CN110045481B - 一种反射镜装置及激光散斑光场生成装置 - Google Patents
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Abstract
一种反射镜装置，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，所述反射镜的法线相互平行。本发明实施例还公开了一种激光散斑光场生成装置。
Description
技术领域
本发明涉及激光散斑测量领域，尤其涉及一种反射镜装置及激光散斑光场生成装置。
背景技术
激光散斑干涉技术具有非接触、高精度和全场等优点，广泛应用于测量领域，尤其是表面测量领域。
目前常用的生成激光散斑光场的方法有两种：一是激光通过毛玻璃形成散斑光场；另一是激光通过液晶空间相位调制器形成散斑光场。采用激光通过毛玻璃的主要缺点是：激光在经过毛玻璃后，散射效率太低，在激光的原来的发射角内通常只有2％甚至更低的总功率。采用激光通过液晶型空间相位调制器的主要缺点是：液晶型空间相位调制器的单元像素形状大小完全一致，进而形成的激光散斑场具有明显周期性的分布，导致同一空间中在不同的位置出现相同散斑图案。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种反射镜装置，用于产生快速变化的随机激光散斑光场。
为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：
一种反射镜装置，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，所述反射镜的法线相互平行。
其中，至少两个所述反射镜的以下结构条件的至少其中之一不同：排列方向、形状、尺寸、距离。
其中，所述反射镜的形状为多边形，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜的任一顶点和中心之间的连线不平行。
其中，所述反射镜的形状为正五边形，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜的任一顶点和中心之间的连线之间的夹角不等于72°的整数倍。
其中，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的边缘到另一反射镜的边缘之间的最小距离不相等。
其中，任意两个所述反射镜的尺寸和/或形状不同。
其中，所述振动装置为压电陶瓷。
其中，所述反射镜在所述承载平台上的投影完全覆盖住对应的所述振动装置在所述承载平台上的投影。
一种激光散斑光场生成装置，包括：激光发射器和反射镜装置；其中，所述激光发射器，用于产生入射光；所述反射镜装置，用于反射所述激光发射器发出的所述入射光；所述激光发射器的出光口面向所述反射镜装置。
其中，所述入射光于所述反射镜装置所在位置的光斑尺寸小于或等于所述反射镜装置的尺寸。
本发明实施例提供了一种反射镜装置，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述反射镜的法线相互平行，通过所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，对入射光进行反射，实现了快速变化的随机激光散斑光场分布的产生。
附图说明
图1为本发明一实施例中反射镜装置的结构示意图；
图2为本发明一实施例中反射镜装置中单个反射单元结构示意图；
图3为本发明一实施例中反射镜装置中反射镜分布示意图；
图4为本发明一实施例中激光散斑光场生成装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明一实施例提供了一种反射镜装置，请参阅图1，所述反射镜装置10包括承载平台101、设置于所述承载平台101上的多个振动装置102及与所述振动装置102对应的多个反射镜103，所述振动装置102包括固定于所述承载平台101的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置102的所述自由端，所述振动装置102分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜103沿其法线方向运动，所述反射镜103的法线相互平行。
本发明上述实施例中，所述反射镜装置10包括承载平台101、设置于所述承载平台101上的多个振动装置102及与所述振动装置102对应的多个反射镜103，所述振动装置102包括固定于所述承载平台101的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置102的所述自由端，所述反射镜103的法线相互平行，通过设置分别与所述反射镜对应的振动装置102，振动装置102分别以不同的驱动频率驱动对应的反射镜103沿其法线方向运动，使得反射镜103跟随振动装置102以不同的振动频率进行振动的状态下对入射光进行反射，形成对入射光进行非周期性的动态反射，实现了快速变化的随机激光散斑光场分布的产生。
