CN110047662A - 一种高开关电容比rf mems电容式开关 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,包括有衬底,衬底上分布有微波传输线,微波传输线上依次固定有介质层和电容上极板,微波传输线两侧分布有地结构,地结构开设有电极容纳槽,电极容纳槽内设置有开关驱动电极,且开关驱动电极底部固定于衬底上,开关驱动电极上方镜像悬挂有金属膜桥,金属膜桥同时连接地结构,地结构上设有开口,开口内设有引线,开口上连接有金属引线盖。能够让驱动电极远离微波传输线,对信号传输的影响很小,插入损耗更低。可以实现“OFF”、“ON”状态,对地电容值可分别调节。金属膜桥架设在开口上方,保证共面波导完整性,从而减小插入损耗。整体构造简单,易于制造。
Description
技术领域
本发明涉及一种电容开关,尤其涉及一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关。
背景技术
射频开关作为通信器件的基本结构单元,在通信系统中有着举足轻重的地位。RFMEMS开关是利用MEMS技术制作的一种射频开关,通过微机械结构的运动,来达到控制信号通与断的目的,且相较传统射频半导体开关具有插损低,隔离度高以及使用寿命长的优点。
目前电容式RF MEMS开关的“OFF”和“ON”状态对地电容值只能同步联动,所以可调节性差,这为进一步提升其电磁学性能带来很大困难。另外目前的电容式RF MEMS开关驱动电极或是位于信号线与地之间或是以信号线为驱动电极,这都为开关引入了相当的插入损耗。
有鉴于上述的缺陷,本设计人,积极加以研究创新,以期创设一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,使其更具有产业上的利用价值。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明的目的是提供一种高“开”“关”电容比RF MEMS 电容式开关。
本发明的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,包括有衬底,其中:所述衬底上分布有微波传输线,所述微波传输线上依次固定有介质层和电容上极板,所述微波传输线两侧分布有地结构,所述地结构开设有电极容纳槽,所述电极容纳槽内设置有开关驱动电极,且开关驱动电极底部固定于衬底上,所述开关驱动电极上方镜像悬挂有金属膜桥,所述金属膜桥同时连接地结构,所述地结构上设有开口,所述开口内设有引线,所述开口上连接有金属引线盖。
进一步地,上述的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,其中,所述衬底为高阻硅衬底;或是为,玻璃衬底;或是为,陶瓷衬底;或是为,砷化镓衬底。
更进一步地,上述的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,其中,所述金属膜桥为T字形构造,所述T字形构造的横向端点与地结构相连,所述T 字形构造的底部端点与电容上极板形成接触状态或是分离状态。
更进一步地,上述的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,其中,所述金属膜桥为两镜像分布构成的H字形构造,所述H字形构造的纵向端点与地结构相连,所述H字形构造的中部端点与电容上极板形成接触状态或是分离状态。
更进一步地,上述的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,其中,所述电容上极板与介质层和微波传输线构成对地耦合电容,所述金属膜桥悬挂在开关驱动电极上方,对称分布于电容上极板的两侧,所述金属膜桥填补地结构的开口。
更进一步地,上述的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,其中,所述微波传输线为共面波导,或是为微带线。
再进一步地,上述的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,其中,所述金属膜桥与地结构之间连接有金属锚点。
借由上述方案,本发明至少具有以下优点:
1、能够让驱动电极远离微波传输线,对信号传输的影响很小,插入损耗更低。
2、可以实现“OFF”、“ON”状态,对地电容值可分别调节。
3、金属膜桥架设在开口上方,保证共面波导完整性,从而减小插入损耗。
4、整体构造简单,易于制造。
上述说明仅是本发明技术方案的概述,为了能够更清楚了解本发明的技术手段,并可依照说明书的内容予以实施,以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
图1是本高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关的整体结构示意图。
图2是开关处于“ON”状态的结构示意图。
图3是开关处于“OFF”状态的结构示意图。
图中各附图标记的含义如下。
1衬底 2微波传输线
3地结构 4开关驱动电极
5金属膜桥 6金属引线
7金属引线盖 8电容上极板
9金属锚点
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不用来限制本发明的范围。
如图1至3的一种高“开”“关”电容比RF MEMS电容式开关,包括有衬底 1,其与众不同之处在于:衬底1相对两端的中间位置处设置有微波传输线2,在微波传输线2依次固定有介质层和电容上极板8。同时,在微波传输线2的两侧分布有地结构3,地结构3开设有电极容纳槽。具体来说,电极容纳槽内设置有开关驱动电极4,且开关驱动电极4的底部固定在衬底1上。并且,开关驱动电极4上方镜像悬挂有金属膜桥5,金属膜桥5还同时连接地结构3,地结构3 上开设有开口,开口内设置有金属引线6。而且,在开口上连接有金属引线盖7。这样,构成MEMS结构。
结合本发明一较佳的实施方式来看,本发明采用的衬底1为高阻硅衬底。同时,根据使用需求的不同,也可以采用玻璃衬底;或是为,陶瓷衬底。当然,针对某些特殊情况的应用,还可以采用砷化镓衬底。
进一步来看,实现“OFF”、“ON”状态电容值高度可调,金属膜桥5为T字形构造,T字形构造的横向端点与地结构3相连,T字形构造的底部端点与电容上极板8形成接触状态或是分离状态。或者,金属膜桥5为两镜像分布构成的H 字形构造,H字形构造的纵向端点与地结构3相连,H字形构造的中部端点与电容上极板8形成接触状态或是分离状态。
再进一步来看,电容上极板8与介质层和微波传输线构成对地耦合电容。金属膜桥悬挂在开关驱动电极4上方,对称分布于电容上极板8的两侧,金属膜桥5填补地结构3的开口。
同时,为适应不同的需求,本发明采用的微波传输线2可为共面波导,也可为微带线。
工作原理:
如图2所示,当开关驱动电极4无电压时,金属膜桥5与电容上极板8的上极板不形成接触,开关处于“ON”状态,此时信号沿信号线传播。由于金属膜桥5与信号线之间的正对面积可调,所以引入的对地电容值可调,因此可根据使用需求单独调节“ON”状态的对地电容值。
如图3所示,当两开关驱动电极4同时加驱动电压时,在驱动力的作用下,金属膜桥5被拉向下开关驱动电极4。由此,使得金属膜桥5与电容上极板8与上极板形成金属接触。从而,形成LC对地耦合电路。此时信号对地耦合反射,开关处于“OFF”状态,其中“OFF”状态的电容值也可根据需求单独进行调节。
通过上述的文字表述并结合附图可以看出,采用本发明后,拥有如下优点:
1、能够让驱动电极远离微波传输线,对信号传输的影响很小,插入损耗更低。
2、可以实现“OFF”、“ON”状态,对地电容值可分别调节。
3、金属膜桥架设在开口上方,保证共面波导完整性,从而减小插入损耗。
4、整体构造简单,易于制造。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,并不用于限制本发明,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,包括有衬底,其特征在于:所述衬底上分布有微波传输线,所述微波传输线上依次固定有介质层和电容上极板,所述微波传输线两侧分布有地结构,所述地结构开设有电极容纳槽,所述电极容纳槽内设置有开关驱动电极,且开关驱动电极底部固定于衬底上,所述开关驱动电极上方镜像悬挂有金属膜桥,所述金属膜桥同时连接地结构,所述地结构上设有开口,所述开口内设有引线,所述开口上连接有金属引线盖。
2.根据权利要求1所述的一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,其特征在于:所述衬底为高阻硅衬底;或是为,玻璃衬底;或是为,陶瓷衬底;或是为,砷化镓衬底。
3.根据权利要求1所述的一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,其特征在于:所述金属膜桥为T字形构造,所述T字形构造的横向端点与地结构相连,所述T字形构造的底部端点与电容上极板形成接触状态或是分离状态。
4.根据权利要求1所述的一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,其特征在于:所述金属膜桥为两镜像分布构成的H字形构造,所述H字形构造的纵向端点与地结构相连,所述H字形构造的中部端点与电容上极板形成接触状态或是分离状态。
5.根据权利要求1所述的一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,其特征在于:所述电容上极板与介质层和微波传输线构成对地耦合电容,所述金属膜桥悬挂在开关驱动电极上方,对称分布于对地耦合电容的两侧,所述金属膜桥填补地结构的开口。
6.根据权利要求1所述的一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,其特征在于:所述微波传输线为共面波导,或是为微带线。
7.根据权利要求1所述的一种高开关电容比RF MEMS电容式开关,其特征在于:所述金属膜桥与地结构之间连接有金属锚点。
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