CN110197783B - 扫描电镜样品的定位装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种扫描电镜样品的定位装置，包括：T形台和与T形台配合插接的样品架，T形台包括平面支撑件和第一柱体，平面支撑件的上表面为多边形，第一柱体的顶端与平面支撑件底部连接，第一柱体用于支撑平面支撑件，平面支撑件的上表面用于放置样品；样品架的上表面设置有多个多边形凹槽，用于插接平面支撑件，每个凹槽中心设置有与第一柱体匹配的第一柱孔，第一柱孔用于插接T形台的第一柱体，平面支撑件被包含于凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数。本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，可以对放置有样品的T形台进行恢复定位，以实现对同一视域重复观测。

Description

扫描电镜样品的定位装置

技术领域

本发明涉及实验仪器设备技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品的定位装置。

背景技术

随着微观观测技术的发展，扫描电镜广泛的应用在各个领域，越来越多的需求是在一个厘米级或者毫米级的样品上进行微米-纳米级的观测，并且对于同一样品的同一视域做反复观测的需求也越来越多。

现有技术中，扫描电镜样品并非直接放置在电镜样品台之上的，而是通过T形台和样品架的协助，与电镜样品台固定在一起的。具体的，样品通过专用胶带或胶水固定到T形台表面，T形台放置在样品架上，样品架底部和电镜样品台衔接固定。

由于现有技术中的粘贴有样品的T形台从样品架上卸下，就很难再精确复原与样品架之间的角度和位置，也就无法对同一视域进行观测，进而无法进行实验，致使实验进度缓慢。

发明内容

为解决现有技术中存在的问题，本发明提供一种扫描电镜样品的定位装置，即使在放置有样品的T形台卸下样品架之后，仍可以复原与样品架之间的角度和位置，以实现对同一视域进行观测。

本发明实施例提供一种扫描电镜样品的定位装置，该装置包括：T形台和与所述T形台配合插接的样品架，其中，

所述T形台包括平面支撑件和第一柱体，所述平面支撑件的上表面为多边形，所述第一柱体的顶端与所述平面支撑件底部连接，所述第一柱体用于支撑所述平面支撑件，所述平面支撑件的上表面用于放置样品；

所述样品架的上表面设置有多个凹槽，所述凹槽为多边形，用于插接所述平面支撑件，所述多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与所述第一柱体匹配的第一柱孔，所述第一柱孔用于插接所述T形台的第一柱体，所述T形台的平面支撑件位于所述凹槽内，其中，所述平面支撑件被包含于所述凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数。

可选的，所述样品架上表面的凹槽所形成的多边形为正多边形。

可选的，所述T形台的平面支撑件厚度大于或等于所述凹槽的深度；

所述T形台中第一柱体的高度小于或等于所述样品架的厚度。

可选的，所述样品架的侧表面还包括多个圆孔，所述多个圆孔与第一柱孔一一对应，且所述多个圆孔与所述第一柱孔垂直设置，所述多个圆孔用于固定插接在第一孔柱中的所述第一柱体。

可选的，所述样品架上表面的凹槽周边设置有第一标记，所述第一标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的位置。

可选的，所述样品架上表面的凹槽所形成的正多边形的顶点周边设置有第二标记，所述第二标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的角度。

可选的，所述样品架上表面的多个正多边形凹槽沿直线或曲线间隔排列。

可选的，所述T形台和所述样品架为金属材质。

可选的，所述装置还包括电镜样品台，所述样品架的底面与所述电镜样品台的上表面衔接固定。

可选的，所述样品架的厚度和所述T形台的高度为厘米级，所述样品架中的第一柱孔的孔径为毫米级。

本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，该装置包括：T形台和与所述T形台配合插接的样品架，其中，所述T形台包括平面支撑件和第一柱体，所述平面支撑件的上表面为多边形，所述第一柱体的顶端与所述平面支撑件底部连接，所述第一柱体用于支撑所述平面支撑件，所述平面支撑件的上表面用于放置样品；所述样品架的上表面设置有多个凹槽，所述凹槽为多边形，用于插接所述平面支撑件，所述多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与所述第一柱体匹配的第一柱孔，所述第一柱孔用于插接所述T形台的第一柱体，所述T形台的平面支撑件位于所述凹槽内，其中，所述平面支撑件被包含于所述凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数。由于所述平面支撑件被包含于所述样品架上表面的凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数，这样即使在放置有样品的T形台卸下样品架之后，仍可以复原与样品架之间的角度和位置，以实现对同一视域进行观测。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明根据一示例性实施例示出的一种扫描电镜样品的定位装置的结构示意图；

