取细小亮反射区
Figure BDA0002097477830000033
排除高光斑点;
S6:合成第1至n号光谱频段细小亮反射区
Figure BDA0002097477830000034
Figure BDA0002097477830000035
表明被测面板没有缺陷,否则输出缺陷区域。
本发明的上述技术方案的有益效果如下:
1)采用多个方向照明的单色平行光源,入射角度足以覆盖细微划伤缺陷的显像扇区,使细微划伤呈现镜面反射;相对于全向照明的穹顶光源,没有无影灯模糊化效果,使细微划伤容易与背景区分,实现亚像素细微划伤良好成像。
2)检测算法排除了曲面面板上的高光斑点。
3)采用多光谱线扫描相机,对流水线上的面板产品进行快速动态表面检测,检测速度快,不影响生产速度。
附图说明
图1为本发明的面板细微划伤缺陷的扫描检测系统成像示意图;
图2为本发明实施例中细微划伤缺陷在亚像素尺度的采样均化问题;
图3为本发明实施例中细微划伤缺陷在显像扇区角度示意图,其中,a为入射光在显像扇区外,b为入射光在显像扇区内;
图4为本发明的面板细微划伤缺陷的扫描检测检测方法流程图。
其中:1-多光谱线扫描相机;2-传送机构;3-被测面板;Ai-光源阵列。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明提供一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法。
如图1所示,该系统包括多光谱线扫描相机1、光源阵列Ai和传送机构2,多光谱线扫描相机1位于传送机构2上方,且多光谱线扫描相机1的扫描线垂直传送机构2运动方向,光源阵列Ai位于多光谱线扫描相机1和传送机构2之间,传送机构2上放置被测面板3。
实际应用中,被测面板置于传送机构上;多光谱线扫描相机面向被测面板,光轴与之垂直,扫描线与传送机构运动方向垂直;以被测面板为赤道面,相机光轴为极轴建立极坐标系;n≥3台波长与相机的n个光谱对应的单色平行光源围绕极轴从等间隔的经度角入射,入射纬度角范围30°~80°;传送机构匀速平动时,多光谱线扫描相机逐行扫描产生n幅多光谱图像;
其中,单色平行光源围绕极轴排列为两个环形,光源A1~k排列环形的入射纬度角30~40°,光源Ak+1~n排列环形的入射纬度角50~80°,对于曲面程度较大的面板,具有更好的检测效果。
如图4所示,应用该系统进行检测的方法,包括步骤如下:
S1:扫描均匀漫反射标定平板的多光谱图像Ei,(1≤i≤n),标定光强向量
Figure BDA0002097477830000041
反映了光源Ai,(1≤i≤n)在扫描线上的光强分布,其中w为扫描线宽,h为扫描线数;
S2:扫描被测面板的多光谱图像Ii,(1≤i≤n),被测面板的图像光信号来自于光源阵列(Ai)在被测面板上的反射光;
S3:定位面板区域Ω,计算区域内均化图像
Figure BDA0002097477830000042
S4:阈值化提取亮反射区域
Figure BDA0002097477830000043
其中t为用户设置灵敏度,mi为均化图像均值
Figure BDA0002097477830000044
S5:用形态学Tophat运算提取细小亮反射区
Figure BDA0002097477830000045
排除高光斑点;
S6:合成第1至n号光谱频段细小亮反射区
Figure BDA0002097477830000046
Figure BDA0002097477830000047
表明被测面板没有缺陷,否则输出缺陷区域。
本发明检测细微划伤缺陷的原理是:
1)采样均化现象如图2所示,当细微划伤缺陷的尺度小于像素时,只有划伤产生突出于背景的镜面反射,才能使划伤部分产生显著的图像。
2)显像扇区现象如图3所示,由于划伤部分的微观晶面朝向与背景区域不同,且存在一定随机性,单一方向的入射光不能确保划伤在相机中呈现镜面反射,即光源处于“显像扇区”;而多个方向的入射光能够确保覆盖划伤的显像扇区,使细微划伤呈现镜面反射,容易与背景区分,使亚像素的细微划伤良好成像。
3)检测算法通过形态学Tophat运算,排除了曲面面板上的高光斑点,仅余细小的划伤亮反射区域;合成第1至n号光谱频段细小亮反射区,真实反映亚像素的细微划伤缺陷分布。
4)采用多光谱线扫描相机,对流水线上的面板产品进行快速动态表面检测,检测速度快,不影响生产速度。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统,其特征在于:包括多光谱线扫描相机(1)、光源阵列(Ai)和传送机构(2),多光谱线扫描相机(1)位于传送机构(2)上方,且多光谱线扫描相机(1)的扫描线垂直传送机构(2)运动方向,光源阵列(Ai)位于多光谱线扫描相机(1)和传送机构(2)之间,传送机构(2)上放置被测面板(3);
所述光源阵列(Ai)中光源数量为n台,n大于等于3;
所述n台光源为单色平行光源,其波长与多光谱扫描相机(1)中的n个光谱对应;
所述被测面板(3)为赤道面,多光谱扫描相机(1)光轴为极轴,光源阵列(Ai)的光源围绕极轴排列为两个环形,光源从等间隔的经度角入射,内环入射纬度角范围30°~40°,外环入射纬度角范围为50~80°。
2.根据权利要求1所述的面板细微划伤缺陷的扫描检测系统,其特征在于:所述传送机构(2)匀速平动。
3.采用权利要求1所述的面板细微划伤缺陷的扫描检测系统进行检测的方法,其特征在于:包括步骤如下:
S1:扫描均匀漫反射标定平板的多光谱图像Ei,(1≤i≤n),标定光强向量
Figure FDA0002610049180000011
反映了光源Ai,(1≤i≤n)在扫描线上的光强分布,其中w为扫描线宽,h为扫描线数;
S2:扫描被测面板的多光谱图像Ii,(1≤i≤n),被测面板的图像光信号来自于光源阵列(Ai)在被测面板上的反射光;
S3:定位面板区域Ω,计算区域内均化图像
Figure FDA0002610049180000014
S4:阈值化提取亮反射区域
Figure FDA0002610049180000012
其中t为用户设置灵敏度,mi为均化图像均值
Figure FDA0002610049180000013
S5:用形态学Tophat运算提取细小亮反射区
Figure FDA0002610049180000021
排除高光斑点;
S6:合成第1至n号光谱频段细小亮反射区
Figure FDA0002610049180000022
Figure FDA0002610049180000023
表明被测面板没有缺陷,否则输出缺陷区域。
CN201910523601.3A 2019-06-17 2019-06-17 一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法 Active CN110346294B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910523601.3A CN110346294B (zh) 2019-06-17 2019-06-17 一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910523601.3A CN110346294B (zh) 2019-06-17 2019-06-17 一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110346294A CN110346294A (zh) 2019-10-18
CN110346294B true CN110346294B (zh) 2020-12-22

