CN110345096A - 散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种散热装置，包括散热风扇及电流监测模块；散热风扇包括电机；电流监测模块具有输入端及输出端，其中，电流监测模块的输入端与电机相连接，用以监测电机的感应电流。本发明还提供一种半导体生产系统，包括半导体生产设备、供电装置及散热装置，其中，供电装置与半导体生产设备相连接；散热装置包括散热风扇及电流监测模块，且散热风扇位于供电装置内，用于给供电装置散热，散热风扇包括电机；电流监测模块具有输入端及输出端，电流监测模块的输入端与电机相连接，用以监测电机的感应电流。本发明结构简单，使用方便，成本低廉，能为半导体厂的安全生产提供保障；本发明的散热风扇的故障监测方法简单易行，具有极大的推广价值。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，特别是涉及一种散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法。
背景技术
对工业设备，尤其是像半导体生产设备这种365天长年处于每天24小时运转的大型功率设备而言，散热是非常重要的课题，尤其是在设备的电源供应端，基本都要安装散热装置以对供电装置进行散热。因为电能在传输过程中不可避免地会发生损失，损失的电能一般会以热量的形成向外散发；此外，供电装置一般是由成百上千个电阻及电容等电子元器件构成的，这些电子元器件处于工作状态时也会产生热量，这些热量如果不及时散发出去，就会造成整个供电装置的温度上升，且供电装置的供电功率越大，产生的热量越多。高温不仅影响电子元器件工作时的精确度和稳定度，还可能改变各种电子元器件的电阻值、电容值及电感值等，严重时甚至造成电子元器件的损坏，从而导致供电装置工作异常或不工作，更严重时还可能引发火灾，造成重大生产事故。
在半导体生产厂，如果因供电装置的散热出现故障引发生产事故，那损失可能更严重。因为半导体生产设备属于高精密度设备，其供电装置也是极其昂贵的，而如果供电装置发生故障时，半导体生产设备正处于工艺生产的状态，那极有可能导致当前的晶圆报废造成损失，并由于当前晶圆报废引发后续的连锁反应，导致整个生产系统的异常。
为及时给供电装置散热，在供电装置端一般会安装散热风扇以将供电装置产生的热量及时排出。但散热风扇亦可能因长期处于高负荷工作状态下而发生故障，一旦散热风扇出现故障，热量无法散发，供电装置的故障风险会急剧增大。因此实时监控散热风扇的工作状态，以在散热风扇发生故障时尽快做出对应措施非常重要。但实际生产中，能够对散热风扇进行监控的技术手段非常少，检索到的一些专利中，都是通过监控散热风扇两端的电压情况来判断散热风扇是否处于正常工作状态。但这样的监控手段存在不少问题，比如因为散热风扇两端的电压相对较大，在设置监测电路时一般需要设置保护电路，导致整个监测电路非常复杂，而监测电路中的电阻和电容等电子元器件也可能发生故障导致新的事故；此外，散热风扇在发生故障时，其两端的电压可能突然增大，突然增大的电压超出监测电路的负载，可能引发监测电路的烧毁乃至引发火灾事故，造成无法挽回的损失。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法，用于解决现有技术中因缺乏对散热风扇的实时监控，导致在散热风扇发生故障时无法及时发现，引发严重的生产事故或是由于监测电路过于复杂而可能引发二次风险等问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种散热装置，所述散热装置包括散热风扇及电流监测模块；所述散热风扇包括电机；所述电流监测模块具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流。
优选地，所述电流监测模块包括电流传感器。
优选地，所述散热装置还包括模数转换器及传输模块；所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的所述数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号。
优选地，所述传输模块包括电缆。
在另一优选方案中，所述传输模块包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器的输出端相连接的一端为所述传输模块的输入端，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块的输出端。