图2是图1中T形台的结构示意图；

图3是图1中T形台的俯视图；

图4是图1中样品架的正视图；

图5是图1中样品架的俯视图；

图6是图1中T形台插接至样品架凹槽的侧视图；

图7a-图7f分别是样品放置于凹槽A点位-F点位的俯视图；

图8是样品架与T形台联合使用的俯视图；

附图标记说明：

11：T形台；

12：平面支撑件；

13：第一柱体；

14：样品架；

15：凹槽；

16：第一柱孔；

17：圆孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”及“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，可以应用于利用扫描电镜多次对进行微米-纳米级的观测实验的场景中，现有技术中由于粘贴有样品的T形台从样品架上卸下，就很难再精确复原与样品架之间的角度和位置，也就无法对同一视域进行观测，进而无法进行实验，致使实验进度缓慢。

考虑到上述技术问题，本发明提出了一种扫描电镜样品的定位装置，该装置包括：T形台和与T形台配合插接的样品架，其中，T形台包括平面支撑件和第一柱体，平面支撑件的上表面为多边形，第一柱体的顶端与平面支撑件底部连接，第一柱体用于支撑平面支撑件，平面支撑件的上表面用于放置样品；样品架的上表面设置有多个凹槽，凹槽为多边形，用于插接平面支撑件，多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与第一柱体匹配的第一柱孔，第一柱孔用于插接T形台的第一柱体，T形台的平面支撑件位于凹槽内，其中，平面支撑件被包含于凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数。由于平面支撑件被包含于样品架上表面的凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数，这样即使在放置有样品的T形台卸下样品架之后，仍可以复原与样品架之间的角度和位置，以实现对同一视域进行观测。

下面以具体的实施例对本发明的技术方案进行详细说明。

图1是本发明根据一示例性实施例示出的一种扫描电镜样品的定位装置的结构示意图；图2是图1中T形台的结构示意图；图3是图1中T形台的俯视图；图4是图1中样品架的正视图；图5是图1中样品架的俯视图；图6是图1中T形台插接至样品架凹槽的侧视图；图7a-图7f分别是样品放置于凹槽A点位-F点位的俯视图；图8是样品架与T形台联合使用的俯视图。

如图1-图8所示，该扫描电镜样品的定位装置，包括：T形台11和与T形台11配合插接的样品架14，其中，T形台11包括平面支撑件12和第一柱体13，平面支撑件12的上表面为多边形，第一柱体13的顶端与平面支撑件12底部连接，第一柱体13用于支撑平面支撑件12，平面支撑件12的上表面用于放置样品；样品架14的上表面设置有多个凹槽15，凹槽15为多边形，用于插接平面支撑件12，多个凹槽15中的每个凹槽中心设置有与第一柱体13匹配的第一柱孔16，第一柱孔16用于插接T形台11的第一柱体13，T形台11的平面支撑件12位于凹槽15内，其中，平面支撑件12被包含于凹槽15中，且平面支撑件12中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽15抵接，且平面支撑件12的顶点数小于或等于凹槽15的顶点数。

在本实施例中，T形台11包括平面支撑件12和第一柱体13，如图2所示，其中，平面支撑件12的上表面为平面，用于放置样品，且平面支撑件12的上表面形成的图形为多边形，例如，图2中所示的平面支撑件12的上表面为三角形，当并不局限于此，还可以为四边形、五边形或六边形。

为了可以使该平面支撑件12具有指向性，以方便记录T形台的放置的角度和位置，在本实施例中，可以将平面支撑件12上表面形成的多边形设置为非对称图形，也即，可以通过其中一个最小的内角对应的顶点来标识T形台11放置的位置或角度，当然也可以通过最小内角对应的边作为标识，具体的可以根据实验人员的习惯来定义，本发明对此不做任何限制。当然平面支撑件12上表面形成的多边形也可以为对称图形，此时，需要将对称图形中其中一个边或者一个顶点作上标记，以便于能够识别T形台11放置的位置或角度。

