CN110198512B - 具有声质量的微型扬声器 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种具有声质量的微型扬声器。本发明涉及一种在其频率响应中具有至少第一和第二谐振的微型扬声器,该微型扬声器包括用于响应于电驱动信号生成声压波的振动膜、至少部分围绕形成声质量的总空气容积的一个或多个声道、以及在声学上被连接到一个或多个声道一个或多个中间空气容积,其中所述声质量规定微型扬声器的频率响应中的第二谐振位于可听见的范围内。
Description
技术领域
本发明涉及具有包括第一和第二谐振的频率响应的微型扬声器或微型扬声器组件,其中频率响应中至少一个谐振的位置至少部分地由声质量(acoustical mass)确定。
背景技术
用于移动音频设备(诸如助听器或耳戴式装置(hearable))的传统扬声器的频率响应通常由扬声器系统中的移动质量确定。传统扬声器可以例如是平衡电枢接收器/扬声器。这种类型的扬声器的机械质量如此之大,以至于次谐振与主谐振足够接近,从而实现带宽的有用扩展。然而,大的机械质量是不利的,因为它可能引起不需要的振动。
具有低移动质量的扬声器,诸如静电和压电扬声器/接收器,也往往会引起更少的振动。然而,由于低移动质量,例如压电扬声器/接收器的次谐振约为40kHz,这对于扩展带宽是不可用的,因为主谐振和次谐振之间的间隙太大。
因此可将提供一种包括能够在可听见的带宽中生成声音的低移动质量致动器的微型扬声器视为本发明的实施例的目标。
可将提供一种具有包括至少第一和第二谐振的频率响应的微型扬声器视为本发明的实施例的另一个目标。
可将提供一种其中频率响应中的至少一个谐振(除了其他参数外)由声质量确定的微型扬声器视为本发明的实施例的更进一步的目标。
发明内容
在第一方面,通过提供在其频率响应中具有至少第一和第二谐振的微型扬声器来遵守上述目标,所述微型扬声器包括
-振动膜,用于响应于电驱动信号生成声压波,
-一个或多个声道,至少部分地围绕形成声质量的总空气容积,以及
-一个或多个中间空气容积,在声学上被连接到一个或多个声道,并在声学上被连接到振动膜,
其中,声质量规定微型扬声器的频率响应中的第二谐振位于可听见的范围内。
因此,本发明涉及具有包括多个谐振的频率响应的微型扬声器,其中频率响应中的这些谐振中的至少一个的位置由与该微型扬声器相关联的声质量确定。因此,声质量的存在对于频率响应中的第二谐振位于可听见的范围内是决定性的,并且因此有助于此。因此,微型扬声器可以具有主谐振和次谐振,以便在可听见的范围中具有适当的宽带响应。
术语“微型扬声器”应被理解为适合在便携式设备中使用的扬声器,包括助听器、听力设备、耳戴式装置、平板电脑、蜂窝电话等。因此,典型尺寸(高度、宽度、深度)小于20mm,诸如小于15mm,诸如小于10mm,诸如小于5mm。
用于生成声压波的振动膜优选地可以是低质量的振动膜。该振动膜可包括以大体上平坦的振动膜的形式的大体上平面的振动膜,适于响应输入的电驱动信号而移动。大体上平坦的振动膜通常具有小于0.5mm的厚度,诸如小于0.2mm,诸如小于0.1mm,诸如小于0.05mm。在一个实施例中,大体上平面的振动膜可包括驱动结构,所述驱动结构包括布置在第一和第二电极之间的压电材料层。当电驱动信号被提供给第一和第二电极时,由于压电材料的偏转,大体上平面的振动膜将响应于其移动。压电材料以及第一和第二电极可以被集成或嵌入到大体上平面的振动膜中。弹性层可以被固定到其中一个电极。
在另一实施例中,微型扬声器还可包括与大体上平面的振动膜大体上平行布置的导电背板。导电背板可以包括以多个贯穿开口的形式的一个或多个穿孔。大体上平面的振动膜可以是导电的振动膜,并且因此电驱动信号可以在背板和振动膜之间提供,以响应于其移动大体上平面的振动膜。
微型扬声器的第一谐振可能在1-5kHz范围内,诸如在2-4kHz范围中,诸如在3-4kHz范围中。第二谐振可在3-10kHz范围内,诸如在5-10kHz范围内,诸如在6-9kHz范围内。
微型扬声器还可以包括一个或多个后部容积。一个或多个中间空气容积可具有总容积,所述总容积小于所述一个或多个后部容积的容积的10%,诸如小于5%,诸如小于3%,诸如小于2%。