优选地，所述散热装置还包括显示模块，所述显示模块与所述传输模块的输出端相连接。
优选地，所述散热装置还包括报警模块，所述报警模块的一端与所述传输模块的输出端相连接，用以在所述电机的感应电流异常时发出报警信息。
优选地，所述报警模块的另一端与一连接至半导体生产设备的供电装置相连接，用于在发出报警信息的同时向所述供电装置发出紧急停机信号，所述报警模块经由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
在另一优选方案中，所述报警模块还用于在发出报警信息的同时发出紧急停机信号；所述散热装置还包括延时模块，所述延时模块与所述报警模块相连接且所述延时模块与一半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号，并所述延时模块与连接至所述半导体生产设备的供电装置相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置，由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
本发明还提供一种半导体生产系统，所述半导体生产系统包括半导体生产设备、供电装置及散热装置，其中，所述供电装置与所述半导体生产设备相连接；所述散热装置包括散热风扇及电流监测模块，且所述散热风扇位于所述供电装置内，用于给所述供电装置散热，所述散热风扇包括电机；所述电流监测模块具有输入端及输出端，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流。
优选地，所述电流监测模块包括电流传感器。
优选地，所述散热装置还包括模数转换器及传输模块，所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的所述数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号。
优选地，所述传输模块包括电缆。
在另一优选方案中，所述传输模块包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器的输出端相连接的一端为所述传输模块的输入端，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块的输出端。
优选地，所述散热装置还包括显示模块，与所述传输模块的输出端相连接。
优选地，所述散热装置还包括报警模块，所述报警模块的一端与所述传输模块的输出端相连接，用以在所述电机的感应电流异常时发出报警信息。
优选地，所述报警模块的另一端与所述供电装置相连接，用于在发出报警信息的同时向所述供电装置发出紧急停机信号，所述报警模块经由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
在另一优选方案中，所述报警模块还用于在发出报警信息的同时发出紧急停机信号；所述散热装置还包括延时模块，所述延时模块与所述报警模块相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号，并所述延时模块与所述供电装置相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置，由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
本发明还提供一种散热风扇的故障监测方法，即在散热风扇工作时，实时监测位于所述散热风扇内的电机的感应电流，并依据监测到的所述感应电流判断所述散热风扇是否发生故障。
优选地，当监测到所述感应电流小于0.3mA或大于0.5mA时，判断所述散热风扇发生故障。
如上所述，本发明的散热装置、半导体生产系统及散热风扇的故障监测方法，具有以下有益效果：本发明的散热装置，通过设置简单的监测电路以对散热装置中的电机的感应电流进行实时监控，以在散热装置出现故障时能够第一时间监测到并做出应对措施，避免生产事故的发生；本发明的半导体生产系统，通过改进的散热装置，能够避免因散热装置问题引发供电装置的故障，保证整个生产系统的安全运行。本发明的散热装置及半导体生产系统结构简单，使用方便，成本低廉，能为半导体厂的安全生产提供保障；本发明的散热风扇的故障监测方法简单易行，具有极大的推广价值。