进一步的，为了能够将平面支撑件12方便的从样品架卸下，与平面支撑件12相连接的还有第一柱体13，具体的，第一柱体13的顶端与平面支撑件12的底部相连，可以通过焊接或者其他的连接方式，第一柱体13用于支撑平面支撑件12。其中第一柱体13可以为圆柱或棱柱，当然，若第一柱体13为棱柱时，可以为三棱柱或者四棱柱，此处，对于第一柱体13的形状并不做任何限制。

在本实施例中，为了使得当T形台11可以插接在样品架14中，因此，第一柱体13的高度小于或等于样品架14的厚度。当然，样品架14的表面还需要设置与T形台11能够实现插接的凹槽15，在凹槽15中还需要设置有与第一柱体13向插接的第一柱孔16。

具体的，样品架14的上表面设置有多个凹槽15，如图4所示，其中，样品架14的上表面形成的图形可以为多边形，也可以为圆形，具体的样品架14的形状并不限于此。为了可以实现对多个样品同时进行观测，还可以在样品架14上设置多个凹槽15，以放置多个放置有多个样品的T形台11，多个凹槽15在样品架14上表面可以沿直线或曲线间隔排列。如图4中，在样品架14的上表面沿直线排列设置有10个凹槽15。

由于T形台11的平面支撑件12需要插接在凹槽15中，因此，在本实施例中，将凹槽15的形状相应的设置为多边形，但是该凹槽15形成的多边形的边数或顶点数大于或等于平面支撑件12上表面形成的多边形的边数或顶点数，且为了使得T形台11可以在凹槽15中可以变换角度，需要满足平面支撑件12中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽15抵接。因此，本实施例中将凹槽15所形成的多边形设置为正多边形，这样可以实现T形台11在凹槽15中变换角度。

示例的，如图6所示，将T形台11插接在正六边形的凹槽15中的示意图，可以使T形台11在凹槽中通过变换角度实现对样品的多个视域进行观测，当然也可以实现在T形台11卸下样品架14之后，还可以对样品同一视域进行观测。

在本实施例中，凹槽15的深度小于T形台平面支撑件12的厚度，这样可以避免由于样品超出平面支撑件12的上表面，在将T形台11安装在样品架14时，破坏样品的问题。

在本实施例中，将第一柱孔16设置为与第一柱体13相同的形状，如图2或图3中的第一柱体13，如图4或图5中的第一柱孔16，这样能够更契合第一柱体13，以提高T形台11安装在样品架14的凹槽15中的稳定性，即使在样品架14在移动的过程中，也能够保持T形台11稳定无偏移。

为了进一步的提高在实验过程中，保证放置有样品的T形台11不晃动，本实施例中，在样品架14的侧表面还设置有多个圆孔17，多个圆孔17与第一柱孔16一一对应，且多个圆孔17与第一柱孔16垂直设置，多个圆孔17用于固定插接在第一孔柱16中的第一柱体13。当然，可以利用螺丝通过圆孔17对插接在第一柱孔16中的第一柱体13进行固定，同时还可以调节T形台11插接在凹槽15中的深度，另外，还方便T形台11从凹槽15中卸下。

在本实施例中，为了方便实验的记录，样品架14上表面的凹槽15所形成的正多边形的顶点周边设置有第二标记，第二标记用于记录T形台11插接在样品架14上表面的角度。例如，如图5所示，在凹槽15所形成的正六边形的每个顶点周边分别设置有标记A、B、C、D、E和F。另外，样品架14上表面的凹槽15周边设置有第一标记，第一标记用于记录T形台11插接在样品架14上表面的位置，如图5中所示，在样品架14的上表面的每个凹槽15分别设置有标记1、2、3、4、5、6、7、8、9、10。

进一步的，扫描电镜样品的定位装置还包括电镜样品台(图中未示出)，用来放置样品架14，且固定样品架14，以方便实验的进行，因此，第一柱体13的高度小于或等于样品架14的厚度，还可以使得第一柱体13不会突出样品架14的底面，以方便样品架14的底面与电镜样品台的上表面衔接固定。

进一步的，根据实验的需要，本实施例中将样品架14的尺寸设置为厘米级，那么T形台11的高度为厘米级，而凹槽15的直径设置为毫米级，因此，样品架14中的第一柱孔16的孔径以及第一柱体13的直径为毫米级。