一个或多个声道可具有预确定的横截面积S和预确定的长度L。空气质量密度表示为ρ,声质量Ma由Ma=ρ·L/S给出。作为示例,具有约100m3/Pa的振动膜柔顺度(compliance)的微型扬声器将需要大约60000kg/m4的声质量,以使第二谐振降到7kHz。一般来说,由于振动膜的柔顺度或多或少与后部容积的大小成正比(对于高效扬声器),声质量与后部容积的大小成反比。
一个或多个中间空气容积的声学柔顺度可能有利地小于振动膜的声学柔顺度。此外,可以提供用于阻尼微型扬声器的频率响应的阻尼布置。
在微型扬声器的优选实施例中,振动膜可形成MEMS管芯(die)的一部分,并且一个或多个中间空气容积至少部分地限定在振动膜、MEMS块(bulk)和基板之间。如上文所公开的,振动膜可实现为上文公开的类型的大体上平面的振动膜,即以压电振动膜或静电振动膜的形式。此外,一个或多个声道可至少部分地限定在MEMS管芯的基板中。在本上下文中,术语“至少部分”应理解为完全集成在基板中,或由基板与其他元件(包括顶和/或底板)组合地限定。此外,一个或多个声道可被限定为许多扰动,诸如在基板中以贯穿的开口形式。
在第二方面,本发明涉及在其频率响应中具有至少第一和第二谐振的微型扬声器,所述微型扬声器包括
-低质量电机,用于响应于电驱动信号生成声压波,
-一个或多个声道,至少部分地围绕形成声质量的总空气容积,以及
-一个或多个中间空气容积,在声学上被连接到一个或多个声道,并且在声学上被连接到振动膜,
其中,声质量规定在微型扬声器的频率响应中的第二谐振位于可听见的范围内。
因此,本发明涉及具有包括多个谐振的频率响应的微型扬声器,其中频率响应中的这些谐振中的至少一个的位置由与该微型扬声器相关联的声质量确定。因此,声质量的存在对于频率响应中的第二谐振位于可听见的范围内是决定性的,并因此有助于此。因此,微型扬声器可以具有主谐振和次谐振,以便在可听见范围内具有适当的宽带响应。
低质量电机涉及与例如移动电枢式电机相比具有较低可移动质量的电机。未经修改的低质量电机在声学上是不同的,因为其系统/自然谐振通常落在可听见的范围之外。因此,为了使低质量扬声器可用于例如助听器,需要按照上述建议对其进行修改。
该第二方面的低质量电机可按照与本发明的第一方面相关公开的来实现。因此,该低质量电机可包括以大体上平坦的结构的形式的大体上平面的振动膜,所述振动膜适合于响应于输入电驱动信号而移动。
大体上平面的振动膜可以包括驱动结构,所述驱动结构包括布置在第一和第二电极之间的压电材料层。当电驱动信号被提供给第一和第二电极时,由于压电材料的偏转,大体上平面的振动膜将响应于其而移动。压电材料以及第一和第二电极可以被集成或嵌入到大体上平面的振动膜中。弹性层可以被固定到其中一个电极。
或者,低质量电机可包括与大体上平面的振动膜大体上平行布置的导电背板。该导电背板可以包括以多个贯穿开口的形式的一个或多个穿孔。大体上平面的振动膜可以是导电的振动膜,并因此电驱动信号可以在背板和振动膜之间提供,以响应于其来移动大体上平面的振动膜。
一个或多个声道和一个或多个中间空气容积的实现可以与本发明的第一方面有关地讨论。
在第三方面,本发明涉及一种微型扬声器组件,其包括多个如上述方面中任一个所述的微型扬声器。原则上,包括的微型扬声器的数量可以是任意的。因此,微型扬声器的数量可以是2、3、4、5,或甚至更多的微型扬声器。此外,所述多个微型扬声器可以以各种方式相对彼此布置,包括彼此并排、在彼此上方、相对于彼此位移、相对于彼此旋转等等。
在第四方面,本发明涉及一种用于听力设备的入耳件,所述入耳件包括根据本发明的第一、第二或第三方面的微型扬声器。
在第五方面,本发明涉及包括根据本发明的第四方面的入耳件的听力设备。
一般来说,本发明的各个方面可以在本发明的范围内以任何可能的方式被结合和耦合。本发明的这些和其他方面、特征和/或优点将从下文描述的实施例中显而易见,并参考下文描述的实施例加以阐明。
附图说明
现在将参考附图更详细地描述本发明,其中:
图1示出了微型扬声器;
图2示出了由压电杆组成的振动膜;
图3示出了静电振动膜和关联的背板;
图4示出了微型扬声器,其具有用于限定主谐振的外部管段;
图5示出了微型扬声器,其具有限定主谐振的外部管段和声音出口端口;
图6示出了微型扬声器,其具有限定主谐振的外部管段和声音输出管;
图7示出了限定声质量的穿孔基板;
图8示出了限定声质量的穿孔板;
图9示出了限定声质量的上穿孔板;
图10也示出了限定声质量的上穿孔板;
图11示出了限定声质量的穿孔基板;
图12示出了限定声质量的集成声道;
图13示出了限定声质量的非集成声道;
图14示出了限定声质量的部分集成的声道;