附图说明
图1及图2显示为本发明实施例二中的半导体生产系统的结构示意图，其中，图1及图2中同时显示了本发明实施例一中的散热装置的结构示意图。
图3显示为本发明实施例三中的散热风扇的故障监测方法的监测电路的结构示意图。
元件标号说明
1 散热装置
11 散热风扇
111 电机
12 电流监测模块
13 模数转换器
14 传输模块
15 显示模块
16 报警模块
17 延时模块
2 半导体生产设备
3 供电装置
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质技术内容的变更下，当亦视为本发明可实施的范畴。且特别需要说明的是，图示中的箭头方向示意的是信息传送的方向，这种信息可能是电流信息或通信信息，具体可通过文中内容得知。
实施例一
如图1及图2所示，本发明提供一种散热装置1，所述散热装置1包括散热风扇11及电流监测模块12；所述散热风扇11包括电机111；所述电流监测模块12具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块12的输入端与所述电机111相连接，用以监测所述电机111的感应电流，所述电流监测模块12的输出端用于输出监测到的所述感应电流。所述散热风扇11在工作时需连接至一电源Vcc，这个电源一般是经转换的直流电源。
所述散热风扇11可以是具有叶片的风扇或是无叶风扇，虽然工作原理略有差异，但实质都是通过加速空气的流动将热量带走。比如无叶风扇是靠电机111将空气吸入风扇内部，经由气旋加速器加速后，空气流通速度被增大，经由无叶风扇扇头环形内唇环绕，其环绕力带动扇头附近的空气随之进入扇头，并以高速度向外吹出以带走热量；而带叶片的风扇则是通过电机111带动叶片转动，叶片旋转起来后，空气会在风扇的正面产生正向的风压，在风叶片的后面产生负压，受空气动力的作用，叶片后面的空气加速流向正面，故而在风扇的正面就感觉到了有风的产生从而可以散发热量。由此可见，当所述散热风扇11工作时，所述电机111一直处于转动状态。换而言之，如果所述电机111出现故障即代表所述散热风扇11发生了故障，当所述散热风扇11出现故障时无法及时散发热量，就容易导致相关设备，比如供电装置3端产生的热量无法及时散发出去，导致供电装置3工作异常或不工作，更严重时还可能引发火灾，造成重大生产事故，因而需严格监控所述散热风扇11的工作状态。
所述电机111中包括线圈和磁体，当所述电机111被通电后开始转动时，会带动里面的线圈转动，切割磁感线，此时会在所述电机111的一侧产生感应电流，这个感应电流的大小与所述电机111的功率大小一般呈正相关，比如，在半导体行业中，当散热风扇11正常工作时，这个感应电流一般介于0.3mA～0.5mA之间，通过设置一监测电路连接至所述电机111以实时监控此感应电流。当所述电机111处于工作状态而检测到的所述感应电流不在此区域内时，比如当所述感应电流小于0.3mA时，说明所述电机111的转速太慢，可能是所述电机111自身故障导致，也可能是供电电压不稳，但无论何种情况，都应该尽快采取应对措施；而当所述感应电流大于0.5mA时，说明所述电机111的转速过快，有可能是在所述散热风扇11的供电线路出现了短路导致瞬时电流过大，极易引起线路烧毁引发严重的生产事故，需尽快做出应对措施。因而，当所述电机111处于工作状态而检测到的所述感应电流不在0.3mA～0.5mA的区域内时可以判断所述电机111的工作出现了异常，也即所述散热风扇11的工作出现了异常，从而能在所述散热风扇11发生故障时及时发现并采取应对措施，避免生产事故的发生。但同时应该注意的是，这个感应电流一般是非常小的，因而对监测电路需精心设置，以保证监测的准确性。
为能检测到该感应电流，作为示例，所述电流监测模块12可以选用一电流传感器，所述电流传感器的选用需考虑所述电机111的功率不同而选用合适的型号，从测量精度考虑，本实施例中，所述电流传感器优选数字型电流传感器。当然，在其他实施例中，所述电流监测模块12也可以选用高精度万用表等其他仪器，具体不做限制。
作为示例，当所述电流监测模块12选用数字型电流传感器时，所述散热装置1还包括模数转换器13及传输模块14；所述模数转换器13具有输入端及输出端，其中，所述模数转换器13的输入端与所述电流监测模块12的输出端相连接，用以将所述电流监测模块12监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；所述传输模块14具有输入端及输出端，其中，所述传输模块14的输入端与所述模数转换器13的输出端相连接，用以传输所述模数转换器13转换的所述数字信号，所述传输模块14的输出端用于输出所述数字信号。