这里，以一个反射单元包括设置于承载平台101上的一个振动装置102和与振动装置102对应的一个反射镜103为例，请参阅图2，为反射镜装置10中单个反射单元的一可选的结构示意图，单个反射单元包括反射镜103和振动装置102。每一振动装置102的本体整体呈长方体、圆柱体或者圆环状，包括分别位于本体两侧的正极1021和负极1022，相邻的两个振动装置102之间通过所述正极1021和负极1022形成电连接。其中，反射镜103和振动装置102之间、振动装置102和承载平台101之间通过粘结剂203固定连接。所述粘结剂203的厚度小于200微米，所述粘结剂203可以为胶水。振动装置102的振动方向与反射镜103的法线方向相同，在振动装置102的正极1021、负极1022通电的情况下，所述振动装置102带动反射镜103沿所述反射镜103的法线方向进行往复运动。为了确保反射镜103在跟随振动装置102振动的过程中，能够对入射光形成有效的反射，使得入射光经反射镜103发射后产生快速变化的随机激光散斑光场分布。所述振动装置102的振动频率设置为1～1000kHz，且任意两个所述振动装置102的振动频率不同。具体的，多个振动装置102的振动频率的取值可以通过以下方式确定：将两两互质的数乘以同一个参考值得到振动装置102的振动频率取值，计算公式为f＝p×n，其中，f为振动频率取值，p的取值为两两互质的数，n为参考值。以反射镜装置10包括5个振动装置102为例，设定n的取值为1000，p的取值分别为2、3、5、7和11，则所述5个振动装置102的振动频率f取值分别是2kHz、3kHz、5kHz、7kHz和11kHz。
这里，至少两个所述反射镜103的以下结构条件的至少其中之一不同：排列方向、形状、尺寸、距离。其中，反射镜103的结构条件包括排列方向、形状、尺寸、距离，两个反射镜103的任一所述结构条件改变，则所述两个反射镜103在该反射镜装置10中可以对入射光形成非周期性的反射效果。如两个反射镜103的排列方向不同、或两个反射镜103的形状不同、或两个反射镜103的尺寸不同、或两个反射镜103的距离不同，均可以破坏光场分布的周期性，增强了激光散斑光场分布的随机性。可以理解的，反射镜103也可以同时具备上述四种结构条件中的两种、三种或者四种时均不同，通过多种结构条件均不相同，可以进一步的增强激光散斑光场分布的随机性。
在一个可选的具体实施例中，所述反射镜的厚度为0.1～2毫米，直径为3～6毫米。
在一个可选的实施例中，所述反射镜103的形状为多边形，任意两个所述反射镜103中，其中一个反射镜103的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜103的任一顶点和中心之间的连线不平行。即，任意两个反射镜103的排列方向不同。反射镜103呈多边形，通过设置反射镜103的排列方向不同，使得其中一个反射镜103只通过平移并不能够完全与另一反射镜103完全重合，还需要进行一定角度的旋转，才能够与另一个反射镜103完全重合，从而形成了对入射光非周期性的反射，实现了随机激光散斑光场分布的产生，增强了激光散斑光场分布的随机性。
在另一可选的实施例中，请参阅图3，所述反射镜103的形状为正五边形，任意两个所述反射镜103中，其中一个反射镜103的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜103的任一顶点和中心之间的连线之间的夹角不等于72°的整数倍。即，任意两个反射镜103的排列方向不同。反射镜103呈正五边形，通过设置反射镜103的排列方向不同，使得其中一个反射镜103只通过平移并不能够完全与另一反射镜103完全重合，还需要进行一定角度的旋转，且所旋转的角度不等于72°的整数倍，才能够与另一个反射镜103完全重合。采用正五边形的反射镜103，可以充分利用五次对称性和周期性不能共存的特性，形成对入射光非周期性的反射，实现了随机激光散斑光场分布的产生，增强了激光散斑光场分布的随机性。
这里，任意两个所述反射镜103中，其中一个反射镜103的边缘到另一反射镜103的边缘之间的最小距离不相等。即，任意两个反射镜103之间的距离不同。具体的，任意两个所述反射镜103中，其中一个反射镜103的边缘到另一反射镜103的边缘之间的最小距离不小于1毫米。通过设置反射镜103的距离不同，使得入射光反射在不同的位置形成散斑光场分布的距离不同，形成了对入射光非周期性的反射，实现了随机激光散斑光场分布的产生，增强了激光散斑光场分布的随机性。
这里，任意两个所述反射镜103的尺寸和/或形状不同。设置任意两个反射镜103的尺寸不同可以是：将位于反射镜装置10靠近中心位置的反射镜103的尺寸大于位于反射镜装置10靠近边缘位置的反射镜103的尺寸；或者从反射镜103的尺寸大小从靠近反射镜装置10中心的位置向边缘位置呈递增与递减的交替变化，等等。设置任意两个反射镜的形状不同可以是：反射镜103呈规则的不同多边形形状或者不规则形状。设置任意两个反射镜的尺寸和形状不同可以是：包括相同形状的两个反射镜的尺寸不同或者具有相同尺寸的两个反射镜的形状不同。通过设置任意两个反射镜103的尺寸和/或形状不同，使得入射光反射在不同的位置形成散斑光场分布的尺寸和/或形状不同，形成了对入射光非周期性的反射，实现了随机激光散斑光场分布的产生，增强了激光散斑光场分布的随机性。
这里，振动装置102可以是能够沿直线方向振动的任何振动装置，如振动马达、压电陶瓷或者其它压电材料等。本申请实施例中，所述振动装置102为压电陶瓷。所述压电陶瓷整体呈长方体形状，其规格为长2～10毫米，宽2～10毫米，高5～100毫米。