图15示出了第一微型扬声器组件;
图16示出了第二微型扬声器组件;
图17示出了第三微型扬声器组件;以及
图18示出了第四微型扬声器组件。
虽然本发明容易受到各种修改和替代形式的影响,但具体实施例通过图中的示例已示出,并将在本文中详细描述。然而,应当理解的是,本发明并不旨在被限制于所公开的特定形式。相反,本发明将涵盖落入由所附权利要求限定的本发明的精神和范围内的所有修改、等价物和替代物。
具体实施方式
在一个通常方面,本发明涉及一种具有包括多个谐振的频率响应的微型扬声器,其中频率响应中的这些谐振中的至少一个的位置由与该微型扬声器相关联的声质量确定。
现在参考图1,描绘了微型扬声器100。该微型扬声器100包括扬声器壳体,所述扬声器壳体包括下部101和盖102,具有布置在其中的声音出口端口111。在所述扬声器壳体内,提供了包括开口108的基板109。开口108形成穿过基板109的声道,并且开口108的总空气容积形成声质量。与振动膜103和MEMS块104一起,基板109将前部容积106与后部容积107分开。前部容积106在声学上被连接到声音出口端口111。一根或多根电线110确保电信号可以被引导到振动膜103,以便移动所述振动膜103以生成声压波。基板109可由电绝缘层和图案化导电层制成,并提供连接到外部电信号源的手段。如图1所示,振动膜103、MEMS块104和基板109以振动膜103和开口108之间的中间容积的形式来限定MEMS腔105。
如图2中描绘的,振动膜可以是压电振动膜,或者其可以实现为具有关联的背板的静电振动膜,如图3中描绘的。
在图2中示出的实施例中,描绘了形成振动膜的压电杆203。压电杆被固定到MEMS块201。此外,在中心部分提供了开口或间隙202,参见图2a。杆之间的间隙如此之窄,以至于通过间隙的声泄漏不影响可听见的频率范围内的声输出,并且多个杆有效地表现为一个密封的振动膜。通过间隙的声泄漏确定扬声器的声输出的低频拐角。低频拐角可以高于10Hz,诸如高于20Hz,诸如高于30Hz,诸如高于40Hz,诸如高于50Hz。间隙202可以小于20μm,诸如小于10μm,诸如小于5μm。图2b示出了图2a的环绕部分的放大图。如图2b中描绘的,压电杆形成一个分层结构,包括布置在两个电极206、208之间的压电材料207。电极206、208适于被连接到电压源,参见图2c。弹性层209被固定到电极208。该弹性层209与MEMS块204集成,并与之结合来限定MEMS腔205。MEMS腔205形成中间容积。图2c示出了处于由箭头210指示的偏转的位置中的压电杆。压电杆的偏转是通过向电极211、212施加电压来提供的,由此,杆根据施加电压的极性向上或向下偏转。此外,在杆下方提供形成中间容积的MEMS腔213。由于杆之间的间隙如此窄,以至于杆在可听见的频率范围表现为振动膜,当向电极211、212施加适当的驱动信号/电压时,可生成声压。
或者,如果振动膜被固定到压电杆并向电极211、212施加适当的驱动信号/电压,则可能生成声压变化。这样的单独的振动膜可以是聚合物振动膜、金属振动膜或复合材料,并且可以由刚性区域和柔顺区域组成。
在图3中,描绘了具有关联的背板的静电致动的振动膜。参考图3a,描绘了导电振动膜303、MEMS块301和MEMS腔302。图3b示出了图3a的放大版本。如图3b所示,振动膜304被布置在垫片305上,以确保到有穿孔307的背板306之间的距离。振动膜304、垫片305和背板306结合构成中间容积。穿孔307中的每一个形成穿过背板306的声道,穿孔307的总空气容积形成声质量。
支撑振动膜304和垫片305的MEMS块309与背板306结合限定MEMS腔308。在图3c中,电压源已被连接到MEMS腔315上方的导电振动膜310和穿孔背板311。如图3c中描绘的,施加的电压使振动膜310在背板311的方向中偏转。利用在振动膜310和穿孔背板311之间施加的适当驱动信号/电压,可生成声压变化。如前所述,振动膜310由MEMS块312通过垫片314支撑。