在一示例中，所述传输模块14可以是电缆，电缆具有成本低廉的特点，但如果需要长距离的信号传输，则宜选用光纤传输，光纤功率损失小、衰减少，基本能做到无损传输，且不受周围环境的影响，也不会给周围环境造成影响。在另一示例中，所述传输模块14同时包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器13的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器13的输出端相连接的一端为所述传输模块14的输入端，用以将接收到的电信号转换成光信号，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块14的输出端，且此时在所述传输模块14的输出端同样安装一个光电转换器以将接收到的光信号转换为电信号。当然，当所述电流监测模块12是非数字型仪器时，所述传输模块14相应选用其他非数字型传输装置，具体不做限制。
作为示例，所述散热装置1还包括显示模块15，所述显示模块15与所述传输模块14的输出端相连接。所述显示模块15的选用需依据前述的所述传输模块14的类型而选用合适的仪器。比如，当所述传输模块14输出的是数字信号时，所述显示模块15可以是一LED显示屏或液晶显示屏，且如前所述，当所述传输模块14选用的是光纤传输时，在所述显示模块15的前端，即所述传输模块14的输出端还需设置光电转换器以将光信号转换成电信号。需要说明的是，所述显示模块15可以单独设置，也可以将所述显示模块15移至其他装置中，对此部分内容将于后续内容中描述，此处不展开。
作为示例，所述散热装置1还包括报警模块16，所述报警模块16的一端与所述传输模块14的输出端相连接，用以在所述电机111的感应电流异常时发出报警信息。
在一示例中，如图1所示，当本发明应用于半导体厂时，所述报警模块16的另一端将与一连接至半导体生产设备2的供电装置3相连接，用于在发出报警信息的同时向所述供电装置3发出紧急停机信号，所述报警模块16经由所述供电装置3控制所述半导体生产设备2停机。所述半导体生产设备2可以但不仅限于刻蚀设备、薄膜沉积设备、光刻设备或扩散设备。所述报警模块16发出的报警信息可以但不限于声音信号，光电信号，或是通过推送报警信息到相应的电子设备，比如半导体厂的值班手机上，以提醒相关人员尽快采取应对措施，因而所述报警模块16可以有多种选择，比如可以是单纯的声光报警器，或是加载了通信模块的报警装置，具体不做限制。
但半导体厂各工艺段情况千差万别，一种方式难以适应半导体厂内复杂的生产情况。比如，当所述半导体生产设备2正处于执行工作操作时，贸然地切断所述供电装置3可能导致产线中的晶圆产品全部报废，造成莫大的经济损失，而实际上，有些工艺段的生产时间或是某些产品的工艺时间非常短，比如高温退火工艺一般在数十秒，某些产品的刻蚀工艺时间也仅两三分钟，在这极短的时间内即便对报警信息不做立即处理也不会造成太大的问题，因而可以待当前的工艺操作结束后再发送紧急停机信号。因而本发明提供了另一示例如图2所示，所述报警模块16还用于在发出报警信息的同时发出紧急停机信号；所述散热装置1还包括延时模块17，所述延时模块17与所述报警模块16相连接且所述延时模块17与一半导体生产设备2相连接，用于在所述半导体生产设备2处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号，并所述延时模块17与连接至所述半导体生产设备2的供电装置3相连接且所述延时模块17与所述半导体生产设备2相连接，用于在所述半导体生产设备2结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置3，由所述供电装置3控制所述半导体生产设备2停机。当然，现场的情况远比想象的复杂，因而所述报警装置16发出报警信息告知生产者是最重要的，最好由生产者来判断下一步的行动。当然，为了保证所述延时模块17能实时获知所述半导体生产设备2的生产状态，在后台的软件层面也需做出对应改善。
当然，本实施例的散热装置1并不局限于半导体行业，在其他工业设备中，尤其是大功率的精密工业设备的电源供应装置中都可以通过安装本实施例的散热装置1以保证设备的正常运转。