为了避免由于长时间使用，产生化学反应而污染电镜，或者该装置与样品产生化学反应，本发明实施例将该装置中的T形台11和样品架14均选择稳定金属材质制成，例如铜或者铝等金属，但具体的选择材质本发明实施例不做限制。

通过本发明实施例提供的扫描电镜样品的定位装置，在对同一样品进行同一视域的观测时，根据样品架14和T形台11的标记，可以快速地定位出样品的位置和角度，缩短现有技术中确定样品的角度的时间，方便实验的进行。

下面结合具体的例子来介绍该装置可以实现恢复定位的功能：

在本实施例中，将样品架设计为长方体结构，如图4所示，样品架的上表面设置有10个凹槽，该10个凹槽呈线性排列，每排设置5个凹槽。另外，凹槽所形成的多边形为正六边形。如图5所示，对这10个凹槽按照从左至右，从上到下的顺序编为1-10号，且每个正六边形凹槽的中心设置有第一柱孔，以方便插入T形台的第一柱体。

具体的，为了方便标记，如图5所示，每个正六边形凹槽的每个顶点周围也有编号，标记方式为将正六边形凹槽的左上方顶点标记为A点，而后顺时针标记其余5个点分别为B、C、D、E和F点。通过标识与记录，实现在后期可以快速复原该样品的角度和位置。

进一步的，参考图2，在样品架的侧表面设置有与每个凹槽中的第一柱孔对应的圆孔，圆孔内有可转动的螺丝杆，通过将螺丝杆向内旋转，可以固定放置在样品架凹槽内的T形台。

为了配合包括多个正六边形凹槽的样品架的使用，本实施例设计了以三角形作为平面支撑件的上表面的T形台(图2和图3所示)，以凹槽所形成的正六边形的两个对称的顶点连线做斜边，正六边形的一边做一个直角边(图6所示)，保证T形台的平面支撑件能够放入到样品架的正六边形凹槽中。在本实施例中，为了使得第一柱体可以插接在第一柱孔中，将第一T形台的第一柱体的形状设置为圆柱。并且第一柱体的上表面的圆心与T形台平面支撑件所形成的三角形的斜边中点重合，同时也与正六边形凹槽中的第一柱孔的中心点重合，在旋转三角形平面支撑件的T形台时，保证平面支撑件下方的第一柱体能够插入到第一柱孔之中。

在本实施例中，将T形台平面支撑件的三角形中最小的锐角作为标记角，在使用过程中，可以记录该锐角所对应的正六边形凹槽的顶点编号。如图7a-7f所示，图中的灰色阴影部分为样品，图7a为样品放置于正六边形凹槽A点时的俯视图，此时T形台平面支撑件的最小锐角对应正六边形凹槽的顶点A；图7b为样品放置于正六边形凹槽B点时的俯视图，此时T形台平面支撑件的最小锐角对应正六边形凹槽的顶点B；图7c为样品放置于正六边形凹槽C点时的俯视图，此时T形台平面支撑件的最小锐角对应正六边形凹槽的顶点C；图7d为样品放置于正六边形凹槽D点时的俯视图，此时T形台平面支撑件的最小锐角对应正六边形凹槽的顶点D；图7e为样品放置于正六边形凹槽E点时的俯视图，此时T形台平面支撑件的最小锐角对应正六边形凹槽的顶点E；图7f为样品放置于正六边形凹槽F点时的俯视图，此时T形台平面支撑件的最小锐角对应正六边形凹槽的顶点F。经过此操作，可以清楚的记录T形台在样品架上的角度，也就是记录了放置在T形台上的样品在样品架上的角度，这样，可以实现在后期需要对样品进行统一视域观测时，可以通过记录的角度来复原样品的角度。同时，正六边形凹槽的设计使得T形台(也即样品)可以有六个角度的旋转，基本满足了样品放置角度的要求。

图8是正六边形凹槽的样品架与三角形平面支撑件的T形台的联合使用的俯视图。如图8所示，10个样品的角度和位置信息分别为：1号样品位于1号凹槽的A位点，2号样品位于2号凹槽的B位点，3号样品位于3号凹槽的C位点，4号样品位于4号凹槽的D位点，5号样品位于5号凹槽的E位点，6号样品位于6号凹槽的F位点，7号样品位于7号凹槽的A位点，8号样品位于8号凹槽的B位点，9号样品位于9号凹槽的C位点，10号样品位于10号凹槽的D位点。可以记录每个样品(T形台)在样品架上的角度和位置信息。在实验过程中，可以如下样品位置记录表所示对样品的位置和角度进行记录。

表1

日期	样品编号	凹槽标号	角度标号	定位信息
					2019.06.20	HY-1	5	D	5号D位点
2019.06.21	HY-2	6	F	6号F位点
					2019.6.21	HY-3	3	A	3号A位点

结合样品位置记录表1，可以清楚记录每个样品(T形台)的角度和位置信息。使用该扫描电镜的定位装置，可以达到快速精确恢复样品(T形台)角度和位置，这样解决了现有技术中，粘贴有样品的T形台从样品架上卸下后，很难复原该样品的角度和位置的问题，不仅减少样品(T形台)对样品架的占用，还有效提高样品架的使用率，推进实验进度，减少实验耗材。

在一种可实现的方式中，为了结合实验室中现有的样品架，还可以将本实施例中包含正多边形凹槽的样品架设置为金属薄片，其厚度可以为1～2毫米，且将正多边形的凹槽设置为正多边形孔，正多边形孔的数量与现有实验室中样品架上的圆形孔的数量一致，通过将含有多个正多边形孔的金属薄片放置在实验室现有的样品架的上表面，在对同一样品的对同一视域观测时，也可以实现样品的位置和角度的快速定位。

本发明提供的扫描电镜样品的定位装置，该装置包括：T形台和与T形台配合插接的样品架，其中，T形台包括平面支撑件和第一柱体，平面支撑件的上表面为多边形，第一柱体的顶端与平面支撑件底部连接，第一柱体用于支撑平面支撑件，平面支撑件的上表面用于放置样品；样品架的上表面设置有多个凹槽，凹槽为多边形，用于插接平面支撑件，多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与第一柱体匹配的第一柱孔，第一柱孔用于插接T形台的第一柱体，T形台的平面支撑件位于凹槽内，其中，平面支撑件被包含于凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数。由于平面支撑件被包含于样品架上表面的凹槽中，且平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且平面支撑件的顶点数小于或等于凹槽的顶点数，这样即使在放置有样品的T形台卸下样品架之后，仍可以复原与样品架之间的角度和位置，以实现对同一视域进行观测。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或者暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非是另有精确具体地规定。

本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解本实施例使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种扫描电镜样品的定位装置，其特征在于，包括：T形台和与所述T形台配合插接的样品架，其中，

所述T形台包括平面支撑件和第一柱体，所述平面支撑件的上表面为多边形，所述第一柱体的顶端与所述平面支撑件底部连接，所述第一柱体用于支撑所述平面支撑件，所述平面支撑件的上表面用于放置样品；

所述样品架的上表面设置有多个凹槽，所述凹槽为多边形，用于插接所述平面支撑件，所述多个凹槽中的每个凹槽中心设置有与所述第一柱体匹配的第一柱孔，所述第一柱孔用于插接所述T形台的第一柱体，所述T形台的平面支撑件位于所述凹槽内，其中，所述平面支撑件被包含于所述凹槽中，且所述平面支撑件中的至少一条边和至少一个顶点与多边形凹槽抵接，且所述平面支撑件的顶点数小于或等于所述凹槽的顶点数。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的凹槽所形成的多边形为正多边形。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述T形台的平面支撑件厚度大于或等于所述凹槽的深度；

所述T形台中第一柱体的高度小于或等于所述样品架的厚度。

4.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架的侧表面还包括多个圆孔，所述多个圆孔与第一柱孔一一对应，且所述多个圆孔与所述第一柱孔垂直设置，所述多个圆孔用于固定插接在第一孔柱中的所述第一柱体。

5.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的凹槽周边设置有第一标记，所述第一标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的位置。

6.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的凹槽所形成的正多边形的顶点周边设置有第二标记，所述第二标记用于记录所述T形台插接在所述样品架上表面的角度。

7.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述样品架上表面的多个正多边形凹槽沿直线或曲线间隔排列。

8.根据权利要求1-3任一项所述的装置，其特征在于，所述T形台和所述样品架为金属材质。

9.根据权利要求1-3任一项所述的装置，所述装置还包括电镜样品台，所述样品架的底面与所述电镜样品台的上表面衔接固定。

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