这里，所述反射镜103在所述承载平台101上的投影完全覆盖住对应的所述振动装置102在所述承载平台101上的投影。请再次参阅图2，振动装置103的底端与承载平台101连接，反射镜103位于振动装置102的顶端，且反射镜103的中心针对所述振动装置102的横截面的中心。所述反射镜103的截面面积为所述振动装置102的横截面面积的1～2倍。通过设置反射镜103在所述承载平台101上的投影完全覆盖住对应的所述振动装置102在所述承载平台101上的投影，保证了激光振动装置102不受入射光的照射，避免了振动装置102的损伤。
本发明实施例提供了一种反射镜装置，所述反射镜装置10包括承载平台101、设置于所述承载平台101上的多个振动装置102及与所述振动装置102对应的多个反射镜103，所述振动装置102包括固定于所述承载平台101的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置102的所述自由端，所述反射镜103的法线相互平行，通过所述振动装置102分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜103沿其法线方向运动，对入射光进行反射，实现了快速变化的随机激光散斑光场分布的产生；同时通过采用排列方向、形状、尺寸、距离不同反射镜103，增强了激光散斑光场分布的随机性。
本发明另一实施例提供了一种激光散斑光场生成装置，请参阅图4，包括：激光发射器401和反射镜装置10；其中，所述激光发射器401，用于产生入射光；所述反射镜装置10，用于反射所述激光发射器401发出的所述入射光；所述激光发射器401的出光口面向所述反射镜装置10。
其中，激光发射器401产生入射光，所述入射光照射于反射镜装置10中各反射镜103的表面，所述反射镜转置10中的多个振动装置102分别以不同的驱动频率驱动对应所承载的反射镜103沿其法线方向运动，使得多个反射镜103跟随振动装置102以不同的振动频率进行振动的状态下对入射光进行反射，形成对入射光进行非周期性的快速动态反射，产生方向随机的反射光构成激光散斑光场。当入射光入射到所述反射镜装置10上时，入射光的入射角度为锐角。
这里，所述入射光于所述反射镜装置10所在位置的光斑尺寸小于或等于所述反射镜装置10的尺寸。入射光于所述反射镜装置10所在位置的光斑尺寸小于所述反射镜装置10的尺寸可以是：所述入射光的全部投射于反射镜装置10上，在反射镜装置10上形成光斑的面积小于反射镜装置10的表面积。通过入射光于所述反射镜装置10所在位置的光斑尺寸小于所述反射镜装置10的尺寸，实现了入射光最大限度的反射，减少了入射光的能量损失。入射光于所述反射镜装置10所在位置的光斑尺寸等于所述反射镜装置10的尺寸可以是：所述入射光的全部投射于反射镜装置上，在反射镜装置10上形成光斑的面积等于反射镜装置10的表面积；或者所述入射光的部分投射于反射镜装置10上，在反射镜装置10上形成光斑的面积等于反射镜装置10的表面积。通过入射光于所述反射镜装置10所在位置的光斑尺寸等于所述反射镜装置10的尺寸，提高了反射镜装置10的反射面积的利用效率。
所述入射光的光斑的中心正对所述反射镜装置10的中心。如入射光的光斑为高斯光斑，由于光斑中心或者中心附近区域的能量相对于光斑边缘区域的能量高，通过将入射光的光斑的中心正对所述反射镜装置10的中心，避免了入射光的能量损失。
本发明实施例提供了一种激光散斑光场生成装置，通过反射镜装置10反射所述激光发射器401发出的所述入射光，实现了快速变化的随机激光散斑光场分布的产生，增强了激光散斑光场分布的随机性；同时通过所述激光发射器401的出光口面向所述反射镜装置10，实现了入射光最大限度的反射，减少了入射光的能量损失，提高了反射镜装置10的反射面积的利用效率。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种反射镜装置，其特征在于，所述装置包括承载平台、设置于所述承载平台上的多个振动装置及与所述振动装置对应的多个反射镜，所述振动装置包括固定于所述承载平台的连接端及与所述连接端相对的自由端，所述反射镜设置于所述振动装置的所述自由端，所述振动装置分别以不同的驱动频率驱动所述反射镜沿其法线方向运动，所述反射镜的法线相互平行；所述反射镜用于跟随所述振动装置以不同的振动频率在振动的状态下对入射光进行反射。
2.根据权利要求1所述的反射镜装置，其特征在于，至少两个所述反射镜的以下结构条件的至少其中之一不同：排列方向、形状、尺寸、距离。
3.根据权利要求2所述的反射镜装置，其特征在于，所述反射镜的形状为多边形，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜的任一顶点和中心之间的连线不平行。
4.根据权利要求2所述的反射镜装置，其特征在于，所述反射镜的形状为正五边形，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的任一顶点和中心之间的连线与另一反射镜的任一顶点和中心之间的连线之间的夹角不等于72°的整数倍。
5.根据权利要求2所述的反射镜装置，其特征在于，任意两个所述反射镜中，其中一个反射镜的边缘到另一反射镜的边缘之间的最小距离不相等。