Family

ID=68182182

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910523601.3A Active CN110346294B (zh) 2019-06-17 2019-06-17 一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110346294B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111855666B (zh) * 2020-07-16 2023-05-09 北京嘉恒中自图像技术有限公司 一种轴承内圈侧周外观缺陷自动检测方法和系统
CN114998333B (zh) * 2022-08-02 2022-10-25 山东第一医科大学(山东省医学科学院) 一种光源特性的计算机视觉检测方法及系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005127989A (ja) * 2003-10-03 2005-05-19 Olympus Corp 傷検出装置および傷検出プログラム
DE102005031490A1 (de) * 2005-07-04 2007-02-01 Massen Machine Vision Systems Gmbh Kostengünstige multi-sensorielle Oberflächeninspektion
CN106989905A (zh) * 2017-05-05 2017-07-28 安徽谱泉光谱科技有限公司 一种发光面板多功能检测方法及设备
CN108445007B (zh) * 2018-01-09 2020-11-17 深圳市华汉伟业科技有限公司 一种基于图像融合的检测方法及其检测装置
CN108490000A (zh) * 2018-03-13 2018-09-04 北京科技大学 一种棒线材表面缺陷在线检测装置和方法
CN109668904A (zh) * 2019-01-25 2019-04-23 南京理工大学 一种光学零件疵病检测装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN110346294A (zh) 2019-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8081840B2 (en) Appliance for controlling transparent or reflective elements
EP2800946B1 (en) Arrangement for optical measurements and related method
CN110346294B (zh) 一种面板细微划伤缺陷的扫描检测系统和方法
EP1114993A2 (en) Method and arrangement for inspection of surfaces
JP2017129562A (ja) 測定システム、情報処理装置、情報処理方法およびプログラム
US20180213134A1 (en) Optical Inspection System
CN110927175B (zh) 实现物体相邻两面等照度照明与等光程成像的检测装置及方法
Zhang et al. Research on surface defect detection of ceramic ball based on fringe reflection
US7342654B2 (en) Detection of impurities in cylindrically shaped transparent media
Moreno-Oliva et al. Shape measurement of solar collectors by null screens
EP3889582A1 (en) Optical characteristic analysis apparatus and program
JP2008224540A (ja) 歪み検査方法および検査装置
CN112924456A (zh) 曲面屏检测装置及其检测方法
EP0777850A1 (en) Integral field lens illumination for video inspection
JPH10115514A (ja) 表面平滑性の検査方法及びその装置
JP2020003343A (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
CN114674244B (zh) 一种同轴正入射散斑偏折术测量方法和装置
EP4220135A1 (en) Optical characteristics measuring device, and optical characteristics measuring method
RU2776397C2 (ru) Способ измерения кривизны отражающей поверхности и соответствующее оптическое устройство
JPS6117281B2 (zh)
JP2011169676A (ja) 可撓性を有する検査対象物の表面の状態を検査する方法および装置
RU69634U1 (ru) Прибор для обнаружения и классификации дефектов оптических объектов (варианты)
JP2017129473A (ja) 測定システム、情報処理装置、情報処理方法およびプログラム
JP3161260U (ja) 検査装置
Shimano et al. Balanced bright and dark field illumination for remote visual testing to detect cracks on pressure vessel of nuclear reactors

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant