CN110075943A - 冷却装置以及冷却方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种冷却装置以及冷却方法。本实施方式所涉及的冷却装置(100)具备：隔热件(70)，其覆盖对象物(80)的至少一部分；供给管(30)，其同隔热件(70)与对象物(80)之间的间隙(81)连接；粉碎器(21)，其向供给管(30)供给升华性的冷却料粉末；以及空气冷却器(22)，其向供给管(30)喷出气体，以使冷却料粉末(42)在供给管内流动。

Description

冷却装置以及冷却方法

技术领域

本发明涉及冷却装置以及冷却方法。

背景技术

在特开日本2009-216357号公报中，公开有将试验室保持为规定的温度的恒温槽。专利文献1的恒温槽具备加热器和冷冻机。加热器对朝向试验室内供给的供给空气进行加热。冷冻机对供给空气进行冷却。

在专利文献1中，使用冷冻机使试验室内的空气的温度发生变化，从而对试件进行冷却。由此，在短时间对试件进行冷却的情况下，需要使槽内的空气均匀地冷却而使其循环。由此，存在槽内的堆积大型化而导致成本升高的问题。

发明内容

本实施方式所涉及的冷却装置具备：隔热件，其覆盖对象物的至少一部分；供给管，其同所述隔热件与所述对象物之间的间隙连接；冷却料供给部，其向所述供给管供给升华性的冷却料粉末；以及第1气体喷出部，其向所述供给管喷出气体，以使所述冷却料粉末在所述供给管内流动。

上述的冷却装置也可以进一步具备第2气体喷出部，该第2气体喷出部喷出气体，以使来自所述供给管的所述冷却料粉末扩散。

在上述的冷却装置中，也可以构成为所述间隙与所述供给管经由冷冻箱连接，所述第2气体喷出部将气体冷却并向所述冷冻箱内喷出。

在上述的冷却装置中，也可以构成为所述第1气体喷出部将干燥空气冷却并向所述供给管喷出。

在上述的冷却装置中，也可以构成为所述冷却料供给部将冷却料粉碎并将所述冷却料粉末向所述供给管供给。

在上述的冷却装置中，也可以构成为所述隔热件是具有挠性的隔热片。

在上述的冷却装置中，也可以构成为在所述隔热件与所述对象物之间配置有隔离件。

在上述的冷却装置中，也可以构成为在所述隔热件的所述对象物侧配置有金属板，所述冷却料粉末在所述金属板与所述对象物之间的间隙流动。

在上述的冷却装置中，也可以构成为所述供给管是隔热软管。

本实施方式所涉及的冷却方法具备：向同隔热件与对象物之间的间隙连接的供给管供给升华性的冷却料粉末的步骤；向所述供给管喷出气体，以使所述冷却料粉末在所述供给管内流动的步骤；通过使所述冷却料粉末在所述间隙内流动而对所述对象物进行冷却的步骤；以及将在所述间隙内流动的所述气体排出的步骤。

根据本实施方式，可提供能够以省空间并且低成本的方式将对象物冷却的冷却装置以及冷却方法。

通过以下的详细说明和附图，可以更完整地理解本公开的上述和其他目的、特征和优点。以下的详细说明和附图只是出于示例的目的，不构成对本公开的限制。

附图说明

图1是表示实施方式1所涉及的冷却装置的结构的示意图。

图2是将隔热片与对象物之间的间隙放大来表示的示意图。

图3是表示实施方式1所涉及的冷却方法的流程图。

图4是表示实施例1所涉及的冷却装置的结构的示意图。

图5是表示实施例1所涉及的冷却装置中的冷却温度的图表。

图6是表示实施例2所涉及的冷却装置的结构的示意图。

图7是表示实施例3所涉及的冷却装置的结构的示意图。

具体实施方式

以下，参照附图对应用本发明的具体的实施方式进行详细的说明。但是，本发明并不限定于以下的实施方式。另外，为了明确说明，适当地简化以下的记载以及附图。

实施方式1

使用图1对本实施方式所涉及的冷却装置进行说明。图1是表示将对象物80冷却的冷却装置100的结构的示意图。冷却装置100具备压缩气体供给装置10、供给装置20、供给管30、冷冻箱50、空气冷却器51、以及隔热件70。冷却装置100使用升华性的冷却料粉末的升华潜热将对象物80冷却。具体而言，借助气体将冷却料粉末喷吹至对象物80。对象物80例如是汽车用的变速箱，呈圆筒状。

隔热件70例如是覆盖对象物80的隔热片。隔热件70将圆筒状的对象物80的侧面外周覆盖。隔热件70与对象物80之间形成有间隙81。如后述那样，通过使冷却料粉末44在该间隙81中流动，能够将对象物80冷却。隔热件70优选为具有挠性。由此，能够使隔热件70的形状灵活地变化，因此能够形成为与对象物80对应的形状。由此，能够使冷却装置100小型化。

在图1中，隔热件70覆盖对象物80的整体，但隔热件70也可以覆盖对象物80的一部分。即，隔热件70只要覆盖对象物80的至少一部分即可。隔热件70具备供气口71和排气口72。供气口71配置于对象物80的一端侧，排气口72配置于对象物80的另一端侧。供气口71与排气口72与间隙81连接。因此，供气口71与排气口72经由间隙81连接。排气口72与外部空间连接。

供气口71经由冷冻箱50而连接有供给管30。供给管30例如是隔热软管。供给管30优选为具有挠性。供给管30经由冷冻箱50而与供气口71连接。因此，供给管30与间隙81连通。

从供给管30向供气口71供给气体。从供气口71向隔热件70与对象物80之间的间隙81送入气体。然后，被送入的气体从排气口72排出。此外，在图1中，设置于隔热件70的供气口71的数量是一个，但也可以是两个以上。同样地，设置于隔热件70的排气口72也可以是两个以上。间隙81的间隔优选为10mm～100mm左右。

此外，在图1中，通过在隔热件70设置开口，从而形成了供气口71与排气口72，但也可以不在隔热件70设置开口。例如，也可以从隔热件70的端部与对象物80之间的缝隙供给或者排出气体。即，也能够将供给管30与隔热件70的端部连接，从隔热件70的端部向间隙81供给气体。同样地，也能够从隔热件70的端部向外部空间排出气体。具体而言，在覆盖圆筒状的对象物80的侧面整周的情况下，轴向的一方的端部上的隔热件70与对象物80之间的缝隙成为供气口71，另一方的端部上的隔热件70与对象物80之间的缝隙成为排气口72。

供给管30的一端与供给装置20连接。供给装置20将冷却料粉末41与气体一同供给至供给管30。具体而言，供给装置20具备粉碎器21和空气冷却器22。

空气冷却器22与压缩气体供给装置10连接。压缩气体供给装置10例如是压缩机或气瓶，向空气冷却器22供给干燥后的压缩空气。空气冷却器22对干燥后的压缩气体进行冷却，并将其向供给管30喷出。这里，作为压缩气体而使用空气。由此，空气冷却器22将干燥后的低温的空气25向供给管30喷出。当然，空气冷却器22也可以喷出空气以外的气体，例如喷出氮气等。

在空气25的流量较低的情况下，存在冷却能力不足的担忧。因此，空气冷却器22例如优选为以100l/min以上的流量喷出空气。另一方面，在空气的流量较多的情况下，存在冷却料粉末未升华而从排气口72排出的担忧。由此，从空气冷却器22喷出的低温的空气25的流量优选为100～300l/min。当然，根据冷却料粉末41的供给量、间隙81的大小、供给管30的大小等，能够适当地变更空气25的流量。

具体而言，假设压缩气体供给装置10的压缩干燥空气的压力以及供给量为0.7MPa、800l/min。这样，空气冷却器22以200l/min的流量将冷却后的空气25供给至供给管30，以600l/min的流量将加热后的空气排出。或者，假设压缩气体供给装置10的压缩干燥空气的压力以及供给量为0.7MPa/以及600l/min。这样，空气冷却器22以150l/min的流量将冷却后的空气25供给至供给管30，以450l/min的流量将加热后的空气排出。

粉碎器21具有一对粉碎辊等。向粉碎器21投入具有升华性的冷却料40。冷却料40例如是干冰(固体二氧化碳)。投入至粉碎器21的冷却料40被粉碎器21粉碎而成为冷却料粉末41。即，粉碎辊旋转，从而冷却料40被粉碎并成为冷却料粉末41而落下。然后，将冷却料粉末41向供给管30供给。例如，以110g/min的流量将冷却料40向粉碎器21供给。

这样，粉碎器21成为向供给管30供给升华性的冷却料粉末41的冷却料供给部。冷却料粉末41的粒径优选为0.3mm以下。粉碎器21将冷却料40粉碎而制成粒径为0～0.3mm的冷却料粉末41。这样，能够防止冷却料粉末41残留于供给管30。

这里，在空气冷却器22与供气口71之间，粉碎器21将冷却料粉末41投入至供给管30。因此，冷却料粉末41与从空气冷却器22喷出的空气25一同在供给管30内流动。即，在供给管30中，对冷却料粉末41进行压力输送。

如图1所示，将与空气25一同在供给管30内流动的冷却料粉末设为冷却料粉末42。冷却料粉末42借助空气25而在供给管30内流动，并到达供气口71。这样，空气冷却器22成为第1气体喷出部，向供给管30喷出空气25，使得冷却料粉末42在供给管30内流动。作为供给管30而使用隔热软管，并且空气冷却器22喷出低温的空气25。因此，在供给管30的中途，能够防止冷却料粉末42升华。

如上述那样，在供给管30的另一端连接有冷冻箱50。即，在供给管30与供气口71之间安装有冷冻箱50。冷冻箱50例如是不锈钢制的箱。在冷冻箱50安装有空气冷却器51。与空气冷却器22相同地，向空气冷却器51供给空气等的压缩干燥气体。例如，压缩气体供给装置10也可以向空气冷却器51供给压缩空气。此外，也可以利用隔热片等隔热件覆盖冷冻箱50。

空气冷却器51将空气冷却并将其向冷冻箱50内喷出。由此，从空气冷却器51喷出低温的干燥后的空气53。当然，空气冷却器51也可以喷出空气以外的气体，例如喷出氮气等。冷却料粉末42借助干燥后的空气53而喷吹至对象物80。如图1所示，将向对象物80喷吹的冷却料粉末作为冷却料粉末43。

在冷冻箱50内，借助从空气冷却器51喷出的空气53的对流而使冷却料粉末43扩散。空气冷却器51成为第2气体喷出部，其喷出气体，以使来自供给管30的冷却料粉末43扩散。由此，冷却料粉末43一边扩散一边向对象物80喷吹。若冷却料粉末43喷吹至高温的对象物80则升华。利用冷却料粉末43的升华潜热将对象物80冷却。即，利用冷却料粉末43升华为气体时的吸热来将对象物80冷却。

并且，未升华的冷却料粉末43与空气54一同被送入隔热件70和对象物80之间的间隙81。如图1所示，将送入至间隙81的冷却料粉末43作为冷却料粉末44。冷却料粉末44与空气54一同在间隙81流过。若冷却料粉末44在间隙81流过，则借助由升华或者气化产生的潜热使对象物80冷却。即，利用冷却料粉末44变化成气体时的吸热将对象物80冷却。

针对这一点，使用图2进行说明。图2是将隔热件70与对象物80之间的间隙81及其周边放大来表示的图。在隔热件70的对象物80侧配置有金属板74。即，在隔热件70的内侧配置有金属板74。金属板74例如是不锈钢制的金属片。金属板74优选为与隔热件70相同地具有挠性。由此，能够与对象物80的形状相吻合地配置金属板74以及隔热件70。并且，也可以在金属板74与隔热件70之间设置空气层。这样，能够进一步提高隔热性能。

作为隔热件70例如能够使用芳纶纤维等纤维片材。并且，隔热件70也可以是在单面或者两面涂覆有硅树脂等的纤维片材。作为隔热件70，能够选择具有与环境温度、冷却温度对应的耐热性的材料。例如，隔热件70的耐热温度为-60℃～+200℃的范围。另外，通过使隔热件70为挠性的隔热片，能够变化成与对象物80对应的形状。

冷却料粉末44与空气54一同在金属板74与对象物80之间的间隙81流动。冷却料粉末44反复与对象物80碰撞。由此，冷却料粉末44均匀遍及至间隙81，从而将对象物80冷却。即，冷却料粉末44与对象物80碰撞而升华。由此，能够将对象物80的全体冷却。而且，如图1所示，空气54从设置于隔热件70的排气口72向间隙81的外侧排出(图1的空心箭头)。

此外，为了使对象物80与隔热件70之间的间隙81为适当的大小，如图1所示，也能够在对象物80与隔热件70之间配置隔离件89。利用隔离件89，能够将隔热件70与对象物80之间的间隙81调整为10mm～100mm左右。隔离件89优选为具有隔热性。隔离件89例如是隔热橡胶。使多个隔离件89分部在间隙81。这样，能够适当地隔开间隙81。通过将一个以上的隔离件89配置于间隙81，能够防止隔热件70与对象物80接触。由此，能够确保具有适当的大小的间隙81。能够使冷却料粉末44以及空气54均匀遍及于间隙81而进行流动，能够提高冷却性能。此外，如图2所示，在隔热件70的对象物80侧配置有金属板74的情况下，在金属板74与对象物80之间配置隔离件89。

在从空气冷却器51喷出的空气53的流量较低的情况下，存在冷却能力不足的担忧。空气冷却器51例如优选为以100l/min以上的流量将空气53喷出。另一方面，在空气的流量较多的情况下，存在冷却料粉末未升华而被排出的担忧。由此，从空气冷却器51喷出的低温的空气53的流量优选为100～300l/min。当然，根据冷却料粉末41的供给量、间隙81的大小等，能够适当地变更空气53的流量。此外，向空气冷却器51供给的压缩干燥空气的压力、流量、以及从空气冷却器51供给的空气53的流量可以与空气冷却器22相等。

接下来，参照图1和图3对本实施方式所涉及的冷却方法进行说明。图3是表示冷却方法的流程图。首先，粉碎器21将冷却料粉末41向供给管30供给(步骤S11)。例如，粉碎器21将冷却料40粉碎而向供给管30供给冷却料粉末41。接下来，空气冷却器22向供给管30喷出低温的空气25，从而使冷却料粉末42在供给管30内流动(步骤S12)。由此，将冷却料粉末42向冷冻箱50送出。

在冷冻箱50内，冷却料粉末43扩散而向对象物80喷吹(步骤S13)。具体而言，空气冷却器51将空气53向冷冻箱50内喷出。由此，通过由空气53产生的空气对流，将冷却料粉末43喷吹至对象物80。这样，利用冷却料粉末43的升华潜热将对象物80冷却(步骤S14)。

并且，未升华的冷却料粉末44在间隙81内流动而将对象物80冷却(步骤S15)。冷却料粉末44与空气54一同在间隙81中流动，从而冷却料粉末44反复与对象物80碰撞。利用冷却料粉末44的升华潜热将对象物80冷却。由此，能够均匀地将对象物80冷却。而且，使空气54从排气口72向间隙81的外侧排出(S16)。

根据本实施方式，与专利文献1的冷却装置相比，能够实现高性能、省空间、低成本的冷却装置100。例如，向隔热件70与对象物80之间的间隙81供给冷却料粉末43。因此，可以仅用隔热件70覆盖对象物80的至少一部分，因此无需准备收容对象物80的恒温槽。即使在进行高速冷却的情况下，也不需要大型的冷冻机。由此，能够实现省空间并且低成本的冷却装置100。对象物80被隔热件70覆盖。而且，冷却料粉末44与对象物80反复碰撞而对对象物80进行吸热。由此，能够提高冷却性能。由此，能够在短时间冷却至目标温度。

冷却料粉末41被朝向供给管30供给。因此，能够高效地利用冷却料的潜热。并且，若将粒径较大的冷却料40向供给管30供给，则存在冷却料40未升华而被排出的情况。由此，优选将粉末状的冷却料向供给管30供给。优选使冷却料粉末41的粒径在0.3μm以下。另外，为了抑制冷却料粉末在供给管30的中途升华，优选供给管30为隔热软管等隔热配管。通过使用具有挠性的隔热软管来作为供给管30，能够容易地进行朝向冷冻箱50等的安装。

并且，在本实施方式中，借助干燥的空气25而使冷却料粉末41在供给管30中流动。这样，能够防止在供给管30的中途，空气所包含的水分冻结。能够防止因水分的冻结而导致供给管30堵塞的情况，因此能够将冷却料粉末42送出至间隙81。并且，借助空气冷却器22所冷却的空气25，使冷却料粉末41到达供气口71。这样，能够抑制在供给管30的中途冷却料粉末升华的情况，能够高效地将对象物80冷却。

并且，在本实施方式中，供给管30与供气口71经由冷冻箱50连接。而且，在冷冻箱50连接有空气冷却器51。空气冷却器51朝向供气口71喷出空气53。由此，使冷却料粉末43遇到空气冷却器51的空气对流，从而能够使冷却料粉末43遍及至对象物80的周围。由此，能够高效地将对象物80冷却。

实施例1.

使用图4对本实施例所涉及的冷却装置100进行说明。图4是表示冷却装置100的整体结构的示意图。在实施例1中，将汽车发动机的变速箱(T/M)作为对象物80。此外，对于与实施方式1共通的内容，适当地省略说明。另外，在图4中，简化图1所示的结构的一部分。

对象物80配置在架台82上。并且，作为对象物80的变速箱与发动机83连结。发动机83配置在架台84上。并且，对象物80与动力传递接头85连结。冷却装置100例如为了进行变速箱(对象物80)的低温动作试验而对对象物80进行冷却。具体而言，一边使发动机83执行动作一边进行试验。即，由发动机产生的动力经由对象物80传递至动力传递接头85。而且，在低温动作时，对传递至动力传递接头85的动力进行监视。

对象物80被隔热件70覆盖。与实施方式1相同，压缩气体供给装置10向空气冷却器22供给压缩空气。空气冷却器22将空气冷却并将其喷出。粉碎器21对冷却料进行粉碎，将冷却料粉末向供给管30供给。而且，借助从空气冷却器22喷出的低温的空气，使冷却料粉末在供给管30内流动。而且，将冷却料粉末送入冷冻箱50。

冷冻箱50安装于隔热件70的供气口71。在冷冻箱50连接有空气冷却器51。向空气冷却器51供给压缩空气。而且，将在对象物80与隔热件70之间的间隙流动的空气从排气口72排出。

在实施例1中，在动作中的发动机83的附近配置有隔热件70。因此，优选隔热件70为即便在高温环境下也具有耐热性的材料。即，隔热件70被高温的发动机83加热。因此，在实施例1中，例如将隔热件70的耐热温度的上限设为500℃。

另外，在实施例中，在供给管30的前端安装有喷雾喷嘴52。喷雾喷嘴52将冷却料粉末朝向对象物80喷出。这里，通过将供给管30扩径，从而形成喷雾喷嘴52。例如，直径16mm的供给管30在冷冻箱50的紧前扩径至直径20mm。由此，喷雾喷嘴52使冷却料粉末扩散。

图5是表示在实施例1所涉及的冷却装置100中冷却的温度的测定结果的图。它是表示变速箱(对象物80)的表面部与内部的油温的时间变化的图表。横轴表示冷却时间，纵轴表示油温。如图5的A所示，在从冷却开始起约45分钟，表面油温到达作为目标温度的-40℃。另外，如图5的B所示，在从冷却开始起约两个半小时，内部油温达到作为目标温度的-30℃。由此，根据实施例的结构，能够达成在从冷却开始起的3小时以内冷却至目标温度的目标。

实施例2.

使用图6对实施例2所涉及的冷却装置100的结构进行说明。图6是表示冷却装置100的结构的示意图。在本实施方式中，供给装置并列地设置。在图6中，将设置于冷却装置100的两个供给装置作为供给装置20a、以及供给装置20b来示出。在图6中，对于与供给装置20a有关的构成要素，在附图标记中标注“a”，对于与供给装置20b有关的构成要素，在附图标记中标注“b”。针对供给装置20a、20b并列地设置的结构以外的结构，与实施方式1以及实施例1相同，因此省略说明。

供给装置20a具备粉碎器21a和空气冷却器22a。而且，供给装置20a与供给管30a连接。由此，供给装置20a将冷却料粉末与冷却后的空气一同供给至供给管30a。

供给装置20b具备粉碎器21b和空气冷却器22b。而且，供给装置20b与供给管30b连接。由此，供给装置20b将冷却料粉末与冷却后的空气一同供给至供给管30b。

此外，在图6中，将来自一个压缩气体供给装置10的压缩空气供给至两个空气冷却器22a、22b。当然，也可以准备两台压缩气体供给装置10，使各压缩气体供给装置10分别向空气冷却器22a、22b供给压缩空气。

在供给管30a、供给管30b中，对冷却料粉末进行压力输送。在隔热件70设置有两个供气口71a、71b。供给管30a经由冷冻箱50a而与供气口71a连接。供给管30b经由冷冻箱50b而与供气口71b连接。

在该结构中，冷却料粉末被从两个部位供给，因此能够提高冷却性能。在图6中，设置了两套供给装置20以及供给管30等，但也可以设置三套以上的供给装置20以及供给管30等。

实施例3.

使用图7对实施例3所涉及的冷却装置100的结构进行说明。图7是表示冷却装置100的结构的示意图。在本实施方式中，针对实施例1的结构，追加了温度传感器91以及控制部90。对于温度传感器91以及控制部90以外的结构，与实施方式1以及实施例1等相同，因此适当地省略说明。

温度传感器91安装于对象物80，对对象物80的温度进行测定。温度传感器91将检测到的温度信息输出至控制部90。控制部90基于温度信息来控制冷却力。例如，控制部90对向粉碎器21投入的冷却料的量进行调整。

在检测温度相比目标温度而过低的情况下，控制部90减少冷却料的量。反之，在检测温度相比目标温度而过高的情况下，控制部90增加冷却料的量。或者，控制部90也可以使朝向空气冷却器22或者空气冷却器51供给的压缩空气的流量变化，从而控制温度。控制部90通过对冷却料以及空气的至少一方的供给量进行调整而能够控制温度。

这样，控制部90能够基于温度传感器91中的检测温度来进行反馈控制。由此，能够使对象物80成为希望的温度来进行试验。并且，能够进行伴随温度变化的试验。即，也可以使目标温度与时间一同变化。由此，能够一边使对象物80的温度与时间一同变化一边进行试验。

也能够将上述的实施方式1以及实施例1～3的2个以上适当地组合来使用。例如，在如实施例3那样进行温度控制的结构中，也能够像实施例2那样设置两套供给装置20。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，能够在不脱离主旨的范围内适当地进行变更。

根据以上所述的公开内容，显而易见的是本公开的实施例能够以多种方式进行改变。这样的改变不应被认为是脱离了本公开的精神和范围，且所有这些对于本领域技术人员而言显而易见的改变都包括在所附的权利要求书的范围内。

Claims (10)

1.一种冷却装置，其中，

所述冷却装置具备：

隔热件，其覆盖对象物的至少一部分；

供给管，其同所述隔热件与所述对象物之间的间隙连接；

冷却料供给部，其向所述供给管供给升华性的冷却料粉末；以及

第1气体喷出部，其向所述供给管喷出气体，以使所述冷却料粉末在所述供给管内流动。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其中，

所述冷却装置还具备第2气体喷出部，该第2气体喷出部喷出气体，以使来自所述供给管的所述冷却料粉末扩散。

3.根据权利要求2所述的冷却装置，其中，

所述间隙与所述供给管经由冷冻箱连接，

所述第2气体喷出部将气体冷却并向所述冷冻箱内喷出。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的冷却装置，其中，

所述第1气体喷出部将干燥空气冷却并向所述供给管喷出。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的冷却装置，其中，

所述冷却料供给部将冷却料粉碎并将所述冷却料粉末向所述供给管供给。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的冷却装置，其中，

所述隔热件是具有挠性的隔热片。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的冷却装置，其中，

在所述隔热件与所述对象物之间配置有隔离件。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的冷却装置，其中，

在所述隔热件的所述对象物侧配置有金属板，

所述冷却料粉末在所述金属板与所述对象物之间的间隙流动。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的冷却装置，其中，

所述供给管是隔热软管。

10.一种冷却方法，其中，

所述冷却方法具备如下步骤，即：

向同隔热件与对象物之间的间隙连接的供给管供给升华性的冷却料粉末的步骤；

向所述供给管喷出气体，以使所述冷却料粉末在所述供给管内流动的步骤；

通过使所述冷却料粉末在所述间隙内流动而对所述对象物进行冷却的步骤；以及

将在所述间隙内流动的所述气体排出的步骤。