实施例二
如图1及图2所示，本发明还提供一种半导体生产系统，所述半导体生产系统包括半导体生产设备2、供电装置3及散热装置1，其中，所述供电装置3与所述半导体生产设备2相连接；所述散热装置1包括散热风扇11及电流监测模块12，且所述散热风扇11位于所述供电装置3内，用于给所述供电装置3散热，所述散热风扇11包括电机111；所述电流监测模块12具有输入端及输出端，所述电流监测模块12的输入端与所述电机111相连接，用以监测所述电机111的感应电流，所述电流监测模块12的输出端用于输出监测到的所述感应电流。所述散热装置1就是实施例一中所述的散热装置1，具体结构请参阅实施例一，出于简洁的目的此处不再累述。
所述供电装置3一般是有一供电模块和一壳体，在所述壳体上有若干开孔以利于空气的流通。为保证散热效果，所述散热风扇11一般靠近所述供电模块的表面且靠近所述壳体以将所述供电模块产生的热量及时散发出去，即所述散热风扇11是位于所述供电装置3内，除此之外，所述散热装置1的其他模块的位置可以根据需要设置，但一般是设置于所述供电装置3外且尽量靠近生产者易于观察到的位置。所述散热装置1的结构以及其他具体模块的选用请参照实施例一中的描述，此处不再累述。但对于所述显示模块15，既可以单独设置，比如，在所述供电装置3的壳体的外部设置一显示屏，也可以在靠近所述半导体生产设备2的生产端，比如一反应腔室的旁边设置一显示屏，当然，从成本和便利性的角度考量，所述显示模块15可以是所述半导体生产设备2自带的或是与所述半导体生产设备2相连接的电脑，亦可以是半导体厂中常见的值班手机，甚至可以是中控室的监控器，还可以是以上多种方式的组合，一旦在所述散热风扇11发生故障时，报警信息能尽快传递到相关人员以尽快采取应对措施。本发明通过改进的散热装置1，能够避免因散热装置1的问题引发供电装置3的故障，保证整个半导体生产系统的安全运行。
实施例三
本发明还提供一种散热风扇的故障监测方法，通过在散热风扇11工作时，实时监测位于所述散热风扇11内的电机111的感应电流，并依据监测到的所述感应电流判断所述散热风扇11是否发生故障。
如图3所示，为实现本发明的目的，本实施例中构建了一监测电路，该监测电路连接至一散热风扇11内的电机111上，用于在所述散热风扇11工作时，通过实时监测位于所述散热风扇11内的所述电机111的感应电流，并依据监测到的所述感应电流判断所述散热风扇11是否发生故障。
作为示例，所述监测电路包括一电流监测模块12，所述电流监测模块12具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块12的输入端与所述电机111相连接，用以监测所述电机111的感应电流，所述电流监测模块12的输出端用于输出监测到的所述感应电流。当所述散热风扇11连接至一电源Vcc，通电后开始工作时，所述电机111一直处于转动状态，所述电机111中包括线圈和磁体，所述电机111转动时，会带动里面的线圈转动，切割磁感线，此时会在所述电机111的一侧产生感应电流，这个感应电流的大小与所述电机111的功率大小一般呈正相关，比如，在半导体行业中，当散热风扇11正常工作时，这个感应电流一般介于0.3mA～0.5mA之间。当所述电机111处于工作状态而检测到的所述感应电流不在此区域内时，比如当所述感应电流小于0.3mA时，说明所述电机111的转速太慢，可能是所述电机111自身故障导致，也可能是供电电压不稳，但无论何种情况，都应该尽快采取应对措施；而当所述感应电流大于0.5mA时，说明所述电机111的转速过快，有可能是在所述散热风扇11的供电线路出现了短路导致瞬时电流过大，极易引起线路烧毁引发严重的生产事故，需尽快做出应对措施。因而，通过监控所述电机111的感应电流可以判断所述电机111的工作是否出现了异常，从而能在所述散热风扇11发生故障时及时发现并采取应对措施，避免生产事故的发生。