图4示出了微型扬声器400,所述微型扬声器400具有与声音出口端口405相连的刚性管403和柔性管404。微型扬声器400包括扬声器壳体,所述扬声器壳体包括下部401和盖402,具有布置在其中的声音出口端口405。在扬声器壳体内提供了包含开口408的基板411。开口408形成穿过基板411的声道,且开口408的总空气容积形成声质量。与振动膜406和MEMS块412一起,基板411将前部容积409与后部容积410分开。前部容积409在声学上被连接到声音出口端口405。电线确保电信号可以被引导到振动膜406,以便移动所述振动膜406以生成声压波。振动膜406可由压电杆驱动(参见图2),或者可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。振动膜406、MEMS块412和基板411以振动膜406和开口408之间的中间容积的形式限定MEMS腔407。
图4中示出的微型扬声器具有包括主谐振的频率响应。频率响应中的主谐振的位置由系统中的声质量和柔顺度确定。由于振动膜的移动质量相对较小,因此总的声质量由管段403、404内的空气容积的声质量主导。通常,图4中示出的微型扬声器具有2-4kHz范围内的主谐振。微型扬声器的总频率响应通常在1-10kHz范围内。
图5示出了微型扬声器500,该微型扬声器500还具有与声音出口端口505连接的刚性管503和柔性管504,所述声音出口端口505包括确定微型扬声器的声质量的声孔。类似于图4中示出的实施例,微型扬声器500包括扬声器壳体,所述扬声器壳体包括下部501和盖502,具有布置在其中的声音出口端口505。在扬声器壳体内提供了包括开口508的基板511。开口508形成穿过基板511的声道,且开口508的总空气容积形成声质量。与振动膜506和MEMS块512一起,基板511将前部容积509与后部容积510分开。前部容积509在声学上被连接到声音出口端口505,该声音出口端口505包括确定了微型扬声器的声质量的声孔。电线确保电信号可被引导到振动膜506,以便响应于其生成声压波。同样,振动膜506可由压电杆驱动(参见图2),或者可以实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。振动膜506、MEMS块512和基板511以振动膜506和开口508之间的中间容积的形式限定MEMS腔507。
类似于图4中示出的实施例,图5示出的实施例具有包括主谐振的频率响应。频率响应中的主谐振的位置由布置在声音出口端口505中的声孔的空气容积的声质量确定。图5中示出的微型扬声器通常具有在2-4kHz范围内的主谐振。类似于图4中示出的实施例,微型扬声器的总频率响应通常在1-10kHz范围内。
现在转到图6,限定空气容积从而限定声质量的管605已被插入声音出口端口。除管605外,图6中示出的微型扬声器与图4和5中示出的实施例类似。因此,图6中示出的实施例包括扬声器壳体,所述扬声器壳体包括下部601和盖602,具有固定到其的管605。在扬声器壳体的外部提供了刚性管603和柔性管604。在扬声器壳体内提供了具有开口608的基板611、振动膜606和MEMS块612。开口608形成穿过基板611的声道,且开口608的总空气容积形成声质量。与振动膜606和MEMS块612一起,基板611将前部容积609与后部容积610分开。如前所述,振动膜606可以由压电杆驱动(参见图2),或者可以实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。振动膜606、MEMS块612和基板611以振动膜606和开口608之间的中间容积的形式限定MEMS腔607。与先前的实施例类似,图6中示出的实施例具有包括主谐振的频率响应,其中频率响应中的主谐振的位置由管605的空气容积的声质量确定。图6中示出的微型扬声器通常具有在2-4kHz范围内的主谐振。微型扬声器的总频率响应通常在1-10kHz范围内。
现在参考图7,描绘了一个实施例700,其中声质量由基板703中的多个穿孔704的总空气容积限定。如图7中所示,振动膜701、MEMS块702和穿孔基板703、704限定了中间容积705。如前所述,振动膜701可以由压电杆驱动(参见图2),或者可以实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图8示出了几乎类似的实施例800,其中声质量由板804中的多个穿孔805的总空气容积限定,所述板804由基板803支撑。如图8所示,振动膜801、MEMS块802、穿孔板804、805和基板803限定了中间容积806。