6.根据权利要求2所述的反射镜装置，其特征在于，任意两个所述反射镜的尺寸和/或形状不同。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的反射镜装置，其特征在于，所述振动装置为压电陶瓷。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的反射镜装置，其特征在于，所述反射镜在所述承载平台上的投影完全覆盖住对应的所述振动装置在所述承载平台上的投影。
9.一种激光散斑光场生成装置，其特征在于，包括：激光发射器和权利要求1至8中任一项所述的反射镜装置；其中，
所述激光发射器，用于产生入射光；
所述反射镜装置，用于反射所述激光发射器发出的所述入射光；
所述激光发射器的出光口面向所述反射镜装置。
10.根据权利要求9所述的激光散斑光场生成装置，其特征在于，所述入射光于所述反射镜装置所在位置的光斑尺寸小于或等于所述反射镜装置的尺寸。
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112558313A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-26 | 哈尔滨工业大学 | 用于飞行器表面plif流场测量的曲面随形光束产生装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101925845A (zh) * | 2008-01-22 | 2010-12-22 | 阿尔卡特朗讯美国公司 | 图像投影的振动反射镜 |
| CN102713722A (zh) * | 2010-01-05 | 2012-10-03 | 船井电机株式会社 | 振动反射镜元件 |
| CN102736380A (zh) * | 2011-04-09 | 2012-10-17 | 上海三鑫科技发展有限公司 | 反射型微型投影机用光学引擎 |
| CN102736381A (zh) * | 2011-04-09 | 2012-10-17 | 上海三鑫科技发展有限公司 | 反射型微型投影机用光学引擎 |
| CN106646858A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-05-10 | 宁波大学 | 单压电片执行器阵列驱动的变形镜 |
| CN206725833U (zh) * | 2017-05-27 | 2017-12-08 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种分立表面变形反射装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10116723C1 (de) * | 2001-04-04 | 2002-10-31 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ablenkung von optischen Strahlen |
-
2018
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101925845A (zh) * | 2008-01-22 | 2010-12-22 | 阿尔卡特朗讯美国公司 | 图像投影的振动反射镜 |
| CN102713722A (zh) * | 2010-01-05 | 2012-10-03 | 船井电机株式会社 | 振动反射镜元件 |
| CN102736380A (zh) * | 2011-04-09 | 2012-10-17 | 上海三鑫科技发展有限公司 | 反射型微型投影机用光学引擎 |
| CN102736381A (zh) * | 2011-04-09 | 2012-10-17 | 上海三鑫科技发展有限公司 | 反射型微型投影机用光学引擎 |
| CN106646858A (zh) * | 2016-10-11 | 2017-05-10 | 宁波大学 | 单压电片执行器阵列驱动的变形镜 |
| CN206725833U (zh) * | 2017-05-27 | 2017-12-08 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种分立表面变形反射装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 工程目标微倾斜和挠曲变形的非接触测量方法研究;卢和林;《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》;20140815(第8期);第7-11页 * |
Also Published As
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| CN110045481A (zh) | 2019-07-23 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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