作为示例，所述电流监测模块12可以是一电流传感器，当选用的是数字型电路传感器时，所述监测电路还包括一模数转换器13及传输模块14；所述模数转换器13具有输入端及输出端，其中，所述模数转换器13的输入端与所述电流监测模块12的输出端相连接，用以将所述电流监测模块12监测到的所述感应电流转换成数字信号；所述传输模块14具有输入端及输出端，其中，所述传输模块14的输入端与所述模数转换器13的输出端相连接，用以传输所述模数转换器13转换的所述数字信号，所述传输模块14的输出端用于输出所述数字信号。所述传输模块14可以是电缆，电缆具有成本低廉的特点，但如果需要长距离的信号传输，则宜选用光纤传输，光纤功率损失小、衰减少，基本能做到无损传输，且不受周围环境的影响，也不会给周围环境造成影响。在另一示例中，所述传输模块14同时包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器13的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器13的输出端相连接的一端为所述传输模块14的输入端，用以将接收到的电信号转换成光信号，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块14的输出端，且此时在所述传输模块14的输出端同样安装一个光电转换器以将接收到的光信号转换为电信号。
作为示例，所述监测电路还包括显示模块15，所述显示模块15与所述传输模块14的输出端相连接。所述显示模块15的选用需依据前述的所述传输模块14的类型而选用合适的仪器。比如，当所述传输模块14输出的是数字信号时，所述显示模块15可以是一液晶显示屏或LED显示屏，当所述传输模块14选用的是光纤传输时，如前所述，在所述显示模块15的前端，即所述传输模块14的输出端还需设置光电转换器以将光信号转换成电信号。
作为示例，所述监测电路还可以包括报警模块16，所述报警模块16的一端与所述传输模块14的输出端相连接，用以在所述电机111的感应电流异常时发出报警信息。所述报警模块16可以是一声光报警器。
当然，所述监测电路的具体构建以及各模块的具体选用依据不同的工作环境还可以进行调整。比如，如果应用于半导体行业，则可以进一步于所述监测电路上设置延时模块17，且可以将所述监测电路和半导体设备相连接，具体可参考实施例一及实施例二，出于简洁的目的此处不再累述。当然，本实施例的散热风扇的故障监测方法并不局限于半导体行业，在安装有散热风扇11的设备中，都可以通过本发明揭示的方法对散热风扇11进行实时监控，以保障设备的安全运转。
综上所述，本发明提供一种散热装置，所述散热装置包括散热风扇及电流监测模块；所述散热风扇包括电机；所述电流监测模块具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流。本发明的散热装置，通过设置简单的监测电路以对散热装置中的电机的感应电流进行实时监控，以在散热装置出现故障时能够第一时间监测到并做出应对措施，避免生产事故的发生；本发明的半导体生产系统，通过改进的散热装置，能够避免因散热装置问题引发供电装置的故障，保证整个生产系统的安全运行。本发明的散热装置及半导体生产系统结构简单，使用方便，成本低廉，能为半导体厂的安全生产提供保障；本发明的散热风扇的故障监测方法简单易行，具有极大的推广价值。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (20)
1.一种散热装置，其特征在于，包括：
散热风扇，包括电机；及，
电流监测模块，具有输入端及输出端，其中，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流。
2.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于：所述电流监测模块包括电流传感器。
3.根据权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述散热装置还包括：
模数转换器，所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；及，
传输模块，所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号。
4.根据权利要求3所述的散热装置，其特征在于：所述传输模块包括电缆。
5.根据权利要求3所述的散热装置，其特征在于：所述传输模块包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器的输出端相连接的一端为所述传输模块的输入端，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块的输出端。
6.根据权利要求3所述的散热装置，其特征在于：所述散热装置还包括显示模块，所述显示模块与所述传输模块的输出端相连接。