如前所述,振动膜801可以由压电杆驱动(参见图2),或者可以实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图9示出了又一个实施例900,其中声质量由在板904中的多个穿孔906的总空气容积限定,所述板904被布置于振动膜901上方。穿孔板904和振动膜91由垫片905分开,从而在其间形成中间容积909。如图9所示,振动膜901、MEMS块902和具有开口908的基板903限定了MEMS腔907。与先前的实施例类似,如前所述,振动膜901可由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图10示出了又一个实施例1000,其中声质量由板1004中的多个孔1005的总空气容积限定,所述板1004由基板1002支撑。穿孔板1004和振动膜1001由基板1002和垫片1003分开,从而在其间形成了中间容积1007。与先前的实施例类似,由MEMS块1006支撑的振动膜1001可由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图11示出了实施例1100,其中,声质量由布置在垫片1103上的穿孔基板1102的开口1104的总空气容积限定,以便在穿孔基板1102和由MEMS块1105支撑的膜1101之间形成中间容积1106。振动膜1101可由压电杆驱动(参见图2),或可实现为有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图12示出了实施例1200,其中声质量由具有声音入口1208和声音出口1209的声道1207中的空气容积限定。声道1207被限定在上壁1206和下壁1205之间,并且形成基板1203的一个整体部分。在振动膜1201、MEMS块1202和基板1203之间形成中间容积1204。如前所述,振动膜1201可以由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图13示出了类似于图12中示出的实施例的实施例1300。在图13中,声质量由具有声音入口1308和声音出口1309的声道1307中的空气容积限定。声道1307被限定在固定到基板1303的上和下板1306、1305之间。在振动膜1301、MEMS块1302、上板1306和基板1303之间形成中间容积1304。如前所述,振动膜1301可以由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图14示出了又一个实施例1400,其中声质量由具有声音入口1409和声音出口1410的声道1408中的空气容积限定。声道1408被限定在上板1407和基板1403的减薄部分1406之间。如图14所示,减薄部分1406形成为基板中的凹口或凹陷1405。上板1407被固定到基板1403。在振动膜1401、MEMS块1402、上板1407和基板1403之间形成中间容积1404。如前所述,振动膜1401可以由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。
图12-14中示出的实施例的声质量都提供了一定量的阻尼。
在图12-14中描绘的实施例中,声道与基板相连实现。然而,应注意的是,声道或者可在基板之外实现,例如以类似于图9中的穿孔板的方式。
图15示出了微型扬声器组件1500,该微型扬声器组件1500包括两个图13中示出的类型的微型扬声器。这两个微型扬声器被并排布置在扬声器壳体内,该扬声器壳体包括下部1513和盖1514。每个扬声器的声质量由各个声道1505、1506中的空气容积限定,每个声道都有声音入口和声音出口。声音出口在声学上被连接到公共的后部容积1508。声道1505、1506都被限定在固定到公共基板1509的相应上和下板之间。现参考图15中的左扬声器,中间容积1504在振动膜1502、MEMS块1512、声道的上板和公共基板1509之间形成。现参考图15中的右扬声器,中间容积1503在振动膜1501、MEMS块1511、声道的上板和公共基板1509之间形成。此外,图15中示出的微型扬声器组件包括公共前部容积1507和公共后部容积1508,所述公共前部容积1507在声学上被连接到声音出口端口1510。如前所述,振动膜1501、1502可以由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。优选地,图15中示出的组件的两个微型扬声器是相同的。然而,应该注意的是,它们实际上可能是不同的。
图16示出了微型扬声器组件1600,所述微型扬声器组件1600也包括两个图13中示出的类型的微型扬声器。在图16中,两个微型扬声器在扬声器壳体内被布置在彼此上方,所述扬声器壳体包括下部1611和上部1616。与图15中示出的实施例类似,每个扬声器的声质量由各个声道1605、1606中的空气容积限定,每个声道都有声音入口和声音出口。声音出口在声学上被连接到各自的后部容积1608、1609。声道1605、1606都被限定在各自的上和下板之间,所述上和下板被固定到各自的基板1612、1613。现参考图16中的上扬声器,中间容积1603在振动膜1601、MEMS块1614、声道的下板和基板1612之间形成。现参考图16中的下扬声器,中间容积1604在振动膜1602、MEMS块1615、声道的上板和基板1613之间形成。此外,图16中示出的微型扬声器组件包括公共前部容积1607和各自的后部容积1608、1609,所述公共前部容积1607在声学上被连接到声音出口端口1610。同样,振动膜1601、1602可由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。优选地,图16中示出的组件的两个微型扬声器是相同的。然而,应该注意的是,它们实际上可能是不同的。
图17示出了又一个微型扬声器组件1700,所述微型扬声器组件1700仍然包括两个堆叠的图13中示出的类型的微型扬声器。在图17中,两个微型扬声器被布置在扬声器壳体内,所述扬声器壳体包括下部1714和上部1717。与图16中示出的实施例相比,图17中示出的微型扬声器被上下翻转。每个微型扬声器的声质量由各个声道1705、1706中的空气容积限定,每个声道都有声音入口和声音出口。如图17中示出,声音出口在声学上被连接到公共前部容积1707,该公共前部容积1707在声学上被连接到声音出口端口1710。声道1705、1706都被限定在固定到各自的基板1712、1713的各自的上和下板之间。现参考图17中的上扬声器,中间容积1703在振动膜1701、MEMS块1715、声道的上板和基板1712之间形成。现参考图17中的下扬声器,中间容积1704在振动膜1702、MEMS块1716、声道的上板和基板1713之间形成。此外,图17中示出的微型扬声器组件包括公共前部容积1707以及各自的后部容积1708、1709,所述公共前部容积1707在声学上被连接到声音出口端口1710。同样,振动膜1701、1702可由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。优选地,图17中示出的组件的两个微型扬声器是相同的。然而,应该注意的是,它们实际上可能是不同的。
图18a和18b示出了又一个微型扬声器组件1800,该微型扬声器组件1800仍然包括两个堆叠的图13中示出的类型的微型扬声器。图18a中描绘的实施例可视为图17中示出的实施例的紧凑版本。在图18a和18b中,两个微型扬声器被布置在包括下部1816和上部1823的扬声器壳体内。每个微型扬声器的声质量由各个声道1819、1820和公共声道1821中的空气容积限定,公共声道1821在声学上被连接到公共前部容积1807和声音出口1808。在图18中,上微型扬声器通过基板1814中的开口1809在声学上与声道1819连接,因为开口1809与声道1819的区域1817对齐。类似地,通过基板1815中的开口1810,下微型扬声器在声学上与声道1820连接,因为开口1810与声道1820的区域1818对齐。关于上扬声器,中间容积1803在振动膜1801、MEMS块和基板1814之间形成。关于下扬声器,中间容积1804在振动膜1802、MEMS块和基板1815之间形成。声道1819-1821在布置在基板1814、1815之间的中间件1813内提供。此外,图18中示出的微型扬声器组件包括各自的后部容积1805、1806。同样,振动膜1801、1802可以由压电杆驱动(参见图2),或可实现为具有关联的背板的静电振动膜(参见图3)。优选地,图18中示出的组件的两个微型扬声器是相同的。然而,应该注意的是,它们实际上可能是不同的。
在图15-18的微型扬声器组件中,两个微型扬声器被布置为要么彼此相邻要么以堆叠的配置在彼此之上。应注意的是,可能会包括额外的微型扬声器,以便微型组件包括两个以上的微型扬声器。