7.根据权利要求3所述的散热装置，其特征在于：所述散热装置还包括报警模块，所述报警模块的一端与所述传输模块的输出端相连接，用以在所述电机的感应电流异常时发出报警信息。
8.根据权利要求7所述的散热装置，其特征在于：所述报警模块的另一端与连接至一半导体生产设备的供电装置相连接，用于在发出报警信息的同时向所述供电装置发出紧急停机信号，所述报警模块经由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
9.根据权利要求7所述的散热装置，其特征在于：所述报警模块还用于在发出报警信息的同时发出紧急停机信号；所述散热装置还包括延时模块，所述延时模块与所述报警模块相连接且所述延时模块与一半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号，并所述延时模块与连接至所述半导体生产设备的供电装置相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置，由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
10.一种半导体生产系统，其特征在于，包括：
半导体生产设备；
供电装置，所述供电装置与所述半导体生产设备相连接；
散热装置，包括散热风扇及电流监测模块，其中，所述散热风扇位于所述供电装置内，用于给所述供电装置散热，所述散热风扇包括电机；所述电流监测模块具有输入端及输出端，所述电流监测模块的输入端与所述电机相连接，用以监测所述电机的感应电流，所述电流监测模块的输出端用于输出监测到的所述感应电流。
11.根据权利要求10所述的半导体生产系统，其特征在于：所述电流监测模块包括电流传感器。
12.根据权利要求10所述的半导体生产系统，其特征在于，所述散热装置还包括：
模数转换器，所述模数转换器的输入端与所述电流监测模块的输出端相连接，用以将所述电流监测模块监测到的所述感应电流转换成数字信号，所述模数转换器的输出端用于输出转换的所述数字信号；及，
传输模块，所述传输模块的输入端与所述模数转换器的输出端相连接，用以传输所述模数转换器转换的所述数字信号，所述传输模块的输出端用于输出所述数字信号。
13.根据权利要求12所述的半导体生产系统，其特征在于：所述传输模块包括电缆。
14.根据权利要求12所述的半导体生产系统，其特征在于：所述传输模块包括光电转换器及光纤，所述光电转换器的一端与所述模数转换器的输出端相连接，所述光电转换器的另一端与所述光纤相连接；其中，所述光电转换器与所述模数转换器的输出端相连接的一端为所述传输模块的输入端，所述光纤远离所述光电转换器的一端为所述传输模块的输出端。
15.根据权利要求12所述的半导体生产系统，其特征在于：所述散热装置还包括显示模块，与所述传输模块的输出端相连接。
16.根据权利要求12所述的半导体生产系统，其特征在于：所述散热装置还包括报警模块，所述报警模块的一端与所述传输模块的输出端相连接，用以在所述电机的感应电流异常时发出报警信息。
17.根据权利要求16所述的半导体生产系统，其特征在于：所述报警模块的另一端与所述供电装置相连接，用于在发出报警信息的同时向所述供电装置发出紧急停机信号，所述报警模块经由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
18.根据权利要求16所述的半导体生产系统，其特征在于：所述报警模块还用于在发出报警信息的同时发出紧急停机信号；所述散热装置还包括延时模块，所述延时模块与所述报警模块相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备处于执行工艺操作时拦截所述紧急停机信号；并所述延时模块与所述供电装置相连接且所述延时模块与所述半导体生产设备相连接，用于在所述半导体生产设备结束工艺操作时将所述紧急停机信号发送至所述供电装置，由所述供电装置控制所述半导体生产设备停机。
19.一种散热风扇的故障监测方法，其特征在于：散热风扇工作时，实时监测位于所述散热风扇内的电机的感应电流，并依据监测到的所述感应电流判断所述散热风扇是否发生故障。
20.根据权利要求19所述的散热风扇的故障监测方法，其特征在于：当监测到所述感应电流小于0.3mA或大于0.5mA时，判断所述散热风扇发生故障。
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