Claims (19)
1.一种微型扬声器(100),在所述微型扬声器的频率响应中具有至少第一谐振和第二谐振,所述微型扬声器包括:
-振动膜(103),用于响应于电驱动信号生成声压波,
-一个或多个声道(108),至少部分围绕形成声质量的总空气容积,
-一个或多个中间空气容积(105),在声学上被连接到所述一个或多个声道(108),并且在声学上被连接到所述振动膜(103),以及
-前部容积(106)和一个或多个后部容积(107),
其中,所述声质量规定所述微型扬声器的所述频率响应中的所述第二谐振位于可听见的范围内,并且其中一个或多个中间空气容积(105)的声学柔顺度小于振动膜(103)的声学柔顺度,以及
其中所述一个或多个声道(108)的声音出口声学连接至所述前部容积(106)或所述一个或多个后部容积(107)。
2.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述振动膜包括平面振动膜,所述平面振动膜包括驱动结构,所述驱动结构包括布置在第一电极(206)和第二电极(208)之间的压电材料层(207)。
3.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述振动膜包括平面振动膜(304),并且所述微型扬声器还包括与所述平面振动膜(304)平行布置的导电背板(306),并且其中所述平面振动膜(304)是导电振动膜。
4.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述第一谐振在1-5kHz范围内。
5.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述第一谐振在2-4kHz范围中。
6.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述第一谐振在3-4kHz范围中。
7.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述第二谐振在3-10kHz范围内。
8.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述第二谐振在5-10kHz范围内。
9.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述第二谐振在6-9kHz范围内。
10.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述一个或多个中间空气容积(105)具有总容积,所述总容积小于所述一个或多个后部容积的容积的10%。
11.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述一个或多个中间空气容积(105)具有总容积,所述总容积小于所述一个或多个后部容积的容积的5%。
12.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述一个或多个中间空气容积(105)具有总容积,所述总容积小于所述一个或多个后部容积的容积的3%。
13.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述一个或多个中间空气容积(105)具有总容积,所述总容积小于所述一个或多个后部容积的容积的2%。
14.如权利要求1所述的微型扬声器,还包括用于阻尼所述微型扬声器的所述频率响应的阻尼布置。
15.如权利要求1所述的微型扬声器,其中所述振动膜(103)形成MEMS管芯的部分,并且所述一个或多个中间空气容积(105)至少部分地限定在所述振动膜(103)、MEMS块(104)和基板(109)之间。
16.如权利要求15所述的微型扬声器,其中所述一个或多个声道(108)至少部分限定在所述基板(109)中。
17.一种微型扬声器组件,包括多个如权利要求1-16中任一项所述的微型扬声器。
18.一种用于听力设备的入耳件,所述入耳件包括如权利要求1-16中任一项所述的微型扬声器,以及/或者包括如权利要求17所述的微型扬声器组件。
19.一种听力设备,包括如权利要求18所述的入耳件。
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